JPH10337652A - 研磨用キャリヤ - Google Patents
研磨用キャリヤInfo
- Publication number
- JPH10337652A JPH10337652A JP16192397A JP16192397A JPH10337652A JP H10337652 A JPH10337652 A JP H10337652A JP 16192397 A JP16192397 A JP 16192397A JP 16192397 A JP16192397 A JP 16192397A JP H10337652 A JPH10337652 A JP H10337652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polished
- carrier
- polished body
- holding part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 矩形の板状をした脆性材料からなる被研磨体
を欠けやクラックを生じず高精度の平坦面に研磨できる
研磨用キャリヤを提供する。 【解決手段】 本願発明は、板状の被研磨体４を嵌合保
持する矩形の保持部２を有し、且つそのコーナーに逃げ
部２ａを有する研磨用キャリヤ１において、前記保持部
２と逃げ部２ａとの接続箇所２ｂを滑らかに連続する弧
状に形成したことを特徴とする。
を欠けやクラックを生じず高精度の平坦面に研磨できる
研磨用キャリヤを提供する。 【解決手段】 本願発明は、板状の被研磨体４を嵌合保
持する矩形の保持部２を有し、且つそのコーナーに逃げ
部２ａを有する研磨用キャリヤ１において、前記保持部
２と逃げ部２ａとの接続箇所２ｂを滑らかに連続する弧
状に形成したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面研磨装置に使
用される研磨用キャリヤに関し、特に矩形の板状をした
ガラス等の脆性材料からなる被研磨体を研磨する際に使
用される研磨用キャリヤに関する。
用される研磨用キャリヤに関し、特に矩形の板状をした
ガラス等の脆性材料からなる被研磨体を研磨する際に使
用される研磨用キャリヤに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶ディスプレイ、エレクトロル
ミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイなど
の平面ディスプレイには、矩形で厚さ０．５〜１．５ｍ
ｍの薄板ガラスが用いられており、この薄板ガラスに
は、高精度の平坦性が要求される。
ミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイなど
の平面ディスプレイには、矩形で厚さ０．５〜１．５ｍ
ｍの薄板ガラスが用いられており、この薄板ガラスに
は、高精度の平坦性が要求される。
【０００３】周知の工業的な成形法により製造された薄
板ガラスには、表面に微小な欠陥、うねり、凹凸が存在
し、そのままでは平面ディスプレイに使用できる平坦性
を有していないため、成形された薄板ガラスは、その表
面を平面研磨装置を用いて所望の高精度の平坦性を有す
るように研磨される。
板ガラスには、表面に微小な欠陥、うねり、凹凸が存在
し、そのままでは平面ディスプレイに使用できる平坦性
を有していないため、成形された薄板ガラスは、その表
面を平面研磨装置を用いて所望の高精度の平坦性を有す
るように研磨される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、平面研磨装置で
使用されている研磨用キャリヤ１は、図３に示すよう
に、薄板ガラスの被研磨体４を嵌合して保持するための
矩形の保持孔２を有し、その各コーナーには、被研磨体
４を保持孔２への或いはそれからの着脱を容易にすると
共に、研磨の際に被研磨体４の回転に伴って研磨用キャ
リヤ１から被研磨体４に作用する回転力からそれの欠け
やすい角部を逃がすために逃げ部２ａが設けられてい
る。
使用されている研磨用キャリヤ１は、図３に示すよう
に、薄板ガラスの被研磨体４を嵌合して保持するための
矩形の保持孔２を有し、その各コーナーには、被研磨体
４を保持孔２への或いはそれからの着脱を容易にすると
共に、研磨の際に被研磨体４の回転に伴って研磨用キャ
リヤ１から被研磨体４に作用する回転力からそれの欠け
やすい角部を逃がすために逃げ部２ａが設けられてい
る。
【０００５】しかしながら、前記従来の研磨用キャリヤ
１は、逃げ部２ａと保持孔２とが角張った接続箇所２ｂ
になっており、研磨の際に被研磨体４のコーナーに負荷
