TW201836768A - 工件遊星輪及工件遊星輪的製造方法 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種即使遊星輪基板薄時，也可以防止樹脂插入部之徑方向的脫離或表背方向的掉落等脫落之工件遊星輪。工件遊星輪係沿著形成在金屬製之遊星輪基板（1）上的工件保持孔（2）內周面設置樹脂插入部（3）。而且，在成為工件保持孔的外緣部（13）之遊星輪基板上，於圓周方向交替地形成分別向表背方向凹陷之表側凹部（4A）及背側凹部（4B），且通孔部（8）設置為與表側凹部及背側凹部連續並貫穿表背方向。進一步，沿著表側凹部、背側凹部及通孔部以及前述工件保持孔之內周面的部分，塡充成為樹脂插入部之合成樹脂材料。
Description
本發明係有關一種藉由研磨裝置研磨加工氧化物晶圓、矽晶圓、玻璃、藍寶石、陶瓷、水晶等薄板狀的工件時，用於保持工件之工件遊星輪及工件遊星輪的製造方法。
習知藉由研磨裝置研磨加工矽晶圓等工件的雙面或單面時，在具有工件保持孔的工件遊星輪保持工件（參見專利文獻1至4等）。
由於成為工件遊星輪之本體的遊星輪基板係由SK鋼或不銹鋼等硬質的金屬材料所形成，因此，直接將工件保持在遊星輪基板上鑽出的工件保持孔時，研磨加工中工件接觸到工件保持孔之內周面，工件會有產生裂痕或欠缺等損傷之虞。
在此，如專利文獻1至4所揭示，沿著工件保持孔之內周面安裝合成樹脂製之軟質的插入部，進行防止研磨加工中之工件的損傷之處理。
專利文獻1記載，工件保持孔之內周面在圓周方向隔開間距設置突出部，藉由射出成型於突出部之間也塡充樹脂部，使樹脂部與金屬板一體化。進一步，藉由在突出部的上方部分及下方部分形成倒角部，成為可以防止樹脂部在上下方向掉落而脫落之結構。
另外，專利文獻2記載，藉由沿著遊星輪基板的工件保持孔之內周面設置溝，以合成樹脂材料滑入其溝之方式進行射出成型，而設置軟質之環狀的插入部。
另一方面，專利文獻3記載，藉由在徑方向將形成工件保持孔之遊星輪本體的內壁面製成凹形狀，縮短插入部之上面部及下面部之徑方向的長度，並減少插入部之磨損或變形的結構。
進一步，專利文獻4揭示使用於薄物的工件之研磨加工的金屬遊星輪。雖然在此種金屬遊星輪的工件保持孔中也設置有樹脂塗佈保持部（插入部），但是在金屬遊星輪以樹脂塗佈保持部不會剝離之方式設置小徑的孔，該孔被塡充成為樹脂塗佈保持部的一部分之樹脂。
[先前技術文獻] [專利文獻1]日本特開第2002-18708號公報 [專利文獻2]日本特開第2009-12086號公報 [專利文獻3]日本特開第2010-179375號公報 [專利文獻4]日本實用新案登錄第3086591號公報
然而，專利文獻1、2中揭示的工件遊星輪係平面視凹凸地加工遊星輪基板的工件保持孔之內周面，由於在成為突出部的部分之上面或下面形成倒角以減薄厚度，而使得突出部容易變形。因此，此種加工難以適用於如專利文獻4所揭示之薄物用的工件遊星輪。
因此，本發明之目的在於提供一種即使遊星輪基板薄時，也可以防止樹脂插入部之徑方向的脫離或表背方向的掉落等脫落之工件遊星輪及工件遊星輪的製造方法。
為了達成前述目的，本發明之工件遊星輪係沿著形成在金屬製之遊星輪基板上的工件保持孔之內周面設置樹脂插入部，其中，在成為前述工件保持孔的外緣部之前述遊星輪基板上，於圓周方向交替地形成有分別向表背方向凹陷之表側凹部及背側凹部，且，通孔部係設置為與前述表側凹部及背側凹部連續並貫穿前述表背方向，且沿著前述表側凹部、背側凹部及通孔部以及前述工件保持孔之內周面的部分塡充有成為樹脂插入部之合成樹脂材料。
