JP2003145402A

JP2003145402A - ガラス物品用研磨具

Info

Publication number: JP2003145402A
Application number: JP2001344654A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Tono; 政幸東野
Original assignee: Nippon Electric Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date: 2001-11-09
Filing date: 2001-11-09
Publication date: 2003-05-20

Abstract

(57)【要約】【課題】研磨スラリーの滞留を可及的に抑制して研磨
効率の向上を図ると共に、研磨パッドの全域に亘って均
一に研磨スラリーを行き渡らせて研磨ムラの発生を抑止
できるガラス物品用研磨具を提供する。【解決手段】研磨パッド６の中心から外周端に至る三
本以上の主幹溝７を形成し、これらの主幹溝７により区
画された複数の研磨領域Ｓに、一端が主幹溝７に連通し
且つ他端が研磨パッド６の外周端に至る複数本の分岐溝
８を形成する。そして、主幹溝７及び分岐溝８を略直線
状に形成し、且つ分岐溝８の一端を主幹溝７に対して傾
斜して連通させる。また、各研磨領域Ｓ毎に、各分岐溝
８を平行に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス物品用研磨具に
係り、例えば映像表示装置における表示部を構成するガ
ラスパネル等のガラス物品を研磨スラリーの供給の下で
研磨するガラス物品用研磨具に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年においては、陰極線管（ＣＲＴ）、
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ
（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ
（ＥＬＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（Ｆ
ＥＤ）などに代表される種々の映像表示装置が実用化さ
れている。これらの映像表示装置の画面は、装置内から
の光の透過特性に優れ、且つ摩擦傷が付き難い等の高硬
度特性を備え、しかも電磁波等による色の付着を生じさ
せないこと等が、鮮明な画像を表示させる上で重要とな
ることから、この種の画面を構成するパネルとしては、
ガラスパネルが用いられている。

【０００３】その一例として、陰極線管用ガラスパネル
は、画像を表示する有効画面を備えた略矩形のフェース
部と、該フェース部にブレンドＲ部を介して連なり且つ
反フェース部側の開口端にファンネルとの接合に供され
るシールエッジ面を有するスカート部とから構成され
る。

【０００４】このガラスパネルの製作に際しては、底型
と胴型とから構成される雌型にガラスゴブと称される溶
融ガラス塊を供給した後、雄型を下降させて溶融ガラス
塊を所定形状に押延し、次いで雄型の上昇後に雌型から
取り出されたガラスパネルのプレス成型体に対して徐冷
過程が実行される。このようにして成型されたガラスパ
ネルのフェース部外表面には、雌型に供給される溶融ガ
ラス塊を所定量にするための該溶融ガラス塊の切断時に
生じるシワ、或いは雌型の成型面の表面粗さ等が原因と
なって凹凸が存在しているのが通例である。

【０００５】このガラスパネルが製品として要請される
品質を備えるには、上述のフェース部外表面に存在する
凹凸を除去して、その外表面を鏡面に仕上げる必要があ
ることから、上述のガラスパネル成型工程の終了後にお
いては、そのガラスパネルが研磨工程に移送される。こ
の研磨工程では、例えば、荒研磨、中研磨、仕上げ研磨
の順に研磨加工が実行され、最終的には、仕上げ研磨で
ガラスパネルの外表面が鏡面状に磨き上げられる。

【０００６】この仕上げ研磨で用いられる研磨具は、基
本的には、金属製の円板状をなす支持基盤上に、これと
略同径の円板状をなす研磨パッドを緩衝部材を介して貼
着したものであり、研磨パッドとしては、フェルト状の
繊維成形体を使用しているのが現状である。そして、こ
の研磨具をガラスパネル上で回転させ、酸化セリウム等
の研磨材を含有する研磨スラリーを供給しながら、研磨
パッドをガラスパネルの外表面に所定圧力で接触させる
ことにより仕上げ研磨が行われる。

