JP2002018708A - 被研磨物保持材及びその製造方法 - Google Patents
被研磨物保持材及びその製造方法Info
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
- B24B41/067—Work supports, e.g. adjustable steadies radially supporting workpieces
Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属板からなる被研磨物保持材において、保
持穴の内周部に樹脂部を形成する際、生産性が高く低コ
ストで、しかも接着剤等を使用しなくとも樹脂部が接着
部分から脱落しない被研磨物保持材の製造方法及び被研
磨物保持材を提供すること。 【解決手段】 金属板の貫通穴の内周面を面取り又はア
ンカー加工し、当該貫通穴の内周面に熱可塑性樹脂を射
出成形することによって、当該貫通穴の全面に樹脂部を
形成し、この樹脂部の周辺部分を残して切削除去するこ
とによって被研磨物保持穴を形成する。
持穴の内周部に樹脂部を形成する際、生産性が高く低コ
ストで、しかも接着剤等を使用しなくとも樹脂部が接着
部分から脱落しない被研磨物保持材の製造方法及び被研
磨物保持材を提供すること。 【解決手段】 金属板の貫通穴の内周面を面取り又はア
ンカー加工し、当該貫通穴の内周面に熱可塑性樹脂を射
出成形することによって、当該貫通穴の全面に樹脂部を
形成し、この樹脂部の周辺部分を残して切削除去するこ
とによって被研磨物保持穴を形成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハー、
ハードディスク用アルミディスクやガラスディスク、液
晶表示用ガラス基板及びディスク状セラミックス等から
なるディスク状被研磨物を平面研磨装置で研磨加工する
際、被研磨物の保持に使用される被研磨物保持材及びそ
の製造方法に関するものである。
ハードディスク用アルミディスクやガラスディスク、液
晶表示用ガラス基板及びディスク状セラミックス等から
なるディスク状被研磨物を平面研磨装置で研磨加工する
際、被研磨物の保持に使用される被研磨物保持材及びそ
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ラップ盤などの平面研磨装置を
使用して、半導体ウェハー、ハードディスク用アルミデ
ィスクやガラスディスク、液晶表示用ガラス基板及びデ
ィスク状セラミックス等からなるディスク状被研磨物を
研磨加工する場合、該被研磨物の保持に図１１に示すよ
うな被研磨物保持材が使用される。この被研磨物保持材
３０は、被研磨物３１を保持するための数穴〜数十穴の
被研磨物保持穴３２を有すると共に、平面研磨装置の太
陽歯車及び内歯歯車と歯合するギヤ３３を外周に備えた
ものである。
使用して、半導体ウェハー、ハードディスク用アルミデ
ィスクやガラスディスク、液晶表示用ガラス基板及びデ
ィスク状セラミックス等からなるディスク状被研磨物を
研磨加工する場合、該被研磨物の保持に図１１に示すよ
うな被研磨物保持材が使用される。この被研磨物保持材
３０は、被研磨物３１を保持するための数穴〜数十穴の
被研磨物保持穴３２を有すると共に、平面研磨装置の太
陽歯車及び内歯歯車と歯合するギヤ３３を外周に備えた
ものである。
【０００３】被研磨物保持材としては、例えば、ＳＫ鋼
やステンレス鋼のような金属板からなる金属製保持材、
金属製保持材の表面に樹脂コーティングを施した保持材
（実開昭５８−４３４９号公報）、炭素繊維に樹脂を含
浸させた積層板保持材（特開昭５８−１４３９５４号公
報）などが知られている。金属板からなる金属製被研磨
物保持材は、その後開発された樹脂板からなる被研磨物
保持材に比べて、研磨耐久性においては１０倍以上の寿
命をもつものであるが、被研磨物保持穴において、金属
と被研磨物とが接触することによって被研磨物にワレや
欠け等の傷を発生させることがあり、研磨物の歩留りを
大巾に低下させるという欠点をもっている。
やステンレス鋼のような金属板からなる金属製保持材、
金属製保持材の表面に樹脂コーティングを施した保持材
（実開昭５８−４３４９号公報）、炭素繊維に樹脂を含
浸させた積層板保持材（特開昭５８−１４３９５４号公
報）などが知られている。金属板からなる金属製被研磨
物保持材は、その後開発された樹脂板からなる被研磨物
保持材に比べて、研磨耐久性においては１０倍以上の寿
命をもつものであるが、被研磨物保持穴において、金属
と被研磨物とが接触することによって被研磨物にワレや
欠け等の傷を発生させることがあり、研磨物の歩留りを
大巾に低下させるという欠点をもっている。
【０００４】このような被研磨物のワレや欠けを防止す
る対策として、被研磨物保持穴の内周に沿って樹脂部が
形成されたものがあるが、この被研磨物保持材は金属板
と同じ厚さの樹脂板を切削加工し、被研磨物保持穴の内
周に嵌合して金属と樹脂の接触面を接着剤で固定する方
法により作製されたものであった。この被研磨物保持材
は被研磨物にワレや欠け等の傷を発生させないという点
ではそれなりの効果を奏するものの、接着信頼性に乏し
く、樹脂が接着部分から容易に脱落してしまう。また、
作製工程が多くて複雑であり、生産性が低く、コスト高
になることから広く普及するには到らなかった。
る対策として、被研磨物保持穴の内周に沿って樹脂部が
形成されたものがあるが、この被研磨物保持材は金属板
と同じ厚さの樹脂板を切削加工し、被研磨物保持穴の内
周に嵌合して金属と樹脂の接触面を接着剤で固定する方
法により作製されたものであった。この被研磨物保持材
は被研磨物にワレや欠け等の傷を発生させないという点
ではそれなりの効果を奏するものの、接着信頼性に乏し
く、樹脂が接着部分から容易に脱落してしまう。また、
作製工程が多くて複雑であり、生産性が低く、コスト高
になることから広く普及するには到らなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、金属板からなる被研磨物保持材において、保持穴の
内周部に樹脂部を形成する際、生産性が高く低コスト
で、しかも接着剤等を使用しなくとも樹脂が接着部分か
ら脱落しない被研磨物保持材の製造方法及び被研磨物保
持材を提供することにある。
は、金属板からなる被研磨物保持材において、保持穴の
内周部に樹脂部を形成する際、生産性が高く低コスト
で、しかも接着剤等を使用しなくとも樹脂が接着部分か
ら脱落しない被研磨物保持材の製造方法及び被研磨物保
持材を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる実情において、本
発明者らは鋭意検討を行った結果、被研磨物を保持する
ための貫通穴を加工した金属板を用意し、当該貫通穴の
周辺部の一部又は全部に面取りを施し、次いで、当該貫
通穴の面取り部分及び貫通部分に樹脂を射出成形する
