KR102131443B1 - 연마장치용 캐리어 - Google Patents

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    • H01L21/30625—With simultaneous mechanical treatment, e.g. mechanico-chemical polishing

Abstract

본원발명은 연마장치용 캐리어에 관한 것으로서, 상·하부에 각각 배치되고 상호 반대방향으로 회전작동하는 상정반과 하정반, 상기 상정반의 저면과 하정반의 상면에 각각 장착되는 연마 패드, 상기 상정반과 하정반의 사이에 배치되고 적어도 하나 이상의 연마대상물을 고정 및 지지하는 캐리어를 포함하는 연마장치에 있어, 상기 캐리어는 내부에 적어도 하나 이상의 연마대상물 장착공과 슬러리 장착공이 형성되고, 외주면에는 둘레를 따라 동력전달부가 형성되는 캐리어부; 및 상기 캐리어부의 연마대상물 장착공에 각각 결합되고 내부에는 연마대상물이 장착되는 중공형상의 완충부재;를 포함하되, 상기 연마대상물 장착공과 완충부재는 내주면에 형성되는 연마대상물 결합부와 외주면에 형성되는 완충부재 결합부를 결합하여 고정된다.
본 발명에 의한 연마장치용 캐리어는 연마대상물 장착공과 완충부재의 접촉면적을 증가시켜 연마장치의 연마과정에서 연마대상물이 유동하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 연마대상물의 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

연마장치용 캐리어{Carrier for polishing equipment}
본 발명은 연마장치를 통한 웨이퍼나 하드디스크 등의 판형 소재를 연마할 때 연마대상물을 고정하는 연마장치용 캐리어에 관한 것이다.
웨이퍼를 제조하기 위해서는 실리콘 잉곳으로부터 슬라이싱되어 얻어지는 웨이퍼의 표면을 연마하여 평탄도를 고르게 하는 연마공정이 필수적으로 진행되어야 한다.
그리고 이러한 연마공정에서는 웨이퍼의 전면과 후면을 함께 동시에 연마할 수 있는 웨이퍼 양면 연마장치(wafer doubleside polishing device)가 널리 사용되고 있다.
도 1 및 도 2는 종래의 웨이퍼 양면 연마장치를 나타낸 것으로서, 도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 연마장치(9)는 상호 반대방향으로 회전하는 상정반(1)과 하정반(3)이 장착되고, 상기 상정반(1)의 하면과 하정반(2)의 상면에는 각각 웨이퍼(w)의 전면과 후면을 연마하기 위한 연마패드(2,4)가 부착된다.
그리고 상기 상정반(1)과 하정반(3)의 사이에는 복수개의 캐리어(5)가 지지된다.
여기서, 상기 캐리어(5)는 원반형으로 웨이퍼(w)가 삽입 및 유지되는 연마대상물 유지공(6)이 형성되고, 연마대상물 유지공(6)의 둘레를 따라 서로 다른 크기의 슬러리 유입공(6)이 5개 배치된다.
이와 같이 구성되는 연마장치(9)는 캐리어(5)의 연마대상물 유지공(6)에 웨이퍼(W)를 삽입한 후, 상기 웨이퍼(W)가 삽입된 캐리어(5)를 상정반(1)의 하방으로 이동시킨 다음, 상기 웨이퍼(W)를 회전 가압하게 된다. 이때, 하정반(3)도 함께 회전하게 된다.
그리고 연마에 필요한 슬러리는 상정반(1)을 통해 웨이퍼(w)의 전면으로 공급되며 슬러리 유입공(8)을 통해 웨이퍼(w)의 후면으로도 유입된다.
이후, 슬러리가 웨이퍼(w)와 연마패드(2,4) 사이에 공급된 상태에서 웨이퍼(w)와 연마패드(2,4)가 마찰하면서 상대 회전하게 되면 웨이퍼(w)의 전면과 후면이 평탄하게 가공된다.
