TW202042970A - 工件遊星輪及工件遊星輪的製造方法 - Google Patents

Abstract

提供一種工件遊星輪，此工件遊星輪即使在密接於遊星輪基板的樹脂插入部發生溫度變化的情況下，於遊星輪基板難以產生變形。一種工件遊星輪10，沿著形成於遊星輪基板1的工件保持孔2的內周面設置有樹脂插入部3。而且，於工件保持孔形成有在圓周方向隔開間隔而開放側俯視為狹窄的梯形的凹部21、…，且於凹部密接形成有樹脂插入部，凹部的高度H設定為大於等於0.5 mm且小於2.9 mm。在此，較佳為凹部的斜邊211與工件保持孔的圓周方向在凹部的外側形成的夾角大於60°且小於90°。

Description

工件遊星輪及工件遊星輪的製造方法

本發明是有關一種在藉由研磨裝置而研磨加工矽晶圓、玻璃、陶瓷、水晶等的薄板狀的工件之際，使用於保持工件的工件遊星輪以及工件遊星輪的製造方法。

在藉由研磨裝置而研磨加工矽晶圓等的工件的雙面或單面之際，使工件保持於具有工件保持孔的工件遊星輪為已知(參照專利文獻1-3等)。

為工件遊星輪的本體的遊星輪基板因為藉由SK鋼、不鏽鋼等的硬質的金屬素材而形成，所以當使工件直接保持於在遊星輪基板穿孔出的工件保持孔時，則在研磨加工中工件與工件保持孔的內周面接觸，於工件會有產生破裂、缺損等的損傷之疑慮。

因此，如專利文獻1-3所揭露，沿著工件保持孔的內周面安裝合成樹脂製的軟質的插入件，進行防止研磨加工中的工件的損傷的處理。

另一方面，因為軟質的樹脂插入件相較於硬質的遊星輪基板容易發生由研磨加工所致的磨耗或變形，所以於專利文獻1中，藉由使自遊星輪基板突出的樹脂插入件的寬度變窄來減少向工件保持孔側露出的面積，而減少樹脂插入件的磨耗。

又，在專利文獻2中記載有在使樹脂插入件的鳩尾榫裝卸自如地嵌合於遊星輪基板的鳩尾槽的結構中，為了調整嵌合的強度，在鳩尾槽與鳩尾榫之間設置縫隙。

又，在專利文獻3中揭露有嵌入已預先成形的樹脂插入件的方式以及由射出成型所致的方式，作為沿著遊星輪基板的工件保持孔的內周面設置樹脂插入件的方法。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2010-179375號公報 [專利文獻2]日本專利特開2003-340711號公報 [專利文獻3]日本專利特開2018-144221號公報

[發明欲解決之課題]

然而在藉由射出成型而設置樹脂插入件的情況下，流入到沿著遊星輪基板的工件保持孔的內周面所設置的鳩尾槽的高溫的合成樹脂材在那之後，在冷卻凝固之際，朝向工件保持孔的中心收縮。此時，由於與填充於鳩尾槽的合成樹脂材的卡止而遊星輪基板的母材被拉伸，而於遊星輪基板會有產生翹曲、應變之疑慮。亦即當由於溫度變化而樹脂插入件的收縮量相較於遊星輪基板的收縮量變大時，則有遊星輪基板變形的可能性。

因此，本發明以提供即使在密接於遊星輪基板的樹脂插入部發生溫度變化的情況下，於遊星輪基板也難以產生變形的工件遊星輪以及工件遊星輪的製造方法為目的。 [為解決課題之手段]

為了達成前述目的，本發明的工件遊星輪沿著形成於遊星輪基板的工件保持孔的內周面設置有樹脂插入部，其中：於前述工件保持孔形成有在圓周方向隔開間隔而開放側俯視為狹窄的梯形的凹部，且於前述凹部密接形成有前述樹脂插入部，前述凹部的高度為大於等於0.5 mm且小於2.9 mm。

在此，較佳為前述凹部的斜邊與前述工件保持孔的圓周方向在前述凹部的外側形成的夾角為大於60°且小於90°。又，於前述工件保持孔能夠為在圓周方向交互地連續形成有正傾斜面以及負傾斜面，此正傾斜面以及負傾斜面對於表背方向的傾斜是相反的結構。