か、あるいは当該貫通穴の内側の面に貫通の切り込みを
複数個設け、該貫通の切り込みにより形成された突出部
の一部又は全部に面取りを施すか、あるいは該突出部の
先端側面に凹凸状を形成し、次いで、当該貫通穴の貫通
の切り込み部分及び貫通部分に樹脂を射出成形するか、
あるいはプリプレグを積層成型して加熱加圧プレスする
ことにより、加工された貫通穴に樹脂あるいは樹脂積層
成型物を形成し、次いで、当該貫通穴の内周部に必要量
の樹脂部を残して切削除去すれば、生産性が高く低コス
トで、しかも樹脂又は樹脂積層成型物が接着部分から脱
落しない被研磨物保持材が作製できることなどを見出
し、本発明を完成するに至った。
発明者らは鋭意検討を行った結果、被研磨物を保持する
ための貫通穴を加工した金属板を用意し、当該貫通穴の
周辺部の一部又は全部に面取りを施し、次いで、当該貫
通穴の面取り部分及び貫通部分に樹脂を射出成形する
か、あるいは当該貫通穴の内側の面に貫通の切り込みを
複数個設け、該貫通の切り込みにより形成された突出部
の一部又は全部に面取りを施すか、あるいは該突出部の
先端側面に凹凸状を形成し、次いで、当該貫通穴の貫通
の切り込み部分及び貫通部分に樹脂を射出成形するか、
あるいはプリプレグを積層成型して加熱加圧プレスする
ことにより、加工された貫通穴に樹脂あるいは樹脂積層
成型物を形成し、次いで、当該貫通穴の内周部に必要量
の樹脂部を残して切削除去すれば、生産性が高く低コス
トで、しかも樹脂又は樹脂積層成型物が接着部分から脱
落しない被研磨物保持材が作製できることなどを見出
し、本発明を完成するに至った。
【０００７】すなわち、本発明（１）は、被研磨物を保
持するための貫通穴を加工した金属板において、当該貫
通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施し、その周辺
部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆してなる
ことを特徴とする被研磨物保持材を提供するものであ
る。
持するための貫通穴を加工した金属板において、当該貫
通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施し、その周辺
部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆してなる
ことを特徴とする被研磨物保持材を提供するものであ
る。
【０００８】また、本発明（２）は、被研磨物を保持す
るための貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴
の内面に貫通の切り込みを複数個設け、該貫通の切り込
みにより形成された突出部の一部又は全部に面取りを施
すか、又は該突出部の先端側面に凹凸状を形成し、該貫
通穴の周辺部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被
覆してなることを特徴とする被研磨物保持材を提供する
ものである。
るための貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴
の内面に貫通の切り込みを複数個設け、該貫通の切り込
みにより形成された突出部の一部又は全部に面取りを施
すか、又は該突出部の先端側面に凹凸状を形成し、該貫
通穴の周辺部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被
覆してなることを特徴とする被研磨物保持材を提供する
ものである。
【０００９】また、本発明（３）は、被研磨物を保持す
るための貫通穴を有し、当該貫通穴の周辺部の一部又は
全部に面取りを施した金属板を成形金型に装着し、当該
面取り部を含む貫通穴部分に樹脂を射出成形し、次い
で、当該貫通穴に成形された樹脂を該貫通穴の内周部に
必要量の樹脂部を残して切削除去し、被研磨物保持穴を
形成することを特徴とする被研磨物保持材の製造方法を
提供するものである。
るための貫通穴を有し、当該貫通穴の周辺部の一部又は
全部に面取りを施した金属板を成形金型に装着し、当該
面取り部を含む貫通穴部分に樹脂を射出成形し、次い
で、当該貫通穴に成形された樹脂を該貫通穴の内周部に
必要量の樹脂部を残して切削除去し、被研磨物保持穴を
形成することを特徴とする被研磨物保持材の製造方法を
提供するものである。
【００１０】また、本発明（４）は、被研磨物を保持す
るための貫通穴を有し、当該貫通穴の内面に貫通の切り
込みを複数個設け、該貫通の切り込みにより形成された
突出部の一部又は全部に面取りを施すか、又は該突出部
の先端側面に凹凸状を形成した金属板を成形金型に装着
し、当該貫通の切り込み部を含む貫通穴部分に樹脂を射
出成形し、次いで、当該貫通穴に成形された樹脂を該貫
通穴の内周部に必要量の樹脂部を残して切削除去し、被
研磨物保持穴を形成することを特徴とする被研磨物保持
材の製造方法を提供するものである。
るための貫通穴を有し、当該貫通穴の内面に貫通の切り
込みを複数個設け、該貫通の切り込みにより形成された
突出部の一部又は全部に面取りを施すか、又は該突出部
の先端側面に凹凸状を形成した金属板を成形金型に装着
し、当該貫通の切り込み部を含む貫通穴部分に樹脂を射
出成形し、次いで、当該貫通穴に成形された樹脂を該貫
通穴の内周部に必要量の樹脂部を残して切削除去し、被
研磨物保持穴を形成することを特徴とする被研磨物保持
材の製造方法を提供するものである。
【００１１】また、本発明（５）は、被研磨物を保持す
るための貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴
の周辺部の一部又は全部に面取りを施し、該貫通穴に当
該貫通穴形状の熱硬化性樹脂プリプレグを嵌合させ、そ
の後、加熱加圧プレスにより当該貫通穴の全面に樹脂積
層成型物を形成し、次いで、当該樹脂積層成型物を該貫
通穴の内周部に必要量の樹脂積層成型物を残して切削除
去し、被研磨物保持穴を形成することを特徴とする被研
磨物保持材の製造方法を提供するものである。
るための貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴
の周辺部の一部又は全部に面取りを施し、該貫通穴に当
該貫通穴形状の熱硬化性樹脂プリプレグを嵌合させ、そ
の後、加熱加圧プレスにより当該貫通穴の全面に樹脂積
層成型物を形成し、次いで、当該樹脂積層成型物を該貫
通穴の内周部に必要量の樹脂積層成型物を残して切削除
去し、被研磨物保持穴を形成することを特徴とする被研
磨物保持材の製造方法を提供するものである。
【００１２】また、本発明（６）は、被研磨物を保持す
るための貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴
の内面に貫通の切り込みを複数個設け、該貫通の切り込