그러나 상기와 같이 구성되는 연마장치는 연마과정에서 웨이퍼가 수직방향으로 이동하여 불량이 발생하는 문제점이 있었다.
구체적으로, 상기 웨이퍼는 캐리어의 연마대상물 유지공에 삽입된 상태에서, 연마장치의 작동에 따른 회전력과 상·하부 가압력에 의하여 수직방향으로 유동이 발생하여, 웨이퍼의 표면이 불량해지는 문제점이 있었다.
이와 같은 문제점을 극복하기 위하여 최근에는, 상기 캐리어의 웨어퍼 유지공에 중공형의 완충부재를 장착한 후, 상기 완충부재의 내부에 웨이퍼를 장착하고 있으나, 상기 완충부재 또한 연마장치의 작동에 따른 웨이퍼의 이동시 함께 유동하는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1135744호 대한민국 공개특허공보 제10-2005-035454호
본 발명은 상기와 같은 실정을 감안하여 제안된 것으로서, 연마대상물 장착공과 완충부재의 접촉면적을 증가시켜 연마장치의 연마과정에서 연마대상물이 유동하는 것을 방지할 수 있는 연마장치용 캐리어를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 연마대상물 장착공의 내주면과 완충부재의 외주면에 결합홈과 결합돌기를 선택적으로 형성하여 상기 연마대상물 유지공과 완충부재의 결합력을 높일 수 있는 연마장치용 캐리어를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일실시예에 의한 연마장치용 캐리어는 상·하부에 각각 배치되고 상호 반대방향으로 회전작동하는 상정반과 하정반, 상기 상정반의 저면과 하정반의 상면에 각각 장착되는 연마 패드, 상기 상정반과 하정반의 사이에 배치되고 적어도 하나 이상의 연마대상물을 고정 및 지지하는 캐리어를 포함하는 연마장치에 있어, 상기 캐리어는 내부에 적어도 하나 이상의 연마대상물 장착공과 슬러리 장착공이 형성되고, 외주면에는 둘레를 따라 동력전달부가 형성되는 캐리어부; 및 상기 캐리어부의 연마대상물 장착공에 각각 결합되고 내부에는 연마대상물이 장착되는 중공형상의 완충부재;를 포함하되, 상기 연마대상물 장착공과 완충부재는 내주면에 형성되는 연마대상물 결합부와 외주면에 형성되는 완충부재 결합부를 결합하여 고정된다.
그리고 상기 연마대상물 결합부는 역사다리꼴 형상의 연마대상물 결합돌기와 연마대상물 결합홈이 연마대상물 장착공의 내주면을 따라 형성되고, 상기 완충부재 결합부는 역사다리꼴 형상의 부재 결합홈과 부재 결합돌기가 완충부재의 외주면을 따라 형성되어, 상기 연마대상물 결합부와 완충부재 결합부가 끼움 결합될 수 있다.
여기서, 상기 연마대상물 결합돌기에 보조 결합홈이 형성되고, 상기 보조 결합홈과 대응되는 완충부재의 부재 결합홈에 보조 결합돌기가 형성될 수 있다.
또한, 상기 연마대상물 결합돌기 및 연마대상물 결합홈의 내주면과 상기 부재 결합홈과 부재 결합돌기의 외주면에는 수직방향으로 물결 형상, 톱니 형상, 쐐기 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성되는 밀착부가 형성될 수 있다.
그리고 상기 캐리어부의 동력전달부는 기어 형상 또는 톱니 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명에 의한 연마장치용 캐리어는 연마대상물 장착공과 완충부재의 접촉면적을 증가시켜 연마장치의 연마과정에서 연마대상물이 유동하는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 연마대상물의 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 연마장치용 캐리어는 연마대상물 장착공의 내주면과 완충부재의 외주면에 결합홈과 결합돌기를 선택적으로 형성하여 상기 연마대상물 유지공과 완충부재의 결합력을 높일 수 있을 뿐만 아니라 지정된 위치에 완충부재를 안정적으로 고정시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼 양면 연마장치를 나타낸 정면도.