在此，前述表側凹部及前述背側凹部較佳為設置在圓周方向隔開間距。又，可以是前述通孔部設置在每個前述表側凹部及前述背側凹部之間的結構。
進一步，可以是在前述表側凹部及背側凹部的底面設置突起部或孔部，並在前述突起部的周圍或前述孔部的內部塡充前述樹脂插入部之一部分的結構。 並且，可以是在前述表側凹部及背側凹部之前述工件保持孔的中心側設置狹窄部的結構。
進一步，工件遊星輪的製造方法的發明具備：遮罩形成工序，用以以預定的繪製圖案在前述遊星輪基板的表面及背面形成遮罩；附著工序，用以使蝕刻液附著於形成遮罩之前述遊星輪基板上；及設置工序，用以對藉由前述蝕刻液加工之前述遊星輪基板設置前述樹脂插入部。 （發明的效果）
此種結構的本發明之工件遊星輪，係於工件保持孔之外緣部的圓周方向交替地設置分別向表背方向凹陷之表側凹部及背側凹部。因此，藉由塡充在表側凹部及背側凹部的合成樹脂材料，可以防止樹脂插入部在表背方向掉落。
另外，由於通孔部係設置為與表側凹部及背側凹部連續並貫穿表背方向並被塡充合成樹脂材料，因此，除了可以防止樹脂插入部之徑方向的脫離以外，還可以使樹脂插入部難以剝離。
進一步，由於表側凹部及背側凹部並未向工件保持孔的中心突出於徑方向，因此，即使遊星輪基板薄時也可以適用。尤其是藉由在圓周方向隔開間距設置表側凹部及背側凹部，變成在表側凹部及背側凹部的兩側殘餘全部厚度之遊星輪基板，可以使遊星輪基板更難以產生變形。
另外，藉由在每個表側凹部及背側凹部之間設置通孔部，透過通孔部所有的表側凹部及背側凹部在圓周方向連續地一體化，因此可以使樹脂插入部更難以剝離。
進一步，藉由在表側凹部及背側凹部的底面設置突起部或孔部，在其周圍或孔部的內部塡充樹脂插入部之一部分，可以確實地抑制樹脂插入部之徑方向的移動，提高與遊星輪基板之一體性。
另外，藉由在表側凹部及背側凹部之工件保持孔的中心側設置狹窄部，可以確實地抑制樹脂插入部之徑方向的移動，提高與遊星輪基板之一體性。
進一步，藉由工件遊星輪之製造方法的發明，可以藉由經過使蝕刻液附著於以預定的繪製圖案形成遮罩之遊星輪基板並進行蝕刻加工，設置樹脂插入部的工序，可以有效地製造遊星輪基板及樹脂插入部之一體性高的工件遊星輪。
以下，參見圖式說明本發明之實施形態。圖1A、1B及圖2係說明本實施形態之工件遊星輪10的結構之圖，圖2係顯示全體之大致結構，圖1A及圖1B係擴大顯示工件保持孔2的外緣部13附近。
工件遊星輪10係安裝於研磨加工薄板狀的工件之雙面或單面的平面研磨裝置而使用。例如，研磨加工工件之雙面的平面研磨裝置具備：定盤之上定盤及下定盤、配置於此上定盤及下定盤的中心部之太陽齒輪、及配置於上定盤及下定盤的外周側之內齒輪。上定盤、下定盤、太陽齒輪及內齒輪分別自由旋轉。
另外，如圖2所示之工件遊星輪10係配置於平面研磨裝置的上定盤與下定盤之間。 工件遊星輪10係由金屬製之遊星輪基板1形成圓板狀的本體。在此遊星輪基板1鑽出例如複數的圓形之工件保持孔2，・・・。並且，沿著工件保持孔2之內周面設置樹脂插入部3。
在此工件遊星輪10中，在外形部11上設置有與太陽齒輪及內齒輪嚙合之齒部（省略圖式），藉由太陽齒輪及內齒輪的旋轉而進行自轉及公轉。並且，藉由工件遊星輪10的自轉及公轉，配置於工件遊星輪10之工件保持孔2內之工件的雙面藉由上定盤與下定盤被研磨。
由金屬板以圓板狀切出遊星輪基板1。可以使用不銹鋼（SUS）、高碳鉻軸承鋼、碳工具鋼（SK鋼）、高速度工具鋼、合金工具鋼、高張力鋼、鈦等作為金屬板。
