KR102199135B1 - 기판 연마용 캐리어 및 이를 포함하는 기판 연마 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 회전 작동하는 상정반과, 상정반의 하부에 배치되며, 상정반과 반대 방향으로 회전 작동하는 하정반과, 상정반의 하면에 배치되는 제1연마패드와, 하정반의 상면에 배치되는 제2연마패드와, 제1연마패드와 제2연마패드 사이에 배치되어 연마대상물인 기판을 고정하는 캐리어를 포함한다.
이때, 캐리어는 기판을 수용하는 기판 장착공이 형성되는 베이스플레이트와, 기판 장착공과 기판 사이에 개재되는 중공 형상의 완충부재를 포함하되, 베이스플레이트는 기판 장착공의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈을 구비하여, 완충부재의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 연마용 캐리어 및 이를 포함하는 기판 연마 장치{CARRIER FOR SUBSTRATE POLISHING AND SUBSTRATE POLISHING APPARATUS COMPRISING THE SAME}
본 발명은 기판 연마용 캐리어 및 이를 포함하는 기판 연마 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼나 하드디스크 등의 판형 소재를 연마할 때 연마대상물인 기판을 효과적으로 고정시킬 수 있는 기판 연마용 캐리어 및 이를 포함하는 기판 연마 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 제조용 재료로 광범위하게 사용되고 있는 웨이퍼(wafer)는 다결정의 실리콘을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판을 말한다.
이러한 웨이퍼는 다결정의 실리콘을 단결정 실리콘 잉곳(ingot)으로 성장시킨 다음, 실리콘 잉곳을 웨이퍼의 형태로 자르는 슬라이싱(slicing) 공정과, 웨이퍼의 두께를 균일화하여 평면화하는 래핑(lapping) 공정과, 기계적인 연마에 의하여 발생한 손상을 제거 또는 완화하는 에칭(etching) 공정과, 웨이퍼 표면을 경면화하는 폴리싱(polishing) 공정과, 웨이퍼를 세정하는 세정 공정(cleaning) 등을 거쳐 제조된다.
이때, 웨이퍼의 상, 하면을 동시에 연마시키는 양면 연마 공정(Double Side Polishing ; DSP)이 많이 적용되는데, 이러한 양면 연마 공정에 사용되는 DSP 장비는 슬러리(slurry)를 연마제로 사용하고, 상/하정반에 부착된 각각의 연마패드와 그 사이에 위치된 웨이퍼의 마찰을 통하여 연마를 수행한다.
하지만 이러한 과정에서, 연마 장치의 작동에 따른 회전력과 상, 하부 가압력에 의하여 수직 방향으로 유동하는 문제가 있었다. 그로 인해 웨이퍼의 표면이 불량해지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 실정을 감안하여 제안된 것으로서, 웨이퍼나 하드디스크 등의 판형 소재를 연마할 때 연마대상물인 기판을 효과적으로 고정시킬 수 있는 기판 연마 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 기판의 수직 유동을 방지하기 위하여 마련된 기판 연마용 캐리어를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 회전 작동하는 상정반; 상기 상정반의 하부에 배치되며, 상기 상정반과 반대 방향으로 회전 작동하는 하정반; 상기 상정반의 하면에 배치되는 제1연마패드; 상기 하정반의 상면에 배치되는 제2연마패드; 및 상기 제1연마패드와 상기 제2연마패드 사이에 배치되어 연마대상물인 기판을 고정하는 캐리어;를 포함한다.
이때, 상기 캐리어는 기판을 수용하는 기판 장착공이 형성되는 베이스플레이트와, 상기 기판 장착공과 기판 사이에 개재되는 중공 형상의 완충부재를 포함한다.
여기서 상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈을 구비하여, 상기 완충부재의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정한다.
상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기와 사다리꼴 형상의 결합홈을 구비한다. 이때, 상기 결합홈에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성될 수 있다.
상기 결합돌기는 수직 방향으로 관통된 보조 결합홈을 구비한다.