更進一步，工件遊星輪的製造方法的發明是上述任一個的工件遊星輪的製造方法，包含：為了於前述遊星輪基板穿孔出前述工件保持孔而進行切割加工的工序；以及對於前述工件保持孔藉由射出成型而設置樹脂插入部的工序。 [發明效果]

如此構成的本發明的工件遊星輪於凹部密接形成有樹脂插入部，此凹部在遊星輪基板的工件保持孔的圓周方向隔開間隔而形成且俯視為梯形。而且，此凹部的高度設定為大於等於0.5 mm且小於2.9 mm。

總之，因為凹部的高度設定為相較於以往的鳩尾槽的高度低，所以即使在藉由射出成型等而密接於遊星輪基板的樹脂插入部發生溫度變化的情況下，也能夠抑制填充於凹部的合成樹脂材的收縮量，能夠為於遊星輪基板難以產生變形的結構。

又，藉由使凹部的斜邊與工件保持孔的圓周方向形成的夾角大於60°且小於90°，能夠一邊確保在凹部的卡止，一邊抑制於遊星輪基板的母材所產生的拉伸力。

更進一步，藉由在工件保持孔的圓周方向交互地連續形成正傾斜面以及負傾斜面，且此正傾斜面以及負傾斜面對於表背方向的傾斜是相反的，對於遊星輪基板的表背任一的方向皆能夠防止樹脂插入部自工件保持孔脫落。

而且，於工件遊星輪的製造方法的發明中，藉由以射出成型設置樹脂插入部，能夠容易地製造遊星輪基板與樹脂插入部的一體性高的工件遊星輪。

以下，對於本發明的實施型態參照圖式進行說明。圖1、2是說明本實施型態的工件遊星輪10的結構的圖，其中圖2表示全體的概略結構，圖1是為了與以往比較說明而放大表示工件保持孔2的內周面附近。

工件遊星輪10安裝於研磨加工矽晶圓、玻璃等的工件的雙面或單面的平面研磨裝置而進行使用。例如研磨加工工件的雙面的平面研磨裝置具備作為定盤的上定盤以及下定盤、旋轉自如地配置於此上定盤以及下定盤的中心部的太陽齒輪、以及配置於上定盤以及下定盤的外周側的內齒輪。

而且，如圖2所示的工件遊星輪10配置於平面研磨裝置的上定盤與下定盤之間。 工件遊星輪10例如藉由金屬製的遊星輪基板1而形成圓板狀的本體。於此遊星輪基板1穿孔出例如圓形的工件保持孔2、…以及研磨劑供給孔12、…。而且，沿著工件保持孔2的內周面設置有樹脂插入部3。

於此工件遊星輪10在為外緣的外形部11設置有與太陽齒輪以及內齒輪咬合的齒部(省略圖示)，藉由太陽齒輪以及內齒輪的旋轉而會自轉以及公轉。然後，藉由工件遊星輪10的自轉以及公轉，而配置於工件遊星輪10的工件保持孔2內的工件的雙面被研磨。

遊星輪基板1例如自金屬板切出為圓板狀。作為金屬板，能夠使用不鏽鋼(SUS)、高碳鉻軸承鋼、碳素工具鋼(SK鋼)、高速工具鋼、合金工具鋼、高張力鋼、鈦等。又，藉由聚醯胺醯亞胺(PAI)等的合成樹脂材也能夠成形遊星輪基板1。

另一方面，樹脂插入部3藉由合成樹脂材而成形。對於合成樹脂材，能夠使用聚醯胺樹脂、聚酯樹脂、聚氯乙烯樹脂、聚縮醛樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、環氧樹脂、酚醛樹脂、聚乙烯甲醛樹脂、聚砜樹脂、聚醚砜樹脂、聚醚醯亞胺樹脂等。 聚醯胺樹脂能夠使用聚醯胺6、聚醯胺66、聚醯胺11、聚醯胺12、聚醯胺610等的脂肪族聚醯胺樹脂、以及聚醯胺MXD6等的芳香族聚醯胺樹脂。 聚酯樹脂能夠使用聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚環己基聚對苯二甲酸二甲酯、聚對苯二甲酸丙二酯以及聚萘二甲酸乙二酯(polyethylene naphthalate)、聚萘二甲酸丁二酯、聚環己烷萘二甲酸二甲酯、聚萘二甲酸丙二酯等、芳香族二羧酸與二元脂肪族醇聚縮合的聚對苯二甲酸亞烷基酯以及聚萘二甲酸亞烷基酯等的樹脂。更進一步，也能夠使用由雙酚A等的二元酚以及間苯二甲酸等的芳香族二羧酸組成的全芳香族聚酯樹脂。 又，也能夠使用如變性聚苯醚樹脂的混合多種樹脂的聚合物合金。更進一步，即使為將醯胺纖維等的纖維與上述的樹脂複合的纖維強化塑膠(FRP)也能夠使用。在如稍後將要說明藉由射出成型而設置樹脂插入部3的情況下，熱塑性樹脂被使用。