【０００７】上記研磨具が高い研磨効率を長時間連続し
て発揮するためには、研磨具の研磨パッド表面とガラス
パネル外表面との間に、常に所定量の新鮮な研磨スラリ
ーを供給する必要がある。この場合、上記研磨具は、研
磨スラリーが研磨パッドの中心に供給される構成となっ
ているのが通例であるため、上述のように新鮮な研磨ス
ラリーを供給するという要請に応じるには、研磨具の回
転によって生じる遠心力に起因して、研磨スラリーが研
磨パッドの中心から外周端を経て外部に円滑に排出され
ねばならない。

【０００８】しかしながら、上記研磨具が長時間連続稼
動した場合には、摩擦熱の発生により研磨パッドである
繊維成形体が硬化してその可撓性が損なわれるため、酸
化セリウム等の研磨材や研磨により発生した微小ガラス
粉等が研磨パッド表面に滞留し易い状態となる。このた
め、研磨パッド表面に研磨材等による目詰まりが生じ
て、新鮮な研磨スラリーの供給が阻害され、研磨効率の
低下を招くことが懸念される。

【０００９】そこで、従来においては、研磨パッドに中
心部から外周端に至る溝または間隙を設け、これを通じ
て研磨スラリーを遠心力により研磨パッドの外周端から
外部に排出させることが行われている。このような技術
的思想に基づくものとして、例えば特開平7−321076号
公報によれば、支持基盤（同公報ではプラテン）上に配
された研磨パッドに、中心部から外周端に向かう直線状
または湾曲状の溝（間隙）を配設してなる研磨具が開示
されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記公報に
開示された研磨具は、研磨パッドに放射状の溝のみが形
成されているため、中心部では研磨面中に占める溝の形
成面積が大きくなり、外周側に移行するにしたがって研
磨面中に占める溝の形成面積が小さくなる。換言すれ
ば、研磨パッドの中心部では研磨材や微小ガラス粉等を
外部に排出させるための溝が密に形成された状態とな
り、外周部では溝が疎に形成された状態となる。

【００１１】このため、研磨パッドの外周部では溝の本
数が不足し、この外周部で研磨材等の滞留が生じ易くな
るため、新鮮な研磨スラリーの供給が阻害され、研磨効
率の低下を招くと共に、滞留した研磨材等が原因となっ
て被研磨面に傷が付く等の不具合をも招く。また、この
ような不具合を回避すべく溝の本数を増加させた場合に
は、中心部側の領域における実質的研磨面積が極めて小
さくなり、この領域で研磨を行うことが困難になるとい
う問題が生じる。

【００１２】更に、このように溝が放射状に形成されて
いると、研磨パッドの表面全域に万遍無く研磨スラリー
を行き渡らせることができず、被研磨面に研磨ムラ等が
生じるため、高品位の鏡面仕上げ研磨を行う上で、極め
て不利となる。

【００１３】これらが原因となって、高精細な画像を表
示するために使用される陰極線管用ガラスパネルの品質
低下を余儀なくされる。なお、以上の問題は、既述のＬ
ＣＤ、ＰＤＰ、ＥＬＤ、及びＦＥＤなどに使用される平
板状のガラスパネルを研磨する場合や、その他のガラス
物品を研磨する場合にも同様にして生じ得る。

【００１４】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、研磨スラリーの滞留を可及的に抑制して研磨効
率の向上を図ると共に、研磨パッドの全域に亘って均一
に研磨スラリーを行き渡らせて研磨ムラの発生を抑止
し、もって高品位の鏡面を有するガラス物品を得るよう
にすることを技術的課題とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記技術的課題を達成す
るためになされた本発明は、支持基盤上に研磨パッドを
配してなり、研磨スラリーの供給下でガラス物品の被研
磨面を研磨するガラス物品用研磨具において、前記研磨
パッドの中心から外周端に至る三本以上の主幹溝を形成
すると共に、これらの主幹溝により区画された複数の研
磨領域にそれぞれ、一端が前記主幹溝に連通し且つ他端
が研磨パッドの外周端に至る複数本の分岐溝を形成した
ことに特徴づけられる。この場合、三本以上の主幹溝
は、略等角度間隔で形成されていることが好ましい。