도 2는 종래의 캐리어를 나타낸 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 일 실시 예를 나타낸 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 다른 실시 예를 나타낸 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 " A "부분 확대 단면도.
도 6 내지 10은 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 또 다른 실시 예를 나타낸 도면.
도 11은 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 사용상태를 나타낸 도면.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 기재에 의해 정의된다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면, 도 3은 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 일 실시 예를 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 다른 실시 예를 나타낸 평면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 " A "부분 확대 단면도이고, 도 6 내지 10은 본 발명에 따른 연마장치용 캐리어의 또 다른 실시 예를 나타낸 도면이다.
본원발명인 캐리어(200)는 적어도 하나 이상의 웨이퍼(300)를 고정 및 지지하게 된다.
그리고 상기 캐리어(200)는 캐리어부(220)와 상기 캐리어부(220)에 착·탈되는 완충부재(240)를 포함한다.
상기 캐리어부(220)는 내부에 적어도 하나 이상의 연마대상물 장착공(222)과 슬러리 장착공(224)이 형성되고, 외주면에는 둘레를 따라 동력전달부(226)가 일체로 형성된다.
그리고 상기 캐리어부(220)는 금속 또는 합성수지로 제작되고, 소정의 두께를 가지며, 평면상 원형 형상으로 형성된다.
즉, 상기 캐리어부(220)는 원판 형상으로 형성되고, 내부에 웨이퍼(300)가 장착되는 연마대상물 장착공(222)과 연마 작업시 공급되는 슬러리가 임시 수용되는 슬러리 장착공(224)이 형성되며, 외주면에는 동력을 전달받아 회전작동할 수 있도록 동력전달부(226)가 형성된다.
이때, 상기 캐리어부(220)의 형상은 원판 형상 이외에도 환경 및 목적 등에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
상기 연마대상물 장착공(222)은 캐리어부(220)의 중심을 기준으로 원주방향을 따라 일정간격으로 이격되게 형성되거나 또는 편심되게 형성되고 그 형상은 원 형상 이외에도 다각형 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 연마대상물 장착공(222)의 크기는 웨이퍼(300)와 대응되는 형상으로 형성된다.
그리고 상기 연마대상물 장착공(222)의 내주면에는 완충부재(240)와 결합 및 고정될 수 있도록 다양한 형상을 가지는 연마대상물 결합부(228)가 형성된다.
먼저, 도시된 도 3의 연마대상물 결합부(228)는 연마대상물 장착공(222)의 내주면 둘레를 따라 역사다리꼴 형상의 연마대상물 결합돌기(228a)와 연마대상물 결합홈(228b)이 형성되는 예를 나타낸 것이다.
이때, 상기 연마대상물 결합돌기(228a)와 연마대상물 결합홈(228b)의 크기는 동일하게 형성된다.
즉, 상기 연마대상물 결합부(228)는 역사다리꼴 형상으로 형성되는 연마대상물 결합돌기(228a)와 연마대상물 결합홈(228b)을 통해 상기 완충부재(240)와 접촉면적을 증가시켜 결합력을 향상시키게 된다.
다음으로, 도시된 도 4 및 5의 연마대상물 결합부(228)는 도시된 도 3의 연마대상물 결합부(228)를 구성하는 연마대상물 결합돌기(228a)로 보조 결합홈(228c)이 더 형성되는 예를 나타낸 것이다.
여기서, 상기 보조 결합홈(228c)은 연마대상물 결합홈(228b)의 중앙 부분에 형성되고, 그 형상은 원형 형상, 타원, 사각형 등으로 형성된다.
즉, 상기 보조 결합홈(228c)은 연마대상물 결합돌기(228a)와 연마대상물 결합홈(228b)와 마찬가지로 완충부재(240)와 접촉면적을 증가시켜 결합력을 향상시킬 뿐만 아니라 측면보다 상대적으로 결합력이 약한 부분을 결합력을 증가시키게 된다.
