JPH0340535Y2 - - Google Patents

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JPH0340535Y2
JPH0340535Y2 JP1989028095U JP2809589U JPH0340535Y2 JP H0340535 Y2 JPH0340535 Y2 JP H0340535Y2 JP 1989028095 U JP1989028095 U JP 1989028095U JP 2809589 U JP2809589 U JP 2809589U JP H0340535 Y2 JPH0340535 Y2 JP H0340535Y2
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wrapping
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は水晶、ガラス、シリコン、フエライト
等の脆性材料の超精度ラツプ加工用キヤリアーに
関するものである。
〔従来の技術〕
薄物のラツピングの場合、両面同時加工法に依
るのが一般的である。この場合キヤリアーは剛性
及び強度のニーズからしてスチール系又はアルミ
系の材質を選ぶのが一般的である。
この際キヤリアーの穴形状はワークの形状が例
えば四角の場合はワーク形状に合わせた四角形形
状とするか、ワークの形状が四角の場合でもラツ
ピング中に同一キヤリアー内の個々のワークの相
対位置関係、特に回転による、が絶えず変えるこ
とが必要であるため丸形状にするかの2つの方法
がとられているが、一般には後者の方が精度が得
られ易い。この時キヤリアー穴形状が丸くワーク
形状が四角の場合、キヤリアーの穴の側壁と接す
るワークのエツジ部に負荷がかゝり、エツジ部に
チツピングが発生し、ラツピング中にラツプ定盤
とワーク間にチツプを抱き込むことから、これが
原因でワークの表面に微細なキズを発生させるこ
とが多い。一方キヤリアー穴形状を多角形にして
ワークの形状が四角の場合ラツピング中、ワーク
の動きが悪く平行度が出にくい。又ワークが回転
中エツジ部に負荷がかゝり上記丸穴形状のキヤリ
アーの場合と同様な結果が生じる。
以下、第1図により従来のラツピング用キヤリ
アーについて説明する。
第1図は従来のラツプ加工法におけるキヤリア
ー及びワークの平面図を示すもので、一定の強度
を維持するための硬質材のブルースチール製キヤ
リアー4の形状は外周に歯車が切られており、四
角形のワークを収納するための穴形状はワーク3
が内接する程度の円形を成している。
〔考案が解決しようとする課題〕
しかしながら、ラツピングキヤリアー4は硬質
の材料で形成され、ワーク3は比較的脆い材料で
できているため、ラツピング中何かの衝撃でワー
ク3のエツジ部にチツピングを生じせしめキズの
発生を促す結果となつている。
本考案はこれらの欠点をなくし、例えばウオツ
チ用の超小形で精度も要求される水晶片の母材で
ある水晶の薄板等のワークを超精度ラツピングす
る高度の歩留りでかつローコストのキヤリアーを
提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するための本考案の要旨は、略
多角形形状のワークをキヤリアーに形成した穴に
装着してラツピング加工するラツピング加工用キ
ヤリアーにおいて、前記ワークの外形とほゞ同形
状のワーク保持用穴を有し比較的軟質材より成り
前記ワークより厚さの薄い内蔵キヤリアーと、該
内蔵キヤリアーを回動自在に配設するための内蔵
キヤリアー収納穴を有し前記内蔵キヤリアーより
は剛性を有し且つ前記ワークより厚さの薄い本キ
ヤリアーにより構成されたことを特徴としてい
る。
〔作用〕
上記構成によれば、ワークがいかなる多角形状
を有していても、本キヤリアーの公転と内蔵キヤ
リアーによるワークの自転の両方が可能となり、
両面ラツプ加工を行なう際非常に高精度が得られ
る。
〔実施例〕
以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。
第2及び第3図は本考案の実施例を示す平面図
及び断面図で、1はラツピングに要する十分な強
度及び剛性を要するブルースチール材から成る本
キヤリアーでこの中にプラスチツク材料又は軟質
金属材料等の本キヤリアーより軟質の材料ででき
たキヤリアー2を内蔵させる。内蔵キヤリアーの
ワーク保持用の穴形状はワーク3の外形形状に合
せて四角形状にして又外形形状はラツピング中に
自由自在に回転しやすいように丸形状とする。
本考案において十分剛性のあるブルースチール
製キヤリアー内にプラスチツク材等の軟質材料を
内蔵させ二重キヤリアーとし、しかもブルースチ
ール材から成るキヤリアーの内蔵キヤリアー収納
のための穴形状は丸穴とし、内蔵キヤリアーの外
形形状は丸形状で、ブルースチールキヤリアーと
のスキマは0.01〜0.20mmにすることで、加工中ブ
ルースチールキヤリアーの遊星運動に対して内蔵
キヤリアーがスムースに回転出来るようになつて
いる。内蔵キヤリアーとワークとのスキマはスキ
マを0.01〜0.10mmとすることで、ワークに対する
緩衝材の役目を果し、ワーク及び内蔵キヤリアー
がスチール材から成るキヤリアー内を自由に回転
出来るようにすることで、ラツピング加工におい
てワークの厚み精度が維持出来る。平行平面で平
坦度が高精度に得られ、しかもワークのチツピン
グが原因で発生するキズをなくすことが出来るの
でコストダウンとなる効果がある。
〔考案の効果〕
以上述べたところから明らかなように、ワーク
を保持した内蔵キヤリアーを軟質材で形成するこ
とによりワークのキズやエツジのチツピングを防
止できるとともに、内蔵キヤリアーを本キヤリア
ーに対して回動自在と成しているのでワークにと
つては自転と公転の両方が得られるため、キヤリ
アー内でワークの相対位置を絶えず変えることが
でき、厚み精度や平坦度等の品質を高精度に得る
ことができて、両面ラツプ加工としての超精密ラ
ツピングを従来に比しローコストで達成すること
ができるという多大の効果を上げ得たものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のキヤリアー及びワークの構成を
示す平面図、第2図は本考案による二重キヤリア
ー及びワークを示す平面図、第3図は第2図の断
面図を示す。 1……キヤリアー、2……内蔵キヤリアー、3
……ワーク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 略多角形形状のワークをキヤリアーに形成した
    穴に装着してラツピング加工するラツピング加工
    用キヤリアーにおいて、前記ワークの多角形形状
    とほぼ同形状のワーク保持用穴を有し且つ比較的
    軟質材より成り前記ワークより厚さの薄い内蔵キ
    ヤリアーと、該内蔵キヤリアーを回動自在に配設
    するための内蔵キヤリアー収納穴を有し且つ前記
    内蔵キヤリアーよりは剛性を有し前記ワークより
    厚さの薄い本キヤリアーとより構成されているこ
    とを特徴とするラツピング加工用キヤリアー。
JP1989028095U 1989-03-14 1989-03-14 Expired JPH0340535Y2 (ja)

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JPH01163059U JPH01163059U (ja) 1989-11-14
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5381554B2 (ja) * 2009-09-25 2014-01-08 日本電気硝子株式会社 板状ワーク研磨装置および板状ワーク研磨方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51113294A (en) * 1975-03-31 1976-10-06 Citizen Watch Co Ltd Carrier for lapping wafer

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51113294A (en) * 1975-03-31 1976-10-06 Citizen Watch Co Ltd Carrier for lapping wafer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9564963B2 (en) 1995-06-30 2017-02-07 Interdigital Technology Corporation Automatic power control system for a code division multiple access (CDMA) communications system

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JPH01163059U (ja) 1989-11-14

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