尤其是研磨加工薄板狀的工件時，使用薄的遊星輪基板1。例如，使用0.1mm至1.0mm左右的厚度（表背方向的高度）之遊星輪基板1。另外，因應工件的厚度使用0.7mm以下，進一步使用0.5mm以下的厚度之薄的遊星輪基板1。
另一方面，藉由合成樹脂材料成型樹脂插入部3。作為合成樹脂材料，可以使用聚醯胺（PA）、聚縮醛（POM）、聚醯亞胺（PI）、聚氯乙烯（PVC）、聚醯胺醯亞胺（PAI）、聚碳酸酯（PC）、環氧（EP）等樹脂或玻璃環氧、布烘烤樹脂（Cloth-inserted bakelite）等纖維強化塑膠等。 在藉由如後述之射出成型設置樹脂插入部3的情況，使用熱可塑性樹脂。另外，在藉由熱壓接合設置樹脂插入部3的情況，使用熱硬化性樹脂。
在成為本實施形態之工件保持孔2的外緣部13之遊星輪基板1中，為提高與樹脂插入部3之一體性，如圖1A及圖1B所示，於圓周方向交替地形成分別向表背方向凹陷之表側凹部4A及背側凹部4B。
以從遊星輪基板1的表側向背側凹陷之平面視時，表側凹部4A形成為長方形狀。表側凹部4A之表背方向的深度成為遊星輪基板1之厚度的一半左右。
另一方面，從表側凹部4A在工件保持孔2的圓周方向隔開間距設置背側凹部4B，以從遊星輪基板1的背側向表側凹陷之平面視時，背側凹部4B形成為長方形狀的。背側凹部4B之表背方向的深度成為遊星輪基板1之厚度的一半左右。
在此，由於以平面視之方式看時表側凹部4A及背側凹部4B之間分離，因此，其之間殘存全部厚度之遊星輪基板1的本體。亦即，雖然表側凹部4A及背側凹部4B係工件保持孔2的中心側開放，但是除了後述之角落部附近之外，圓周方向的兩側及徑方向的深側為被遊星輪基板1的本體支持之狀態。
並且，在每個表側凹部4A及背側凹部4B之間，設置有通孔部8。此通孔部8係貫穿表背方向的孔，在表側凹部4A及背側凹部4B處分別形成連續之空間。
詳細而言，通孔部8係以連接表側凹部4A之遠側（與工件保持孔2之中心為相反側）的角落部及背面凹部4B之遠側的角落部之方式，例如形成平面視橢圓狀。因此，在表側凹部4A（或背側凹部4B）及通孔部8重疊的位置，從遊星輪基板1的表側向背側（或從遊星輪基板1的背側向表側）之凹陷欠缺而成為貫穿的孔。 另外，也可以以與表側凹部4A（或背側凹部4B）接觸之方式設置通孔部。在此情況下，從遊星輪基板1的表側向背側（或從遊星輪基板1的背側向表側）之凹陷不產生欠缺。
如圖5所示，在此通孔部8中，以成為樹脂插入部3的一部分之方式合成樹脂材料被塡充而形成孔填充部33，成為阻止樹脂插入部3的徑方向之移動的抵抗部。 由於孔填充部33與遊星輪基板1的厚度為相同厚度，因此，可以作為強力的卡止部。
亦即，樹脂插入部3係由形成為與工件保持孔2的直徑大致相同的直徑之環狀的圓環部31、形成於表側凹部4A及背側凹部4B的內空之複數之長方體狀的填充部32，・・・、及形成於通孔部8之內部空間的複數之孔填充部33，・・・所構成。此圓環部31、複數之填充部32，・・・、複數之孔填充部33，・・・係藉由合成樹脂材料一體地成型。
然後，一邊參見圖3A、3B及圖4A、4B一邊說明本實施形態之工件遊星輪10的製造方法。 首先，在遊星輪基板1的表面及背面以預定的繪製圖案進行遮罩形成。詳細而言，使用以CAD/CAM系統等製作的數據，從雷射繪圖機等製作高精度之繪製圖案的原版。
另外，對遊星輪基板1的表面及背面進行用以除去氧化膜之酸處理或電解研磨等前處理。然後，在遊星輪基板1的表面及背面之整面分別塗佈光阻劑。
並且，使用繪製圖案的原版，對藉由光阻劑塗佈之遊星輪基板1的表面及背面曝光，並進行烘焙。圖示之遮罩部5A、5B顯示烘焙後顯影而殘餘的光阻劑層。