상기 완충부재는 상기 보조 결합홈과 대응하는 보조 결합돌기를 구비한다.
상기 결합돌기에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성된다.
이때, 상기 고정홈은 상기 기판 장착공의 내주면에서 상기 베이스플레이트의 수직 방향 중심 지점을 향해 경사진 형태로 이루어진다. 그리고 상기 고정홈의 수평 길이는 상기 베이스플레이트의 수직 길이보다 짧은 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 연마 장치는 회전 작동하는 상정반; 상기 상정반의 하부에 배치되며, 상기 상정반과 반대 방향으로 회전 작동하는 하정반; 상기 상정반의 하면에 배치되는 제1연마패드; 상기 하정반의 상면에 배치되는 제2연마패드; 및 상기 제1연마패드와 상기 제2연마패드 사이에 배치되어 연마대상물인 기판을 고정하는 캐리어;를 포함하되, 상기 캐리어는 기판을 수용하는 기판 장착공이 형성되는 베이스플레이트와, 상기 기판 장착공과 기판 사이에 개재되는 중공 형상의 완충부재를 포함하고, 상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 수평 방향으로 형성되는 고정홈을 구비하여, 상기 완충부재의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마용 캐리어는 연마대상물인 기판이 수용되는 기판 장착공을 구비한 베이스플레이트와, 상기 기판 장착공과 기판 사이에 개재되는 중공 형상의 완충부재를 포함한다.
여기서, 상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈을 구비하여, 상기 완충부재의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정한다.
상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기와 사다리꼴 형상의 결합홈을 구비한다. 상기 결합홈에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성될 수 있다.
상기 결합돌기는 수직 방향으로 관통된 보조 결합홈을 구비하며, 상기 완충부재는 상기 보조 결합홈과 대응하는 보조 결합돌기를 구비한다.
상기 고정홈이 경사지는 각도는 둔각 또는 예각일 수 있다.
상기 완충부재의 외주면은 상기 기판 장착공의 내주면에 요철(凹凸) 결합될 수 있다.
상기 완충부재의 외주면에는 상기 기판 장착공의 고정홈과 대응하는 복수 개의 고정돌기가 형성될 수 있다.
상기 고정홈은 반원, 삼각형, 사각형, 다각형 중 어느 하나의 형태로 이루어질 수 있다.
본 발명은 연마대상물인 기판의 양단을 완충부재가 1차로 가압하고, 상기 완충부재의 끝단 상, 하부를 베이스플레이트가 감싸 고정시킴으로써, 연마 중 기판이 상하로 유동하는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 기판의 불량률을 줄이고 제조비용을 감소시킬 수 있다. 또한, 기판의 생산율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 나타낸 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 나타낸 분해 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 나타낸 평면도.
도 4는 도 3에 도시된 A-A'선을 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마용 캐리어를 나타낸 평면도.
도 6 내지 도 10은 도 5에 도시된 B-B'선 단면의 다양한 실시예를 나타낸 도면.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 청구항의 기재에 의해 정의된다.
한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 나타낸 분해 사시도이다.
도 1및 도 2를 병행 참조하면, 기판 연마 장치(10)는 크게 상정반(100), 하정반(200), 제1연마패드(300), 제2연마패드(400), 캐리어(500)를 포함한다.
상정반(100)은, 승강 이동 및 회전 작동이 가능하다. 이러한 상정반(100)은 모터 등과 같은 구동 수단에 의해서 회전될 수 있다. 이때, 상기 상정반(100)은 원형 플레이트 형상을 가질 수 있다.
하정반(200)은, 상기 상정반(100)의 하부에 배치된다. 이러한 하정반(200)은 상기 상정반(100)과 공간을 두고 이격되며, 상기 상정반(100)과 서로 마주보는 구조를 갖는다. 즉, 상기 하정반(200)은 상기 상정반(100)과 대향된다.
