JP2008238287A - 両面研磨装置用キャリア - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャリアの母体1の表面を、該キャリア母体1の表面よりも硬い被覆膜2でコーティングし、このコーティングされた保持孔3の内周に沿って、被加工物Bの端部B1を保護するための保持部4を、その表裏両面がキャリア母体1の被覆膜2表面と略面一状になるように設けることにより、保持部4の表裏両面に被覆膜2でコーティングされず、それに伴う凹凸も発生しない。
【選択図】図1
Description
詳しくは、被加工物の両面を研磨するために該被加工物が保持される保持孔を形成した両面研磨装置用キャリアに関する。
更に、この立ち上げ研磨を行っている最中に、図4(d)に示す如く、DLC膜2′よりも硬度の低い保持部4′の表裏両面4a′のみが研磨されてその厚さ寸法が減少し、それによりウェーハを確実に保持できなくなってフラットネス不良が生じるという問題があった。
また、保持部4′の表裏両面4a′に被覆されたDLC膜2′が立ち上げ研磨で部分的に剥がれるため、その凹凸により立ち上げ後もウェーハの傷が治まらず、それにより歩留まりが低下するという問題もあった。
従って、コーティング後における保持部の後付けでキャリアの完成度を向上させることができる。
その結果、キャリア母体の保持孔に保持部を先付けした後にその表面全体がDLC膜でコーティングされる従来のものに比べ、その立ち上げ時には該保持部の表裏両面の被覆膜が削れるまで立ち上げ研磨を行う必要がなくなるため、立ち上げ研磨の時間を大幅に短縮化できると共に、この立ち上げ研磨中に保持部のみの厚さが減少することもなくなるから、被加工物を確実に保持でき、しかも平坦度を良くすることができる。
更に立ち上げ研磨で被覆膜が保持部の表裏両面から部分的に剥がれることがないため、立ち上げ後に被加工物の表面に傷に発生することもなくなって、歩留まりが向上できる。
なお、上記保持孔3や研磨液孔5の配置や個数や形状及び外周歯6の形状は、図示例に限らず、任意に設定可能である。
特に被覆膜2として高い均一性を得るため、DLC膜をスパッタ蒸着法により約0.3〜5μm程度コーティングすることが好ましい。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
この場合も上述した実施例と同様な作用効果が得られる。
この場合には、上記外周歯6やインターナルギヤなどの歯合で、該ギヤ部分からDLC膜などの被覆膜2が部分的に剥がれることがないため、立ち上げ後に被加工物の表面に傷に発生することもなくなって、歩留まりが向上できるという利点がある。
1 キャリア母体 2 被覆膜
3 保持孔 4 保持部
4a 表裏両面
Claims (3)
- 被加工物(B)の両面を研磨するために該被加工物(B)が保持される保持孔(3)を形成した両面研磨装置用キャリアにおいて、
前記キャリアの母体(1)の表面を、該キャリア母体(1)の表面よりも硬い被覆膜(2)でコーティングし、このコーティングされた保持孔(3)の内周に沿って、被加工物(B)の端部(B1)を保護するための保持部(4)を、その表裏両面(4a)がキャリア母体(1)の被覆膜(2)表面と略面一状になるように設けたことを特徴とする両面研磨装置用キャリア。 - 前記被覆膜(2)がDLC膜である請求項1記載の両面研磨装置用キャリア。
- 前記保持部(4)がエンジニアリングプラスチックで形成される請求項1または2記載の両面研磨装置用キャリア。
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2007
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