TWI706456B

TWI706456B - 工件遊星輪及工件遊星輪之製造方法

Info

Publication number: TWI706456B
Application number: TW106119145A
Authority: TW
Inventors: 三橋伸一
Original assignee: 日商創技股份有限公司
Priority date: 2016-07-27
Filing date: 2017-06-08
Publication date: 2020-10-01
Also published as: CN107662155A; JP2018015831A; CN107662155B; KR102327479B1; KR20180012690A; TW201804529A; JP6673772B2

Abstract

本發明係提供一種工件遊星輪，其特徵在於遊星輪基板與樹脂插入部的一體性高。本發明涉及一種工件遊星輪10，其係沿著形成在金屬製遊星輪基板1之工件保持孔2的內周面設置有樹脂插入部3。然後，在工件保持孔2於圓周方向交互地連續形成傾斜方向相對於表背方向為相反的正傾斜面（正傾斜部21）與負傾斜面（負傾斜部22），並以密接於正傾斜面及負傾斜面的方式形成有樹脂插入部3。

Description

工件遊星輪及工件遊星輪之製造方法

本發明係涉及一種工件遊星輪及工件遊星輪之製造方法，其係在藉由研磨裝置將矽晶圓、玻璃、陶瓷、水晶等薄板狀工件進行研磨加工時，用於保持工件。

已知在藉由研磨裝置將矽晶圓等工件的雙面或單面進行研磨加工時，將工件保持在具有工件保持孔的工件遊星輪上(參考專利文獻1至3等)。

作為工件遊星輪本體的遊星輪基板，由於藉由SK鋼或不鏽鋼等硬質金屬素材形成，因此若直接將工件保持在穿孔於遊星輪基板上的工件保持孔，會有工件在研磨加工中接觸到工件保持孔的內周面，使工件產生破裂或缺損等損傷的疑慮。

於是，如專利文獻1至3所揭示的內容，進行以下的處理：沿著工件保持孔的內周面安裝合成樹脂製之軟質的插入件，以防止研磨加工中的工件損傷。

在專利文獻1中，揭示有一種咬合結構，其係於工件保持孔之內周面的圓周方面以一定距離設置凸齒，並於凸齒間的齒溝設置用以嵌合凸齒的合成樹脂製保護環(插入件)。在此文獻中記述有以下內容，為了使合成樹脂製保護環難以朝上下方向脫離，在凸齒的側緣交互設置有相反方向的傾斜面。

另一方面，在專利文獻2中揭示有以下的內容，在保持孔的內周面形成開口朝上的錐面，且樹脂插入件透過此錐面嵌入至保持孔。

此外，在專利文獻3中記述有以下內容，沿著遊星輪基板之工件保持孔的內周面設置溝，以使合成樹脂材進入此溝的方式射出成形，藉此設置軟質之環狀的插入件。

先行技術文獻專利文獻

專利文獻1：日本國專利第3552108號公報

專利文獻2：日本國專利第4605233號公報

專利文獻3：日本國專利第5114113號公報

然而專利文獻1所揭示之咬合結構係僅於凸齒之側緣設置傾斜面的結構，並未在齒溝的深處設置傾斜面。亦即，傾斜面並非連續設置在工件保持孔的內周面。

此外，由於專利文獻2所揭示之保持孔的錐面僅係開口朝上的傾斜面，因此可防止樹脂插入件朝下方脫落，但並無法防止朝上方脫落。

於是，本發明之目的在於提供一種工件遊星輪及工件遊星輪之製造方法，其特徵在於遊星輪基板與樹脂插入部的一體性高。

為了達成前述目的，本發明之工件遊星輪係沿著形成在金屬製遊星輪基板之工件保持孔的內周面設置有樹脂插入部，其特徵在於：在前述工件保持孔於圓周方向交互地連續形成傾斜方向相對於表背方向為相反的正傾斜面與負傾斜面；及前述樹脂插入部以密接於前述正傾斜面及前述負傾斜面的方式形成。