상기 하정반(200)은 상기 상정반(100)과 반대 방향으로 회전 작동한다. 이때, 상기 하정반(200)은 상기 상정반(100)과 같은 방향으로도 회전 작동이 가능하다. 상기 하정반(200)은 원형 플레이트 형상을 가질 수 있다.
제1연마패드(300)는, 상기 상정반(100)의 하면에 배치된다. 상기 제1연마패드(300)는 상기 상정반(100)과 결합되거나 일체로 형성될 수 있다.
상기 제1연마패드(300)는 기판(1)에 직접 접촉하여 기판(1)의 상면을 연마한다. 상기 제1연마패드(300)에는 슬러리(slurry)를 공급하기 위한 다수 개의 홀들이 형성될 수 있다.
제2연마패드(400)는, 상기 하정반(200)의 상면에 배치된다. 상기 제2연마패드(400)는 상기 하정반(200)과 결합되거나 일체로 형성될 수 있다.
상기 제2연마패드(400)는 기판(1)에 직접 접촉하여 기판(1)의 하면을 연마한다. 상기 제2연마패드(400)에는 슬러리를 공급하기 위한 다수 개의 홀들이 형성될 수 있다.
캐리어(500)는 상기 제1연마패드(300)와 제2연파매드(400) 사이에 배치되어 기판(1)을 고정한다.
이러한 캐리어(500)는 기판(1)이 제1, 2연마패드(300, 400)에 의해 평탄하게 연마되도록 기판(1)의 양단을 가압하여 고정시킨다. 이때, 상기 캐리어(500)는 선 기어(600)와 외곽 기어(700) 사이에 연결되어, 회전 작동되는 구조를 갖는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치를 나타낸 평면도이다.
도 3을 참조하면, 캐리어(500)는 선 기어(600)와 외곽 기어(700) 사이에 연결되어 회전하는 구조를 갖는다. 이러한 캐리어(500)는 베이스플레이트(510)와, 완충부재(520)를 포함한다.
베이스플레이트(510)는 연마대상물인 기판이 수용되는 기판 장착공(511)을 구비한다.
이러한 기판 장착공(511)의 중심은 상기 베이스플레이트(510)의 중심과 일치하지 않는다. 따라서, 상기 베이스플레이트(510)가 회전하는 경우, 상기 기판 장착공(511)에 수용된 기판은 편심 회전한다.
베이스플레이트(510)는 복수 개의 슬러리 유입공(515)을 구비한다. 이때, 상기 슬러리 유입공(515)은 서로 다른 직경을 가질 수 있다.
베이스플레이트(510)는 금속 또는 합성수지로 제작되고, 소정의 두께를 가지며, 평면상에 원형 형상으로 형성된다. 이때, 상기 베이스플레이트(510)의 외주면에는 둘레를 따라 톱니 형상의 회전연결편(516)이 일체로 형성된다.
완충부재(520)는 상기 기판 장착공(511)과 기판 사이에 개재되는 중공 형상을 갖는다.
이러한 완충부재(520)는 기판이 상기 기판 장착공(511)에 삽입되어 연마될 시, 기판의 충격을 흡수하고 나아가 기판 장착공(511)에 흠집이 나지 않도록 하기 위해선, 탄성 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서 상기 완충부재(520)는 플라스틱의 일종인 에폭시 등의 재질로 이루어질 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 A-A'선을 나타낸 단면도이다.
도 4를 참조하면, 기판 연마 장치(10)는 기판(1)을 흔들림 없이 가압하여 고정시킨 후, 연마를 수행해야 기판(1)의 불량률을 줄일 수 있다.
이때, 캐리어(500)의 베이스플레이트(510)는 완충부재(520)의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정한다. 다시 말해, 상기 베이스플레이트(510)는 기판이 수용되는 기판 장착공(도 3의 511)의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈(514)을 구비하여, 완충부재(520)의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정한다. 이에 따라, 연마 중 기판이 상하로 유동하는 것을 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마용 캐리어를 나타낸 평면도이다.