다음으로, 도시된 도 8의 연마대상물 결합부(228)는 상기 연마대상물 결합돌기(228a) 및 연마대상물 결합홈(228b)의 내주면에 수직방향으로 물결 형상, 톱니 형상, 쐐기 형상 중 어느 하나의 형상으로 밀착부(228d)를 형성하여, 상기 완충부재(240)를 고정 및 지지할 수 있도록 한 것이다.
즉, 상기 밀착부(228d)는 완충부재(240)와 접촉하는 상기 연마대상물 결합돌기(228a) 및 연마대상물 결합홈(228b)의 내주면에 수직방향으로 형성되어, 상기 완충부재(240)를 고정 및 지지하게 된다.
따라서, 상기 연마대상물 결합부(228)는 연마대상물 결합돌기(228a) 및 연마대상물 결합홈(228b)와 함께 밀착부(228d)를 통해 완충부재(240)를 이중으로 고정 및 지지하게 된다.
다음으로, 도시된 도 9의 연마대상물 결합부(228)는 연마대상물 결합홈(228b)에 복수개의 보조 가압 돌기(229)를 형성한 것을 나타낸 것이다.
즉, 상기 연마대상물 결합부(228)는 연마대상물 결합홈(228b)에 보조 가압 돌기(229)를 형성하여 상기 완충부재(240)와 결합력을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 외부 충격에 의해서 쉽게 분리되는 것을 방지하게 된다.
이때, 상기 연마대상물 결합홈(228b)은 보조 가압 돌기(229)를 대신하여 물결 또는 톱니 등의 형상으로 형성될 수 있다.
상기 슬러리 장착공(224)은 연마대상물 장착공(222)의 주위에 적어도 하나 이상 형성된다.
여기서, 상기 슬러리 장착공(224)은 도시된 원 형상 이외에도 사각형, 다각형 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
그리고 상기 슬러리 장착공(224)은 연마대상물 장착공(222)의 주위에 동일한 직경을 가지고 형성될 뿐만 아니라 환경 및 목적 등에 따라 서로 다른 직경을 가지고 형성될 수 있다.
상기 동력전달부(226)는 캐리어부(220)의 외주면에 둘레를 따라 형성된다.
그리고 상기 동력전달부(226)는 기어 형상 또는 톱니 형상으로 형성되고, 외부에서 전달되는 회전력을 공급받아 웨이퍼(300)가 장착되는 캐리어(200)를 회전작동시키게 된다.
상기 완충부재(240)는 캐리어부(220)의 연마대상물 장착공(222)에 각각 장착된다.
그리고 상기 완충부재(240)는 내부에 웨이퍼(300)가 장착될 수 있도록 중공 형상으로 형성되고, 외주면에는 상기 연마대상물 장착공(222)에 고정될 수 있도록 완충부재 결합부(241)가 형성된다.
즉, 상기 완충부재(240)는 캐리어부(220)의 연마대상물 장착공(222)에 완충부재 결합부(242)를 통해 고정되면서 내부에 웨이퍼(300)를 고정 및 지지하게 된다.
여기서, 상기 완충부재 결합부(241)는 연마대상물 장착공(222)의 연마대상물 결합부(228)와 대응될 수 있도록 다양하게 형성되며 이를 첨부되는 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도시된 도 3의 완충부재 결합부(241)는 완충부재(240)의 외주면 둘레를 따라 역사다리꼴 형상의 부재 결합홈(242)과 부재 결합돌기(243)가 형성되는 예를 나타낸 것이다.
이때, 상기 부재 결합홈(242)과 부재 결합돌기(243)의 크기는 동일하게 형성된다.
즉, 상기 완충부재 결합부(241)는 역사다리꼴 형상으로 형성되는 부재 결합홈(242)과 부재 결합돌기(243)를 통해 상기 연마대상물 장착공(222)의 연마대상물 결합부(228)와 결합을 하게 된다.