される回転力を逃がす作用が不十分であり、該接続箇所
２ｂに被研磨体４の側縁４ａが強く押しつけられ、欠け
やクラックを生じる問題がある。このように、被研磨体
４に僅かでも欠けが生じた場合には、その欠けたガラス
片により被研磨体４の研磨表面にキズが付いたり、脆性
の被研磨体４そのものが破損する問題がある。
１は、逃げ部２ａと保持孔２とが角張った接続箇所２ｂ
になっており、研磨の際に被研磨体４のコーナーに負荷
される回転力を逃がす作用が不十分であり、該接続箇所
２ｂに被研磨体４の側縁４ａが強く押しつけられ、欠け
やクラックを生じる問題がある。このように、被研磨体
４に僅かでも欠けが生じた場合には、その欠けたガラス
片により被研磨体４の研磨表面にキズが付いたり、脆性
の被研磨体４そのものが破損する問題がある。
【０００６】また、近年における平面ディスプレイの大
型化に伴い、被研磨体４が大板化してきており、研磨の
際に研磨定盤と被研磨体４との研磨摩擦力がより大きく
なるので、研磨用キャリヤ１から被研磨体４に作用する
回転力がより大きくなり、欠けやクラックの問題が顕著
になっている。
型化に伴い、被研磨体４が大板化してきており、研磨の
際に研磨定盤と被研磨体４との研磨摩擦力がより大きく
なるので、研磨用キャリヤ１から被研磨体４に作用する
回転力がより大きくなり、欠けやクラックの問題が顕著
になっている。
【０００７】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決し、矩形の板状をした被研磨体を欠けやクラックを生
じず高精度の平坦面に研磨できる研磨用キャリヤを提供
することを目的とする。
決し、矩形の板状をした被研磨体を欠けやクラックを生
じず高精度の平坦面に研磨できる研磨用キャリヤを提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明に係る研磨用キ
ャリヤは、板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保持部
を有し、且つそのコーナーに逃げ部を有する研磨用キャ
リヤにおいて、前記保持部と逃げ部との接続箇所を滑ら
かに連続する弧状に形成したことを特徴とする。
ャリヤは、板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保持部
を有し、且つそのコーナーに逃げ部を有する研磨用キャ
リヤにおいて、前記保持部と逃げ部との接続箇所を滑ら
かに連続する弧状に形成したことを特徴とする。
【０００９】保持部と逃げ部との接続箇所は、研磨の際
に被研磨体からの力を分散して緩和するために、滑らか
に連続する弧状に形成されており、その接続箇所の形状
は、例えば、単一の曲率半径を有する円弧、複合の曲率
半径を有する弧状等が好ましい。
に被研磨体からの力を分散して緩和するために、滑らか
に連続する弧状に形成されており、その接続箇所の形状
は、例えば、単一の曲率半径を有する円弧、複合の曲率
半径を有する弧状等が好ましい。
【００１０】保持部は、板状の被研磨体を嵌合保持する
ために矩形状をしており、被研磨体の一面を研磨するオ
スカー式研磨装置等ではリセス穴として、被研磨体の二
面を同時に研磨する両面研磨装置では貫通孔として設け
られる。
ために矩形状をしており、被研磨体の一面を研磨するオ
スカー式研磨装置等ではリセス穴として、被研磨体の二
面を同時に研磨する両面研磨装置では貫通孔として設け
られる。
【００１１】研磨用キャリヤの材料としては、布入りベ
ークライト、グラスエポキシ等のプラスチック複合材
料、ステンレスや鉄系の合金等からなる薄い金属材料等
が使用可能であり、研磨の際に被研磨体の回転に伴って
作用する力により弾性変形を生ずるものが好ましい。
ークライト、グラスエポキシ等のプラスチック複合材
料、ステンレスや鉄系の合金等からなる薄い金属材料等
が使用可能であり、研磨の際に被研磨体の回転に伴って
作用する力により弾性変形を生ずるものが好ましい。
【００１２】
【作用】本発明に係る研磨用キャリヤによれば、保持部
と逃げ部との接続箇所を滑らかに連続する弧状に形成し
たことにより、研磨の際に被研磨体の側縁が保持孔内で
弧状をした接続箇所との当接位置を僅かに変えながら弧
状の面上を移動することで、被研磨体の回転に伴う回転
力が研磨用キャリヤの一点に集中することなく分散し、
弧状の面で当接面積が増した状態となって緩和されるの
で、欠けやクラックの発生を防止できる。
と逃げ部との接続箇所を滑らかに連続する弧状に形成し
たことにより、研磨の際に被研磨体の側縁が保持孔内で
弧状をした接続箇所との当接位置を僅かに変えながら弧
状の面上を移動することで、被研磨体の回転に伴う回転
