CN109015334A - 一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法 - Google Patents

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高威
贺贤汉
徐红林
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Hangzhou Semiconductor Wafer Co Ltd
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Shanghai Shenhe Thermo Magnetics Electronics Co Ltd
Hangzhou Semiconductor Wafer Co Ltd
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    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
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    • B24B37/34—Accessories

Abstract

本发明提供一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，包括：步骤一，在钢制的游星轮边缘制作梯形缺口；步骤二，游星轮的外侧设有一缓冲层，缓冲层的内侧按步骤一中相应形状冲切成形；步骤三，采用机械压合将缓冲层嵌入游星轮的梯形缺口上。

Description

一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法
技术领域
本发明涉及半导体领域，具体涉及一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法。
背景技术
研磨也称磨片，在研磨机上用研磨液将硅片研磨成具有一定厚度和光洁度的工艺。有单面研磨和双面研磨两种方式。
研磨在硅片制备过程中占有重要地位，在这道工序中由于机械加工强度大，机械损伤问题严重，废品率较高，会对后续工艺造成严重影响。因此需要改善研磨过程中的机械加工损伤，提高制程良率。
游星轮是应用在研磨工序的硅片载体，在研磨过程中会与硅片发生无规律的碰撞；游星轮多使用轧钢材料，硬度较高，容易导致硅片破裂。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明提供一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，以解决硅片载体硬度高容易导致硅片破裂的问题。
本发明的技术方案是：一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于，包括：
步骤一，在钢制的游星轮边缘制作梯形缺口；
步骤二，所述游星轮的外侧设有一缓冲层，所述缓冲层的内侧按步骤一中相应形状冲切成形；
步骤三，采用机械压合将缓冲层嵌入游星轮的梯形缺口上。
本发明通过在游星轮与硅片接触区域增加缓冲区，即保持载体强度，又可增加硅片与游星轮撞击后的缓冲，起到保护硅片的作用。2017年相关不良率0.7％，2018年相关不良率0.4％，而本发明使产线破片率下降0.3个百分点。
所述缓冲区是一树脂材料制成的环状体。采用树脂材料的考量：1.相对硬度低；2.成型便利。
所述环状体的内径为200mm。
所述步骤一中，梯形缺口的尺寸为上底宽2.5mm、下底宽5mm、高2.5mm。该尺寸能够使游星轮与缓冲区的嵌合程度最佳。
进一步，所述梯形缺口优选为等腰梯形。
所述梯形缺口等间距排布在所述游星轮的边缘。
所述梯形缺口的数量在70个。
附图说明
图1为本发明的部分结构示意图。
图中：1.缓冲层，2.游星轮。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步的说明。
参照图1，一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，包括：步骤一，在钢制的游星轮2边缘制作梯形缺口；步骤二，游星轮的外侧设有一缓冲层1，缓冲层的内侧按步骤一中相应形状冲切成形；步骤三，采用机械压合将缓冲层嵌入游星轮的梯形缺口上。本发明通过在游星轮与硅片接触区域增加缓冲区，即保持载体强度，又可增加硅片与游星轮撞击后的缓冲，起到保护硅片的作用。本发明使产线破片率下降0.3个百分点。
缓冲区是一树脂材料制成的环状体。环状体的内径为200mm。步骤一中，梯形缺口的尺寸为上底宽2.5mm、下底宽5mm、高2.5mm。进一步，梯形缺口优选为等腰梯形。梯形缺口等间距排布在游星轮的边缘。梯形缺口的数量在70个。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于，包括：
步骤一，在钢制的游星轮边缘制作梯形缺口；
步骤二，所述游星轮的外侧设有一缓冲层，所述缓冲层的内侧按步骤一中相应形状冲切成形；
步骤三，采用机械压合将缓冲层嵌入游星轮的梯形缺口上。
2.根据权利要求1所述的一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于：所述缓冲区是一树脂材料制成的环状体。
3.根据权利要求2所述的一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于：所述环状体的内径为200mm。
4.根据权利要求1所述的一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于：所述步骤一中，梯形缺口的尺寸为上底宽2.5mm、下底宽5mm、高2.5mm。
5.根据权利要求4所述的一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于：所述梯形缺口为等腰梯形。
6.根据权利要求1所述的一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于：所述梯形缺口等间距排布在所述游星轮的边缘。
7.根据权利要求1所述的一种研磨过程中减少刚性材料因碰撞导致破裂的方法，其特征在于：所述梯形缺口的数量在70个。
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