JP2018144221A - 両面研磨装置用キャリア - Google Patents
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Abstract
Description
両面研磨装置用キャリアとして、キャリア母材30の保持孔内周に形成された凹凸部の凹部50aの切り欠き部分の形状が台形で、隣接する凹部50aの中心同士の距離dが9.6mmのキャリア母材30と、インサート材40とを嵌合させ、図2に示すような両面研磨装置用キャリア10を製造した。
両面研磨装置用キャリアとして、キャリア母材3の保持孔内周に形成された凹凸部5の凹部5aの切り欠き部分の形状が台形で、隣接する凹部5aの中心同士の距離dが19.1mmのキャリア母材3と、インサート材4とを嵌合させ、図1に示すような両面研磨装置用キャリア1を製造した。実施例1のd(19.1mm)は、比較例1のd(9.6mm)の約2倍である。
比較例1の両面研磨装置用キャリアを基準としたときの、キャリア母材の保持孔周辺の歪み量が異なる両面研磨装置用キャリア(比較例2〜4)の保持孔周辺の歪み量(倍率)及びフラットネス(nm)との関係を表1及び図7に示す。結果、歪み量が少ない程、フラットネスが良好であることが確認された。
比較例1と同様にして、両面研磨装置用キャリアとして、キャリア母材30の保持孔内周に形成された凹凸部の凹部50aの切り欠き部分の形状が台形で、隣接する凹部50aの中心同士の距離dが62mmのキャリア母材30と、インサート材40とを嵌合させ、図2に示すような両面研磨装置用キャリア10を製造した。
Claims (3)
- ウェーハを両面研磨する両面研磨装置において配設され、研磨の際にウェーハを保持するための保持孔が形成されたキャリア母材と、前記保持孔の内周に沿って配置され、前記ウェーハの外周部と接する内周部が形成されたインサート材とを有する両面研磨装置用キャリアであって、
前記キャリア母材は、前記保持孔の内周に沿って凹凸部が周期的に形成されたものであり、該凹凸部における隣接する凹部の中心同士の距離が10mm以上60mm以下であり、前記キャリア母材の面方向において前記凹凸部における凸部の面積が凹部の切り欠き部分の面積よりも大きいものであり、
前記インサート材は、前記保持孔の内周に形成された前記凹凸部と嵌合可能である凹凸部が外周部に周期的に形成されたものであり、
前記キャリア母材の前記保持孔の内周に形成された前記凹凸部と、前記インサート材の外周部に形成された前記凹凸部とが嵌合したものであることを特徴とする両面研磨装置用キャリア。 - 前記キャリア母材の前記保持孔の内周に形成された前記凹部の切り欠き部分の形状が三角形、長方形、台形、楔形、鍵穴形、U字形、円形のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置用キャリア。
- 前記キャリア母材の前記保持孔の内周に形成された凹凸部は、前記キャリア母材の面方向における前記凸部の面積が前記凹部の切り欠き部分の面積の四倍以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の両面研磨装置用キャリア。
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