於本實施型態的工件保持孔2的內周面為了提高與樹脂插入部3的一體性，如圖1所示在圓周方向連續形成有凹凸。例如凹凸是藉由在圓周方向隔開間隔設置向遊星輪基板1側凹陷的凹部21而形成。在此情況下，遊星輪基板1的未設置凹部21而殘留的母材部分成為向工件保持孔2的中心側突出的凸部。

如圖1所示的凹部21形成為開放側(工件保持孔2的中心側)俯視為狹窄的梯形(楔形)。換言之，凹部21形成為進深側(遊星輪基板1側)俯視為寬廣的梯形。

此凹部21雖然若開放側為狹窄的梯形的話，全部為不同的平面形狀亦可，但是於本實施型態中，對於幾乎相同的平面形狀的凹部21在圓周方向以等間隔重複形成的情況進行說明。

接下來，為了說明本實施型態的工件遊星輪10的凹部21的形狀的詳細情況，進行如圖1所示的、一邊與以往的一般的凹部a21的形狀比較的說明。

以往的設置於遊星輪基板a1的一般的凹部a21的形狀，雖然形成為開放側俯視為狹窄的梯形，但是與本實施型態的凹部21相比形成得較大。亦即，為工件保持孔a2的徑向的高度Ha一般為大於等於2.9 mm。

又，工件保持孔a2的圓周方向與凹部a21的斜邊a211形成的夾角θ a設定為小於等於60°。亦即，為了提高樹脂插入部a3與遊星輪基板a1的嵌合力，而增加凹部a21的高度Ha，並且為了使卡止變強，而縮小斜邊a211的角度(θ a)，且形成為難以發生拉出的形狀。

相對於此，設置於本實施型態的工件保持孔2的周圍的遊星輪基板1的凹部21，在樹脂插入部3的向工件保持孔2的中心側的脫落不發生的程度下，形成為結合力(嵌合力)變弱的形狀。

亦即，凹部21的高度H設定為大於等於0.5 mm且小於2.9 mm，與以往的高度Ha相比變得較低。例如，將凹部21的高度H設定為1.0 mm至2.0 mm左右，較佳為1.5 mm至1.7 mm左右。

更進一步，凹部21的的斜邊211與工件保持孔2的圓周方向在凹部21的外側形成的夾角θ 設定為大於60°且小於90°，與以往的形成的夾角θ a相比為立起的角度。例如，斜邊211與工件保持孔2的圓周方向形成的夾角θ 設定為65°至70°左右。

亦即，藉由使凹部21的高度H相較於以往變低，而使填充於凹部21的樹脂插入部3的合成樹脂材的量變少。又，藉由使斜邊211與工件保持孔2的圓周方向形成的夾角θ 相較於以往變大，而在樹脂插入部3向工件保持孔2的中心側拉伸之際，作用於遊星輪基板1的力會降低。對於由形成為這樣的凹部21的形狀所致的作用的詳細情形稍後將要說明。

在此，於本實施型態的工件遊星輪10的遊星輪基板1，沿著工件保持孔2的圓周方向施行用於防止樹脂插入部3的向遊星輪基板1的表背方向的脫落的加工。於以下雖然對於脫落防止方法的一個例子一邊參照圖3、4一邊說明，但是並不限於此結構，為了工件保持孔的徑向的剖面形狀成為凹形、凸形、階梯形狀等，也能夠適用加工遊星輪基板的內周面的習知的脫落防止方法。

在圖3中，放大工件遊星輪10的工件保持孔2的內周面附近並以俯視圖表示。如於圖3的A-A箭頭方向觀察的圖4(a)的剖面圖所示，為工件保持孔2的中心側的內周面，對於遊星輪基板1的表背方向為傾斜面。因此，將遊星輪基板1自表側朝向背側變寬的傾斜面作為正傾斜面22A。