簡而言之，如圖3A及圖4A所示，在遊星輪基板1的表面上，複數之表側凹部4A，・・・及複數之通孔部8，・・・以外成為遮罩部5A。另外，如圖3B及圖4B所示，在遊星輪基板1的背面上，複數之背側凹部4B，・・・及通孔部8以外成為遮罩部5B。
進一步，對形成遮罩之遊星輪基板1的表面及背面噴霧蝕刻液並使其附著。藉由此蝕刻液的附著，遮罩部5A、5B以外之遊星輪基板1的露出面被去除，成為形成向表背方向凹陷之表側凹部4A及背側凹部4B、以及貫穿表背方向之通孔部8。
表側凹部4A及背側凹部4B被溶解至所期望的深度，在通孔部8貫穿的階段，貫穿除去遮罩部5A、5B，進行清洗及乾燥。如圖1B所示，在到此為止的工序中，在遊星輪基板1之工件保持孔2的外緣部13形成表側凹部4A、背側凹部4B、及通孔部8。
對藉如此蝕刻加工的遊星輪基板1的複數之工件保持孔2，・・・之內周面設置樹脂插入部3。藉由合成樹脂材料的射出成型或熱壓接合設置樹脂插入部3。
在射出成型時，在成為工件保持孔2的內側面之位置設置模板，在該模板與遊星輪基板1的外緣部13之間的空間中將加熱熔融之合成樹脂材料射出注入，藉由冷卻使其固化。由於通孔部8係形成為連續於表側凹部4A及背側凹部4B，因此，合成樹脂材料可以流入。 另一方面，熱壓接合的話，可以藉由將預浸料層合成所期望的形狀，並進行加熱加壓的擠壓，而設置樹脂插入部3。
以下，說明本實施形態之工件遊星輪10及工件遊星輪10的製造方法之作用。 此種結構的本實施形態之工件遊星輪10係將向表背方向分別凹陷之表側凹部4A及背側凹部4B交替地設置在工件保持孔2的外緣部13之圓周方向。 進一步，設置通孔部8，其與表側凹部4A及背側凹部4B連續並貫穿表背方向。
在此表側凹部4A、背側凹部4B、與通孔部8分別設置樹脂插入部3的一部分之填充部32、32及孔填充部33，則可以防止樹脂插入部3在圓周方向移動（位移）。
進一步，由於藉由在遊星輪基板1的表側及背側的雙方上，於圓周方向交替地形成表側凹部4A及背側凹部4B，在該內部空間分別設置填充部32、32，遊星輪基板1被填充部32、32夾住，因此，可以對遊星輪基板1的表面和背面之任一方向防止樹脂插入部3脫落。 例如，在藉由射出成型或熱壓接合設置樹脂插入部3之情形，雖然在冷卻使其固化時會引起收縮，但是只要是在遊星輪基板1的雙面上設置藉由表側凹部4A及背側凹部4B的填充部32、32，則即使樹脂插入部3稍微収縮也可以防止脫落。
另外，設置在貫穿表背方向之通孔部8的孔填充部33成為阻止樹脂插入部3之徑方向的移動之抵抗部。亦即，即使樹脂插入部3產生收縮等，像是可能引起向工件保持孔2的中心之徑方向的位移的情況下，也可以是孔填充部33成為卡止部而防止脫落（剝離）。
進一步，由於表側凹部4A及背側凹部4B未向如凸齒之工件保持孔2的中心突出於徑方向，因此，即使遊星輪基板1薄時也可以適用。例如，可以適用於用於薄板狀的工件之研磨加工的1.0mm以下之遊星輪基板1。另外，可以適用於用於更薄之工件的研磨加工之情形的0.7mm以下，進一步即使0.5mm以下之厚度的薄的遊星輪基板1也可以適用。
本實施形態之工件遊星輪10中，由於在圓周方向將表側凹部4A及背側凹部4B隔開間距設置，在表側凹部4A及背側凹部4B的兩側分別殘餘全部厚度之遊星輪基板1。因此，成為更薄厚度之表側凹部4A及背側凹部4B變成被兩側及遠側的三邊（除了角落部附近）支持而難以產生變形。