【００１６】このような構成によれば、研磨パッドの中
心からその外周端に至る各主幹溝の相互間に三つ以上の
研磨領域が形成され、この各研磨領域には、一端が主幹
溝に連通し他端が外周端に至る複数本の分岐溝が形成さ
れていることから、研磨スラリーを遠心力によって外周
側に押し遣るための溝を、研磨パッドの中心部から外周
部に亘って均一に張り巡らせることが可能となる。すな
わち、各主幹溝は研磨パッドの中心部を通るのに対し
て、各分岐溝の殆どは中心部を通らない構成とすること
ができるため、各分岐溝を研磨パッドの全域に適度に分
散させて形成することが可能となる。これにより、研磨
パッドの中央部には密に溝が存在し、外周部には疎に溝
が存在するという事態を回避でき、研磨パッドの全域に
亘って均一に研磨スラリーを行き渡らせて、研磨ムラの
発生を抑止することが可能となる。また、各主幹溝は研
磨パッドの外周端に至るように形成され且つ各分岐溝も
外周端に至るように形成されているため、研磨スラリ
ー、特に酸化セリウム等の研磨材は、不当に滞留するこ
となく遠心力によって外周端から外部に排出される。こ
れにより、常に新鮮な研磨スラリーを研磨パッドの全域
に亘って供給できるようになるため、研磨スラリーの滞
留による研磨効率の悪化や被研磨面への傷の付着等が回
避され、極めて高品位の鏡面を得ることが可能となる。

【００１７】この場合、前記主幹溝及び分岐溝は略直線
状に形成され、且つ前記分岐溝の一端は前記主幹溝に対
して傾斜して連通していることが好ましい。すなわち、
主幹溝及び分岐溝を略直線状に形成すれば、研磨スラリ
ーの流動性が良好になり、滞留の発生を効率良く抑制で
きると共に、分岐溝の一端を主幹溝に傾斜させて連通さ
せれば、分岐溝を通過して外周端側に向かう研磨スラリ
ーが遠心力によって一層円滑に外部に排出される。した
がって、研磨スラリーの滞留を抑止して研磨効率を向上
させる上で、より一層有利となる。

【００１８】また、前記各研磨領域毎に、前記各分岐溝
が平行に形成されていることが好ましい。このようにす
れば、各分岐溝の相互間寸法が中心部であっても外周側
であっても同一になるため、研磨パッドの全域に亘って
溝を均一に張り巡らせることがより一層確実に行えるよ
うになり、研磨ムラの発生を抑止する上で、極めて有利
となる。

【００１９】前記研磨パッドは、前記各主幹溝及び各分
岐溝を介して配列された複数の研磨パッド片で構成する
ことができる。この場合、研磨パッド片の支持基盤上へ
の固着手法は、複数の研磨パッド片を製作したした後
に、これらの相互間に主幹溝及び分岐溝に対応する間隙
が形成されるように、各研磨パッド片を支持基盤上に固
着してもよく、或いは、支持基盤上に単一の研磨パッド
を固定した後に、主幹溝及び分岐溝に対応する部位を切
欠除去するようにしてもよい。特に、後者によれば、研
磨具の製作を容易に行うことが可能となる。そして、各
研磨パッド片は、それぞれが独立して被研磨面に接触す
ることになるため、特に被研磨面が湾曲している場合な
どにおいては、研磨パッド全域に亘る被研磨面への密着
性が向上する。

【００２０】そして、前記研磨パッド片は、前記主幹溝
側から外周端側に亘って略同一幅の帯状片であることが
好ましい。これによる場合にも、研磨パッドの全域に亘
って溝が均一に張り巡らされた状態となり、研磨ムラの
発生が有効に抑止される。

【００２１】以上の構成を備えた研磨具による研磨対象
を、陰極線管用ガラスパネルのフェース部外表面とすれ
ば、高精細な画像を表示するために使用される高品位の
ガラスパネルを得ることが可能となる。なお、この研磨
具による研磨対象となるガラス物品としては、陰極線管
用ガラスパネル以外に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、
プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッ
センスディスプレイ（ＥＬＤ）、フィールドエミッショ
ンディスプレイ（ＦＥＤ）に用いられる平板状のガラス
パネルを挙げることができる。また、これら以外に、鏡
面に近い面粗さとなるまで研磨加工が施される他のガラ
ス物品についても研磨対象物とすることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に
係るガラス物品用研磨具を有する研磨装置によって被研
磨面に対する研磨加工が行われている状態を示す概略正
面図、図２は、上記ガラス物品用研磨具の表面を示す拡
大下面図である。