みにより形成された突出部の一部又は全部に面取りを施
すか、又は該突出部の先端側面に凹凸状を形成し、該貫
通穴に当該貫通穴形状の熱硬化性樹脂プリプレグを嵌合
させ、その後、加熱加圧プレスにより当該貫通穴の全面
に樹脂積層成型物を形成し、次いで、当該樹脂積層成型
物を該貫通穴の内周部に必要量の樹脂積層成型物を残し
て切削除去し、被研磨物保持穴を形成することを特徴と
する被研磨物保持材の製造方法を提供するものである。
るための貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴
の内面に貫通の切り込みを複数個設け、該貫通の切り込
みにより形成された突出部の一部又は全部に面取りを施
すか、又は該突出部の先端側面に凹凸状を形成し、該貫
通穴に当該貫通穴形状の熱硬化性樹脂プリプレグを嵌合
させ、その後、加熱加圧プレスにより当該貫通穴の全面
に樹脂積層成型物を形成し、次いで、当該樹脂積層成型
物を該貫通穴の内周部に必要量の樹脂積層成型物を残し
て切削除去し、被研磨物保持穴を形成することを特徴と
する被研磨物保持材の製造方法を提供するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第１実施の形態に
おける被研磨物保持材を図１〜図６を参照して説明す
る。図１は本実施の形態例における被研磨物保持材の全
体図、図２は図１の一つの保持穴の拡大図、図３は射出
成形前の貫通穴の部分図、図４は図２のＡ−Ａ線に沿っ
て見た端面図、図５は図２のＢ−Ｂ線に沿って見た端面
図、図６は図４の面取り部の他の例をそれぞれ示す。被
研磨物保持材１０は、被研磨物（不図示）を保持するた
めの数穴〜数十穴（図２では１８穴）の被研磨物保持穴
１を有すると共に、平面研磨装置の太陽歯車及び内歯歯
車と歯合する駆動用ギヤ５を外周に備えたものである。
おける被研磨物保持材を図１〜図６を参照して説明す
る。図１は本実施の形態例における被研磨物保持材の全
体図、図２は図１の一つの保持穴の拡大図、図３は射出
成形前の貫通穴の部分図、図４は図２のＡ−Ａ線に沿っ
て見た端面図、図５は図２のＢ−Ｂ線に沿って見た端面
図、図６は図４の面取り部の他の例をそれぞれ示す。被
研磨物保持材１０は、被研磨物（不図示）を保持するた
めの数穴〜数十穴（図２では１８穴）の被研磨物保持穴
１を有すると共に、平面研磨装置の太陽歯車及び内歯歯
車と歯合する駆動用ギヤ５を外周に備えたものである。
【００１４】被研磨物保持穴１は金属板４に形成された
貫通穴の周辺部４２及び内面部４１が樹脂２（図２の斜
線部及び図３の二点鎖線部）で被覆された構造である。
このような構造の被研磨物保持穴１は次のように形成さ
れる。すなわち、先ず、金属板４に被研磨物保持穴の最
終内径ｄ1 より２〜７mm大きい内径ｄ2 の円形状の貫通
穴を形成する。貫通穴の数は、特に制限されず、数穴か
ら数十穴まで被研磨物の種類によって適宜に選ばれる。
次いで、当該内径ｄ2 の円形状の貫通穴の内面に一定の
間隔ｐで、貫通の切り込み（以下、「アンカー」とも言
う）６を形成する。アンカー６は本第１の実施の形態例
においては、任意の構成要素であるが、後に射出成形さ
れる樹脂部２と金属板４とを強固に一体化させる点で設
けることが好ましい。アンカー６としては、設置数、切
り込み形状、切り込み深さなどは特に制限されず、適宜
のものが選択される。図２では、アンカー６の設置数は
１８、切り込み形状は台形状、切り込み深さは（ｄ3 −
ｄ2 ）／２である。
貫通穴の周辺部４２及び内面部４１が樹脂２（図２の斜
線部及び図３の二点鎖線部）で被覆された構造である。
このような構造の被研磨物保持穴１は次のように形成さ
れる。すなわち、先ず、金属板４に被研磨物保持穴の最
終内径ｄ1 より２〜７mm大きい内径ｄ2 の円形状の貫通
穴を形成する。貫通穴の数は、特に制限されず、数穴か
ら数十穴まで被研磨物の種類によって適宜に選ばれる。
次いで、当該内径ｄ2 の円形状の貫通穴の内面に一定の
間隔ｐで、貫通の切り込み（以下、「アンカー」とも言
う）６を形成する。アンカー６は本第１の実施の形態例
においては、任意の構成要素であるが、後に射出成形さ
れる樹脂部２と金属板４とを強固に一体化させる点で設
けることが好ましい。アンカー６としては、設置数、切
り込み形状、切り込み深さなどは特に制限されず、適宜
のものが選択される。図２では、アンカー６の設置数は
１８、切り込み形状は台形状、切り込み深さは（ｄ3 −
ｄ2 ）／２である。
【００１５】次に、貫通穴（内径ｄ2 ）の円周上の上方
コーナー部又は下方コーナー部、すなわち、複数の貫通
の切り込みで形成される突出部８の上方部又は下方部に
面取り部３、３を形成する。面取り処理は、後に射出成
形される樹脂部２が上方向又は下方向に脱落することを
防止する。この面取り部は貫通穴（内径ｄ2 ）の円周上
の上方コーナー部又は下方コーナー部のいずれか一方の
形成であっても、双方の形成であってもどちらでもよい
が、いずれか一方の面取り（片面）の場合、互いに隣接
する突出部８、８は面取り面が上下交互となるように行
うことが、樹脂が接着面から脱落し難くなる点で好まし
い。面取り処理は、全円周に亘ってもよいし、不連続に
円周の一部分を加工してもよい。面取り部３、３の形態
としては、例えば、面取り後の当該部分の断面形状が、
台形状（図３）、矩形状（図６）、及び二次曲線で囲ま
れる不定形状（不図示）など種々のものが採り得、この
うち、台形状のものが加工が容易である点で好ましい。
面取り部３、３の形態が台形状の場合、面取りの深さ
（ｈ1 ）は、金属板厚みの１／３以上、１／２未満程度
とすることが好ましい。また、板厚が０．２mm以下の場
合、片面のみの面取りとし、この場合、面取り深さは金
属板厚みの１／３以上、１／２未満程度とすることが好
ましい。また、面取り部の半径方向の長さは特に制限さ
れないが、０．１mm〜板厚の2 倍程度とするのが好まし
い。また、面取り部３、３の表面は、形成される樹脂部
の脱落を防止することが目的であるから、精度は厳密に
は要求されず、むしろ表面粗さを大きくすることが樹脂
との接着を強固にする点で好ましい。また、面取り加工
方法としては、特に制限されないが、砥石による研削法
が、最も簡便で低コストな方法である点で好適である。
コーナー部又は下方コーナー部、すなわち、複数の貫通
の切り込みで形成される突出部８の上方部又は下方部に
面取り部３、３を形成する。面取り処理は、後に射出成
形される樹脂部２が上方向又は下方向に脱落することを
防止する。この面取り部は貫通穴（内径ｄ2 ）の円周上
の上方コーナー部又は下方コーナー部のいずれか一方の
形成であっても、双方の形成であってもどちらでもよい
が、いずれか一方の面取り（片面）の場合、互いに隣接
する突出部８、８は面取り面が上下交互となるように行
うことが、樹脂が接着面から脱落し難くなる点で好まし
い。面取り処理は、全円周に亘ってもよいし、不連続に
