KR101051818B1 - 웨이퍼 연마장치 - Google Patents

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KR101051818B1
KR101051818B1 KR1020100028326A KR20100028326A KR101051818B1 KR 101051818 B1 KR101051818 B1 KR 101051818B1 KR 1020100028326 A KR1020100028326 A KR 1020100028326A KR 20100028326 A KR20100028326 A KR 20100028326A KR 101051818 B1 KR101051818 B1 KR 101051818B1
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    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
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    • B24B37/26—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the shape of the lapping pad surface, e.g. grooved

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

웨이퍼 연마장치가 개시된다. 웨이퍼 연마장치는 중공이 형성되는 패드를 포함하고, 상기 패드의 상면에는 상기 중공으로부터 상기 패드의 외곽으로 연장되는 다수 개의 홈들이 형성되고, 상기 홈의 중앙 부분의 폭은 상기 홈의 끝단의 폭보다 더 크다.

Description

웨이퍼 연마장치{WAFER POLISHING APPARATUS}
실시예는 웨이퍼 연마장치에 관한 것이다.
웨이퍼를 연마하기 위해서, 패드가 사용된다. 이때, 연마의 질에 대하여 특히 중요한 것은 패드 전체에 걸친 연마 입자들의 분포이다. 패드의 상부는 섬유질 또는 소형 공극들에 의해 입자들을 지지하는데, 이는 패드의 회전 운동에 의하여 생성되는 원심력으로 인한 입자들의 탈락을 저해하기에 충분한 마찰력을 제공한다.
실시예는 웨이퍼의 평탄도를 향상시키고, 웨이퍼를 효율적으로 연마하는 웨이퍼 연마장치를 제공하고자 한다.
실시예에 따른 웨이퍼 연마장치는 중공이 형성되는 패드를 포함하고, 상기 패드의 상면에는 상기 중공으로부터 상기 패드의 외곽으로 연장되는 다수 개의 홈들이 형성되고, 상기 홈의 중앙 부분의 폭은 상기 홈의 끝단의 폭보다 더 크다.
실시예에 따른 웨이퍼 연마장치는 중공으로부터 패드의 외곽으로 연장되는 다수 개의 홈들이 형성된 패드를 포함한다. 이때, 홈의 중앙 부분의 폭이 홈의 끝단의 폭보다 더 크다.
이에 따라서, 홈에 의해서, 패드의 중공 및 외곽 사이의 중간 영역에 슬러리가 더 많이 체류할 수 있다. 즉, 홈의 끝단 보다 홈의 중앙 부분에 더 많은 슬러리가 수용된다.
이에 따라서, 패드의 중공 및 외곽 사이의 중간 영역에서의 연마가 덜되는 현상을 방지하고, 패드는 전체적으로 균일하게 웨이퍼를 연마할 수 있다.
따라서, 실시예에 따른 웨이퍼 연마장치는 웨이퍼의 평탄도를 향상시키고, 웨이퍼를 효율적으로 연마할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 양면 연마장치를 도시한 분해사시도이다.
도 2는 제 1 연마패드를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에서 A-A`를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다.
도 4는 도 2에서 B-B`를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다.
도 5는 다른 실시예에 따른 제 1 연마패드를 도시한 평면도이다.
실시 예의 설명에 있어서, 각 캐리어, 부, 패드 또는 웨이퍼 등이 각 캐리어, 부, 패드 또는 웨이퍼 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 하부에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.
도 1을 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치를 도시한 분해사시도이다. 도 2는 제 1 연마패드를 도시한 평면도이다. 도 3은 도 2에서 A-A`를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다. 도 4는 도 2에서 B-B`를 따라서 절단한 단면을 도시한 단면도이다. 도 5는 다른 실시예에 따른 제 1 연마패드를 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 웨이퍼 양면 연마장치는 하정반(100), 상정반(200), 캐리어(300), 선 기어(400) 및 외곽 기어(500)를 포함한다.
상기 하정반(100)은 상기 캐리어(300)를 지지한다. 상기 하정반(100)은 중공(130)이 형성된 원형 플레이트 형상을 가진다. 예를 들어, 상기 하정반(100)은 도너츠 형상을 가질 수 있다. 상기 하정반(100)은 제 1 몸체부(110) 및 제 1 연마패드(120)를 포함한다.