다음으로, 도시된 도 4 및 5의 완충부재 결합부(241)는 도시된 도 3의 완충부재 결합부(241)를 구성하는 부재 결합홈(242)으로 보조 결합돌기(244)가 더 형성되는 예를 나타낸 것이다.
여기서, 상기 보조 결합돌기(244)는 부재 결합홈(243)와 대응하는 위치에 동일한 형상으로 형성된다.
다음으로, 도시된 도 8의 완충부재 결합부(241)는 상기 부재 결합홈(242)과 부재 결합돌기(243)의 외주면에 수직방향으로 물결 형상, 톱니 형상, 쐐기 형상 중 어느 하나의 형상으로 밀착부(245)를 형성하여, 상기 연마대상물 결합부(228)와 결합력을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
그리고 상기 완충부재(240)는 도시된 도 10과 같이 내부에 기공(246)이 형성될 수 있다.
즉, 상기 완충부재(240)는 제조시 내부에 다수개의 기공(246)을 형성하여 외부에서 전달되는 충격을 흡수 및 완충하게 된다.
이때, 상기 기공(246)의 크기는 일정하지 않으며 다양한 크기로 형성될 수 있다.
그리고 상기 완충부재(240)는 도시된 도 10과 같이 내부에 다수개의 기공(246)이 형성될 수 있다.
즉, 상기 완충부재(240)는 제조시 내부에 다수개의 기공(246)을 형성하여 연마대상물을 안정적으로 고정 및 지지할 수 있을 뿐만 아니라 외부에서 전달되는 충격을 흡수 및 완충하게 된다.
이때, 상기 기공(246)은 완충부재(240)에 결합되는 연마대상물의 재질, 크기, 두께(예를 들면, 5mm이하) 등의 환경에 따라 크기가 다르게 형성될 뿐만 아니라 상기 기공(246)이 밀착 또는 간격을 두고 형성하게 된다.
다음으로, 상기와 같이 구성되는 연마장치용 캐리어의 실시 예를 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 내부에 적어도 하나 이상의 연마대상물 장착공(222)과 슬러리 장착공(224)이 형성되고, 외주면에는 둘레를 따라 기어 형상의 동력전달부(226)가 형성되는 캐리어부(220)를 형성한다.
이때, 상기 연마대상물 장착공(222)의 내주면 둘레에는 역사다리꼴 형상의 연마대상물 결합돌기(228a)와 연마대상물 결합홈(228b)가 형성되고, 상기 연마대상물 결합홈(228b)의 중앙으로 보조 결합돌기(228c)가 형성되는 연마대상물 결합부(228)가 형성된다.
그리고 상기 캐리어부(220)의 연마대상물 장착공(222)으로 내부에 웨이퍼(300)가 장착될 수 있도록 중공 형상으로 형성되고, 외주면에는 상기 연마대상물 장착공(222)에 고정될 수 있도록 완충부재(240)의 외주면 둘레를 따라 역사다리꼴 형상의 부재 결합홈(242)과 부재 결합돌기(243)가 형성되고, 상기 부재 결합돌기(243)의 중앙으로 보조 결합홈(244)가 각각 형성되는 완충부재 결합부(241)가 형성되는 완충부재(240)를 각각 장착하면 캐리어(200)의 조립은 완료된다.
다음으로, 상기 캐리어(200)는 상·하부에 각각 배치되고 상호 반대방향으로 회전작동하는 상정반(110)과 하정반(120), 상기 상정반(110)의 저면과 하정반(120)의 상면에 각각 장착되는 연마 패드(130)를 구성하는 연마장치(100)에 장착된다.
즉, 상기 캐리어(200)는 적어도 하나 이상의 웨이퍼(300)를 고정 및 지지한 상태에서 상기 상정반(110)과 하정반(120)의 사이에 배치된다.