另外，藉由在每個表側凹部4A及背側凹部4B之間設置通孔部8，可以使樹脂插入部3更難以產生剝離。亦即，雖然露出於研磨面的樹脂插入部3在研磨加工時相較遊星輪基板1容易產生磨損或變形，但是只要是如形成於通孔部8的孔填充部33與遊星輪基板1為相同厚度，就可以使其即使重複用於研磨加工也難以產生樹脂插入部3的剝離。
進一步，只要是透過此種孔填充部33，使所有的表側凹部4A及背側凹部4B在遊星輪基板1的內部側（與工件保持孔2之中心為相反側）也與圓周方向連續而一體化，就可以使樹脂插入部3更難以剝離。
並且，藉由本實施形態之工件遊星輪10的製造方法，藉由經過使蝕刻液附著於以預定的繪製圖案形成遮罩之遊星輪基板1上並進行蝕刻加工，設置樹脂插入部3的工序，可以有效地製造遊星輪基板1與樹脂插入部3之一體性高的工件遊星輪10。 [實施例1]
以下，一邊參見圖6、圖7A、圖7B一邊說明與前述實施形態說明之工件遊星輪10為另一形態的實施例1。另外，使用相同用語或相同符號說明與前述實施形態中所說明之內容為相同或均等的部分。
在前述實施形態中，說明在通孔部8所形成的孔填充部33作為抵抗部。在本實施例1中，說明在表側凹部4C及背側凹部4D的底面41追加設置成為抵抗部之圓柱部42的情形。
如圖6所示，本實施例1之遊星輪基板1A中，在表側凹部4C及背側凹部4D上，設置圓柱部42於平面視之大致中央。此圓柱部42為從表側凹部4C（或背側凹部4D）的底面41向上方（或下方）延伸之突起部。此圓柱部42的高度與表側凹部4C（或背側凹部4D）的深度相等，為遊星輪基板1A的一半左右。
如圖7A及圖7B所示，在此圓柱部42的周圍以成為樹脂插入部3A的一部分之方式塡充合成樹脂材料而形成填充部32時，圓柱部42成為阻止樹脂插入部3A之徑方向的移動之抵抗部。
作為此抵抗部之功能的高度（效果）因突起部的形狀而不同。如圖7A及圖7B所示，圓柱部42之遠側（與工件保持孔2之中心為相反側）的側面與底面41所成之角度θ係約90°。此角度θ愈大阻止樹脂插入部3A之向工件保持孔2的中心方向之移動的功能愈高。此角度θ係70°以上為佳，更佳為90°以上，如果角度θ成為鈍角向遠側傾斜，可以作為更強力的卡止部。另外，圓柱部42的側面的形狀也不限定於以側面視呈直線狀者，也可以是曲線狀或有凹凸的形狀。
進一步，設置於表側凹部4C及背側凹部4D之突起部的形狀不限定於圓柱狀，可以設置為長方體狀、多角柱狀等各種形狀。無論突起部為任何形狀，都能夠發揮阻止樹脂插入部3A之徑方向的移動之移動抑制功能。
可以藉由在遮罩形成工序中，在成為表側凹部4C內的圓柱部42之處進行遮罩形成，在成為背側凹部4D內的圓柱部42之處進行遮罩形成，而形成此圓柱部42。
在射出成型時，在成為工件保持孔2之內側面的位置設置模板，將加熱熔融之合成樹脂材料射出注入於該模板與遊星輪基板1A的外緣部13之間的空間，藉由冷卻使其固化。只要是突起部係圓柱部42就可以使合成樹脂材料無間隙地環繞。
另外，在表側凹部4C及背側凹部4D上追加設置圓柱部42而作為阻止樹脂插入部3A之徑方向的移動之抵抗部的話，即使樹脂插入部3A產生收縮等，像是可能引起向工件保持孔2的中心之徑方向之位移的情況下，也可以圓柱部42成為卡止部而防止脫離（剝離）。簡而言之，變成在孔填充部33的脫離防止功能上，添加了圓柱部42的效果。
進一步，由於此圓柱部42係遊星輪基板1A本身，且藉由硬質的金屬材料形成，因此，可以變成對樹脂插入部3A的移動強力地抵抗，確實地阻止脫離或剝離。 另外，實施例1之此其他的結構及作用效果與前述實施形態或其他的實施例大致相同而省略說明。 [實施例2]