【００２３】図１に示すように、この研磨装置の構成要
素であるガラス物品用研磨具（以下、単に研磨具とい
う）１は、矢印ａ方向に回転する中空軸２に固定された
支持基盤３と、該支持基盤３の表面に緩衝部材４を介し
て固着された接合用基布５と、該接合用基布５の表面に
貼着された研磨パッド６とを備える。また、この研磨装
置は、上記研磨具１によって研磨される陰極線管用ガラ
スパネル（以下、単にパネルという）10を載置固定させ
る回転テーブル11と、該回転テーブル11を上記研磨具１
の回転方向ａとは反対の矢印ｂ方向に回転させる回転駆
動軸12とを備える。

【００２４】上記研磨パッド６の表面形状及び支持基盤
３の表面形状は、図２に示すように、両者共に楕円形状
をなし、研磨パッド６の外径は支持基盤３の外径よりも
僅かに小径とされている。なお、前記緩衝部材４及び接
合用基布５の表面形状も、両者共に楕円形状をなし、こ
の両者の外径は研磨パッド６の外径と略同径とされてい
る。また、この実施形態では、研磨パッド６、特にその
表面は、パネル10のフェース部10a外表面に近似した湾
曲面とされている。

【００２５】上記研磨具１の表面には、研磨パッド６の
中心から９０度の角度間隔でその外周端に至る４本の主
幹溝７が形成され、研磨パッド６は、これらの主幹溝７
によって４つの研磨領域Ｓに区画されている。そして、
各研磨領域Ｓには、個々の研磨領域Ｓを区画する２本の
主幹溝７の何れか一方に一端が連通され且つ他端が研磨
パッド６の外周端に至る分岐溝８が形成されている。

【００２６】上記各主幹溝７及び各分岐溝８は略直線状
に形成されると共に、各分岐溝８は、主幹溝７を基準と
してその両側に対称となるように、一端が該主幹溝７に
傾斜して連通している。この主幹溝７への各分岐溝８の
連通部は、略等間隔になるように配置されている。ま
た、個々の研磨領域Ｓにおいては、各分岐溝８が相互に
平行に形成されている。加えて、各分岐溝８は、個々の
研磨領域Ｓを区画する２本の主幹溝７がなす角度の二等
分線に略平行に形成されている。

【００２７】また、研磨パッド６の中心部には、研磨ス
ラリー供給用の大径の供給通路9aが開口し、その外周側
領域には、研磨スラリー供給用の複数の小径の供給通路
9bが開口している。なお、これらの小径の供給通路9b
は、全部もしくは一部の分岐溝８上に、またはそれらの
分岐溝８に隣接するように開口し、更には主幹溝７上に
も開口している。

【００２８】上記各主幹溝７及び各分岐溝８は、研磨パ
ッド６の表面側部分に直接形成してもよいが、この実施
形態では、図３に示すように、各主幹溝７及び各分岐溝
８を介して配列された複数の研磨パッド片6aによって研
磨パッド６が構成されている。換言すれば、複数の研磨
パッド６の相互間に形成される各間隙が、上記各主幹溝
７及び各分岐溝８とされている。そして、これらの研磨
パッド片6aは、主幹溝７側から外周端側に亘って略同一
幅を有する帯状片とされている。

【００２９】これらの研磨パッド片6aは、パネル10のフ
ェース部10a外表面に対する仕上げ研磨つまり鏡面研磨
に適した材料、例えばポリウレタン樹脂を含浸させたポ
リエステル繊維｛繊維太さ：０．３〜１．５ｇ／ｋｍ
（３〜１０デニール）｝などの可撓性樹脂でなる厚さが
５〜３０ｍｍの不織布の原反を裁断したものである。そ
して、これらの研磨パッド片6aは、既述の接合用基布５
の表面に接合固着されている。

