JP2009154280A - 被研磨物保持具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】定盤23に固定されて被研磨物17を保持するバッキング材11と、定盤23上またはバッキング材11に固定されて被研磨物17の外周を保持する保持枠材12とを備えた被研磨物保持具で10あって、保持枠材12に開設された被研磨物17を保持する保持穴18の開口内周面に沿って接着層15を介して緩衝材14を固定したものである。
【選択図】図2
Description
本発明に係る被研磨物保持具10の実施例について説明する。
11 バッキング材
12 保持枠材
14 緩衝材
15 接着層
17 被研磨物
18 保持穴
23 定盤
Claims (4)
- 研磨ヘッドに固定されて被研磨物を保持するバッキング材と、前記研磨ヘッドまたは前記バッキング材に固定されて前記被研磨物の外周を保持する保持枠材とを備えた被研磨物保持具であって、
前記保持枠材に開設された前記被研磨物を保持する保持穴の開口内周面に沿って接着層を介して緩衝材を固定したことを特徴とする被研磨物保持具。 - 前記緩衝材は、前記保持穴の前記開口内周面にのみ固定されるとともに、前記保持枠材より柔らかい材質にて形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の被研磨物保持具。
- 前記緩衝材は、前記保持穴に内嵌される環状の部材からなる、ことを特徴とする請求項1に記載の被研磨物保持具。
- 前記緩衝材は、前記保持穴の開口内周面に沿って配置される帯状の部材からなる、ことを特徴とする請求項1に記載の被研磨物保持具。
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