以下，一邊參見圖8、圖9A、圖9B一邊說明與在前述實施形態及實施例1說明之工件遊星輪10為另一形態的實施例2。另外，使用相同用語或相同符號說明與前述實施形態或實施例1中所說明之內容為相同或均等的部分。
在前述實施例1中，說明在表側凹部4C及背側凹部4D的底面41追加圓柱部42作為抵抗部的情形。在本實施例2中，說明在表側凹部6A及背側凹部6B的底面61上，設置圓筒部62取代圓柱部42作為成為抵抗部之孔部的情形。
本實施例2之遊星輪基板1B中，在設置於工件保持孔2的外緣部13之表側凹部6A及背側凹部6B上，如圖8所示，設置圓筒部62於平面視之大致中央。此圓筒部62係從表側凹部6A（或背側凹部6B）的底面61向下方（或上方）的面貫穿之孔部。此圓筒部62的深度成為遊星輪基板1B的一半左右。
如圖9A及圖9B所示，在此圓筒部62之內部以成為樹脂插入部3B的一部分之方式塡充合成樹脂材料而形成柱狀部35時，柱狀部35成為阻止樹脂插入部3B之徑方向的移動之抵抗部。
樹脂插入部3B係由形成為環狀的圓環部31、形成在表側凹部6A及背側凹部6B的內部空間之複數之長方體狀的填充部34，・・・、形成於複數之圓筒部62，・・・的內部的複數之圓柱狀的柱狀部35，・・・、形成在通孔部8的內部空間的複數之孔填充部33，・・・所構成。此圓環部31、複數之填充部34，・・・、複數之柱狀部35，・・・、與複數之孔填充部33係藉由合成樹脂材料一體地成型。
此種結構的實施例2之工件遊星輪10係在工件保持孔2的外緣部13之圓周方向交替地設置分別向表背方向凹陷之表側凹部6A及背側凹部6B，並且，在表側凹部6A及背側凹部6B的圓筒部62設置樹脂插入部3B之一部分的柱狀部35。
即使樹脂插入部3B產生收縮等，像是可能引起向工件保持孔2的中心之徑方向的位移的情況下，向此圓筒部62的內部延伸之柱狀部35也可以成為卡止部而成為防止脫離之抵抗部。簡而言之，變成在孔填充部33的脫離防止功能上，添加了柱狀部35的效果。
在此，設置於表側凹部6A及背側凹部6B之孔部的形狀不限定於圓筒狀，也可以設置成矩形圓柱狀、多邊形圓柱狀等各種形狀。無論孔部為任何形狀，都可以發揮阻止樹脂插入部3B之徑方向的移動之移動抑制功能。
並且，在實施例2之工件遊星輪10中，由於藉由設置在表側凹部6A及背側凹部6B的複數之填充部34，・・・發揮圓周方向的旋轉停止功能及朝表背方向的掉落防止功能，並藉由設置在通孔部8的複數之孔填充部33，・・・與設置在複數之圓筒部62，・・・的複數之柱狀部35，・・・發揮圓周方向的旋轉停止功能及徑方向的移動抑制功能，因此，可以確保與遊星輪基板1B及樹脂插入部3B的高一體性。 另外，實施例2之此其他的結構及作用效果與前述實施形態或其他的實施例大致相同而省略說明。 [實施例3]
以下，一邊參見圖10一邊說明與前述實施形態及實施例1、2所說明之工件遊星輪10為另一形態的實施例3。另外，使用相同用語或相同符號說明與前述實施形態或實施例1、2所說明之內容為相同或均等的部分。
在前述實施形態及實施例1、2中，說明在通孔部8的孔填充部33以及表側凹部4C、6A及背側凹部4D、6B的底面41、61設置圓柱部42或圓筒部62作為抵抗部之情形。在本實施例3中，說明藉由表側凹部7A及背側凹部7B之平面視的形狀形成抵抗部之情形。
如圖10所示，本實施例3的抵抗部係藉由成為表側凹部7A及背側凹部7B的傾斜面之側面71、71形成的狹窄部。亦即，側面71係從工件保持孔2的中心側向外側於擴寬方向傾斜。此結果，表側凹部7A及背側凹部7B成為具有以平面視之開放側（工件保持孔2的中心側）變窄之狹窄部，在全體來看形成為遠側為寬梯形（楔形）。
