JPS603950B2 - 研磨治具 - Google Patents
研磨治具Info
- Publication number
- JPS603950B2 JPS603950B2 JP51078119A JP7811976A JPS603950B2 JP S603950 B2 JPS603950 B2 JP S603950B2 JP 51078119 A JP51078119 A JP 51078119A JP 7811976 A JP7811976 A JP 7811976A JP S603950 B2 JPS603950 B2 JP S603950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- sample
- polished
- weight
- end surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物性研究用としての透視検鏡試料や反射検鏡試
料の研磨および半導体の合せ面研磨などに使用される研
磨治具に関するものであって、特に、脆い研磨試料を確
実に研磨するためのものである。
料の研磨および半導体の合せ面研磨などに使用される研
磨治具に関するものであって、特に、脆い研磨試料を確
実に研磨するためのものである。
一般に、半導体の合せ面研磨加工や物性研究用試料の研
磨加工には、研磨面が平滑で肩ダレがなく平行度が良い
こと、研磨中に無理な外力および熱が発生しないこと、
特に透視検鏡試料の作成は５０ム以下に研磨−できる等
が必須条件とされているが、斯る従来の研磨加工にあっ
ては、研磨盤上に研磨試料を何んら俗臭等を用いること
なく手作業で庄持して所望厚さに研磨していたために、
脆い研磨試料では研磨中過度の加工圧で破損され、研磨
面の平滑性と肩ダレのない平行度の良いものを得ること
が困簸であるうえ、作業者の精神的肉体的な疲労度が大
きく、しかも微細な研磨層が目や鼻孔等に飛散して不慮
の事故が誘発されている許りでなく、特に５０仏以下の
研磨薄片の作成には高度の研磨技術が必要であり、作業
者の間ではたとえ脆い研磨材料であっても研磨作業の安
全性を維持しながら前記の必須条件を満足できる研磨治
具の実現が夙に望まれていた。
磨加工には、研磨面が平滑で肩ダレがなく平行度が良い
こと、研磨中に無理な外力および熱が発生しないこと、
特に透視検鏡試料の作成は５０ム以下に研磨−できる等
が必須条件とされているが、斯る従来の研磨加工にあっ
ては、研磨盤上に研磨試料を何んら俗臭等を用いること
なく手作業で庄持して所望厚さに研磨していたために、
脆い研磨試料では研磨中過度の加工圧で破損され、研磨
面の平滑性と肩ダレのない平行度の良いものを得ること
が困簸であるうえ、作業者の精神的肉体的な疲労度が大
きく、しかも微細な研磨層が目や鼻孔等に飛散して不慮
の事故が誘発されている許りでなく、特に５０仏以下の
研磨薄片の作成には高度の研磨技術が必要であり、作業
者の間ではたとえ脆い研磨材料であっても研磨作業の安
全性を維持しながら前記の必須条件を満足できる研磨治
具の実現が夙に望まれていた。
本発明は上記の実情に鑑み、全く新しい着想に基づいて
創案されたものであって、下端面を水平状に形成した研
磨治具基体の軸芯部に、研磨試料に一定の加工圧を付与
させる分銅筒体を上下方向摺動かつ回転自在に貴装し、
該分銅筒体の下部に上記研磨治具基体の下端面と平行状
に形成して環状のダムを突成してなる研磨謎料貼着面に
研磨試料を貼着し、かつ分銅筒体を研磨拾具基体に対し
て上方向へ弾持し、これを水平状に回転または高速微振
動する研磨盤に戦層させて研磨することにより、研磨試
料に分銅筒体から一定の加工圧を均一に付与し、研磨試
料貼着面と、研磨盤面間に研磨平行度を確実に保持する
と共に、研磨試料への衝撃荷重と過加工圧を吸収緩衝し
、たとえ脆い研磨試料であっても、常に熟練した高度の
研磨技術を全く必要とすることなく、研磨作業の安全性
を維持しながら、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度
を呈する研磨加工を簡単かつ容易的確に行うことができ
る研磨治具を提供しようとするものである。
創案されたものであって、下端面を水平状に形成した研
磨治具基体の軸芯部に、研磨試料に一定の加工圧を付与
させる分銅筒体を上下方向摺動かつ回転自在に貴装し、
該分銅筒体の下部に上記研磨治具基体の下端面と平行状
に形成して環状のダムを突成してなる研磨謎料貼着面に
研磨試料を貼着し、かつ分銅筒体を研磨拾具基体に対し
て上方向へ弾持し、これを水平状に回転または高速微振
動する研磨盤に戦層させて研磨することにより、研磨試
料に分銅筒体から一定の加工圧を均一に付与し、研磨試
料貼着面と、研磨盤面間に研磨平行度を確実に保持する
と共に、研磨試料への衝撃荷重と過加工圧を吸収緩衝し
、たとえ脆い研磨試料であっても、常に熟練した高度の