而且，於圖3中將正傾斜面22A所形成的範圍作為「表加工」表示。在此「表加工」的範圍設置有二個凹部21、21，而在凹部21以及凹部21、21間的向工件保持孔2側露出的側面連續設置有正傾斜面22A。再者，在一處的表加工的範圍說明為二個的凹部21的數量為例示，並不限於此，凹部21的數量能夠任意地設定。

另一方面，如於圖3的B-B箭頭方向觀察的圖4(b)的剖面圖所示，在圖3中表示為「背加工」的範圍的內周面，也對於遊星輪基板1的表背方向為傾斜面。因此，將遊星輪基板1自表側朝向背側變窄的傾斜面作為負傾斜面22B。

在此，圖4為加上樹脂插入部3的結構於圖3的剖面的剖面圖。樹脂插入部3分別與正傾斜面22A以及負傾斜面22B密接而形成。亦即，在於遊星輪基板1側設置有正傾斜面22A之處，樹脂插入部3的密接的對峙面為負傾斜面32B(參照圖4(a))。

另一方面，在於遊星輪基板1側設置有負傾斜面22B之處，樹脂插入部3的密接的對峙面為正傾斜面32A(參照圖4(b))。再者，樹脂插入部3的形成於工件保持孔2的中心側的內側面31全部為鉛直面。

又，作為參考地在圖3以及圖4中以二點鏈線表示以往的凹部a21的形狀。當觀察圖4(a)以及圖4(b)時則顯見地，以往的凹部a21的傾斜面的位置相較於本實施型態的工件遊星輪10的凹部21的傾斜面(22A、22B)的位置，為大幅地設置於遊星輪基板1的內部側。

接著，對於本實施型態的工件遊星輪10的製造方法一邊參照圖5、6一邊說明。 首先，將金屬板設置於雷射切割加工機，自表側切割加工金屬板(步驟S1)。在此，金屬板的「表側」是指最初進行切割加工的表面，並將相反側的面作為「背側」。又，於以下也有以將自表側的切割加工省略為「表加工」、將自背側的切割加工省略為「背加工」的用語進行說明的情況。

當藉由雷射切割加工機而進行雷射加工時，則其切割面成為自表側朝向背側變寬的傾斜面(參照圖4(a))。於步驟S1中進行圖3所示的「表加工」的範圍的切割加工。藉由此表加工而形成的傾斜面為正傾斜面22A。

然後，於已到達背加工的區域的時間點暫時中斷切割加工，使雷射光照射的位置移動至隔著背加工區域而相鄰的下一個的表加工區域的起點。如此，在工件保持孔2的圓周方向隔開間隔而進行斷斷續續的表加工區域的切割加工。

在圖2所示的工件遊星輪10的情況下，於遊星輪基板1的全部的工件保持孔2進行表加工區域的切割加工。然後，使金屬板翻轉，轉換為自金屬板的背側的切割加工的工序(步驟S2)。

當將已翻轉的金屬板設置於雷射切割加工機時，則已在步驟S1中切割的切割線在圓周方向隔開間隔地現出。於背加工中，藉由進行連接斷斷續續的切割線的切割加工，而切出全部的工件保持孔2。

在背加工中，切割面也形成為自背側朝向表側變寬的傾斜面(參照圖4(b))。藉由此背加工而形成的傾斜面為負傾斜面22B。

然後，於已到達由表加工所致的切割線的時間點暫時中斷切割加工，使雷射光照射的位置移動至隔著表加工區域而相鄰的下一個的背加工區域的起點。如此，進行斷斷續續的背加工區域的切割加工至工件保持孔2的切割線連接為一圈為止。

又，在步驟S2中也進行外形部11以及研磨劑供給孔12等的切割加工。然後，進行調整遊星輪基板1的厚度的研磨加工以及拋光加工(步驟S3)。

對於如此而成形的遊星輪基板1的工件保持孔2、…的內周面，於步驟S4的工序中分別設置樹脂插入部3、…。樹脂插入部3藉由合成樹脂材的射出成型而被設置。

在圖6中表示用於說明射出成型的工序的模式圖。射出成型機4具備使遊星輪基板1的例如表面接觸的鑄模41A、使相反側的背面接觸的鑄模41B、以及合成樹脂材的投入口43。