이후, 상기 웨이퍼(300)는 연마장치(100)의 작동에 따른 상하 반대방향으로 작동하는 상정반(110) 및 하정반(120)의 연마 패드(130)에 의해 연마 가공하게 된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 본질적 특성을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
예컨대, 본 명세서의 각 실시예에서 웨이퍼를 연마하는 것으로 예시하였으나 본 발명의 장치가 연마하는 대상은 이에 한정되지 않고, 하드디스크 또는 기타 연마가 필요한 판형의 제반 소재를 아우른다.
또한, 연마대상물의 형체에 있어서도 원형에 한정되는 것이 아니라, 사각형, 오각형 기타 다양한 형상의 연마대상물이 될 수 있고, 따라서 연마대상물이 안치되는 연마대상물 장착공의 형상 역시 사각형, 오각형 기타 다양한 형상이 될 수 있다.
100 : 연마장치 110 : 상정반
120 : 하정반 130 : 연마 패드
200 : 캐리어 220 : 캐리어부
222 : 연마대상물 장착공 224 : 슬러리 장착공
226 : 동력전달부 228 : 연마대상물 결합부
228a : 연마대상물 결합돌기 228b : 연마대상물 결합홈
228c : 보조 결합홈 228d : 밀착부
240 : 완충부재 241 : 완충부재 결합부
242 : 부재 결합홈 243 : 부재 결합돌기
244 : 보조 결합돌기 245 : 밀착부
300 : 웨이퍼

Claims (5)

  1. 상·하부에 각각 배치되고 상호 반대방향으로 회전작동하는 상정반과 하정반, 상기 상정반의 하면과 하정반의 상면에 각각 장착되는 연마 패드, 상기 상정반과 하정반의 사이에 배치되고 적어도 하나 이상의 연마대상물을 고정 및 지지하는 캐리어를 포함하는 연마장치에 있어서,
    상기 캐리어는,
    내부에 적어도 하나 이상의 연마대상물 장착공과 슬러리 장착공이 형성되는 캐리어부; 및
    상기 캐리어부의 연마대상물 장착공에 결합되고 내주면에는 연마대상물이 장착되는 중공형상의 완충부재;를 포함하되,
    상기 연마대상물 장착공의 내주면과 완충부재의 외주면에는 지정된 위치에 결합홈과 결합돌기가 상호 선택적으로 형성되고, 역사다리꼴 형상의 연마대상물 결합돌기와 연마대상물 결합홈이 교번 배치되는 연마대상물 결합부가 형성되며,
    상기 연마대상물 결합홈에는 복수의 보조 가압 돌기가 간격을 두고 형성되고, 상기 완충부재의 외주면에는 상기 연마대상물 결합홈과 대응하는 부재 결합돌기가 형성되어 상기 연마대상물 결합홈과의 접촉 면적이 증가되는 것을 특징으로 하고,
    상기 완충부재의 내부에는 서로 다른 크기의 기공이 형성되는 것인 연마장치용 캐리어.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 완충부재는 상기 연마대상물 결합부와 대응하는 완충부재 결합부가 외주면을 따라 형성되고,
    상기 완충부재 결합부는 상기 완충부재의 외주면을 따라 상기 부재 결합돌기와 교번 배치되는 역사다리꼴 형상의 부재 결합홈을 포함하는 것인 연마장치용 캐리어.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연마대상물 결합돌기에는 보조 결합홈이 형성되고,
    상기 부재 결합홈에는
    상기 보조 결합홈과 대응되는 보조 결합돌기가 형성되는 것인 연마장치용 캐리어.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 연마대상물 결합돌기 및 연마대상물 결합홈의 내주면과 상기 부재 결합홈 및 부재 결합돌기의 외주면에는 수직방향으로 물결 형상, 톱니 형상, 쐐기 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성되는 밀착부가 형성되는 것인 연마장치용 캐리어.
  5. 삭제
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