JP2010179375A - 被研磨物キャリア及び研磨製品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハの平面研磨などで使用される被研磨物キャリア100Aは、被研磨物保持穴105Aを囲む内壁106Aに、研磨物を保護するための樹脂製インサート104Aを有する。インサート104Aの摩耗や変形を減らすために、インサート104Aの径方向の幅(内壁106Aの最小内径とインサート104Aの最小内径との差)は、1mm未満で、望ましくは0.5mmである。内壁106Aの径方向断面形状は、その上端部と下端部が中央部より径方向内方へ突出した凹形であり、それにより、インサート104Aの摩耗部分である上面部と下面部の径方向長さが最小になる。
【選択図】図5
Description
102、102A、102B、102C、102D キャリア本体
104、104A、104B、104C、104D インサート
105 被研磨物保持穴
108 ギア歯列
110 ウェーハ
120 研磨装置
130、140 研磨パッド
150 上定盤
160 下定盤
Claims (6)
- 被研磨物を収容するための貫通穴を有するキャリア本体と、
前記キャリア本体の前記貫通穴を囲む内壁の内側に取り付けられた、前記内壁の材料より柔軟な材料製のインサートと
を備える被研磨物キャリアにおいて、
前記キャリア本体の前記内壁の径方向断面形状が、前記内壁の上端部と下端部が中央部より径方向内方へ突出した凹形であり、
前記インサートの最小内径が、前記キャリア本体の前記内壁の最小内径より、所定幅だけ小さい、被研磨物キャリア。 - 請求項1記載の被研磨物キャリアにおいて、
前記所定幅が1mm未満である、被研磨物キャリア。 - 請求項1記載の被研磨物キャリアにおいて、
前記所定幅がほぼ0.5mmである、被研磨物キャリア。 - 被研磨物を収容するための貫通穴を有するキャリア本体と、
前記キャリア本体の前記貫通穴を囲む内壁の内側に取り付けられた、前記内壁の材料より柔軟な材料製のインサートと
を備える被研磨物キャリアにおいて、
前記インサートの最小内径が、前記キャリア本体の前記内壁の最小内径より、所定幅だけ小さく、
前記所定幅が1mm未満である、被研磨物キャリア。 - 請求湯項4記載の被研磨物キャリアにおいて、
前記所定幅がほぼ0.5mmである、被研磨物キャリア。 - 被研磨物キャリアに被研磨物を収容するステップと、
前記被研磨物を収容した前記被研磨物キャリアを上定盤と下定盤の間に挟むステップと、
前記上定盤と下定盤とに挟まれた前記被研磨物キャリアを、前記上定盤と下定盤に対して相対的に移動させることにより、前記被研磨物の上面または下面を研磨するステップと
を有する研磨製品の製造方法において、
前記被研磨物キャリアが、
被研磨物を収容するための貫通穴を有するキャリア本体と、前記キャリア本体の前記貫通穴を囲む内壁の内側に取り付けられた、前記内壁の材料より柔軟な材料製のインサートとを備え、
前記キャリア本体の前記内壁の径方向断面形状が、前記内壁の上端部と下端部が中央部より径方向内方へ突出した凹形であり、
前記インサートの最小内径が、前記キャリア本体の前記内壁の最小内径より、所定幅だけ小さい、研磨製品の製造方法。
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