円周の一部分を加工してもよい。面取り部３、３の形態
としては、例えば、面取り後の当該部分の断面形状が、
台形状（図３）、矩形状（図６）、及び二次曲線で囲ま
れる不定形状（不図示）など種々のものが採り得、この
うち、台形状のものが加工が容易である点で好ましい。
面取り部３、３の形態が台形状の場合、面取りの深さ
（ｈ1 ）は、金属板厚みの１／３以上、１／２未満程度
とすることが好ましい。また、板厚が０．２mm以下の場
合、片面のみの面取りとし、この場合、面取り深さは金
属板厚みの１／３以上、１／２未満程度とすることが好
ましい。また、面取り部の半径方向の長さは特に制限さ
れないが、０．１mm〜板厚の2 倍程度とするのが好まし
い。また、面取り部３、３の表面は、形成される樹脂部
の脱落を防止することが目的であるから、精度は厳密に
は要求されず、むしろ表面粗さを大きくすることが樹脂
との接着を強固にする点で好ましい。また、面取り加工
方法としては、特に制限されないが、砥石による研削法
が、最も簡便で低コストな方法である点で好適である。
【００１６】次に、本発明の第２実施の形態における被
研磨物保持材を図７〜図９を参照して説明する。図７は
射出成型前の貫通穴の部分図、図８は射出成型前の他の
貫通穴の部分図、図９は射出成型前の他の貫通穴の部分
図をぞれぞれ示す。図７〜図９において、図３と同一構
成要素には同一符号を付して、その説明を省略し、異な
る点についてのみ主に説明する。すなわち、図７におい
て、図３と異なる点は貫通穴の周辺部に面取り部が無
く、且つ貫通により形成される突出部８の先端側面９に
斜め縦方向の溝部８１を形成した点である。この斜め縦
方向の溝部８１は、隣接する他の突出部８の先端側面９
では、その傾きが逆の斜め縦方向の溝部８１を形成して
いる。このような交互の傾きを繰り返し採ることによ
り、貫通穴の接着部分から樹脂が上方向又は下方向に脱
落し難くなる。この突出部８の先端側面９に形成される
凹凸状のものは、上記斜め縦方向の溝部８１に限定され
ず、例えば、ディンプル状の凹凸物（図８）、横方向に
配設される突状物８３ａと溝部８３ｂの凹凸物（図９）
などが挙げられる。本第２の実施の形態例では、貫通の
切り込み（アンカー６）が必須の構成要素であり、これ
により形成された突出部には、例えば、図７〜図９に示
すように突出部８の先端側面９に凹凸状を形成し、この
貫通穴の内周部４１を樹脂で被覆してなるものである。
また、樹脂は貫通穴の内周部４１のみならず、内周部４
１に連続する金属板の上部表面や下部表面の周辺部４２
に極薄い被膜が形成されてもよい。また、この突出部８
には、突出部の一部又は全部に面取りを施すようにして
もよい（不図示）。このような面取り処理を行った場合
は、上記の突出部８の先端側面９に凹凸状を省略するこ
ともできる。
研磨物保持材を図７〜図９を参照して説明する。図７は
射出成型前の貫通穴の部分図、図８は射出成型前の他の
貫通穴の部分図、図９は射出成型前の他の貫通穴の部分
図をぞれぞれ示す。図７〜図９において、図３と同一構
成要素には同一符号を付して、その説明を省略し、異な
る点についてのみ主に説明する。すなわち、図７におい
て、図３と異なる点は貫通穴の周辺部に面取り部が無
く、且つ貫通により形成される突出部８の先端側面９に
斜め縦方向の溝部８１を形成した点である。この斜め縦
方向の溝部８１は、隣接する他の突出部８の先端側面９
では、その傾きが逆の斜め縦方向の溝部８１を形成して
いる。このような交互の傾きを繰り返し採ることによ
り、貫通穴の接着部分から樹脂が上方向又は下方向に脱
落し難くなる。この突出部８の先端側面９に形成される
凹凸状のものは、上記斜め縦方向の溝部８１に限定され
ず、例えば、ディンプル状の凹凸物（図８）、横方向に
配設される突状物８３ａと溝部８３ｂの凹凸物（図９）
などが挙げられる。本第２の実施の形態例では、貫通の
切り込み（アンカー６）が必須の構成要素であり、これ
により形成された突出部には、例えば、図７〜図９に示
すように突出部８の先端側面９に凹凸状を形成し、この
貫通穴の内周部４１を樹脂で被覆してなるものである。
また、樹脂は貫通穴の内周部４１のみならず、内周部４
１に連続する金属板の上部表面や下部表面の周辺部４２
に極薄い被膜が形成されてもよい。また、この突出部８
には、突出部の一部又は全部に面取りを施すようにして
もよい（不図示）。このような面取り処理を行った場合
は、上記の突出部８の先端側面９に凹凸状を省略するこ
ともできる。
【００１７】本発明の被研磨物保持材は、貫通穴の周辺
部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆してなる
ものである。貫通穴の内周部とは、貫通穴の内側端面を
言い、貫通穴の周辺部とは、該内周部に連続する金属板
の上部表面や下部表面の近傍を言う。樹脂としては、特
に制限されないが、射出成型法により作製される場合
は、熱可塑性樹脂が優れた射出成形性を示す点で好まし
い。具体的には、全芳香族液晶ポリエステル（ＬＣ
Ｐ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリア
セタール（ＰＯＭ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などが
強度、耐摩耗性、耐薬品性及び成形時の流動性などの点
から好ましい。樹脂は、ストレート樹脂（無補強）又は
短繊維ガラスで補強された補強樹脂のいずれも使用でき
る。ストレート樹脂はガラス粉の発生を防止する必要の
ある場合に使用される。また、ポリプロピレン（ＰＰ）
は、強度の点で使用できる範囲が限定されるが、最も汎
用的な樹脂であり、且つ成形性、耐薬品性、耐摩耗性に
おいて優れた性質をもっている点で使用可能である。そ
の他、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）も使用で
きる。また、本発明において、樹脂積層成型物として
は、基材となる織布又は不織布にマトリックス熱硬化性
樹脂を含浸させたプリプレグの積層成型物を加熱加圧プ
レスしたものである。マトリックス熱硬化性樹脂として
は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びジアリルフタレ
ート樹脂等が挙げられ、熱硬化性樹脂を含浸させる基材
としては、ガラス繊維、液晶性芳香族ポリエステル繊維
などのポリエステル繊維、アラミド繊維、木綿及びセル
ロース繊維等が挙げられる。基材にマトリックス熱硬化
性樹脂を含浸させたプリプレグの樹脂含有量は、特に制
限されず、成型後に要求される樹脂積層成型物の厚さに
よって適宜調整されるが、３０〜７０％の含浸量とする
ことが好ましい。
部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆してなる
ものである。貫通穴の内周部とは、貫通穴の内側端面を