상기 제 1 몸체부(110)는 상기 제 1 연마패드(120)를 지지한다. 상기 제 1 몸체부(110)는 원형 플레이트 형상을 가진다. 상기 제 1 몸체부(110)는 모터 등과 같은 구동 수단에 의해서 회전할 수 있다. 상기 제 1 몸체부(110)가 회전함에 따라서, 상기 제 1 연마패드(120)도 함께 회전된다.
상기 제 1 연마패드(120)는 상기 제 1 몸체부(110) 상에 배치된다. 상기 제 1 연마패드(120)는 상기 제 1 몸체부(110)와 결합될 수 있다. 상기 제 1 연마패드(120)는 상기 제 1 몸체부(110)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 제 1 연마패드(120)는 연마되는 웨이퍼에 직접 접촉한다. 더 자세하게, 상기 제 1 연마패드(120)는 상기 웨이퍼의 하면에 접촉하여, 상기 웨이퍼의 하면을 연마한다. 상기 제 1 연마패드(120)에는 슬러리를 공급하기 위한 다수 개의 홀들이 형성될 수 있다.
상기 제 1 연마패드(120)는 중공(130)이 형성된 플레이트 형상을 가진다. 더 자세하게, 상기 제 1 연마패드(120)는 중공(130)이 형성된 원형 플레이트 형상을 가진다. 예를 들어, 상기 제 1 연마패드(120)는 도너츠 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 중공(130)은 원 형상을 가질 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 제 1 연마패드(120)에는 다수 개의 슬러리 수용홈들(121)이 형성된다. 더 자세하게, 상기 슬러리 수용홈들(121)은 상기 제 1 연마패드(120)의 상면(122)에 형성된다.
상기 슬러리 수용홈들(121)의 개수는 예를 들어, 4개일 수 있다. 이때, 상기 슬러리 수용홈들(121)은 서로 같은 간격으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 슬러리 수용홈들(121)은 상기 제 1 연마패드(120)의 상면(122)을 4등분 할 수 있다.
상기 슬러리 수용홈들(121)은 상기 중공(130)으로부터 상기 제 1 연마패드(120)의 외곽(125)으로 연장된다. 이때, 상기 슬러리 수용홈들(121)은 상기 제 1 연마패드(120)의 직경 방향으로 연장될 수 있다.
이와는 다르게, 상기 슬러리 수용홈들(121)은 시계 또는 반시계 방향의 나선 형상으로 연장될 수 있다.
상기 슬러리 수용홈(121)의 폭은 상기 중공(130)으로부터 상기 제 1 연마패드(120)의 외곽(125)으로 진행됨에 따라서 달라진다. 이때, 상기 슬러리 수용홈(121)의 중앙 부분의 폭(W2)은 상기 슬러리 수용홈(121)의 끝단들의 폭(W1, W3)보다 더 크다. 더 자세하게, 상기 슬러리 수용홈(121)의 폭은 상기 중공(130)으로부터 멀어질수록 점점 더 커지다가, 중앙 부분에서 가장 크고, 상기 제 1 연마패드(120)의 외곽(125)에 가까워질수록 점점 더 작아질 수 있다. 즉, 상기 슬러리 수용홈(121)의 양 끝단들로 진행할수록, 상기 슬러리 수용홈(121)의 폭은 점점 더 좁아질 수 있다. 예를 들어, 상기 슬러리 수용홈(121)의 양 끝단들의 폭(W1, W3)이 가장 작을 수 있다. 즉, 상기 슬러리 수용홈(121)의 폭은 상기 중공(130) 및 상기 제 1 연마패드(120)의 외곽(125)으로부터 멀어질수록 더 커질 수 있다.
상기 슬러리 수용홈(121)의 중앙 부분의 폭(W2)은 약 3㎜ 내지 약 5㎜이고, 상기 슬러리 수용홈(121)의 양 끝단들의 폭(W1, W3)은 약 1㎜ 내지 약 2㎜일 수 있다. 또한, 상기 슬러리 수용홈(121)의 깊이(D)는 약 2㎜ 내지 약 3㎜일 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 평면에서 보았을 때, 상기 슬러리 수용홈(121)은 항아리 형상을 가질 수 있다. 즉, 평면에서 보았을 때, 상기 슬러리 수용홈(121)은 양 옆으로 볼록한 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 슬러리 수용홈(121)의 외곽은 완만하게 구부러질 수 있다. 즉, 상기 슬러리 수용홈(121)의 외곽선은 만곡되는 형상을 가질 수 있다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 슬러리 수용홈(121)의 내측면(123) 및 상기 제 1 연마패드(120)의 상면(122)이 교차하는 부분(124)은 라운드되는 형상을 가진다. 이에 따라서, 상기 슬러리 수용홈(121)의 내측면(123) 및 상기 제 1 연마패드(120)의 상면(122)이 만나는 부분(124)이 라운드지기 때문에, 상기 제 1 연마패드(120)는 웨이퍼에 손상을 덜 줄 수 있다.