도 5를 참조하면, 기판 연마용 캐리어(500)는 베이스플레이트(510)와, 완충부재(520)를 포함한다.
베이스플레이트(510)는 기판 장착공(511)의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기(512)와, 사다리꼴 형상의 결합홈(513)을 구비한다.
이때, 결합돌기(512)는 수직 방향으로 관통된 보조 결합홈(512a)을 구비한다. 여기서, 완충부재(520)는 상기 보조 결합홈(512a)과 대응하는 보조 결합돌기(521)를 구비한다. 또한, 상기 완충부재(520)는 상기 결합돌기(512)와 대응하는 부재 결합홈(524)을 구비한다.
도 5에 도시된 바에 따르면, 상기 보조 결합홈(512a)은 상기 결합돌기(512)의 중앙 부분에 형성되지만, 그 형성 부위는 본 발명에 국한되지 않는다. 또한, 상기 보조 결합홈(512a)의 형상은, 원형, 타원, 사각형 등 다양한 형태로 이루어질 수 있다.
여기서, 보조 결합홈(512a)은 완충부재(520)의 보조 결합돌기(521)와 접촉 면적을 증가시켜 결합력을 향상시킨다.
도 6 내지 도 10은 도 5에 도시된 B-B'선 단면의 다양한 실시예를 나타낸 도면이다. 도 6 내지 도 10을 명확하게 설명하기 위하여 도 5를 함께 참조하기로 한다.
도 6을 참조하면, 베이스플레이트(510)는 연마대상물인 기판을 수용하는 기판 장착공(511)을 구비하는데, 완충부재(520)의 외주면은 상기 기판 장착공(511)의 내주면에 연결된다.
이때, 베이스플레이트(510)는 기판 장착공(511)의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈(514)을 구비한다. 이러한 고정홈(514)은 완충부재(520)의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정하는 구조를 갖는다.
상기 고정홈(514)은 도 5에 도시된 결합돌기(512; 치산)에 형성된다. 아울러, 결합력을 더욱 높이기 위하여 결합홈(513; 치골)에도 고정홈(514)이 형성되어, 상기 결합돌기(512)와 상기 결합홈(513)의 둘레면을 따라 전체적으로 형성될 수도 있다.
한편, 결합돌기(512)에는 보조결합홈(512a)이 있어 베이스플레이트(510)의 수직 방향 외력에 대한 지지력이 결합홈(513)보다 낮게 되므로, 경우에 따라 결합홈(513) 부분에만 고정홈(514)을 형성하는 것이 바람직하다.
여기서, SUS 등 금속으로 이루어진 베이스플레이트(510)의 두께가 0.7mm 이하인 경우, 또는 플라스틱 재질의 베이스플레이트(510)의 두께가 0.9mm 이하인 경우이다.
고정홈(514)은 기판 장착공(511)의 내주면에서 베이스플레이트(510)의 수직 방향 중심 지점을 향해 경사진 형태로 이루어진다.
여기서 고정홈(514)은 상, 하 단부가 대향하여 서로 마주보는 형태로 이루어지며, 서로 마주보는 최단 거리 부분부터 상기 베이스플레이트(510)의 수직 방향 중심 지점을 향해 경사진 형태로 이루어진다.
이때, 상기 고정홈(514)의 수평 길이(패인 정도)는 상기 베이스플레이트(510)의 수직 길이(폭)보다 짧은 것이 바람직하다.
또한, 도 5에서 베이스플레이트(510)의 중심점(O)을 기준으로 상대적으로 먼 구간(f)에 형성된 고정홈(514)이 상기 중심점(O)을 기준으로 상대적으로 가까운 구간(c, d, e)에 형성된 고정홈(514) 보다 깊게 형성되는 것이 바람직하다.
왜냐하면, (f)구간의 고정홈(514)은 (c, d, e)구간의 고정홈(514)에 비해 상대적으로 원심력 등 외력이 크게 작용하기 때문이다.