言い、貫通穴の周辺部とは、該内周部に連続する金属板
の上部表面や下部表面の近傍を言う。樹脂としては、特
に制限されないが、射出成型法により作製される場合
は、熱可塑性樹脂が優れた射出成形性を示す点で好まし
い。具体的には、全芳香族液晶ポリエステル（ＬＣ
Ｐ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリア
セタール（ＰＯＭ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などが
強度、耐摩耗性、耐薬品性及び成形時の流動性などの点
から好ましい。樹脂は、ストレート樹脂（無補強）又は
短繊維ガラスで補強された補強樹脂のいずれも使用でき
る。ストレート樹脂はガラス粉の発生を防止する必要の
ある場合に使用される。また、ポリプロピレン（ＰＰ）
は、強度の点で使用できる範囲が限定されるが、最も汎
用的な樹脂であり、且つ成形性、耐薬品性、耐摩耗性に
おいて優れた性質をもっている点で使用可能である。そ
の他、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）も使用で
きる。また、本発明において、樹脂積層成型物として
は、基材となる織布又は不織布にマトリックス熱硬化性
樹脂を含浸させたプリプレグの積層成型物を加熱加圧プ
レスしたものである。マトリックス熱硬化性樹脂として
は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びジアリルフタレ
ート樹脂等が挙げられ、熱硬化性樹脂を含浸させる基材
としては、ガラス繊維、液晶性芳香族ポリエステル繊維
などのポリエステル繊維、アラミド繊維、木綿及びセル
ロース繊維等が挙げられる。基材にマトリックス熱硬化
性樹脂を含浸させたプリプレグの樹脂含有量は、特に制
限されず、成型後に要求される樹脂積層成型物の厚さに
よって適宜調整されるが、３０〜７０％の含浸量とする
ことが好ましい。
【００１８】次に、本発明の第１の実施の形態における
被研磨物保持材１０を製造する第１の法を図１０を参照
して説明する。図１０は射出成形用金型の一部を断面で
示す正面図である。被研磨物保持材１０は、内径ｄ2 の
貫通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施した金属板
４であり、これを射出成形用金型２０に装着し、当該面
取り部３、３を含む貫通穴部分に樹脂を射出成形して製
造される。射出成形用金型２０は、３プレート型とし、
固定型２１、中子型２２、可動型２３から構成されてい
る。例えば、スプール２４は固定型２１の中央にありラ
ンナー２５及び樹脂を注入するゲート（不図示）は中子
型２２に加工されている。キャビティーは、中子型２
２、可動型２３及び両者に挟まれる金属板の貫通穴によ
って形成される。各貫通穴（即ちキャビティー）には３
点のピンポイントゲート２６を設けることで樹脂の注入
性を良くしている。図中、Ｐ１及びＰ２はパーティング
ラインであり、金属板４はパーティングラインＰ２の部
分に装着される。射出成形される樹脂としては、特に制
限されないが、熱可塑性樹脂が射出成形され易いという
点で好ましい。具体的には、前述の熱可塑性樹脂と同様
のものが挙げられる。
被研磨物保持材１０を製造する第１の法を図１０を参照
して説明する。図１０は射出成形用金型の一部を断面で
示す正面図である。被研磨物保持材１０は、内径ｄ2 の
貫通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施した金属板
４であり、これを射出成形用金型２０に装着し、当該面
取り部３、３を含む貫通穴部分に樹脂を射出成形して製
造される。射出成形用金型２０は、３プレート型とし、
固定型２１、中子型２２、可動型２３から構成されてい
る。例えば、スプール２４は固定型２１の中央にありラ
ンナー２５及び樹脂を注入するゲート（不図示）は中子
型２２に加工されている。キャビティーは、中子型２
２、可動型２３及び両者に挟まれる金属板の貫通穴によ
って形成される。各貫通穴（即ちキャビティー）には３
点のピンポイントゲート２６を設けることで樹脂の注入
性を良くしている。図中、Ｐ１及びＰ２はパーティング
ラインであり、金属板４はパーティングラインＰ２の部
分に装着される。射出成形される樹脂としては、特に制
限されないが、熱可塑性樹脂が射出成形され易いという
点で好ましい。具体的には、前述の熱可塑性樹脂と同様
のものが挙げられる。
【００１９】射出成形によって金属板の貫通穴の内周
部、あるいは内周部及びその周辺部に樹脂が成型され
る。貫通穴の内周部に成型された樹脂は、その貫通穴の
内周に適当な巾で樹脂部分を残して切削除去することに
よって被研磨物保持穴を形成する。このとき内径は被研
磨物の研磨工程中での回転運動をスムーズにするために
被研磨物の外径より若干大きく設定される。このように
することで、研磨工程中に金属板と被研磨物が直接に接
触することがなくなり、傷の発生が大巾に低減できる。
また、使用済みの金属板は樹脂を除去して再利用ができ
るのでコストパフォーマンスに優れる。
部、あるいは内周部及びその周辺部に樹脂が成型され
る。貫通穴の内周部に成型された樹脂は、その貫通穴の
内周に適当な巾で樹脂部分を残して切削除去することに
よって被研磨物保持穴を形成する。このとき内径は被研
磨物の研磨工程中での回転運動をスムーズにするために
被研磨物の外径より若干大きく設定される。このように
することで、研磨工程中に金属板と被研磨物が直接に接
触することがなくなり、傷の発生が大巾に低減できる。
また、使用済みの金属板は樹脂を除去して再利用ができ
るのでコストパフォーマンスに優れる。
【００２０】第２の実施の形態例における被研磨物保持
材を製造する方法は、図７〜図９で示される金属板を成
形金型に装着し、当該貫通の切り込み部を含む貫通穴部
分に樹脂を射出成形して行うが、この方法については、
前記と同様の方法で行われる。また、射出成形によって
金属板の貫通穴の全面に樹脂が成形されるものは、その
貫通穴の内周に適当な巾で樹脂部を残して切削除去する
ことによって被研磨物保持穴を形成することも、同様で
ある。
材を製造する方法は、図７〜図９で示される金属板を成
形金型に装着し、当該貫通の切り込み部を含む貫通穴部
分に樹脂を射出成形して行うが、この方法については、
前記と同様の方法で行われる。また、射出成形によって
金属板の貫通穴の全面に樹脂が成形されるものは、その
貫通穴の内周に適当な巾で樹脂部を残して切削除去する
ことによって被研磨物保持穴を形成することも、同様で
ある。
【００２１】次に、本発明の被研磨物保持材を製造する
第２の方法を説明する。先ず、被研磨物を保持するため
の貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴の周辺
部の一部又は全部に面取りを施し、例えば、図３に示す
