JPS5922970Y2 - 加工機械用治具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、高い加工精度を要する加工機械用治具に関す
るものである。

一般に、ＬＳＩ、 ＩＣなどは直径数インチのシリコン
ウェハに、１個が一辺数ｍｍ角に口説され、切代が約１
００μｍの巾でます目状に形成される。

そして、厚さ５０μｍ程度のダイヤモンド回転刃を等間
隔に取付けた切断装置で切断する。

この切断時にジノコンウェハを載せるワーク台には、回
転刃の逃げ溝を、前記切代と等間隔て形成される。

もし、回転刃、切代、逃げ溝のそれぞれの間隔が一致し
ないと、個々のＩＣとなるように切断分割できないだけ
でなく、回転刃でワーク台も一体に切断して回転刃に損
傷を与える。

また、ワーク台を軟質金属で形成すると、加工性はよく
ても摩耗したり、変形したりしてすぐに使用できなくな
る。

本考案は上記に鑑みなされたもので、カーボン粉末を加
圧成形して平板状のカーボン固体を形成し、このカーボ
ン固体の上面に、所定間隔で精密な多数の切込み溝を形
成し、この切込み溝の内面と前記カーボン固体の上面に
メッキ等で耐摩耗性の金属膜をコーティングしてなるも
ので、加工性および精度にすぐれ、かつ耐摩耗性にすぐ
れた治具を得ることができる。

以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において、１はカーボン固体で′、このカーボン
固体１は、カーボン粉末を所定形状、例えばシリコンウ
ェハのワーク台で゛あれは゛円板状で゛がつ一定厚さに
加圧成形する。

このカーボン固体１の状態で、所定の巾Ｗ。

、深さｄ。、間隔１をもって切込み溝２，２・・・・・
・を切削加工をする。

つぎに、この切削加工されたカーボン固体１の所定面（
例えば上面と外周面）に、耐摩耗性のすぐれた金属膜３
をコーティングする。

この金属膜３のコーティングの１例としてクロムメッキ
をして、出来上った後の巾Ｗ、深さｄが目的の値となる
ようにしてワーク台４か゛形成される。

このワタ台４は必要に応じて基板５トに一体に固着され
る。

このようにして形成されたワーク台４上に、第２図に示
すように、被加工物であるシリコンウエハロが載せられ
て空気の吸引等で固着し、回転軸７にスペーサ８，８・
・・・・・を介して一定間隔で取付けたダイヤモンド回
転刃９・・・・・・で゛切断加工する。

前記第１図の実施例では、切込み溝２として切断用逃げ
溝を形成した場合を説明したが第３図に不ずように、縦
横にＶ字溝２ｂを切削して４角錐を形成してもよい。

この第３図のＶ字状の切込み溝２ｂを形成した場合の使
用例としては、例えば、第４図および第５図に示すよう
に、シリコンウェハ６の下面に粘着性フィルム１０を貼
着した状態で゛粘着性フィルム１０だけ残してシリコン
ウェハ６を切断し、この切断終了後に不要となった粘着
性フィルム１０を剥離除去するような場合がある。

すなわち、ワーク台４をシリコンウェハ６よりやや大き
な径の円盤状となし、外周に空気漏れ防止ノング１１を
嵌め、このワーク台４の４角錐の頂部に１個ずつシリコ
ンウェハ６の各チップノ略中央が臨ませられるように載
せ、切欠き溝２ｂ側がら辛気を吸引して粘着性フィルム
１０を鎖線のように剥離する。

前記実施例では金属膜３は上面と側面に形成したか、下
面も含めて全面に形成してもよい。

前記実施例では、金属膜３をクロムメッキにより形成し
たが、その他の金属で゛もよく、さらに、耐摩耗性や硬
度を高めるためには、ダイヤモンドやボラゾンなどの砥
粒等を混入して一体にメッキしてもよい。

本考案は上述のように治具本体を、カーボン粉末を加圧
成形した平板状のカーボン・固体で形成した。

したがって、全体を金属のみで形成した場合に比して、
カーボン固体の方が加工性がよく、しかも加工時に刃物
を傷めることがない。

また、カーボン粉末を加圧成形したものであるので、角
隅部に欠けか生に易いなどのもろさを有するとしても、
耐摩耗性のある金属膜をニッケルメッキなどで形成すれ
ばカーボン粉末のもろさの欠点を解消できる。

さらに完成した治具の加工精度にすぐれており、正確な
切断、剥離などの精密作業に利用すると好適で゛ある。

特に、数１００μｍ単位で切断しなければならないシリ
コンウェハの切断においては、治具の溝を極めて正確に
形成することができ、また、シリコンウェハに貼着した
フィルムの剥離作業においては、各チップをＶ字状の切
欠き溝に正確に一致させることができ精密な作業が行な
えるものである。

さらに、カーボン粉末は安価であるため、切削加工性の
良さと相まって安価に提供で゛きる。

しかも金属膜をコーティングしたので、耐摩耗性にすぐ
れた長期間の使用に耐え得るものであり、さらに、カー
ボンによる汚れもなく作業性もよい。

したがって本考案によれば、μｍ単位の精度の治具が単
時間で安価にできるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による加工機械用治具の第１実施例の一
部拡大断面した正面図、第２図は第１実施例による治具
を用いた具体的切断使用時の一部拡大した正面図、第３
図は本考案の第２実施例の一部切欠いた斜視図、第４図
はフィルムの剥離作業の使用例を示す断面図、第５図は
第４図の平面図である。 １・・・・・・カーボン固体、２． ２ａ、 ２ｂ・
・・・・・切込み溝、３・・・・・・金属膜、４・・・
・・・ワーク台、５・・・・・・基板、６・・・・・・
シリコンウェハ、７・・・・・・回転軸、８・・・・・
・スペーサ、９・・・・・・回転刃、１０・・・・・・
粘着性フィルム、１１・・・・・・空気漏れ防止リング
。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）カーボン粉末を加圧成形して平板状のカーボン固
   体を形成し、このカーボン固体の上面に、所定間隔で精
   密な多数の切込み溝を形成し、この切込み溝の内面と、
   前記カーボン固体の上面に耐摩耗性にすぐれた金属膜を
   形成してなることを特徴とする加工機械用治具。
2. （２）切込み溝は所定間隔で縦横にＶ字状に形成してな
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載の加工機械用治具
   。
3. （３）耐摩耗性にすぐれた金属膜はクロムメッキより形
   成してなる実用新案登録請求の範囲第１項または第２項
   記載の加工機械用治具。
4. （４）クロムメッキ中にダイヤモンド、ボラゾン等の砥
   粒を混入して一体にメッキしてなる実用新案登録請求の
   範囲第３項記載の加圧機械用治具。