JP7018270B2 - 研磨パッド - Google Patents
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- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
- B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
- B24B37/26—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the shape of the lapping pad surface, e.g. grooved
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
- B24D11/04—Zonally-graded surfaces
Description
研磨対象物を研磨するための研磨面を有し、
該研磨面には、周方向で並ぶように区画された複数の研磨領域が設定され、
該複数の研磨領域には、互いに交差しないように直線状に延び且つ長手方向における一端が研磨パッドの外周端で開放する複数の研磨溝が形成される高研磨領域が含まれ、
該高研磨領域に形成される複数の研磨溝のうちの少なくとも一つは、溝幅方向における一方の側面が該溝幅方向において内側に向けて傾斜し、且つ該溝幅方向における他方の側面が該溝幅方向における外側に向けて傾斜する傾斜溝となっている。
前記一方の側面及び前記他方の側面は、研磨パッドの回転方向における前方側に向けて傾斜していてもよい。
前記一方の側面及び前記他方の側面は、研磨パッドの回転方向における後方側に向けて傾斜していてもよい。
前記高研磨領域に形成されている前記複数の研磨溝のそれぞれは、互いに平行に延びるように形成されるとともに、該複数の研磨溝のそれぞれが前記傾斜溝として構成されていてもよい。
前記研磨面には、前記研磨面の中心点から前記研磨面の径方向外方に向けて直線状に延びる複数の仮想境界線によって前記高研磨領域を含む複数の前記研磨領域が区画され、
該高研磨領域の各研磨溝は、前記中心点と該高研磨領域の外周端の中点とを通る仮想直線に対して平行となるように形成されていてもよい。
Claims (7)
- 研磨対象物を研磨するための研磨面を有し、
該研磨面には、周方向で並ぶように区画された複数の研磨領域が設定され、
該複数の研磨領域のそれぞれには、互いに交差せずに平行となるように直線状に延び且つ長手方向における一端が研磨パッドの外周端で開放する複数の研磨溝が形成される高研磨領域が含まれ、
該高研磨領域に形成される前記複数の研磨溝のうちの少なくとも一つは、溝幅方向における一方の側面が該溝幅方向において内側に向けて傾斜し、且つ該溝幅方向における他方の側面が該溝幅方向における外側に向けて傾斜する傾斜溝となっている
研磨パッド。 - 前記一方の側面及び前記他方の側面は、研磨パッドの回転方向における前方側に向けて傾斜している
請求項1に記載の研磨パッド。 - 前記一方の側面及び前記他方の側面は、研磨パッドの回転方向における後方側に向けて傾斜している
請求項1に記載の研磨パッド。 - 前記高研磨領域に形成されている前記複数の研磨溝のそれぞれは、前記傾斜溝として構成されている
請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の研磨パッド。 - 前記複数の傾斜溝は、それぞれの前記一方の側面が傾斜する方向、及びそれぞれの前記他方の側面が傾斜する方向が同方向である
請求項4に記載の研磨パッド。 - 前記研磨面には、前記研磨面の中心点から前記研磨面の径方向外方に向けて直線状に延びる複数の仮想境界線によって前記高研磨領域を含む複数の前記研磨領域が区画され、
該高研磨領域の各研磨溝は、前記中心点と該高研磨領域の外周端の中点とを通る仮想直線に対して平行となるように形成されている
請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の研磨パッド。 - 前記複数の研磨領域には、複数の前記高研磨領域が含まれている
請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載の研磨パッド。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2017141777A JP7018270B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 研磨パッド |
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JP7018270B2 true JP7018270B2 (ja) | 2022-02-10 |
Family
ID=65277249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Citations (3)
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US20110014853A1 (en) | 2009-07-20 | 2011-01-20 | Iv Technologies Co., Ltd. | Polishing method, polishing pad and polishing system |
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Family Cites Families (1)
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GB9112290D0 (en) * | 1991-06-07 | 1991-07-24 | Nat Res Dev | Methods and apparatus for nqr imaging |
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- 2017-07-21 JP JP2017141777A patent/JP7018270B2/ja active Active
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2018
- 2018-07-19 KR KR1020180084115A patent/KR102593873B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
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US20110014853A1 (en) | 2009-07-20 | 2011-01-20 | Iv Technologies Co., Ltd. | Polishing method, polishing pad and polishing system |
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