JPH10337653A - 研磨用キャリヤ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 脆性材料からなる矩形の板状をした被研磨体
を欠けやクラックのない高精度の平坦面に研磨でき、丈
夫で長く使用できる研磨用キャリヤを提供すること。 【解決手段】 本願発明は、板状の被研磨体５を嵌合保
持する矩形の保持孔２を有し、且つ該保持孔２のコーナ
ーに逃げ部２ａを有する研磨用キャリヤ１において、保
持孔２と逃げ部２ａとの接続箇所２ｂにおける周辺面１
ａ内に貫通孔３を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面研磨装置に使
用される研磨用キャリヤに関し、特に矩形の板状をした
ガラス等の脆性材料からなる被研磨体を研磨する際に使
用される研磨用キャリヤに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶ディスプレイ、エレクトロル
ミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイなど
の平面ディスプレイには、矩形で厚さ０．５〜１．５ｍ
ｍの薄板ガラスが用いられており、この薄板ガラスに
は、高精度の平坦性が要求される。

【０００３】周知の工業的な成形法により製造された薄
板ガラスには、表面に微小な欠陥、うねり、凹凸が存在
し、そのままでは平面ディスプレイに使用できる平坦性
を有していないため、成形された薄板ガラスは、その表
面を平面研磨装置を用いて所望の高精度の平坦性を有す
るように研磨される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来、平面研磨装置で
使用されている研磨用キャリヤ１は、図３に示すよう
に、薄板ガラスの被研磨体５を嵌合して保持するための
矩形の保持孔２を有し、その各コーナーには、被研磨体
５を保持孔２への或いはそれからの着脱を容易にすると
共に、研磨の際に被研磨体５の回転に伴って研磨用キャ
リヤ１から被研磨体５に作用する回転力からそれの欠け
やすい角部を逃がすために逃げ部２ａが設けられてい
る。

【０００５】しかしながら、前記従来の研磨用キャリヤ
１は、逃げ部２ａと保持孔２とが角張った接続箇所２ｂ
になっており、研磨の際に被研磨体５のコーナーに負荷
される回転力を逃がす作用が不十分であり、該接続箇所
２ｂに被研磨体５の側縁５ａが強く押しつけられ、欠け
やクラックを生じる問題がある。このように、被研磨体
５に僅かでも欠けが生じた場合には、その欠けたガラス
片により被研磨体５の研磨表面にキズが付いたり、脆性
の被研磨体５そのものが破損する問題がある。

【０００６】また、近年における平面ディスプレイの大
型化に伴い、被研磨体５が大板化してきており、研磨の
際に研磨定盤と被研磨体５との研磨摩擦力がより大きく
なるので、被研磨体５から研磨用キャリヤ１の保持孔２
のコーナーに加わる力がより大きくなり研磨用キャリヤ
１そのものが損傷したり破損したりして使用寿命が短い
という問題がある。

【０００７】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決し、脆性材料からなる矩形の板状をした被研磨体を研
磨する際に被研磨体に欠けやクラックを生じず、高精度
の平坦面に研磨できる丈夫で長く使用できる研磨用キャ
リヤを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願発明に係る研磨用キ
ャリヤは、板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保持孔
を有し、且つ該保持孔のコーナーに逃げ部を有する研磨
用キャリヤにおいて、保持孔と逃げ部との接続箇所にお
ける周辺面内に貫通孔を設けたことを特徴とする。

【０００９】貫通孔は、保持孔と逃げ部との接続箇所に
おける周辺面内にあって、該接続箇所と貫通孔との間の
部所が、研磨の際に被研磨体から受ける力により貫通孔
側に弾性変形して緩和作用を発揮する位置に配設され
る。貫通孔としては、円形、半円形、楕円形、スリット
形など各種の形状が可能であり、その形状・大きさ・位
置を変えることでかかる緩和作用の程度を調節できる。

【００１０】研磨用キャリヤの材料としては、布入りベ
ークライト、グラスエポキシ等のプラスチック複合材
料、ステンレス、鉄系の合金等からなる薄い金属材料が
使用可能であり、特に、耐久性が高く、反りが少なく加
工性に優れしかも安価な面から鉄系合金材料の使用が好
ましい。

【００１１】

【作用】本発明に係る研磨用キャリヤによれば、保持孔
と逃げ部との接続箇所における周辺面内に設けた貫通孔
により、研磨の際、該接続箇所において被研磨体に負荷
される回転力を緩和でき、被研磨体の欠け及びクラック
の発生を防止できる。

【００１２】また、本発明によれば、研磨の際、前記研
磨用キャリヤの接続箇所から被研磨体に加わる回転力を
緩和できるので、金属製等の硬くて耐久性に優れた材料
の使用が可能となり、研磨用キャリヤの寿命を長くでき
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る研磨用キャ
リヤの説明図であって、１は研磨用キャリヤを、２は保
持孔を、３は貫通孔を、４は研磨用キャリヤ１の周縁に
付設された歯車の歯を、５は矩形の薄板ガラスからなる
被研磨体をそれぞれ示している。

【００１４】本発明の研磨用キャリヤ１は、図１に示す
ように、全体が略円盤形を呈しており、その中に薄板ガ
ラスの被研磨体５を嵌合保持する矩形の保持孔２が設け
られ、その各コーナーには逃げ部２ａが設けられてい
る。各コーナー付近には、この逃げ部２ａと保持孔２と
の２つの接続箇所２ｂにおける周辺面１ａ内に、スリッ
ト形の貫通孔３が夫々設けられており、保持孔２と貫通
孔３との間に弾性変形する部所１ｂが形成されている。
研磨用キャリヤ１の外周には、歯車の歯４が付設されて
いる。研磨用キャリヤ１は、図２に示すように、平面研
磨装置の太陽歯車６と内歯車７との間に歯４を噛合して
配設され、太陽歯車６の回りを遊星回動されながら、保
持孔２内に嵌合保持されている被研磨体５を上下の定盤
８、９によって研磨するようになっている。このとき、
研磨用キャリヤ１から被研磨体５の側縁５ａに負荷され
る回転力を保持孔２と貫通孔３との間にある部所１ｂが
貫通孔３側に変形することにより緩和して、被研磨体５
に欠け及びクラックが生じないようになる。

【００１５】上記研磨用キャリヤ１を使用することによ
り、従来では薄板ガラスの被研磨体が破損していた研磨
条件下でも欠けやクラックが発生することなく研磨がで
きるようになった。加えて、鉄系合金製の耐久性の高い
材料を研磨用キャリヤに用いることができ、研磨用キャ
リヤの寿命が延び、研磨に要するコストを削減すること
ができた。

【００１６】

【発明の効果】本発明の研磨用キャリヤによれば、脆性
材料からなる矩形の板状をした被研磨体を欠けやクラッ
クを生じず高精度の平坦面に研磨できる実用上優れた効
果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態にかかる研磨用キャリヤ
の説明図

【図２】本発明の研磨用キャリヤの使用形態の説明図

【図３】従来の研磨用キャリヤの説明図

【符号の説明】

１ 研磨用キャリヤ １ａ 周辺面 １ｂ 部所 ２ 保持孔 ２ａ 逃げ部 ３ 貫通孔 ４ 歯 ５ 被研磨体 ６ 太陽歯車 ７ 内歯車 ８ 下定盤 ９ 上定盤

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保
   持孔を有し、且つ該保持孔のコーナーに逃げ部を有する
   研磨用キャリヤにおいて、保持孔と逃げ部との接続箇所
   における周辺面内に貫通孔を設けたことを特徴とする研
   磨用キャリヤ。