상기 상정반(200)은 상기 하정반(100) 상에 배치된다. 상기 상정반(200)은 상기 하정반(100)과 이격되며, 상기 하정반(100)에 대향된다. 즉, 상기 상정반(200) 및 상기 하정반(100)은 서로 마주본다.
상기 상정반(200)은 원형 플레이트 형상을 가진다. 상기 상정반(200)은 제 2 몸체부(210) 및 제 2 연마패드(220)를 포함한다.
상기 제 2 몸체부(210)는 상기 제 2 연마패드(220)를 지지한다. 상기 제 2 몸체부(210)는 원형 플레이트 형상을 가진다. 상기 제 2 몸체부(210)는 모터 등과 같은 구동 수단에 의해서 회전할 수 있다. 이때, 상기 제 2 몸체부(210)가 회전함에 따라서, 상기 제 2 연마패드(220)도 함께 회전한다. 또한, 상기 제 2 몸체부(210)는 상기 제 1 몸체부(110)와 같은 속도 또는 다른 속도로, 같은 방향 또는 다른 방향으로 다양하게 회전할 수 있다.
상기 제 2 연마패드(220)는 상기 제 2 몸체부(210) 아래에 배치된다. 상기 제 2 연마패드(220)는 상기 제 2 몸체부(210)와 결합될 수 있다. 상기 제 2 연마패드(220)는 상기 제 2 몸체부(210)와 일체로 형성될 수 있다.
상기 제 2 연마패드(220)는 상기 웨이퍼와 직접 접촉한다. 더 자세하게, 상기 제 2 연마패드(220)는 상기 웨이퍼의 상면에 직접 접촉하여, 상기 웨이퍼의 상면을 연마할 수 있다.
상기 제 2 연마패드(220)에는 상기 웨이퍼에 슬러리를 공급하기 위한 다수 개의 홀들이 형성될 수 있다.
상기 캐리어(300)는 상기 하정반(100) 및 상기 상정반(200) 사이에 개재된다. 상기 캐리어(300)는 플레이트 형상을 가지며, 상기 웨이퍼를 수용하고, 상기 제 1 연마패드(120) 및/또는 상기 제 2 연마패드(220)로부터 공급되는 슬러리를 임시 저장한다. 상기 캐리어(300)로 사용되는 물질의 예로서는 에폭시 글래스 등과 같은 에폭시계 수지 등을 들 수 있다.
상기 캐리어(300)의 외곽영역에는 다수 개의 톱니들이 형성된다. 즉, 상기 캐리어(300)는 상기 웨이퍼를 수용함과 동시에, 상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)으로부터 동력을 전달받는다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 캐리어(300)는 웨이퍼 수용홈(310) 및 슬러리 저장부들(320)을 포함한다.
상기 웨이퍼 수용홈(310)은 상기 웨이퍼를 수용한다. 상기 웨이퍼 수용홈(310)은 상기 웨이퍼와 대응되는 형상을 가지는 관통홈이다. 즉, 상기 웨이퍼 수용홈(310)은 원 형상을 가지며, 상기 웨이퍼의 직경과 실질적으로 동일한 직경을 가질 수 있다.
상기 웨이퍼 수용홈(310)의 중심은 상기 캐리어(300)의 중심에 대하여 편심될 수 있다. 즉, 상기 웨이퍼 수용홈(310)의 중심은 상기 캐리어(300)의 중심과 일치하지 않는다. 이에 따라서, 상기 캐리어(300)가 회전하는 경우, 상기 웨이퍼 수용홈(310)에 수용된 웨이퍼는 편심 회전한다.
본 실시예에서는 하나의 웨이퍼 수용홈(310)이 도시되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 다수 개의 웨이퍼 수용홈(310)들이 상기 캐리어(300)에 형성될 수 있다.