力が研磨用キャリヤの一点に集中することなく分散し、
弧状の面で当接面積が増した状態となって緩和されるの
で、欠けやクラックの発生を防止できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る研磨用キャ
リヤの説明図であって、１は研磨用キャリヤを、２は保
持孔を、３は研磨用キャリヤの周縁に付設された歯車の
歯を、４は矩形の薄板ガラスからなる被研磨体をそれぞ
れ示している。
リヤの説明図であって、１は研磨用キャリヤを、２は保
持孔を、３は研磨用キャリヤの周縁に付設された歯車の
歯を、４は矩形の薄板ガラスからなる被研磨体をそれぞ
れ示している。
【００１４】本発明の研磨用キャリヤ１は、布入りベー
クライトからなり、図１に示すように、略円盤形を呈し
ており、その中に被研磨体４を嵌合保持する矩形の保持
部２が設けられており、その各コーナーに逃げ部２ａが
設けらている。その保持部２と逃げ部２ａとの接続箇所
２ｂは、滑らかに連続する円弧状に形成されている。研
磨用キャリヤ１の外周には、歯車の歯３が付設されてい
る。研磨用キャリヤ１は、図２に示すように、平面研磨
装置の太陽歯車５と内歯車６との間に歯３を噛合して配
設され、太陽歯車５の回りを遊星回動されながら、保持
孔２内に嵌合保持されている被研磨体４を上下の定盤
７、８によって研磨するようになっている。このとき、
保持孔２内の被研磨体４の側縁４ａが、接続箇所２ｂと
の当接位置を僅かに変えながら弧状の曲面上を移動する
ことで、研磨用キャリヤ１から被研磨体４の側縁４ａに
作用する回転力が一点に集中することなく分散して緩和
されるため、被研磨体４に欠けやクラックが発生しない
ようになる。
クライトからなり、図１に示すように、略円盤形を呈し
ており、その中に被研磨体４を嵌合保持する矩形の保持
部２が設けられており、その各コーナーに逃げ部２ａが
設けらている。その保持部２と逃げ部２ａとの接続箇所
２ｂは、滑らかに連続する円弧状に形成されている。研
磨用キャリヤ１の外周には、歯車の歯３が付設されてい
る。研磨用キャリヤ１は、図２に示すように、平面研磨
装置の太陽歯車５と内歯車６との間に歯３を噛合して配
設され、太陽歯車５の回りを遊星回動されながら、保持
孔２内に嵌合保持されている被研磨体４を上下の定盤
７、８によって研磨するようになっている。このとき、
保持孔２内の被研磨体４の側縁４ａが、接続箇所２ｂと
の当接位置を僅かに変えながら弧状の曲面上を移動する
ことで、研磨用キャリヤ１から被研磨体４の側縁４ａに
作用する回転力が一点に集中することなく分散して緩和
されるため、被研磨体４に欠けやクラックが発生しない
ようになる。
【００１５】上記研磨用キャリヤ１を使用することによ
り、従来では薄板ガラスの被研磨体が破損していた研磨
条件下でも欠けやクラックが発生することなく研磨がで
きるようになった。
り、従来では薄板ガラスの被研磨体が破損していた研磨
条件下でも欠けやクラックが発生することなく研磨がで
きるようになった。
【００１６】
【発明の効果】本発明の研磨用キャリヤによれば、脆性
材料からなる矩形の板状をした被研磨体を欠けやクラッ
クのない高精度の平坦面に研磨できる実用上優れた効果
を奏するものである。
材料からなる矩形の板状をした被研磨体を欠けやクラッ
クのない高精度の平坦面に研磨できる実用上優れた効果
を奏するものである。
【図１】本発明の一実施の形態にかかる研磨用キャリヤ
の説明図
の説明図
【図２】本発明の研磨用キャリヤの一使用形態の説明図
【図３】従来の研磨用キャリヤの説明図
１ 研磨用キャリヤ ２ 保持部 ２ａ 逃げ部 ２ｂ 接続箇所 ３ 歯 ４ 被研磨体 ５ 太陽歯車 ６ 内歯車 ７ 下定盤 ８ 上定盤
Claims (1)
- 【請求項１】 板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保
持部を有し、且つそのコーナーに逃げ部を有する研磨用
キャリヤにおいて、前記保持部と逃げ部との接続箇所を
滑らかに連続する弧状に形成したことを特徴とする研磨
用キャリヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16192397A JPH10337652A (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | 研磨用キャリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16192397A JPH10337652A (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | 研磨用キャリヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10337652A true JPH10337652A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15744610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16192397A Pending JPH10337652A (ja) | 1997-06-03 | 1997-06-03 | 研磨用キャリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10337652A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006289517A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Nitta Haas Inc | 被研磨物保持部材 |
| JP2007301650A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Naoetsu Seimitsu Kako Kk | 角型基板用キャリア及び角型基板用両面研磨装置並びに角型基板の研磨方法 |
-
1997
- 1997-06-03 JP JP16192397A patent/JPH10337652A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006289517A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Nitta Haas Inc | 被研磨物保持部材 |
| JP4708831B2 (ja) * | 2005-04-06 | 2011-06-22 | ニッタ・ハース株式会社 | 被研磨物保持部材 |
| JP2007301650A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Naoetsu Seimitsu Kako Kk | 角型基板用キャリア及び角型基板用両面研磨装置並びに角型基板の研磨方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10337652A (ja) | 研磨用キャリヤ | |
| JP3493208B2 (ja) | 平坦な主面を持つ板の製造方法および、平行な二つの主面を持つ板の製造方法 | |
| JPH10337653A (ja) | 研磨用キャリヤ | |
| JP2007083337A (ja) | 平面研磨装置 | |
| JP2004154924A (ja) | 研磨装置、研磨装置用キャリアおよび研磨方法 | |
| JPH11104954A (ja) | 研磨用キャリヤ及び研磨方法 | |
| JPH11254303A (ja) | ラップ盤 | |
| JP2552305B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
| JPH0538671A (ja) | 両面同時平面研磨機用キヤリヤ | |
| JPH11333703A (ja) | ポリッシング加工機 | |
| JP2006035369A (ja) | 平面研磨機 | |
| JPH0788761A (ja) | 半導体基板の研磨用保持板 | |
| JPH0215628A (ja) | シリコン半導体ウェーハの製造方法 | |
| JP2608757B2 (ja) | 水晶振動子用水晶ウエハ | |
| JPH09155729A (ja) | 平面研磨板及びこれを用いた平面研磨装置 | |
| JPH0340535Y2 (ja) | ||
| JP2001198805A (ja) | 被研磨物保持具 | |
| JP4290295B2 (ja) | 両面研磨用テンプレートおよびこれを用いた両面研磨方法 | |
| JPS6393561A (ja) | 両面研磨装置による片面研磨方法 | |
| JP2007331034A (ja) | ワークキャリア及び両面研磨機 | |
| JP2000198064A (ja) | 研磨機用キャリヤ | |
| JPS60197366A (ja) | 両面研磨機用のキヤリア | |
| JPH0623659A (ja) | 薄板材の研磨方法とその装置 | |
| JP2000176804A (ja) | 鏡面研磨方法と研磨具 | |
| JP2678194B2 (ja) | プラネタリ型研磨装置 |