【００３０】一方、上記接合用基布５は、各研磨パッド
片6aを上記緩衝部材４に取り付け易くするものであり、
この実施形態では、各研磨パッド片6aと同一または類似
の材料でなる例えば厚さが１ｍｍ程度の不織布で構成さ
れている。このように接合用基布５を研磨パッド片6aと
同一または類似の材料で構成すれば、この両者の接合力
を向上させることができると同時に、緩衝部材４への接
合性を高めて研磨パッド片6aの脱落を防止できるという
利点が得られる。なお、この接合用基布５は、不織布以
外に、例えば、編物、織物、或いはネット状生地等で構
成してもよい。また、この接合用基布５と研磨パッド６
との間には、接合力の低下を来たさない範囲内で、研磨
パッド６の可撓性を高めて、パネル10のフェース部10a
外表面との密着性を向上させるために、スポンジシート
等の他の薄肉緩衝部材を介設してもよい。

【００３１】また、上記緩衝部材４は、各研磨パッド片
6aのそれぞれの研磨面6xをパネル10のフェース部10a外
表面に個々に独立して全面接触し易くなるようにその変
形性の向上を図ると共に、衝撃を緩和させて鏡面研磨加
工を良好にして傷等の発生を防止することを目的として
使用されるものである。この実施形態では、緩衝部材４
は、支持基盤３側から順に、固着用基布4aと、スポンジ
シート層4bと、ラバーシート層4cとを積層状に配設して
一体化したものであって、固着用基布4aが支持基盤３の
表面に接合固着され、ラバーシート層4cの表面に既述の
接合用基布５が接合固着されている。なお、スポンジシ
ート層4bの厚さは５〜２０ｍｍ、ラバーシート層4cの厚
さは１〜１０ｍｍであり、また固着用基布4aとしては、
既述の接合用基布５と同一のものが使用されている。

【００３２】更に、上記支持基盤３は、研磨パッド６及
び緩衝部材４をパネル10のフェース部10a外表面の湾曲
形状に対応させるべく、該フェース部10a外表面に近似
する湾曲形状に形成され、駆動装置（図示略）により回
転駆動されると共に、揺動運動を行うための駆動力、及
び所定圧力で研磨を行うための押圧力が付与される構成
とされている。また、既述の大径の供給通路9a及び小径
の供給通路9bは、緩衝部材４と接合用基布５を貫通して
研磨パッド片6aの相互間の溝（主幹溝７及び分岐溝８）
や研磨パッド片6aの研磨面6xに開口しており、支持基盤
３には、これらの通路9a、9bに研磨スラリーを送給する
ための孔部が形成されている。詳しくは、この孔部は、
支持基盤３の中心に形成された中心孔と、この中心孔か
ら研磨スラリーを各供給通路9a、9bに分配する分岐孔と
から構成されている。

【００３３】以上の構成を備えた研磨具１によれば、回
転テーブル11に対して支持基盤３が相対回転している状
態、この実施形態では回転テーブル11と支持基盤３とが
相反する方向に回転している状態の下で、研磨パッド６
の表面とパネル10のフェース部10a外表面との間に研磨
スラリーが供給されることにより、該フェース部10a外
表面に対する研磨加工が実行される。この研磨加工時に
おいては、各研磨パッド片6aがフェース部10a外表面に
個々に独立して接触することに加えて、個々に独立して
緩衝部材４を押圧変形させるため、研磨パッド６の全域
に亘るフェース部10a外表面への密着性が極めて良好に
なる。

【００３４】そして、研磨パッド６の各溝7、8は、中央
部に偏在することなく研磨パッド６の全域に亘って均一
に存在しているため、研磨スラリーがその全域に万遍無
く行き渡り、研磨ムラの発生が抑止される。しかも、主
幹溝７は研磨パッド６の中央部から外周端に至り、且つ
分岐溝８は主幹溝７の半径方向途中から平行に外周端に
至っているため、研磨スラリー、特に酸化セリウム等の
研磨材は、不当に滞留することなく遠心力によって外周
端から円滑に外部に排出されることになり、研磨スラリ
ーの滞留に起因する研磨効率の悪化やフェース部10a外
表面への傷の付着等が回避される。