상기 슬러리 저장부들(320)은 상기 슬러리를 임시 저장한다. 상기 슬러리 저장부들(320)은 상기 웨이퍼 수용홈(310)의 주위에 형성된다. 상기 슬러리 저장부들(320)은 관통홈들일 수 있다. 이때, 상기 슬러리 저장부들(320)은 서로 다른 직경을 가질 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 상기 슬러리 저장부들(320)이 원형상을 가지는 것으로 도시되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 상기 슬러리 저장부들(320)은 다양한 형상을 가질 수 있다.
상기 선 기어(400)는 상기 하정반(100) 및 상기 상정반(200) 사이에 개재된다. 상기 선 기어(400)는 상기 하정반(100) 및 상기 상정반(200)의 중심에 위치한다. 상기 선 기어(400)의 중심은 상기 하정반(100) 및 상기 상정반(200)의 중심과 실질적으로 일치한다.
상기 선 기어(400)는 상기 상정반(200) 및/또는 상기 하정반(100)과 함께 구동될 수 있다. 즉, 상기 중기 기어는 상기 상정반(200) 및/또는 상기 하정반(100)에 고정될 수 있다.
이와는 다르게, 상기 선 기어(400)는 상기 상정반(200) 및 상기 하정반(100)과 따로 구동될 수 있다. 예를 들어, 상기 선 기어(400)는 상기 상정반(200) 또는 상기 하정반(100)에 형성된 홀을 통과하는 회전축과 결합되어 회전할 수 있다.
상기 선 기어(400)는 상기 캐리어(300)와 기어 결합된다. 즉, 상기 선 기어(400)의 회전에 의해서, 상기 캐리어(300)가 구동된다.
상기 외곽 기어(500)는 상기 상정반(200) 및 상기 하정반(100) 사이에 배치된다. 상기 외곽 기어(500)는 상기 선 기어(400) 및 상기 캐리어(300)를 둘러싼다. 상기 외곽 기어(500)는 상기 캐리어(300)와 기어 결합되어, 상기 캐리어(300)에 동력을 전달한다. 즉, 상기 캐리어(300)의 외주면과 상기 외곽 기어(500)의 내주면이 서로 기어 결합된다. 상기 외곽 기어(500)의 회전에 의해서, 상기 캐리어(300)가 구동된다.
상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)의 회전에 의해서, 상기 캐리어(300)가 회전하면서, 상기 선 기어(400)의 주위를 이동한다. 즉, 상기 캐리어(300)는 상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)로부터 동력을 전달받아, 자체적으로 회전하면서, 이동될 수 있다.
상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)는 같은 방향으로 회전할 수 있고, 다른 방향으로 회전할 수 있다. 또한, 상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)는 같은 각속도로 회전하거나, 다른 각속도로 회전할 수 있다. 결과적으로 상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)는 다양한 방식으로 회전하여, 상기 캐리어(300)를 구동한다. 즉, 상기 선 기어(400) 및 상기 외곽 기어(500)은 상기 캐리어(300)을 상기 하정반(100) 및 상기 상정반(200)에 대하여 상대 회전시키는 회전장치이다.
상기 슬러리 수용홈(121)에 의해서, 상기 중공(130) 및 제 1 연마패드(120)의 외곽(125) 사이의 중간 영역에 슬러리가 더 많이 체류할 수 있다. 즉, 상기 슬러리 수용홈(121)의 끝단 보다 상기 슬러리 수용홈(121)의 중앙 부분에 더 많은 슬러리가 수용된다.
이에 따라서, 상기 중공(130) 및 상기 제 1 연마패드(120)의 외곽(125) 사이의 중간 영역에서의 연마가 덜되는 현상을 방지하고, 제 1 연마패드(120)는 전체적으로 균일하게 상기 웨이퍼를 연마할 수 있다.
따라서, 실시예에 따른 양면 웨이퍼 연마장치는 상기 웨이퍼의 평탄도를 향상시키고, 상기 웨이퍼를 효율적으로 연마할 수 있다.
특히, 상기 슬러리 수용홈들(121)의 개수가 약 4개 일 때, 상기 웨이퍼의 손상을 줄이면서, 상기 웨이퍼의 손상도를 충분히 유지할 수 있다. 상기 슬러리 수용홈들(121)의 개수가 약 5개 이상인 경우, 상기 웨이퍼가 오버 식각될 수 있으며, 상기 슬러리 수용홈들(121)의 개수가 약 3개 이하인 경우, 상기 웨이퍼의 중앙 부분이 덜 연마될 수 있다.