在此，在前述工件保持孔可為以下結構，在其圓周方向形成凹凸的同時，於前述凹凸的全長形成有前述正傾斜面或負傾斜面。

此外，在多個凹凸連續形成有前述正傾斜面的同時，於與其相鄰之多個凹凸連續形成有前述負傾斜面。

再者，本發明之工件遊星輪的製造方法，為如上述任一種之工件遊星輪的製造方法，其係具備：用以於前述遊星輪基板穿孔出前述工件保持孔，自前述遊星輪基板之表側朝圓周方向以一定距離切割前述正傾斜面的步驟；藉由自前述遊星輪基板的背側到前述正傾斜面間切割前述負傾斜面的方式形成前述工件保持孔的步驟；及藉由射出成形對前述工件保持孔設置樹脂插入部的步驟。

如此構成之本發明的工件遊星輪係於工件保持孔之圓周方向交互地連續形成傾斜方向相對於表背方向為相反的正傾斜面與負傾斜面，並於此等之傾斜面以密接的方式設置樹脂插入部。

藉由設置有傾斜方向相反的正傾斜面與負傾斜面，不僅可防止樹脂插入部在相對於遊星輪基板的表面及背側之任一方向自工件保持孔脫落，亦由於在工件保持孔之圓周方向連續設置有傾斜面，因此可提高工件保持孔保持樹脂插入部的保持力。因此，可製作遊星輪基板與樹脂插入部的一體性較高的工件遊星輪。

尤其藉由凹凸形成在工件保持孔的圓周方向，造成其凹凸的嵌合與形成在凹凸之全長上的正傾斜面及負傾斜面的相乘效果，遊星輪基板與樹脂插入部可確保較高的一體性。此外，若在多個凹凸連續形成有正傾斜面與負傾斜面，則可有效率地進行切割。

再者，在本發明之工件遊星輪的製造方法中，藉由自遊星輪基板之表側朝圓周方向以一定距離切割正傾斜面的步驟，及自遊星輪基板的背側切割負傾斜面的步驟，可同時進行工件保持孔的穿孔及傾斜面的成形，較有效率。

10、10B:工件遊星輪

1、1A:遊星輪基板

2、2A、2B:工件保持孔

11:外形部

12:研磨劑供給孔

210、31:正傾斜面

21、21A:正傾斜部

211:凹部

212:凸部

220、32:負傾斜面

22、22A:負傾斜部

221:凹部

222:凸部

3、3A、3B:樹脂插入部

33:內側面

圖1係放大本實施形態之工件遊星輪之工件保持孔之內周面附近並進行說明的平面圖。

圖2係說明工件遊星輪之概略結構的平面圖。

圖3係說明本實施形態之工件遊星輪之製造方法的步驟的流程圖。

圖4係放大工件保持孔之內周面附近並進行說明的透視圖。

圖5A係圖4之A-A箭頭方向的剖面圖。

圖5B係圖4之B-B箭頭方向的剖面圖。

圖5C係圖4之C-C箭頭方向的剖面圖。

圖5D係圖4之D-D箭頭方向的剖面圖。

圖6A係與說明在工件保持孔之內周面設置樹脂插入部之結構的圖5A為相同位置的剖面圖。

圖6B係與說明在工件保持孔之內周面設置樹脂插入部之結構的圖5B為相同位置的剖面圖。

圖6C係與說明在工件保持孔之內周面設置樹脂插入部之結構的圖5C為相同位置的剖面圖。

圖6D係與說明在工件保持孔之內周面設置樹脂插入部之結構的圖5D為相同位置的剖面圖。

圖7係放大實施例之工件保持孔之內周面附近並進行說明的平面圖。

圖8A係圖7之E-E箭頭方向的剖面圖。

圖8B係圖7之F-F箭頭方向的剖面圖。

圖9係說明其他實施形態之工件保持孔之概略結構的平面圖。

以下，參照圖式說明本發明之實施形態。圖1、2係說明本實施形態之工件遊星輪10之結構的圖，圖2表示整體的概略構成，圖1放大表示工件保持孔2的內周面附近。

工件遊星輪10係安裝於將矽晶圓或玻璃等工件的雙面或單面進行研磨加工的平面研磨裝置上使用。例如，將工件的雙面進行研磨加工的平面研磨裝置係具備作為定盤的上定盤及下定盤、以自由旋轉的方式配置於此上定盤及下定盤之中心部的太陽齒輪、及配置於上定盤及下定盤之外周側的內齒輪。