【００３５】また、大径の供給通路9aから研磨パッド６
の中心部に供給された研磨スラリーは、主幹溝７を流れ
て外部に排出されるのみならず、その一部は主幹溝７か
ら分岐溝８に分流されて外部に排出されることになるた
め、より一層研磨スラリーの研磨パッド６全域に対する
行き渡りが良好になると共に、極めて円滑な研磨スラリ
ーの流れが生成される。更に、小径の供給通路9bから研
磨パッド６の中心部以外の部位に供給された研磨スラリ
ーは、分岐溝８を通じて直接外部に排出されるため、中
心部以外の部位に多数の研磨スラリー供給通路を開口さ
せた場合であっても、研磨スラリーが溝の不足によって
滞留するという事態は生じない。

【００３６】また、図２に示す研磨パッド６の４つの研
磨領域Ｓについて考察すれば、隣接する一対の研磨領域
Ｓのうちの一方の分岐溝８は研磨具１の回転方向ａに沿
う方向に傾斜し、他方の分岐溝８は該回転方向ａと逆方
向に傾斜しているため、この他方の研磨領域Ｓにおいて
は、研磨スラリーの流動性が適度に阻害される。これに
より、一方の研磨領域Ｓで迅速な研磨スラリーの排出効
果を維持しつつ、他方の研磨領域Ｓで研磨スラリーを適
度に保持させて充分な研磨作用を働かせることが可能と
なる。

【００３７】図４は、本発明に係る研磨具１の第２の実
施形態を例示するものであり、この第２の実施形態が上
述の第１の実施形態と相違するところは、研磨パッド
６、接合用基布５、緩衝部材４、及び支持基盤３を真円
形にした点と、研磨パッド６を等角度間隔配置された３
本の主幹溝７により３つの研磨領域Ｓに区画した点とで
ある。その他の構成要件については上述の第１の実施形
態と同一であるので、図４において、共通の構成要件に
ついては同一符号を付してその説明を省略する。

【００３８】図５は、本発明に係る研磨具１の第３の実
施形態を例示するものであり、この第３の実施形態が上
述の第２の実施形態と相違するところは、研磨パッド６
を等角度間隔配置された６本の主幹溝７により６つの研
磨領域Ｓに区画した点である。その他の構成要件につい
ては上述の第２の実施形態と同一であるので、図５にお
いて、共通の構成要件については同一符号を付してその
説明を省略する。

【００３９】なお、以上の実施形態は、３本、４本、６
本の主幹溝７により研磨パッド６をそれぞれ複数の研磨
領域Ｓに区画したが、３本以上の他の本数の主幹溝７に
より研磨パッド６を複数の研磨領域Ｓに区画するように
してもよい。

【００４０】また、以上の実施形態は、主幹溝７を基準
としてその両側に対称に分岐溝８を形成したが、主幹溝
７に対して分岐溝８が両側に非対称であっても差し支え
ない。

【００４１】更に、以上の実施形態は、主幹溝７及び分
岐溝８が直線状に形成されたものであるが、主幹溝７及
び／または分岐溝８が湾曲していてもよい。

【００４２】加えて、以上の実施形態は、表面が湾曲面
をなす研磨パッド６を使用したが、被研磨面が平坦面で
ある場合には、表面が平坦面または略平坦面をなす研磨
パッド６が使用される。

【００４３】

【発明の効果】以上のように本発明に係るガラス物品用
研磨具によれば、研磨パッドの中心から外周端に至る三
本以上の主幹溝を形成し、これらの主幹溝により区画さ
れた複数の研磨領域に、一端が前記主幹溝に連通し且つ
他端が研磨パッドの外周端に至る複数本の分岐溝を形成
したことから、研磨スラリーを遠心力によって外周側に
押し遣るための溝を、研磨パッドの中心部から外周部に
亘って均一に張り巡らせることができる。これにより、
研磨パッドの全域に亘って均一に研磨スラリーを行き渡
らせて、研磨ムラの発生を抑止することが可能となる。
また、各主幹溝及び各分岐溝は何れも外周端に至るよう
に形成されているため、研磨スラリーは滞留することな
く遠心力によって外周端から外部に円滑に排出される。
これにより、常に新鮮な研磨スラリーが研磨パッドの全
域に供給されて、研磨効率が向上すると共に、被研磨面
への傷の付着等が回避され、極めて高品位の鏡面を得る
ことが可能となる。