在此，由於在表側凹部7A及背側凹部7B上形成以平面視工件保持孔2的中心側變窄之狹窄部即可作為抵抗部，因此，側面71不限定於直線的傾斜面，也可以為曲線的傾斜面。例如，藉由將表側凹部7A及背側凹部7B以平面視形成為T字狀或Y字狀或燒瓶狀，也可以在工件保持孔2的中心側設置狹窄部。
並且，通孔部8A係以連接表側凹部7A之遠側（與工件保持孔2之中心為相反側）的頂點部及背側凹部7B之遠側的頂點部之方式，例如，形成平面視橢圓狀。因此，在表側凹部7A（或背側凹部7B）及通孔部8A重疊的位置，從遊星輪基板1C的表側向背側（或從遊星輪基板1C的背側向表側）之形成之凹陷欠缺，而成為貫穿的孔。
在此通孔部8A中以成為樹脂插入部3C的一部分之方式塡充合成樹脂材料而形成孔填充部33A時，成為阻止樹脂插入部3C之徑方向的移動之抵抗部。 由於孔填充部33A成為與遊星輪基板1的厚度為相同厚度，因此，可以作為強力的卡止部。
進一步，在梯形的表側凹部7A及背側凹部7B的內部空間以成為樹脂插入部3C的一部分之方式塡充合成樹脂材料而形成填充部36時，楔形的填充部36在狹窄部變成不容易朝工件保持孔2的中心側移動之狀態，而成為阻止樹脂插入部3C之徑方向的移動之抵抗部。
樹脂插入部3C係由形成為環狀的圓環部31、形成在表側凹部7A及背側凹部7B的內部空間的複數之填充部36，・・・、形成於通孔部8A的內部空間的複數之孔填充部33A所構成。此圓環部31、複數之填充部36，・・・、與複數之孔填充部33A係藉由合成樹脂材料一體地成型。
此種結構的實施例3之工件遊星輪10係在工件保持孔2的外緣部13之圓周方向交替設置分別向表背方向凹陷之平面視大致楔形的表側凹部7A及背側凹部7B。
由於藉由設置在此表側凹部7A及背側凹部7B的複數之平面視大致楔形的填充部36，・・・發揮圓周方向的旋轉停止功能及朝表背方向的掉落防止功能，並且發揮徑方向的移動抑制功能，因此，除了形成在通孔部8A之孔填充部33A的功能以外，還可以確保遊星輪基板1C及樹脂插入部3C的高一體性。
另外，也可以在藉由狹窄部之抵抗部組合藉由突起部或孔部之抵抗部。此情形也可以提高阻止樹脂插入部3C之徑方向的移動之移動抑制功能。 並且，實施例3之此其他的結構及作用效果與前述實施形態或其他的實施例大致相同而省略說明。
以上，雖然參見圖式詳述本發明之實施形態及實施例，但是具體的結構不限定於此實施形態及實施例，在不脫離本發明之要旨的範圍之設計的變更也包含在本發明中。
雖然例如前述實施形態及實施例中說明工件保持孔2係圓形之工件遊星輪10，但是不限定於此。例如，對具有長方形（包含正方形）之工件保持孔的工件遊星輪也可以適用本發明。簡而言之，可以在長方形之工件保持孔的內周面之圓周方向交替地形成分別向表背方向凹陷之表側凹部及背側凹部，並且，形成與表側凹部及背側凹部連續的通孔部，沿著其內周面設置長方形之樹脂插入部。進一步，工件保持孔也可以是圓形及長方形以外之其他的形狀。
另外，雖然在前述實施形態及實施例中說明在每個表側凹部4A、4C、6A、7A及背側凹部4B、4D、6B、7B之間設置通孔部8、8A之情形，但是不限定於此，可以是每隔1個或每隔2個等，而不需要在所有的間隔設置。
1、1A、1B、1C‧‧‧遊星輪基板
2‧‧‧工件保持孔
3、3A、3B、3C‧‧‧樹脂插入部
4A、4C、6A、7A‧‧‧表側凹部
4B、4D、6B、7B‧‧‧背側凹部
5A、5B‧‧‧遮罩部
8、8A‧‧‧通孔部
10‧‧‧工件遊星輪