然後，工件遊星輪10係如圖2所示，配置於平面研磨裝置的上定盤與下定盤之間。

工件遊星輪10係藉由金屬製之遊星輪基板1形成圓板狀的本體。在此遊星輪基板1係穿孔有例如圓形的工件保持孔2...、及研磨劑供給孔12...等。然後，沿著工件保持孔2的內周面設置有樹脂插入部3。

在相當於此工件遊星輪10之外緣的外形部11設置有咬合至太陽齒輪及內齒輪(省略圖示)的齒部，其係藉由太陽齒輪及內齒輪的旋轉進行自轉及公轉。然後，藉由工件遊星輪10的自轉及公轉，配置於工件遊星輪10之工件保持孔2內之工件的雙面受到研磨。

遊星輪基板1係自金屬板切出成圓板狀。金屬板可使用不鏽鋼(SUS)、高碳鉻軸承鋼、碳素工具鋼(SK鋼)、高速工具鋼、合金工具鋼、高張力鋼、鈦等。

另一方面，樹脂插入部3係藉由合成樹脂材成形。合成樹脂材可使用聚醯胺(PA)、聚縮醛(POM)、聚醯亞胺(PI)、聚氯乙烯(PVC)、布電木、聚醯胺醯亞胺(PAI)、聚碳酸酯(PC)等。在藉由如後述之射出成形設置樹脂插入部3的情況下，使用熱可塑性樹脂。

如圖1所示，在本實施形態之工件保持孔2之內周面，為了提高與樹脂插入部3的一體性，於圓周方向連續形成凹凸。作為凹凸可交互設置往遊星輪基板1側凹陷的凹部211(221)，及往工件保持孔2之中心側突出的凸部212(222)。

在俯視時，圖1所示之凹部211、221係於進深側(遊星輪基板1側)形成為寬廣的梯形(楔形)，凸部212、222係於開放側(工件保持孔2之中心側)形成為寬廣的梯形(楔形)。此凹部211、221與凸部212、222可為完全不同的平面形狀，但在本實施形態中，說明關於重複形成幾乎相同平面形狀之凹部211、221與幾乎相同平面形狀之凸部212、222的情況。

此外，凹凸的平面形狀非被限定為楔形，亦可為藉由正弦波等曲線形成的形狀或如矩形波般無椎狀的形狀等任一種的平面形狀。

在圖4以透視圖表示凹部211、221與凸部212、222。如表示圖4之A-A箭頭方向及B-B箭頭方向之圖5A、圖5B的剖面圖所示，凸部212及凹部211之工件保持孔2側的內周面係相對於遊星輪基板1的表面及背側方向的傾斜面。將此自表側朝背側變寬廣的傾斜面定義為正傾斜面210。

然後，如圖1所示，將正傾斜面210形成的範圍定義為正傾斜部21。此正傾斜部21係由兩個凹部211、211與兩個凸部212、212構成。亦即，在凹部211與凸部212露出於工件保持孔2側的側面，連續設置有正傾斜面210。

另一方面，如表示圖4之C-C箭頭方向及D-D箭頭方向之圖5C、圖5D的剖面圖所示，凸部222及凹部221之工件保持孔2側的內周面，亦為相對於遊星輪基板1的表面及背側方向的傾斜面。將此自表側朝背側變狹窄的傾斜面定義為負傾斜面220。

然後，如圖1所示，將負傾斜面220形成的範圍定義為負傾斜部22。此負傾斜部22係由兩個凹部221、221與兩個凸部222、222構成。亦即，在凹部221與凸部222露出於工件保持孔2側的側面，連續設置有負傾斜面220。

樹脂插入部3係如圖6A至圖6D之各剖面圖所示，分別密接於正傾斜面210與負傾斜面220而形成。亦即，密接於遊星輪基板1的正傾斜面210的樹脂插入部3的密接面為負傾斜面32(參照圖6A、圖6B)。

另一方面，密接於遊星輪基板1的負傾斜面220的樹脂插入部3的密接面為正傾斜面31(參照圖6C、圖6D)。另外，樹脂插入部3之工件保持孔2之中心側的內側面33皆為垂直于遊星輪基板1的上下面的垂直面。