將一方的鑄模41A設置於射出成型機4，一邊將自鑄模41A突出的定位銷42插入到遊星輪基板1的定位孔13(參照圖7)，一邊使遊星輪基板1的表面密接於鑄模41A。又，在工件保持孔2的除了為了設置樹脂插入部3而需要保持空洞之處以外的區域配置內膜框45。

接下來，對於遊星輪基板1的背面推壓另一方的鑄模41B。亦即，使遊星輪基板1介於二個的鑄模41A、41B之間。在如此而已將遊星輪基板1設置於射出成型機4之際，延伸自投入口43的注入路徑44的分叉通道441的前端成為連接於為了設置樹脂插入部3而設置的空洞。

因此，當將已加熱熔融的合成樹脂材投入於投入口43時，則將經過注入路徑44以及分叉通道441流下的合成樹脂材射出注入於將成為樹脂插入部3的空洞。

然後，藉由冷卻而使射出注入的合成樹脂材固化，進行樹脂插入部3的射出成型。再者，在未對齊於內側面31的位置而設置內膜框45的情況下，在射出成型後進行用於形成內側面31的切割加工。

當如此而進行射出成型時，則在射出注入的高溫的合成樹脂材冷卻凝固之際產生急遽的溫度變化。圖7是用於說明在射出成型後一般的樹脂插入部a3藉由冷卻而收縮之際所產生的力的模式圖。

在此，遊星輪基板a1以及樹脂插入部a3因為熱膨脹係數不同，所以對於溫度變化的變形量不同。更進一步，當填充於凹部a21的合成樹脂材的收縮量相較於遊星輪基板a1的收縮量變大時，則凹部a21周圍的遊星輪母材被拉伸。凹部a21周圍的遊星輪母材因為被切口而變弱，所以當大的拉伸力產生於此時，則在遊星輪基板a1全體會有產生翹曲、歪斜之疑慮。

如此而產生的拉伸力，如本實施型態的工件遊星輪10般，能夠藉由降低凹部21的高度H來減少收縮量，而使其降低。又，即使收縮發生於填充於凹部21的合成樹脂材，若在凹部21的斜邊211的卡止的力為小的話，也能夠使產生於遊星輪基板1的母材的拉伸力變少。總之，藉由使凹部21的高度H變低，並使工件保持孔2的圓周方向與斜邊211形成的夾角θ 變大，而變得能夠防止遊星輪母材被拉伸而在遊星輪基板1全體產生翹曲、應變而變形。

接著，對於本實施型態的工件遊星輪10以及工件遊星輪10的製造方法的作用進行說明。 如此而構成的本實施型態的工件遊星輪10於凹部21密接形成有樹脂插入部3，此凹部21在遊星輪基板1的工件保持孔2的圓周方向隔開間隔而形成且俯視為梯形。

而且，此凹部21的高度H設定為大於等於0.5 mm且小於2.9 mm，相較於以往的凹部a21的高度Ha低地形成。當凹部21的高度H變低時，則因為在射出成型時為高溫的合成樹脂材冷卻而收縮之際的收縮量被抑制，所以作用於密接於樹脂插入部3的遊星輪基板1的拉伸力也降低。因此，翹曲、應變等的變形變得難以發生於遊星輪基板1。

尤其是，藉由使凹部21的斜邊211與工件保持孔2的圓周方向形成的夾角θ 大於60°，因為與角度為小的情況相比斜邊211的卡止變弱而變得容易脫離，所以能夠抑制作用於遊星輪母材的拉伸力。在此，形成的夾角θ 若設定為小於90°的話，填充於凹部21的合成樹脂材的最低底限的卡止能夠確保。

又，在工件保持孔2的圓周方向交互地連續形成有正傾斜面22A以及負傾斜面22B，此正傾斜面22A以及負傾斜面22B對於表背方向的傾斜是相反的，並設置樹脂插入部3密接於那些的傾斜面(22A、22B)。

如此藉由設置傾斜為相反的正傾斜面22A以及負傾斜面22B，而對於遊星輪基板1的表背任一的方向皆變得能夠防止樹脂插入部3自工件保持孔2脫落。 亦即，在藉由射出成型而設置樹脂插入部3的情況下，雖然在冷卻固化之際發生收縮，但是若設置二個方向的傾斜面(22A、22B)的話，即使樹脂插入部3稍微收縮也能夠防止脫落。