研磨技術を全く必要とすることなく、研磨作業の安全性
を維持しながら、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度
を呈する研磨加工を簡単かつ容易的確に行うことができ
る研磨治具を提供しようとするものである。
本発明の構成を図面に示された一実施例について説明す
れば、１は研磨治具基体であって、該研磨治具基体１の
下端面ｌａは水平状に形成され「かつ該研磨拾具基体１
の軸芯部には研磨試料ａに一定の加工圧を付与させる分
銅筒体２が貫入孔ｌｂを介して上下方向摺動かつ回転自
在に質装され、該分銅筒体２の下端面には下面筒縁に環
状のダム３を突成してなる研磨試料貼着面４を有する研
磨試料貼着盤５が一体的に形成され、かつ上記研磨試料
貼着面４と研磨治具基体ｉの下端面ｌａとが平行状に形
成されていると共に「上記分銅筒体２が研磨治具基体１
に対して上方向へ弾持されている。
れば、１は研磨治具基体であって、該研磨治具基体１の
下端面ｌａは水平状に形成され「かつ該研磨拾具基体１
の軸芯部には研磨試料ａに一定の加工圧を付与させる分
銅筒体２が貫入孔ｌｂを介して上下方向摺動かつ回転自
在に質装され、該分銅筒体２の下端面には下面筒縁に環
状のダム３を突成してなる研磨試料貼着面４を有する研
磨試料貼着盤５が一体的に形成され、かつ上記研磨試料
貼着面４と研磨治具基体ｉの下端面ｌａとが平行状に形
成されていると共に「上記分銅筒体２が研磨治具基体１
に対して上方向へ弾持されている。
すなわち、上記分銅筒体２の上端周緑に装着された係止
片６と研磨治具１上面間に上部支持環７ａと下部支持環
７ｂが遊鼓され、かつ該上部支持環７ａと下部支持環７
ｂ間に弾性体８，８……・・・によって上部支持環７ａ
が係止片６に、かつ下部支持環７ｂが研磨治具１上面に
それぞれ当接されて分銅筒体２を研磨治具１１こ対して
上方向へ弾持するように構成されている。また、前記研
磨治具基体１の下端面ｌａには、研磨試料貼着面４に蓮
適する研磨材と冷却用水の流入通路ｌｃ，ｌｃ・・・・
・・・・・が放射状に刻設され、前記分銅筒体２の上面
軸芯部には適数個の基準重量に構成されている補助分銅
筒体９，９…・…・・を研磨試料ａの硬軟度合と脆弱度
合に従って任意教遣する支持杵１０が立設されている。
また、前記実施例における研磨試料ａの研磨謎料貼着面
４への貼着は、研磨試料貼着面４を鏡面状態となし、そ
の表面張力によって研磨試料を、何んら接着剤等を使用
せずに貼着させてもよく、環状のダム３の成形は切削や
腐蝕加工等による研磨試料貼着面４領域の切除によるか
「 また、鍍金加工等による研磨試料貼着面４領域に対
する肉盛のいずれでもよいが、鍍金加工等の肉盛の方が
再成形が容易であって、しかもダム３の調製を簡単かつ
容易的確にできることは明らかであろう。
片６と研磨治具１上面間に上部支持環７ａと下部支持環
７ｂが遊鼓され、かつ該上部支持環７ａと下部支持環７
ｂ間に弾性体８，８……・・・によって上部支持環７ａ
が係止片６に、かつ下部支持環７ｂが研磨治具１上面に
それぞれ当接されて分銅筒体２を研磨治具１１こ対して
上方向へ弾持するように構成されている。また、前記研
磨治具基体１の下端面ｌａには、研磨試料貼着面４に蓮
適する研磨材と冷却用水の流入通路ｌｃ，ｌｃ・・・・
・・・・・が放射状に刻設され、前記分銅筒体２の上面
軸芯部には適数個の基準重量に構成されている補助分銅
筒体９，９…・…・・を研磨試料ａの硬軟度合と脆弱度
合に従って任意教遣する支持杵１０が立設されている。
また、前記実施例における研磨試料ａの研磨謎料貼着面
４への貼着は、研磨試料貼着面４を鏡面状態となし、そ
の表面張力によって研磨試料を、何んら接着剤等を使用
せずに貼着させてもよく、環状のダム３の成形は切削や
腐蝕加工等による研磨試料貼着面４領域の切除によるか
「 また、鍍金加工等による研磨試料貼着面４領域に対
する肉盛のいずれでもよいが、鍍金加工等の肉盛の方が
再成形が容易であって、しかもダム３の調製を簡単かつ
容易的確にできることは明らかであろう。
次に、叙上のように構成した本発明の作用について説明
する。予じめ切断機で薄片に切断された研磨試料ａを研
磨謎料貼着面４に鮎着した後、分銅筒体２を弾持した研
磨治具基体１を、微粉末状の研磨材を水に蝿浮浪和した
研磨溶液を薄膜状に散布させて水平状に回転または、高
速微振動する研磨盤ｂに戦遣させれば、上記研磨試料貼
着面４に貼着された研磨試料ａは、研磨拾具基体１の軸
芯部に上下方向摺動かつ回転自在に貴装された分銅筒体
２から一定の加工圧を被研磨面全面に均一に受けると同
時に、研磨謙科貼着面４と研磨盤ｂ面間に研磨平行度が
確実に保持されるうえ、さらに研磨試料貼着面４の周囲
に突成された環状ダム３で離脱防止作用を受けると共に
、研磨治具基体１の下端面ｌａに放射状に刻設された研
磨試料貼着面４に蓮適する流入通路ｌｃ，ｌｃから絶え
ず研磨溶液が補給されて研磨中不必要な発熱が抑止され