接著，參照圖3說明關於本實施形態之工件遊星輪10的製造方法。

首先，將金屬板設置在雷射切割機上，自表側切割金屬板(步驟S1)。在此，所謂金屬板的「表側」係指最初進行切割的表面，將反對側的面定義為「背側」。此外在以下內容中，會有使用省略詞進行說明的情況，例如將自表側進行的切割稱為「表加工」，將自背側進行的切割稱為「背加工」。

若藉由雷射切割機進行雷射加工，則其切斷面會成為自表側朝背側變寬廣的傾斜面(參照圖5A、圖5B)。在步驟S1中，進行圖1及圖4所示之「表加工」範圍的切割。由此表加工形成的傾斜面會成為正傾斜面210。在進行表加工的正傾斜部21，凹部211、凸部212、凹部211、凸部212係連續被切割成正傾斜面210。

然後，在到達背加工之區域的時間點，暫時中斷加工，將雷射光照射的位置移動至位於背加工區域另一側且與其相鄰之下個表加工區域的起點。如此在工件保持孔2的圓周方向以一定距離斷續地切割表加工區域。

在圖2所示之工件遊星輪10的情況下，切割遊星輪基板1之3個工件保持孔2、2、2的所有表加工區域。然後，反轉金屬板移至自金屬板的背側進行切割的步驟(步驟S2)。

若在雷射切割機設置翻至背側的金屬板，則步驟S1中切斷的切斷線會在圓周方向以一定距離出現。在背加工中藉由進行切割來連接斷續的切斷線，可切出3個工件保持孔2、2、2。

即使在背加工中，切斷面亦會形成自背側朝表側變寬廣的傾斜面(參照圖5C、圖5D)。藉由此背加工形成的傾斜面會成為負傾斜面220。在進行背加工的負傾斜部22，凹部221、凸部222、凹部221、凸部222係連續被切割成負傾斜面220。

然後，在到達表加工所造成之切斷線的時間點，暫時中斷加工，將雷射光照射的位置移動至位於表加工區域另一側且與其相鄰之下個背加工區域的起點。如此斷續切割背加工區域，直到工件保持孔2的切斷線繞一圈連接起來為止。

此外，在步驟S2中，亦進行外形部11及研磨劑供給孔12…的切割。然後，進行調整遊星輪基板1之厚度的研磨加工及磨光加工(步驟S3)。

相對於以如此方式成形的遊星輪基板1之工件保持孔2…的內周面，在步驟S4中，設置樹脂插入部3。樹脂插入部3係藉由合成樹脂的射出成形而設置。

例如可在圖6A至圖6D所示之內側面33的位置設置模板，將加熱溶融的合成樹脂射出注入至其內側，並藉由冷卻固化的方式進行射出成形。此外，在沒有配合內側面33的位置設置模板的情況下，於射出成形後進行切割以形成內側面33。

接著說明關於本實施形態之工件遊星輪10及工件遊星輪10之製造方法的作用。

如此構成之本實施型態的工件遊星輪10，係於工件保持孔2之圓周方向交互地連續形成傾斜方向相對於表背方向為相反的正傾斜面210與負傾斜面220，並於此等之傾斜面(210、220)以密接的方式設置樹脂插入部3。

藉由設置有傾斜方向相反的正傾斜面210與負傾斜面220，可防止樹脂插入部3在相對於遊星輪基板1的表側及背側之任一方向自工件保持孔2脫落。

例如在藉由射出成形設置樹脂插入部3的情況下，雖然在冷卻固化時會收縮，但只要設置有兩方向的傾斜面(210、220)，即使樹脂插入部3稍微收縮亦可防止脫落。

此外，由於正傾斜面210與負傾斜面220不僅在正傾斜部21與負傾斜部22的範圍連續，亦連續設置於工件保持孔2的圓周方向，因此樹脂插入部3的密接面，即與工件保持孔2之內周面接觸的面係在整個圓周受到正傾斜面210與負傾斜面220的支持，使工件保持孔2可提高保持樹脂插入部3的保持力。