又，藉由在工件保持孔2的圓周方向連續設置有正傾斜面22A以及負傾斜面22B，而樹脂插入部3的對峙面，亦即與工件保持孔2的內周面接觸的面，藉由正傾斜面22A以及負傾斜面22B而在整個圓周中被支撐，而能夠提高工件保持孔2保持樹脂插入部3的保持力。

更進一步，藉由在工件保持孔2的圓周方向隔開間隔而形成凹部21、…，藉由由其所致的嵌合與正傾斜面22A以及負傾斜面22B的相乘效果，而能夠成為遊星輪基板1與樹脂插入部3的一體性高的工件遊星輪10。

而且，若為本實施型態的工件遊星輪10的製造方法的話，因為藉由射出成型設置樹脂插入部3，所以能夠容易地製造遊星輪基板1與樹脂插入部3的一體性高的工件遊星輪10。

又，當進行切割加工時，則雖然在遊星輪基板1有應力、加工熱作用而翹曲、起伏等的加工應變發生，但是藉由自表側以及背側的兩方進行切割加工，而能夠使加工應變抵銷減少。尤其是，藉由在工件保持孔2的圓周方向以等間隔交互地重複表加工以及背加工，而能夠加工成平坦度更高的遊星輪基板1。

[實施例1] 以下，於本實施例1中，對於為了確認已於前述實施型態說明的工件遊星輪10的變形的有無而進行的實驗的結果進行說明。再者，對於與已於前述實施型態說明的內容相同或均等的部分的說明，使用相同用語或相同符號進行說明。

於本實施例1中，對於使形成於工件遊星輪10的遊星輪基板1的凹部21的高度H(參照圖1)自0.4 mm變化至2.9 mm為止，且使凹部21的斜邊211與工件保持孔2的圓周方向在凹部21的外側形成的夾角θ (以下，稱為「角度θ 」)自60°變化至90°為止的各個例子進行確認。

總之，將凹部21的高度H以及角度θ 作為變數，以所謂的在白光的照明下確認光的反射狀態的目視評價，評價在遊星輪基板1是否發生變形。

進行實驗的工件遊星輪10是藉由已於前述實施型態說明的工件遊星輪10的製造方法而製作。在以下表1中表示實驗結果。 [表1]

上述的凹部21的高度H以及角度θ 的組合有72種，因為實際上無法確認全部的組合，所以對於未進行實驗的組合加上「−」記號。又，在高度H為0.4 mm的情況下，因為在設置於遊星輪基板1的工件保持孔2的凹部21中的樹脂插入部3的嵌合力變得過小而變得不安定，所以未進行實驗。更進一步，在角度θ 為90°的情況下，因為在凹部21中的卡止未發生而拉伸力未產生於遊星輪基板1，所以未進行實驗。

表1所示的實驗結果的「o」記號是得到所謂的在遊星輪基板1未發生變形而光均勻地反射的評價的例子。又，實驗結果的「x」記號是判定為變形的例子。而且，實驗結果的「Δ」記號是判定為略微地變形的例子。

當觀察表1時，則於凹部21的高度H設定為0.5 mm、1.0 mm、1.5 mm、1.7 mm以及2.0 mm的遊星輪基板1，變形在全部的角度θ 中未被判定。可認為此為因為在凹部21中的樹脂插入部3的收縮量少，所以遊星輪基板1的變形未發生。

又，對於凹部21的高度H設定為2.9 mm的遊星輪基板1，雖然於角度θ 為85°變形未被判定，但是於角度θ 為70°以及60°的遊星輪基板1變形被判定。總之，可認為即使在凹部21的高度H為高而樹脂插入部3的收縮量增加的情況下，若由為楔子的角度θ 所致的卡止的力為小的話，產生於遊星輪母材的拉伸力變小，而在遊星輪基板1未發生變形。另一方面，角度θ 為70°以及60°的遊星輪基板1因為卡止的力大大地作用，所以看得到遊星輪基板1的變形。

當自這些的結果來判斷時，則凹部21的高度H若為大於等於0.5 mm且小於等於2.9 mm的話，有未發生變形的例子，若為小於2.9 mm的話，變得難以發生變形，且若為0.5 mm至2.0 mm之間的話，可謂為任一的角度θ 皆未發生變形。

