JP7088522B2 - ワークキャリアの製造方法及びワークキャリアの研磨用拡幅部材 - Google Patents
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さらに、前記拡幅部材の外周面には、前記開口部の内周面に形成された凹部又は凸部に嵌合する凸部又は凹部が形成されている構成とすることができる。
ここで、前記開口部の内周面の凹部又は凸部に嵌合する凸部又は凹部が前記外周面に形成されている構成とすることもできる。
ワークキャリア10は、キャリア基板1によって円板状の本体が形成される。このキャリア基板1には、例えば円形のワーク保持孔2、研磨剤供給孔12、研磨剤排出孔などの開口部が穿孔される。なお、図示していないが、必要に応じてワーク保持孔2の内周面21に沿って樹脂インサート部が設けられる。
まずステップS1では、キャリア基板1に対して、円形のワーク保持孔2、研磨剤供給孔12などを切断加工によって設ける(穿孔工程)。この切断加工には、例えばレーザー切断加工機が使用できる。なお、切断加工は、ウォータージェット加工、ワイヤー加工などによって行うこともできる。
このように構成された本実施の形態のワークキャリア10の製造方法では、キャリア基板1の研磨工程(ステップS3)に移行する前に、ワーク保持孔2の内周面21に外周面31が密着するようにリング拡幅材3を装着する。
そこで、複数発生する狭隘箇所を補強するために、拡幅部材となるリング拡幅材3Aをそれぞれのワーク保持孔2Aに配置する。また、図示していないが、研磨剤供給孔12Aにも拡幅部材となるリング拡幅材を配置することができる。
このワークキャリア10Bは、金属製のキャリア基板1Bによって円板状の本体が形成される。このキャリア基板1Bには、多数の円形のワーク保持孔2B,・・・と研磨剤供給孔12Bとが穿孔される。
そこで、多数発生する狭隘箇所を補強するために、拡幅部材となるリング拡幅材3Bをそれぞれのワーク保持孔2Bに配置する。
なお、実施例1のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
なお、実施例2のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
なお、実施例3のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
なお、実施例4のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるため説明を省略する。
1,1A,1B キャリア基板
12 研磨剤供給孔(開口部)
2,2A,2B ワーク保持孔(開口部)
21 内周面
3,3A,3B リング拡幅材(拡幅部材)
31 外周面
40,40A-40C ワークキャリア
4,4A-4C キャリア基板
42 研磨剤供給孔(開口部)
5,5A-5C ワーク保持孔(開口部)
51 内周面
52 凹部
6 嵌合拡幅材(拡幅部材)
61 外周面
62 凸部
7 偏心リング材(拡幅部材)
71 外周面
72 凸部
8 三日月材(拡幅部材)
81 外周面
82 凸部
9 半月材(拡幅部材)
91 外周面
92 凸部
A-G 残置箇所(残置領域)
Claims (7)
- 開口部が形成されるキャリア基板を研磨することで厚さを調整するワークキャリアの製造方法であって、
前記キャリア基板に開口部を穿孔する工程と、
前記開口部の周囲に残された前記キャリア基板の残置領域の中で、相対的に幅が狭くなる狭隘箇所の前記開口部の内周面側に拡幅部材を装着する工程と、
前記狭隘箇所に対峙する位置の前記開口部の内周面に前記拡幅部材が密着した状態で前記キャリア基板の研磨を行う工程と、
研磨工程後に前記拡幅部材を撤去する工程とを備えたことを特徴とするワークキャリアの製造方法。 - 前記開口部は、ワーク保持孔及び研磨剤供給孔の少なくとも一方であることを特徴とする請求項1に記載のワークキャリアの製造方法。
- 前記拡幅部材は、前記開口部の内周面に沿って周回するようにリング状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のワークキャリアの製造方法。
- 前記拡幅部材は、前記狭隘箇所に対峙する位置を中心に部分的に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のワークキャリアの製造方法。
- 前記拡幅部材の外周面には、前記開口部の内周面に形成された凹部又は凸部に嵌合する凸部又は凹部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のワークキャリアの製造方法。
- ワークキャリアの製造時に、開口部が形成されたキャリア基板の内周面に沿って設置されるとともに、研磨工程後に撤去されるワークキャリアの研磨用拡幅部材であって、
前記開口部の周囲に残された前記キャリア基板の残置領域の中で、相対的に幅が狭くなる狭隘箇所に対峙する位置の前記開口部の内周面に密着するように装着されるものであるとともに、
前記開口部の内周面に沿った外周面となるように形成されることを特徴とするワークキャリアの研磨用拡幅部材。 - 前記開口部の内周面の凹部又は凸部に嵌合する凸部又は凹部が前記外周面に形成されていることを特徴とする請求項6に記載のワークキャリアの研磨用拡幅部材。
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