再者，藉由在工件保持孔2的圓周方向形成凹凸(凹部211與凸部212、凹部221與凸部222)，造成其凹凸的嵌合與形成在凹凸之全長上的正傾斜面210及負傾斜面220的相乘效果，可獲得遊星輪基板1與樹脂插入部3之一體性較高的工件遊星輪10。尤其在凹凸連續形成於圓周方向上的情況下，可確保遊星輪基板1與樹脂插入部3有更高的一體性。

此外，若有多個凹凸(凹部211、凸部212、凹部211、凸部212(或凹部221、凸部222、凹部221、凸部222))連續形成正傾斜面210(或負傾斜面220)，則可減少中斷切斷的次數而有效率地進行切割。

再者，若為本實施形態之工件遊星輪10的製造方法，則可藉由自遊星輪基板1之表側朝圓周方向以一定距離切割正傾斜面210的步驟，及自遊星輪基板1之背側朝圓周方向切割負傾斜面220的步驟，同時進行用以穿孔出工件保持孔2的切割，及傾斜面(210、220)的成形。

此外，雖然進行切割會使遊星輪基板1因為應力或加工熱的作用而產生翹曲或起伏等加工變形的情形，但藉由從表側與背側兩方進行切割的方式，可抵消並減少加工變形的情形。尤其藉由在工件保持孔2之圓周方向以等間隔交互重複進行表加工與背加工的方式，可加工成平坦度更高的遊星輪基板1。

再者，儘管在上述的步驟S2中，說明了自背側切割外形部11及研磨劑供給孔12…，但並非受此限定，為了獲得平坦度或平行度更高的遊星輪基板1，關於外形部11或研磨劑供給孔12……亦可自表側與背側雙方進行切割。

此外，藉由射出成形設置樹脂插入部3的方式，不使用接著劑便可將樹脂插入部3安裝至遊星輪基板1。因此，在僅有樹脂插入部3出現磨耗、破損或劣化而必須交換的情況下，只要加熱樹脂插入部3便可簡單地取下。

實施例

以下，參照圖7、圖8A、圖8B，說明關於與在前述實施形態中說明之工件遊星輪10為不同形態的實施例。另外，關於在前述實施形態說明過的內容以及同等部分的說明，係使用相同用語或相同符號進行說明。

以實施例說明的工件遊星輪10，主要由遊星輪基板1A，在工件保持孔2A的內周面沒有形成凹凸；及樹脂插入部3A構成。

亦即，如圖7所示，遊星輪基板1A之工件保持孔2A的內周面係具有在俯視時呈略圓弧狀的正傾斜面210與在俯視時呈略圓弧狀的負傾斜面220，其係交互連續地形成於圓周方向上。

藉由表加工形成的正傾斜部21A與藉由背加工形成的負傾斜部22A的長度(範圍)係可任意設定。在實施例中，說明關於相同長度之正傾斜部21A與負傾斜部22A交互地重複形成的情況。

樹脂插入部3A係如圖8A、圖8B之個別的剖面圖所示，分別密接於正傾斜部21A的正傾斜面210與負傾斜部22A的負傾斜面220而形成。

以如此方式構成之實施例的工件遊星輪10係在工件保持孔2A的圓周方向交互地連續形成傾斜方向相對於表背方向為相反的正傾斜面210與負傾斜面220，並設置密接於此等傾斜面(210、220)的樹脂插入部3A。

藉由設置傾斜方向相反的正傾斜面210與負傾斜面220，可防止樹脂插入部3A在相對於遊星輪基板1A的表面及背側之任一方向自工件保持孔2A脫落。

例如在藉由射出成形設置樹脂插入部3A的情況下，雖然在冷卻固化時會收縮，但只要設置有兩方向的傾斜面(210、220)，即使樹脂插入部3A稍微收縮亦可防止脫落。

此外，正傾斜部21A與負傾斜部22A係由於切斷線為圓弧狀的單純形狀，因此可簡單進行切割。然而由於正傾斜面210與負傾斜面220係連續設置於工件保持孔2A的圓周方向上，因此樹脂插入部3A之密接面，即與工件保持孔2A之內周面接觸的面在整個圓周受到正傾斜面210與負傾斜面220的支持，使工件保持孔2A可提高保持樹脂插入部3A的保持力。