、しかも環状のダム３によって研磨試料ａの加工厚さが
確実に規定されると共に、研磨給具基体１によって研磨
層の飛散が確実に阻止されながら研磨されるか、この場
合、分銅筒体２が研磨拾具基体１に対して支持支持環７
ａと下部支持環７ｂおよび弾性体体８，８・・・…・・
・によって上方向に弾持されているので「研磨中に何ん
らかの原因で分銅筒体２が上下方向へ振動して研磨試料
ａに衝撃荷重が作用したとしても、該衝撃荷重は弾性体
８で均一に吸収緩衝されると共に、たとえ、研磨試料ａ
の加工圧がその脆弱度合に比して大きいとしても、その
加工圧は弾性体８，８……・・・で均一に吸収緩衝され
るから、研磨試料ａは常に熟練した高度の研磨技術を全
く必要とすることなく、研磨作業の安全性を維持しなが
ら、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を呈する研磨
加工が行われる。これを要するに、本発明は、下端面を
水平状に形成した研磨治具基体の軸芯部に、研磨試料に
一定の加工圧を付与させる分銅筒体を上下方向摺動かつ
回転自在に貫通静、該分銅筒体の下端面には下面に環状
のダムを突成してなる研磨試料貼着面を有する研磨試料
貼着盤を一体的に形成し、かつ上記研磨試料貼着面と研
磨拾具基体の下端面とを平行状に形成すると共に、上記
分銅筒体を研磨治具基体に比して上方向へ弾持し、該分
銅筒体の研磨試料への加工圧を軽減保持すべく構成した
から、研磨試料ａに一定の加工圧と正確な研磨平行度を
保持することができるうえ、研磨試料への衝撃荷重と過
加工圧を均一に吸収緩衝することができ、たとえ脆い研
磨試料であっても、常に裏糊廉した高度の研磨技術を全
く必要とすることなく、研磨作業の安全性を維持しなが
ら、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を呈する研磨
加工を簡単かつ容易的確に行うことができる等極めて有
用な新親的効果を奏するものである。
する。予じめ切断機で薄片に切断された研磨試料ａを研
磨謎料貼着面４に鮎着した後、分銅筒体２を弾持した研
磨治具基体１を、微粉末状の研磨材を水に蝿浮浪和した
研磨溶液を薄膜状に散布させて水平状に回転または、高
速微振動する研磨盤ｂに戦遣させれば、上記研磨試料貼
着面４に貼着された研磨試料ａは、研磨拾具基体１の軸
芯部に上下方向摺動かつ回転自在に貴装された分銅筒体
２から一定の加工圧を被研磨面全面に均一に受けると同
時に、研磨謙科貼着面４と研磨盤ｂ面間に研磨平行度が
確実に保持されるうえ、さらに研磨試料貼着面４の周囲
に突成された環状ダム３で離脱防止作用を受けると共に
、研磨治具基体１の下端面ｌａに放射状に刻設された研
磨試料貼着面４に蓮適する流入通路ｌｃ，ｌｃから絶え
ず研磨溶液が補給されて研磨中不必要な発熱が抑止され
、しかも環状のダム３によって研磨試料ａの加工厚さが
確実に規定されると共に、研磨給具基体１によって研磨
層の飛散が確実に阻止されながら研磨されるか、この場
合、分銅筒体２が研磨拾具基体１に対して支持支持環７
ａと下部支持環７ｂおよび弾性体体８，８・・・…・・
・によって上方向に弾持されているので「研磨中に何ん
らかの原因で分銅筒体２が上下方向へ振動して研磨試料
ａに衝撃荷重が作用したとしても、該衝撃荷重は弾性体
８で均一に吸収緩衝されると共に、たとえ、研磨試料ａ
の加工圧がその脆弱度合に比して大きいとしても、その
加工圧は弾性体８，８……・・・で均一に吸収緩衝され
るから、研磨試料ａは常に熟練した高度の研磨技術を全
く必要とすることなく、研磨作業の安全性を維持しなが
ら、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を呈する研磨
加工が行われる。これを要するに、本発明は、下端面を
水平状に形成した研磨治具基体の軸芯部に、研磨試料に
一定の加工圧を付与させる分銅筒体を上下方向摺動かつ
回転自在に貫通静、該分銅筒体の下端面には下面に環状
のダムを突成してなる研磨試料貼着面を有する研磨試料
貼着盤を一体的に形成し、かつ上記研磨試料貼着面と研
磨拾具基体の下端面とを平行状に形成すると共に、上記
分銅筒体を研磨治具基体に比して上方向へ弾持し、該分
銅筒体の研磨試料への加工圧を軽減保持すべく構成した
から、研磨試料ａに一定の加工圧と正確な研磨平行度を
保持することができるうえ、研磨試料への衝撃荷重と過
加工圧を均一に吸収緩衝することができ、たとえ脆い研
磨試料であっても、常に裏糊廉した高度の研磨技術を全
く必要とすることなく、研磨作業の安全性を維持しなが
ら、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を呈する研磨
加工を簡単かつ容易的確に行うことができる等極めて有
用な新親的効果を奏するものである。
図面は本発明に係る研磨拾具の一実施例を示すものであ
って、第１図は全体縦面図、第２図は同上平面図、第３