ような面取りされた貫通穴を得、次いで、熱硬化性樹脂
プリプレグを適宜の枚数に積層し、該貫通穴の形状に加
工したものを該貫通穴に嵌合させ、上下に離型フィルム
を貼り、その後、加熱加圧プレスにより当該貫通穴の全
面に樹脂積層成型物を形成する。この状態では、貫通穴
は完全に樹脂積層成型物で塞がれ、且つ貫通穴の周辺部
の面取り部分にも樹脂積層成型物は被覆される。次い
で、貫通穴を塞いでいる樹脂積層成型物を該貫通穴の内
周部に必要量の樹脂積層成型物を残して切削除去し、内
径ｄ1 の被研磨物保持穴を形成する。また、例えば、図
７〜図９に示すような貫通の切り込みが施された貫通穴
についても、前記と同様の方法で、該貫通穴に樹脂積層
成型物を形成でき、同様の切削工程を経て、金属板に内
径ｄ1 の被研磨物保持穴を形成することができる。この
第２の製造方法によれば、工程数は若干増えるものの、
接着剤を使用することなく、簡便な方法により、樹脂積
層成型物が接着部分から脱落し難いものとすることがで
きる。
第２の方法を説明する。先ず、被研磨物を保持するため
の貫通穴を加工した金属板において、当該貫通穴の周辺
部の一部又は全部に面取りを施し、例えば、図３に示す
ような面取りされた貫通穴を得、次いで、熱硬化性樹脂
プリプレグを適宜の枚数に積層し、該貫通穴の形状に加
工したものを該貫通穴に嵌合させ、上下に離型フィルム
を貼り、その後、加熱加圧プレスにより当該貫通穴の全
面に樹脂積層成型物を形成する。この状態では、貫通穴
は完全に樹脂積層成型物で塞がれ、且つ貫通穴の周辺部
の面取り部分にも樹脂積層成型物は被覆される。次い
で、貫通穴を塞いでいる樹脂積層成型物を該貫通穴の内
周部に必要量の樹脂積層成型物を残して切削除去し、内
径ｄ1 の被研磨物保持穴を形成する。また、例えば、図
７〜図９に示すような貫通の切り込みが施された貫通穴
についても、前記と同様の方法で、該貫通穴に樹脂積層
成型物を形成でき、同様の切削工程を経て、金属板に内
径ｄ1 の被研磨物保持穴を形成することができる。この
第２の製造方法によれば、工程数は若干増えるものの、
接着剤を使用することなく、簡便な方法により、樹脂積
層成型物が接着部分から脱落し難いものとすることがで
きる。
【００２２】
【実施例】次に、実施例を挙げて、本発明を更に具体的
に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限
するものではない。 実施例１ 板厚０．５mmのステンレス鋼板に２００枚の歯型が加工
された最外径４２７mm歯底直径４１７mmの円板内に１８
穴の貫通穴が加工されたものであり、貫通穴は７０mmφ
（ｄ2 ）の大きさでかつその周囲に１８ヶのアンカーが
設けられたものである（図１及び図２）。この貫通穴の
上方コーナー部及び下方コーナー部（アンカー部分を除
いて）を研削砥石によって面取り処理を行った。面取り
処理後の断面形状は、図３〜図５に示すような形態であ
り、面取り深さ（ｈ2 ）は約０．２mmであった。次い
で、上記金属板を金型に装着した。金型への装着は、図
８において、Ｐ２即ち中子型と可動型の間に金属板を挟
むようにして行った。樹脂は、全芳香族液晶ポリエステ
ル（「スミカスーパーＬＣＰ−Ｅ７００８」：住友化学
製）を使用して射出成形し、被研磨物保持材１を得た。
射出成形機は東芝機械ＩＳ４５０Ｆを使用し、成形条件
はシリンダー温度３６０℃、金型温度８０℃、成形時間
３０秒／１サイクルとした。
に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限
するものではない。 実施例１ 板厚０．５mmのステンレス鋼板に２００枚の歯型が加工
された最外径４２７mm歯底直径４１７mmの円板内に１８
穴の貫通穴が加工されたものであり、貫通穴は７０mmφ
（ｄ2 ）の大きさでかつその周囲に１８ヶのアンカーが
設けられたものである（図１及び図２）。この貫通穴の
上方コーナー部及び下方コーナー部（アンカー部分を除
いて）を研削砥石によって面取り処理を行った。面取り
処理後の断面形状は、図３〜図５に示すような形態であ
り、面取り深さ（ｈ2 ）は約０．２mmであった。次い
で、上記金属板を金型に装着した。金型への装着は、図
８において、Ｐ２即ち中子型と可動型の間に金属板を挟
むようにして行った。樹脂は、全芳香族液晶ポリエステ
ル（「スミカスーパーＬＣＰ−Ｅ７００８」：住友化学
製）を使用して射出成形し、被研磨物保持材１を得た。
射出成形機は東芝機械ＩＳ４５０Ｆを使用し、成形条件
はシリンダー温度３６０℃、金型温度８０℃、成形時間
３０秒／１サイクルとした。
【００２３】実施例２ 全芳香族液晶ポリエステル（「スミカスーパーＬＣＰ−
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリカーボネ
ート（「ユーピロンＳ−３０００」：三菱エンジニアリ
ングプラスチック製）を使用した以外は、実施例１と同
様の方法で被研磨物保持材２を得た。なお、成形条件は
シリンダー温度２８０℃、金型温度６５℃、成形時間３
０秒／１サイクルとした。
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリカーボネ
ート（「ユーピロンＳ−３０００」：三菱エンジニアリ
ングプラスチック製）を使用した以外は、実施例１と同
様の方法で被研磨物保持材２を得た。なお、成形条件は
シリンダー温度２８０℃、金型温度６５℃、成形時間３
０秒／１サイクルとした。
【００２４】実施例３ 全芳香族液晶ポリエステル（「スミカスーパーＬＣＰ−
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリブチレン
テレフタレート（「プラナックＢＴ−１０００」：大日
本インキ化学社製）を使用した以外は、実施例１と同様
にして被研磨物保持材３を得た。なお、成形条件はシリ
ンダー温度２３０℃、金型温度６５℃、成形時間３０秒
／１サイクルとした。
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリブチレン
テレフタレート（「プラナックＢＴ−１０００」：大日
本インキ化学社製）を使用した以外は、実施例１と同様
にして被研磨物保持材３を得た。なお、成形条件はシリ
ンダー温度２３０℃、金型温度６５℃、成形時間３０秒
／１サイクルとした。
【００２５】実施例４ 全芳香族液晶ポリエステル（「スミカスーパーＬＣＰ−
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリフェニレ
ンサルファイド（「ダイコンプＦＺ１１３０」：大日本
インキ化学社製）を使用した以外は、実施例１と同様の
方法で被研磨物保持材４を得た。なお、成形条件はシリ
ンダー温度３２０℃金型温度１３０℃、成形時間３０秒
／１サイクルとした。
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリフェニレ
ンサルファイド（「ダイコンプＦＺ１１３０」：大日本
インキ化学社製）を使用した以外は、実施例１と同様の
方法で被研磨物保持材４を得た。なお、成形条件はシリ
ンダー温度３２０℃金型温度１３０℃、成形時間３０秒
／１サイクルとした。
【００２６】実施例５ 全芳香族液晶ポリエステル（「スミカスーパーＬＣＰ−
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリアセター
ル（「ジュラコンＭ−４５０−４４」：ポリプラスチッ
ク製）を使用した以外は、実施例１と同様の方法で被研
磨物保持材５を得た。なお、成形条件はシリンダー温度
２００℃、金型温度７５℃、成形時間３０秒／１サイク
ルとした。
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリアセター
ル（「ジュラコンＭ−４５０−４４」：ポリプラスチッ
ク製）を使用した以外は、実施例１と同様の方法で被研
磨物保持材５を得た。なお、成形条件はシリンダー温度
２００℃、金型温度７５℃、成形時間３０秒／１サイク
ルとした。
【００２７】実施例６ 全芳香族液晶ポリエステル（「スミカスーパーＬＣＰ−
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリプロピレ
ン（「ノーブレンＡＸ５６８」：住友化学製）を使用し
た以外は、実施例１と同様の方法で被研磨物保持材６を
得た。なお、成形条件はシリンダー温度１８０℃、金型
温度５０℃、成形時間３０秒／１サイクルとした。
Ｅ７００８」：住友化学製）の代わりに、ポリプロピレ
ン（「ノーブレンＡＸ５６８」：住友化学製）を使用し
た以外は、実施例１と同様の方法で被研磨物保持材６を
得た。なお、成形条件はシリンダー温度１８０℃、金型
温度５０℃、成形時間３０秒／１サイクルとした。
【００２８】実施例７ ビスフェノール系エポキシ樹脂（「ＡＥＲ８０１１」旭
チバ社製）をマトリックス樹脂としてガラス繊維基材
（「ＫＳ１２２０」カネボウ社製）に含浸、乾燥させ
て、成形後の厚さが０．１mmになるようなプリプレグを
作成した。これを金属板の貫通穴の形状に打ち抜き、５
枚を重ねて貫通穴に嵌合させた。次いで、この上下に離
型フィルムを貼り、更に、これを２枚のＳＵＳ板の間に
挟み成形プレスに挿入して、加熱加圧下、貫通穴の全面
に樹脂積層成型物を形成した。貫通穴を塞ぐように形成
された樹脂積層成型物を、貫通穴の周囲に適当な幅で樹
脂積層成型物を残して切削除去し、被研磨物保持穴を形
成することにより被研磨物保持材を得た。
チバ社製）をマトリックス樹脂としてガラス繊維基材
（「ＫＳ１２２０」カネボウ社製）に含浸、乾燥させ
て、成形後の厚さが０．１mmになるようなプリプレグを
作成した。これを金属板の貫通穴の形状に打ち抜き、５
枚を重ねて貫通穴に嵌合させた。次いで、この上下に離
型フィルムを貼り、更に、これを２枚のＳＵＳ板の間に
挟み成形プレスに挿入して、加熱加圧下、貫通穴の全面
に樹脂積層成型物を形成した。貫通穴を塞ぐように形成
された樹脂積層成型物を、貫通穴の周囲に適当な幅で樹
脂積層成型物を残して切削除去し、被研磨物保持穴を形
成することにより被研磨物保持材を得た。
【００２９】実施例８ フェノール樹脂（モル比１．２、アンモニア触媒使用；
自社製）をマトリックス樹脂として木綿織布基材（「Ｂ
Ｃ−５００Ｅ」野村工業社製）に含浸、乾燥させて成形
後の厚さが０．１mmとなるようなプリプレグを作成し、
以後は実施例７と同様の方法で被研磨物保持穴を形成し
て被研磨物保持材を得た。
自社製）をマトリックス樹脂として木綿織布基材（「Ｂ
Ｃ−５００Ｅ」野村工業社製）に含浸、乾燥させて成形
後の厚さが０．１mmとなるようなプリプレグを作成し、
以後は実施例７と同様の方法で被研磨物保持穴を形成し
て被研磨物保持材を得た。
【００３０】実施例９ ジアリルフタレート樹脂（「ＤＴ−１７０」東都化成社
製）をマトリックス樹脂としてポリエステル織布基材
（「Ｔ−１１２６３」帝人社製）に含浸、乾燥させて成
形後の厚さが０．１mmとなるようなプリプレグを作成
し、以後は実施例７と同様の方法で被研磨物保持穴を形
成して被研磨物保持材を得た。
製）をマトリックス樹脂としてポリエステル織布基材
（「Ｔ−１１２６３」帝人社製）に含浸、乾燥させて成
形後の厚さが０．１mmとなるようなプリプレグを作成
し、以後は実施例７と同様の方法で被研磨物保持穴を形
成して被研磨物保持材を得た。
【００３１】比較例１ 金属板として、貫通穴の周囲に面取りを施していないも
のを使用し、樹脂としてはポリアセタール（「ジュラコ
ンＭ−４５０−４４」：ポリプラスチック製）を用い
て、実施例１と同様の方法で被研磨物保持材７を得た。
成形条件はシリンダー温度２００℃、金型温度７５℃、
成形時間３０秒／１サイクルとした。
のを使用し、樹脂としてはポリアセタール（「ジュラコ
ンＭ−４５０−４４」：ポリプラスチック製）を用い
て、実施例１と同様の方法で被研磨物保持材７を得た。
成形条件はシリンダー温度２００℃、金型温度７５℃、
成形時間３０秒／１サイクルとした。
【００３２】次に、上記方法で得られた被研磨物保持材
１〜１０を全く同じ位置になるように重ね合せて、フラ
イス盤を用いて、樹脂部分の中心に６６ｍｍφの貫通穴
を加工して被研磨物保持穴を形成した。これらの被研磨
物保持材１〜１０を次に示す研磨試験に供した。
１〜１０を全く同じ位置になるように重ね合せて、フラ
イス盤を用いて、樹脂部分の中心に６６ｍｍφの貫通穴
を加工して被研磨物保持穴を形成した。これらの被研磨
物保持材１〜１０を次に示す研磨試験に供した。
【００３３】（研磨試験）上記の被研磨物保持材を１枚
づつ用いて、アルミディスクのポリッシングを２８０バ
ッチ繰り返し、そこでテストを打ち切り、被研磨物保持
穴の樹脂部分の状態と被研磨物の外観とを顕微鏡で観察
する。なお、研磨液は「ＦＧＬ−３７００」（フジミイ
ンコーポレーテッド社製）を使用した。
づつ用いて、アルミディスクのポリッシングを２８０バ
ッチ繰り返し、そこでテストを打ち切り、被研磨物保持
穴の樹脂部分の状態と被研磨物の外観とを顕微鏡で観察
する。なお、研磨液は「ＦＧＬ−３７００」（フジミイ
ンコーポレーテッド社製）を使用した。
【００３４】研磨試験の結果、被研磨物にはワレ、欠け
は認められなかったし、スクラッチ傷も認められなかっ
た。被研磨物保持材の樹脂部分の観察結果を表１に示し
た。表１の結果の総合評価はこの用途での実用性を判定
したものであり、絶対的なものではない。記号「△」の
ものでも負荷のより少ない用途なら実用できる可能性は
ある。
は認められなかったし、スクラッチ傷も認められなかっ
た。被研磨物保持材の樹脂部分の観察結果を表１に示し
た。表１の結果の総合評価はこの用途での実用性を判定
したものであり、絶対的なものではない。記号「△」の
ものでも負荷のより少ない用途なら実用できる可能性は