再者，交互形成的正傾斜面210與負傾斜面220，可防止樹脂插入部3A朝圓周方向移動(偏移)。亦即即使不設置凹凸亦可發揮抗旋轉功能。

另外，關於實施例其他的構成及作用效果，由於與前述實施形態大致相同因此省略說明。

以上，參照圖式詳細說明本發明之實施形態及實施例，但具體的結構並不限於此實施形態及實施例，在設計上不逸脫本發明主旨程度的變更亦包含在本發明內。

例如在前述實施形態及實施例中，說明了關於工件保持孔2、2A為圓形的工件遊星輪10，但並非受此所限定。例如如圖9所示，亦可對具有長方形(包含正方形)之工件保持孔2B的工件遊星輪10B適用本發明。總之，在長方形之工件保持孔2B之內周面的圓周方向連續形成有正傾斜面210與負傾斜面220，可沿其內周面設置長方形的樹脂插入部3B。再者，工件保持孔亦可為圓形及長方形以外的其他形狀。

此外，在前述實施形態中，說明了關於藉由雷射加工來切割遊星輪基板1的情況，但並非受此所限定。只要為可形成傾斜面(210、220)的切割方法即可，例如水刀加工、金屬線加工等。

水刀加工係藉由噴嘴噴出高壓水流進行切割，可在形成傾斜面的同時進行精密的切斷。此外，藉由在水中添加研磨材的方式，即使為硬質材料亦可切斷。

金屬線加工係在金屬線與遊星輪基板之間施加電壓造成放電來進行切割，可在形成傾斜面的同時進行精密的切斷。

再者，在前述實施形態中，舉例說明了由2個凹部211、211(221、221)與2個凸部212、212(222、222)構成的正傾斜部21(負傾斜部22)，但並非受此所限定，凹凸的數量可任意設定，例如1個凹凸的組合或5個凹凸的組合。

此外，正傾斜面210與負傾斜面220的切換，亦可在俯視時之凹凸的各個邊進行。例如，將梯形凹凸的下底當作正傾斜面210而將相鄰的邊當作負傾斜面220，或將與下底相鄰的兩個邊當作正傾斜面210並將接續其的兩個邊當作負傾斜面220，令正傾斜面210與負傾斜面220連續相接之邊的數量(表加工區域及背加工區域的範圍)可任意設定。

此外，雖然在前述實施形態中說明了關於在工件保持孔2之內周面的整個圓周上連續形成有凹凸的情況，但並非受此所限定，凹凸亦可在圓周方向以一定或任意的間隔斷續地設置。

1‧‧‧遊星輪基板

2‧‧‧工件保持孔

21‧‧‧正傾斜部

211‧‧‧凹部

212‧‧‧凸部

22‧‧‧負傾斜部

221‧‧‧凹部

222‧‧‧凸部

Claims

一種工件遊星輪，沿著形成在金屬製遊星輪基板之工件保持孔的內周面設置有樹脂插入部，其中：在該工件保持孔於圓周方向交互地連續形成傾斜方向相對於表背方向為相反的正傾斜面與負傾斜面；該正傾斜面與該負傾斜面分別相對該表背方向形成單方向的傾斜；及該樹脂插入部以密接於該正傾斜面及該負傾斜面的方式形成。
如申請專利範圍第1項之工件遊星輪，其中在該工件保持孔中，係在圓周方向形成有凹凸的同時，每該凹凸是以任意數量的凹部與凸部交互形成有該正傾斜面與該負傾斜面。
如申請專利範圍第2項之工件遊星輪，其中在多個凹凸連續形成有該正傾斜面的同時，於與其相鄰之多個凹凸連續形成有該負傾斜面。
一種工件遊星輪的製造方法，為如申請專利範圍第1至3項中任一項之工件遊星輪的製造方法，其係具備以下各步驟：用以於該遊星輪基板穿孔出該工件保持孔，自該遊星輪基板之表側朝圓周方向以一定距離切割該正傾斜面的步驟；藉由自該遊星輪基板的背側到該正傾斜面間切割該負傾斜面的方式形成該工件保持孔的步驟；及藉由射出成形對該工件保持孔設置樹脂插入部的步驟。