図は同上底面図である。 図中、１は研磨治具基体、ｌａはその下端面、ｌｃはそ
の流入通路、２は分銅筒体、３は環状のダム、４は研磨
謎料貼着面、５は研磨試料貼着盤、７ａは上部支持環、
７ｂは下部支持環、８は弾性体、ａは研磨試料、ｂは研
磨盤である。 第１図第２図 第３図
って、第１図は全体縦面図、第２図は同上平面図、第３
図は同上底面図である。 図中、１は研磨治具基体、ｌａはその下端面、ｌｃはそ
の流入通路、２は分銅筒体、３は環状のダム、４は研磨
謎料貼着面、５は研磨試料貼着盤、７ａは上部支持環、
７ｂは下部支持環、８は弾性体、ａは研磨試料、ｂは研
磨盤である。 第１図第２図 第３図
Claims (1)
- １ 下端面を水平状に形成した研磨治具基体の軸芯部に
、研磨試料に一定の加工圧を付与させる分銅筒体を上下
方向摺動かつ回転自在に貫装し、該分銅筒体の下端面に
は下面に環状のダムを突成してなる研磨試料貼着面を有
する研磨試料貼着盤を一体的に形成し、かつ上記研磨試
料貼着面と研磨治具基体の下端面とを平行状に形成する
と共に、上記分銅筒体を研磨治具基体に対して上方向へ
弾持し、該分銅筒体の研磨試料への加工圧を軽減保持す
べく構成したことを特徴とする研磨治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51078119A JPS603950B2 (ja) | 1976-06-30 | 1976-06-30 | 研磨治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51078119A JPS603950B2 (ja) | 1976-06-30 | 1976-06-30 | 研磨治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS532791A JPS532791A (en) | 1978-01-11 |
| JPS603950B2 true JPS603950B2 (ja) | 1985-01-31 |
Family
ID=13652987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51078119A Expired JPS603950B2 (ja) | 1976-06-30 | 1976-06-30 | 研磨治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS603950B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6113359U (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-25 | 株式会社三協精機製作所 | デイスクの回転駆動装置 |
| JPS61132549U (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-19 | ||
| JPH0244562A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ディスク回転駆動装置 |
| JPH0319088Y2 (ja) * | 1985-06-03 | 1991-04-23 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58144590U (ja) * | 1982-03-25 | 1983-09-29 | 日本車輌製造株式会社 | クレ−ンの荷重演算装置の表示盤 |
-
1976
- 1976-06-30 JP JP51078119A patent/JPS603950B2/ja not_active Expired
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6113359U (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-25 | 株式会社三協精機製作所 | デイスクの回転駆動装置 |
| JPS61132549U (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-19 | ||
| JPH0319088Y2 (ja) * | 1985-06-03 | 1991-04-23 | ||
| JPH0244562A (ja) * | 1988-08-03 | 1990-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ディスク回転駆動装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS532791A (en) | 1978-01-11 |
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