又，角度θ 若為大於等於60°且小於90°的話，有未發生變形的例子，因為在角度θ 為60°而凹部21的高度H為2.8 mm的時候略微地發生變形，所以可謂為較佳為高度H為小於2.9 mm且角度θ 設定為大於60°且小於90°。

以上，雖然參照圖式而詳述本發明的實施型態以及實施例，但是具體的結構並不限於此實施型態或實施例，而不違背本發明的要旨的程度的設計的變更包括於本發明中。

例如於前述實施型態中，雖然已對於工件保持孔2為圓形的工件遊星輪10進行說明，但是並不限於此。對於具有例如長方形(包括正方形)的工件保持孔的工件遊星輪也能夠適用本發明。更進一步，工件保持孔為除了圓形以及長方形以外的其它形狀亦可。

又，於前述實施型態中，雖然已對於藉由雷射加工而切割加工遊星輪基板1的情況進行說明，但是並不限於此，若為水刀加工、金屬線加工等能夠形成凹部21的切割加工的話即可。

水刀加工是使高壓水自噴嘴噴出而進行的切割加工，能夠一邊形成傾斜面一邊進行精密的切割。又，藉由添加研磨材於水中，即使為硬質的材料，也能夠進行切割。 金屬線加工是在金屬線與遊星輪基板之間施加電壓並引起放電而進行的切割加工，能夠一邊形成傾斜面一邊進行精密的切割。

又，於前述實施型態中，雖然已對於在工件保持孔2的內周面的整個圓周以等間隔形成有凹部21的情況進行說明，但是並不限於此，凹部21在圓周方向隔開任意的間隔而斷斷續續地被設置亦可。

10:工件遊星輪 1、a1:遊星輪基板 2、a2:工件保持孔 21、a21:凹部 211、a211:斜邊 22A、32A:正傾斜面 22B、32B:負傾斜面 3、a3:樹脂插入部 H、Ha:高度θ、θa:形成的夾角 11:外形部 12:研磨劑供給孔 13:定位孔 31:內側面 4:射出成型機 41A、41B:鑄模 42:定位銷 43:投入口 44:注入路徑 441:分叉通道 45:內膜框 A-A/B-B:箭頭方向 S1-S4:步驟

圖1是將本實施的型態的工件遊星輪的結構與以往比較說明的放大俯視圖； 圖2是說明工件遊星輪的概略結構的俯視圖； 圖3是為了說明表加工以及背加工而將工件遊星輪的工件保持孔的內周面附近放大說明的俯視圖； 圖4是在已於工件保持孔的內周面設置樹脂插入部的狀態下說明正傾斜面以及負傾斜面的圖，其中(a)是於圖3的A-A箭頭方向觀察的剖面圖，(b)是於圖3的B-B箭頭方向觀察的剖面圖； 圖5是說明本實施的型態的工件遊星輪的製造方法的工序的流程圖； 圖6是用於說明射出成型的工序的模式圖；以及 圖7是表示在射出成型後樹脂插入部收縮之際所產生的力的說明圖。

1、a1:遊星輪基板

2、a2:工件保持孔

21、a21:凹部

211、a211:斜邊

3、a3:樹脂插入部

H、Ha:高度

θ、θa:形成的夾角

Claims (4)

1. 一種工件遊星輪，沿著形成於遊星輪基板的工件保持孔的內周面設置有樹脂插入部，其中： 於該工件保持孔形成有在圓周方向隔開間隔而開放側俯視為狹窄的梯形的凹部，且於該凹部密接形成有該樹脂插入部；且 該凹部的高度為大於等於0.5 mm且小於2.9 mm。
2. 如請求項1所述的工件遊星輪，其中該凹部的斜邊與該工件保持孔的圓周方向在該凹部的外側形成的夾角為大於60°且小於90°。
3. 如請求項1或2所述的工件遊星輪，其中於該工件保持孔在圓周方向交互地連續形成有正傾斜面以及負傾斜面，該正傾斜面以及負傾斜面對於表背方向的傾斜是相反的。
4. 一種工件遊星輪的製造方法，是如請求項1至3中任一項所述的工件遊星輪的製造方法，包含： 為了於該遊星輪基板穿孔出該工件保持孔而進行切割加工的工序；以及 對於該工件保持孔藉由射出成型而設置樹脂插入部的工序。

Images