JP6800402B2 - ワークキャリア及びワークキャリアの製造方法 - Google Patents
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Description
ワークキャリア10は、金属製のキャリア基板1によって円板状の本体が形成される。このキャリア基板1には、例えば複数の円形のワーク保持孔2,・・・が穿孔される。そして、ワーク保持孔2の内周面に沿って樹脂インサート部3が設けられる。
まず、キャリア基板1の表面及び裏面に、所定の描画パターンでマスキングをする。詳細には、CAD/CAMシステムなどで作成されたデータを使って、レーザープロッタなどから高精度の描画パターンの原版を作成する。
一方、熱圧着であれば、プリプレグを積層して所望の形状にし、加熱加圧プレスすることによって、樹脂インサート部3を設けることができる。
このように構成された本実施の形態のワークキャリア10は、表裏方向にそれぞれ窪む表側凹部4Aと裏側凹部4Bとをワーク保持孔2の外縁部13の周方向に交互に設ける。
例えば射出成型や熱圧着によって樹脂インサート部3を設けた場合、冷却して固化させた際に収縮が起きるが、キャリア基板1の両面に表側凹部4Aと裏側凹部4Bとによる充填部32,32が設けられていれば、樹脂インサート部3が多少収縮したとしても脱落を防ぐことができる。
なお、実施例1のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
なお、実施例2のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
なお、実施例3のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
1 キャリア基板
13 外縁部
2 ワーク保持孔
3 樹脂インサート部
4A 表側凹部
4B 裏側凹部
41 底面
42 円柱部(抵抗部、突起部)
5A−5D マスキング部
1A キャリア基板
3A 樹脂インサート部
6A 表側凹部
6B 裏側凹部
61 底面
62 円筒部(抵抗部、穴部)
1B,1C キャリア基板
4C,6C 表側凹部
4D,6D 裏側凹部
43 ブロック部(抵抗部、突起部)
63 溝部(抵抗部、穴部)
1D,1E キャリア基板
3D,3E 樹脂インサート部
7A 表側凹部
7B 裏側凹部
72 円柱部(抵抗部、突起部)
Claims (4)
- 金属製のキャリア基板に形成されたワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられるとともに、前記ワーク保持孔の前記樹脂インサート部より中心側に配置される薄板状のワークを研磨加工するためのワークキャリアであって、
前記ワーク保持孔の外縁部となる前記キャリア基板には、周方向に間隔を置いて交互に、表裏方向にそれぞれ窪む表側凹部と裏側凹部とが形成され、
前記表側凹部及び裏側凹部には、前記樹脂インサート部の径方向の移動を阻止する抵抗部が設けられているとともに、前記表側凹部及び裏側凹部並びに前記ワーク保持孔の内周面に沿った部分に樹脂インサート部となる合成樹脂材が充填されていることを特徴とするワークキャリア。 - 前記抵抗部は、前記表側凹部及び裏側凹部の底面に設けられる突起部又は穴部であって、前記突起部の周囲又は前記穴部の内部には前記樹脂インサート部の一部が充填されていることを特徴とする請求項1に記載のワークキャリア。
- 前記抵抗部として、前記表側凹部及び裏側凹部の前記ワーク保持孔の中心側に狭隘部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のワークキャリア。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載のワークキャリアの製造方法であって、
前記キャリア基板の表面及び裏面を所定の描画パターンでマスキングをする工程と、
マスキングされた前記キャリア基板にエッチング液を付着させる工程と、
前記エッチング液によって加工された前記キャリア基板に対して前記樹脂インサート部を設ける工程とを備えたことを特徴とするワークキャリアの製造方法。
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