【００４４】そして、前記主幹溝及び分岐溝を略直線状
に形成し、且つ分岐溝の一端を主幹溝に傾斜して連通さ
せることにより、研磨スラリーの流動性が良好になり、
滞留の発生を効率良く抑制できると共に、分岐溝を通過
して外周端側に向かう研磨スラリーを遠心力によって一
層円滑に外部に排出させることができ、研磨スラリーの
滞留を抑止して研磨効率を向上させる上で、より一層有
利となる。

【００４５】また、前記各研磨領域毎に、前記各分岐溝
を平行に形成することにより、各分岐溝の相互間寸法が
中心部であっても外周側であっても同一になるため、研
磨パッドの全域に亘って溝をより一層均一に張り巡らせ
ることが可能となり、研磨ムラの発生を抑止する上で、
極めて有利となる。

【００４６】前記研磨パッドを、各主幹溝及び各分岐溝
を介して配列された複数の研磨パッド片で構成すること
により、各研磨パッド片が、それぞれが独立して被研磨
面に接触することになるため、研磨パッド全域に亘る被
研磨面への密着性が向上する。

【００４７】また、前記研磨パッド片を、主幹溝側から
外周端側に亘って略同一幅の帯状片とすることにより、
研磨パッドの全域に亘って溝を均一に張り巡らせた状態
とすることができ、研磨ムラの発生を有効に抑止でき
る。

【００４８】以上の構成を備えた研磨具による研磨対象
を、陰極線管用ガラスパネルのフェース部外表面とする
ことにより、高精細な画像を表示するために使用される
高品位のガラスパネルを得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係るガラス物品用研
磨具及びその周辺構造を示す要部概略正面図である。

【図２】上記ガラス物品用研磨具の表面を示す拡大下面
図である。

【図３】上記ガラス物品用研磨具を示す要部拡大縦断正
面図である。

【図４】本発明の第２の実施形態に係るガラス物品用研
磨具の表面を示す下面図である。

【図５】本発明の第３の実施形態に係るガラス物品用研
磨具の表面を示す下面図である。

【符号の説明】

１ガラス物品用研磨具３支持基盤４緩衝部材６研磨パッド 6a 研磨パッド片７主幹溝８分岐溝Ｓ研磨領域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持基盤上に研磨パッドを配してなり、
研磨スラリーの供給下でガラス物品の被研磨面を研磨す
るガラス物品用研磨具において、前記研磨パッドの中心から外周端に至る三本以上の主幹
溝を形成すると共に、これらの主幹溝により区画された
複数の研磨領域にそれぞれ、一端が前記主幹溝に連通し
且つ他端が研磨パッドの外周端に至る複数本の分岐溝を
形成したことを特徴とするガラス物品用研磨具。
【請求項２】前記主幹溝及び分岐溝が略直線状に形成
され、且つ前記分岐溝の一端が前記主幹溝に対して傾斜
して連通していることを特徴とする請求項１に記載のガ
ラス物品用研磨具。
【請求項３】前記各研磨領域毎に、前記各分岐溝が平
行に形成されていることを特徴とする請求項１または２
に記載のガラス物品用研磨具。
【請求項４】前記研磨パッドが、前記各主幹溝及び各
分岐溝を介して配列された複数の研磨パッド片で構成さ
れていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載
のガラス物品用研磨具。
【請求項５】前記研磨パッド片が、前記主幹溝側から
外周端側に亘って略同一幅の帯状片であることを特徴と
する請求項４に記載のガラス物品用研磨具。
【請求項６】前記ガラス物品の被研磨面が、陰極線管
用ガラスパネルのフェース部外表面であることを特徴と
する請求項１〜５の何れかに記載のガラス物品用研磨
具。