도 5는 다른 실시예에 따른 제 1 연마패드를 도시한 평면도이다. 본 실시예에서는 앞서 설명한 실시예를 참조하고, 슬러리 수용홈에 대해서 추가적으로 설명한다. 앞선 실시예에 대한 설명은 변경된 부분을 제외하고, 본 실시예에 대한 설명에 본질적으로 결합될 수 있다.
도 5를 참조하면, 제 1 연마패드(140)는 다수 개의 슬러리 수용홈들(141)을 포함할 수 있다. 상기 슬러리 수용홈(141)은 슬러리 수용부(143), 제 1 슬러리 유동부(142) 및 제 2 슬러리 유동부(144)를 포함한다.
상기 슬러리 수용부(143)는 상기 제 1 연마패드(140)의 중공(130) 및 상기 제 1 연마패드(140)의 외곽(145) 사이에 형성되는 홈이다. 상기 슬러리 수용부(143)는 다양한 평면 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 슬러리 수용부(143)는 원 또는 타원 형상을 가질 수 있다.
상기 제 1 슬러리 유동부(142)는 상기 슬러리 수용부(143)로부터 상기 중공(130)으로 연장되는 홈이다. 상기 제 1 슬러리 유동부(142)는 상기 슬러리 수용부(143)에 연결된다. 상기 제 1 슬러리 유동부(142)의 폭(W4)은 상기 슬러리 수용부(143)의 폭(W5)보다 더 작다.
상기 제 2 슬러리 유동부(144)는 상기 슬러리 수용부(143)로부터 상기 제 1 연마패드(120)의 외곽(125)으로 연장되는 홈이다. 상기 제 2 슬러리 유동부(144)는 상기 슬러리 수용부(143)에 연결된다. 상기 제 2 슬러리 유동부(144)의 폭(W6)은 상기 슬러리 수용부(143)의 폭(W5)보다 더 작다.
상기 슬러리 수용부(143)의 깊이는 상기 제 1 슬러리 유동부(142)의 깊이 및 상기 제 2 슬러리 유동부(144)의 깊이와 실질적으로 동일할 수 있다. 이와는 다르게, 상기 슬러리 수용부(143)의 깊이는 상기 제 1 슬러리 유동부(142)의 깊이 및 상기 제 2 슬러리 유동부(144)의 깊이보다 더 깊을 수 있다.
상기 슬러리 수용부(143)의 크기, 형상 및 위치가 자유롭게 설정될 수 있다. 이에 따라서, 실시예에 따른 웨이퍼 양면 연마장치는 상기 슬러리 수용부(143)의 크기, 형상 및 위치를 적절하게 설정하여, 웨이퍼의 평탄도를 최대로 향상시킬 수 있다.
또한, 이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (9)

  1. 중공이 형성되는 패드를 포함하고,
    상기 패드의 상면에는 상기 중공으로부터 상기 패드의 외곽으로 연장되는 다수 개의 홈들이 형성되고,
    상기 홈의 중앙 부분의 폭은 상기 홈의 끝단의 폭보다 더 큰 웨이퍼 연마장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 홈의 내측면 및 상기 패드의 상면이 만나는 영역은 라운드 형상을 가지는 웨이퍼 연마장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 홈의 외곽은 만곡되는 형상을 가지는 웨이퍼 연마장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 홈들은 4개인 웨이퍼 연마장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 홈의 중앙 부분의 폭은 3㎜ 내지 5㎜이고,
    상기 홈의 끝단의 폭은 1㎜ 내지 2㎜인 웨이퍼 연마장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 홈들은 직경 방향으로 연장되는 웨이퍼 연마장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 홈은
    상기 중공 및 상기 패드의 외곽 사이에 형성되는 슬러리 수용부; 및
    상기 슬러리 수용부로부터 상기 중공 또는 상기 패드의 외곽으로 연장되는 슬러리 유동부를 포함하는 웨이퍼 연마장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 슬러리 수용부의 폭은 상기 슬러리 유동부의 폭보다 더 큰 웨이퍼 연마장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 홈의 폭은 상기 중공 및 상기 패드의 외곽으로부터 멀어질수록 더 커지는 웨이퍼 연마장치.
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