ある。
【００３５】
【表１】
【００３６】
【発明の効果】本発明における被研磨物保持材は、被研
磨物を保持するために貫通穴を加工した金属板におい
て、当該貫通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施
し、その周辺部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で
被覆しているか、あるいは、当該貫通穴の内面にアンカ
ーを複数個設け、該アンカーにより形成された突出部の
一部又は全部に面取りを形成し、該貫通穴の周辺部及び
内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆しているので、
被研磨物を研磨したとき、被研磨物を傷つけないことは
もちろん、樹脂や樹脂積層成型物の脱落がない。さら
に、樹脂部が摩耗するなどにより使用できなくなって
も、樹脂部を除去すれば再利用することができるので、
コスト的にも省資源の上でも有益である。
磨物を保持するために貫通穴を加工した金属板におい
て、当該貫通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施
し、その周辺部及び内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で
被覆しているか、あるいは、当該貫通穴の内面にアンカ
ーを複数個設け、該アンカーにより形成された突出部の
一部又は全部に面取りを形成し、該貫通穴の周辺部及び
内周部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆しているので、
被研磨物を研磨したとき、被研磨物を傷つけないことは
もちろん、樹脂や樹脂積層成型物の脱落がない。さら
に、樹脂部が摩耗するなどにより使用できなくなって
も、樹脂部を除去すれば再利用することができるので、
コスト的にも省資源の上でも有益である。
【図１】第１の実施の形態例における被研磨物保持材の
平面図である。
平面図である。
【図２】図１の一つの保持穴の拡大断面図である。
【図３】第１の実施の形態例における射出成形前の貫通
穴の部分図である。
穴の部分図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線に沿って見た端面図である。
【図５】図２のＢ−Ｂ線に沿って見た端面図である。
【図６】図４の面取り部の他の例を示す図である。
【図７】第２の実施の形態例における貫通穴の射出成形
前の拡大斜視図である。
前の拡大斜視図である。
【図８】第２の実施の形態例における他の貫通穴の射出
成形前の拡大斜視図である。
成形前の拡大斜視図である。
【図９】第２の実施の形態例における他の貫通穴の射出
成形前の拡大斜視図である。
成形前の拡大斜視図である。
【図１０】射出成形用金型の一部を断面で示す正面図で
ある。
ある。
【図１１】従来の被研磨物保持材の説明図である。
１、３２ 被研磨物保持穴 ２ 樹脂部 ３ 面取り部 ４ 金属板 ５、３３ 駆動用ギヤー ６ 切り込み（アンカー） ８ 突出部 ９ 突出部の先端側面 １０、３０ 被研磨物保持材 ２０ 射出成形用金型 ４１ 貫通穴の内周部 ４２ 貫通穴の周辺部 ８１ 溝 ８２ ディンプル ８３ａ 横突状物 ８３ｂ 横溝部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 500048546 株式会社シー・アール・ティー 神奈川県高座郡寒川町一之宮５丁目９番41 号 (72)発明者 南條 基行 広島県三原市西野町905 アートライト工 業株式会社内 (72)発明者 内畠 幸次 広島県三原市西野町905 アートライト工 業株式会社内 (72)発明者 鵜澤 昭彦 神奈川県相模原市相模大野７−22−５ 株 式会社ユーティーケー・システム内 (72)発明者 金井 邦之 神奈川県高座郡寒川町一之宮５丁目９番41 号 株式会社シー・アール・ティー内 Ｆターム(参考） 3C058 AB01 AB06 AB08 BB09 CB02 DA06
Claims (6)
- 【請求項１】 被研磨物を保持するための貫通穴を加工
した金属板において、当該貫通穴の周辺部の一部又は全
部に面取りを施し、その周辺部及び内周部を樹脂又は樹
脂積層成型物で被覆してなることを特徴とする被研磨物
保持材。 - 【請求項２】 被研磨物を保持するための貫通穴を加工
した金属板において、当該貫通穴の内面に貫通の切り込
みを複数個設け、該貫通の切り込みにより形成された突
出部の一部又は全部に面取りを施すか、又は該突出部の
先端側面に凹凸状を形成し、該貫通穴の周辺部及び内周
部を樹脂又は樹脂積層成型物で被覆してなることを特徴
とする被研磨物保持材。 - 【請求項３】 被研磨物を保持するための貫通穴を有
し、当該貫通穴の周辺部の一部又は全部に面取りを施し
た金属板を成形金型に装着し、当該面取り部を含む貫通
穴部分に樹脂を射出成形し、次いで、当該貫通穴に成形
された樹脂を該貫通穴の内周部に必要量の樹脂部を残し
て切削除去し、被研磨物保持穴を形成することを特徴と
する被研磨物保持材の製造方法。 - 【請求項４】 被研磨物を保持するための貫通穴を有
し、当該貫通穴の内面に貫通の切り込みを複数個設け、
該貫通の切り込みにより形成された突出部の一部又は全
部に面取りを施すか、又は該突出部の先端側面に凹凸状
を形成した金属板を成形金型に装着し、当該貫通の切り
込み部を含む貫通穴部分に樹脂を射出成形し、次いで、
当該貫通穴に成形された樹脂を該貫通穴の内周部に必要
量の樹脂部を残して切削除去し、被研磨物保持穴を形成
することを特徴とする被研磨物保持材の製造方法。 - 【請求項５】 被研磨物を保持するための貫通穴を加工
した金属板において、当該貫通穴の周辺部の一部又は全
部に面取りを施し、該貫通穴に当該貫通穴形状の熱硬化
性樹脂プリプレグを嵌合させ、その後、加熱加圧プレス
により当該貫通穴の全面に樹脂積層成型物を形成し、次
いで、当該樹脂積層成型物を該貫通穴の内周部に必要量
の樹脂積層成型物を残して切削除去し、被研磨物保持穴
を形成することを特徴とする被研磨物保持材の製造方
法。 - 【請求項６】 被研磨物を保持するための貫通穴を加工
した金属板において、当該貫通穴の内面に貫通の切り込
みを複数個設け、該貫通の切り込みにより形成された突
出部の一部又は全部に面取りを施すか、又は該突出部の
先端側面に凹凸状を形成し、該貫通穴に当該貫通穴形状
の熱硬化性樹脂プリプレグを嵌合させ、その後、加熱加
圧プレスにより当該貫通穴の全面に樹脂積層成型物を形
成し、次いで、当該樹脂積層成型物を該貫通穴の内周部
に必要量の樹脂積層成型物を残して切削除去し、被研磨
物保持穴を形成することを特徴とする被研磨物保持材の
製造方法。
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