다시 말해, 완충부재(520)가 베이스플레이트(510)보다 상대적으로 약한 재질로 이루어지기 때문에, 고정홈(514)이 깊으면 그만큼 완충부재(520)가 길어져 기판을 잡는 수직 가압력이 약해질 수 있기 때문이다.
이때, 완충부재(520)의 외주면에는 상기 고정홈(514)과 대응하는 복수 개의 고정돌기(522)가 형성된다.
고정홈(514)이 경사지는 각도(θ) 예각 또는 둔각일 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 완충부재(520)의 고정돌기(522)가 고정홈(514)에 결합될 시, 고정홈(514)의 경사지는 각도(θ)는 직각인 것이 완충부재(520)와 베이스플레이트(510)를 효과적으로 결합시킬 수 있다.
도 7을 참조하면, 고정홈(514)은 상, 하 단부부터 베이스플레이트(510)의 수직 방향 중심 지점을 향해 경사진 형태로 이루어진다. 이에 따라, 고정돌기(522)도 상기 고정홈(514)과 대응하는 형태로 이루어진다.
도 8을 참조하면, 고정홈(514)은 상, 하 단부가 반원 형상으로 이루어질 수 있다. 이때, 고정돌기(522)는 상기 고정홈(514)과 대응하도록 반원 형태로 돌출된다.
도 9를 참조하면, 완충부재(520)의 외주면은 베이스플레이트(510)에 구비된 기판 장착공(도 5의 511)의 내주면에 요철(凹凸) 결합될 수 있다. 즉, 고정돌기(522)와 고정홈(514)이 상호 요철 결합되는 구조를 갖는다.
도 10을 참조하면, 고정홈(514)은 다각형 형태로 이루어질 수 있다. 이때, 고정돌기(522)는 상기 고정홈(514)과 대응하도록 다각형 형태로 돌출된다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 연마대상물인 기판의 양단을 완충부재가 1차로 가압하고, 상기 완충부재의 끝단 상, 하부를 베이스플레이트가 감싸 고정시킴으로써, 연마 중 기판이 상하로 유동하는 것을 방지할 수 있다.
이에 따라, 기판의 불량률을 줄이고 제조비용을 감소시킬 수 있다. 또한, 기판의 생산율을 향상시킬 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 본질적 특성을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
예컨대, 본 명세서의 연마대상물인 기판의 형체가 원형에 한정되는 것이 아니라, 사각형, 오각형 기타 다양한 형상의 연마대상물이 될 수 있다. 따라서 연마대상물인 기판이 안치되는 장착공의 형상 역시 이에 대응하는 다양한 형상이 될 수 있다.
1 : 기판
10 : 기판 연마 장치
100 : 상정반 200 : 하정반
300 : 제1연마패드 400 : 제2연마패드
500 : 캐리어 510 : 베이스플레이트
511 : 기판 장착공 512 : 결합돌기(치산)
512a : 보조 결합홈 513 : 결합홈(치골)
514 : 고정홈 515 : 슬러리 유입공
516 : 회전연결편 520 : 완충부재
521 : 보조 결합돌기 522 : 고정돌기
523 : 부재 결합돌기 524 : 부재 결합홈
600 : 선 기어 700 : 외곽 기어

Claims (17)

  1. 회전 작동하는 상정반;
    상기 상정반의 하부에 배치되며, 상기 상정반과 반대 방향으로 회전 작동하는 하정반;
    상기 상정반의 하면에 배치되는 제1연마패드;
    상기 하정반의 상면에 배치되는 제2연마패드; 및
    상기 제1연마패드와 상기 제2연마패드 사이에 배치되어 연마대상물인 기판을 고정하는 캐리어;를 포함하며,
    상기 캐리어는 기판을 수용하는 기판 장착공이 형성되는 베이스플레이트와, 상기 기판 장착공과 기판 사이에 개재되는 중공 형상의 완충부재를 포함하되,
    상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈을 구비하여, 상기 완충부재의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정하고,
    상기 고정홈은
    상기 베이스플레이트의 중심점을 기준으로 먼 구간보다 상대적으로 가까운 구간에 깊게 형성되어 기판을 잡는 수직 가압력이 약해지는 것을 방지하는 것인 기판 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스플레이트는
    상기 기판 장착공의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기와 사다리꼴 형상의 결합홈을 구비하며,
    상기 결합홈에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성되는 것인 기판 연마 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 결합돌기는
    수직 방향으로 관통된 보조 결합홈을 구비하며,
    상기 완충부재는
    상기 보조 결합홈과 대응하는 보조 결합돌기를 구비하는 것인 기판 연마 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 베이스플레이트는
    상기 기판 장착공의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기와 사다리꼴 형상의 결합홈을 구비하며,
    상기 결합돌기에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성되는 것인 기판 연마 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 고정홈은
    상기 기판 장착공의 내주면에서 상기 베이스플레이트의 수직 방향 중심 지점을 향해 경사진 형태로 이루어지며,
    상기 고정홈의 수평 길이는 상기 베이스플레이트의 수직 길이보다 짧은 것인 기판 연마 장치.