11‧‧‧外形部
13‧‧‧外緣部
31‧‧‧圓環部
32、34、36‧‧‧填充部
33、33A‧‧‧孔填充部
35‧‧‧柱狀部
41、61‧‧‧底面
42‧‧‧圓柱部（突起部）
62‧‧‧圓筒部（孔部）
71‧‧‧側面
為讓本發明之敘述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下： 圖1A係將本實施形態之工件遊星輪的工件保持孔之外緣部附近擴大以說明的平面圖； 圖1B係將本實施形態之工件遊星輪的工件保持孔之外緣部附近擴大以說明的立體圖； 圖2係說明工件遊星輪之大致結構的平面圖； 圖3A係用以說明本實施形態之工件遊星輪的製造方法之工序的遊星輪基板之表面的平面圖； 圖3B係用以說明本實施形態之工件遊星輪的製造方法之工序的遊星輪基板之背面的平面圖； 圖4A係從圖3A之A－A箭頭方向看的剖面圖； 圖4B係從圖3B之B－B箭頭方向看的剖面圖； 圖5係顯示遊星輪基板與樹脂插入部被一體化之狀態的立體圖； 圖6係將實施例1之工件遊星輪的工件保持孔之外緣部附近擴大以說明的立體圖； 圖7A係從圖6之C－C箭頭方向看的剖面圖； 圖7B係從圖6之D－D箭頭方向看的剖面圖； 圖8係將實施例2之工件遊星輪的工件保持孔之外緣部附近擴大以說明的立體圖； 圖9A係說明圖8之E－E箭頭方向的位置中在實施例2的工件保持孔之內周面設置樹脂插入部的結構之剖面圖； 圖9B係說明圖8之F－F箭頭方向的位置中在實施例2的工件保持孔之內周面設置樹脂插入部的結構之剖面圖；以及 圖10係將實施例3之工件遊星輪的工件保持孔之外緣部附近擴大以說明的平面圖。
Claims (8)
- 一種工件遊星輪，係沿著形成在金屬製之遊星輪基板上的工件保持孔之內周面設置樹脂插入部，其中： 在成為前述工件保持孔的外緣部之前述遊星輪基板上，於圓周方向交替地形成有分別向表背方向凹陷之表側凹部及背側凹部，並且， 通孔部被設置為與前述表側凹部及背側凹部連續並貫穿前述表背方向， 沿著前述表側凹部、背側凹部及通孔部以及前述工件保持孔之內周面的部分塡充有成為樹脂插入部之合成樹脂材料。
- 如申請專利範圍第1項所述之工件遊星輪，其中在圓周方向隔開間距設置前述表側凹部及前述背側凹部。
- 如申請專利範圍第2項所述之工件遊星輪，其中前述通孔部係設置在每個前述表側凹部及前述背側凹部之間。
- 如申請專利範圍第1項所述之工件遊星輪，其中在前述表側凹部及背側凹部的底面設置突起部或孔部，在前述突起部的周圍或前述孔部的內部塡充前述樹脂插入部之一部分。
- 如申請專利範圍第2項所述之工件遊星輪，其中在前述表側凹部及背側凹部的底面設置突起部或孔部，在前述突起部的周圍或前述孔部的內部塡充前述樹脂插入部之一部分。
- 如申請專利範圍第3項所述之工件遊星輪，其中在前述表側凹部及背側凹部的底面設置突起部或孔部，在前述突起部的周圍或前述孔部的內部塡充前述樹脂插入部之一部分。
- 如申請專利範圍第1至6項中任一項所述之工件遊星輪，其中在前述表側凹部及背側凹部之前述工件保持孔的中心側設置狹窄部。
- 一種工件遊星輪的製造方法，係製造如申請專利範圍第1至7項中任一項所述之工件遊星輪的方法，具備： 遮罩形成工序，用以以預定的繪製圖案在前述遊星輪基板的表面及背面形成遮罩； 附著工序，用以使蝕刻液附著於形成遮罩之前述遊星輪基板上；及 設置工序，用以對藉由前述蝕刻液加工之前述遊星輪基板設置前述樹脂插入部。
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