  6. 삭제
  7. 연마대상물인 기판이 수용되는 기판 장착공을 구비한 베이스플레이트와,
    상기 기판 장착공과 기판 사이에 개재되는 중공 형상의 완충부재를 포함하며,
    상기 베이스플레이트는 상기 기판 장착공의 내주면을 따라 부분적으로 형성되는 고정홈을 구비하여, 상기 완충부재의 외측 끝단 상, 하부를 감싸 고정하고,
    상기 고정홈은
    상기 베이스플레이트의 중심점을 기준으로 먼 구간보다 상대적으로 가까운 구간에 깊게 형성되어 기판을 잡는 수직 가압력이 약해지는 것을 방지하는 것인 기판 연마용 캐리어.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 베이스플레이트는
    상기 기판 장착공의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기와 사다리꼴 형상의 결합홈을 구비하며,
    상기 결합홈에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성되는 것인 기판 연마용 캐리어.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 결합돌기는
    수직 방향으로 관통된 보조 결합홈을 구비하며,
    상기 완충부재는
    상기 보조 결합홈과 대응하는 보조 결합돌기를 구비하는 것인 기판 연마용 캐리어.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 베이스플레이트는
    상기 기판 장착공의 내주면을 따라 일정 간격으로 번갈아가며 형성되는 역사다리꼴 형상의 결합돌기와 사다리꼴 형상의 결합홈을 구비하며,
    상기 결합돌기에는 상기 고정홈이 수평 방향으로 형성되는 것인 기판 연마용 캐리어.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 고정홈은
    상기 기판 장착공의 내주면에서 상기 베이스플레이트의 수직 방향 중심 지점을 향해 경사진 형태로 이루어지며,
    상기 고정홈의 수평 길이는 상기 베이스플레이트의 수직 길이보다 짧은 것인 기판 연마용 캐리어.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 고정홈이 경사지는 각도는 둔각인 기판 연마용 캐리어.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 고정홈이 경사지는 각도는 예각인 기판 연마용 캐리어.
  14. 제7항에 있어서,
    상기 완충부재의 외주면은
    상기 기판 장착공의 내주면에 요철(凹凸) 결합되는 것인 기판 연마용 캐리어.
  15. 제7항에 있어서,
    상기 완충부재의 외주면에는
    상기 기판 장착공의 고정홈과 대응하는 복수 개의 고정돌기가 형성되는 것인 기판 연마용 캐리어.
  16. 제7항에 있어서,
    상기 고정홈은
    반원, 삼각형, 사각형, 다각형 중 어느 하나의 형태로 이루어지는 것인 기판 연마용 캐리어.
  17. 삭제
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008200834A (ja) * 2007-02-22 2008-09-04 Shirasaki Seisakusho:Kk ワークホルダ
KR20090004521A (ko) * 2007-07-02 2009-01-12 스피드팜 가부시키가이샤 워크 캐리어

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