JP5381554B2 - 板状ワーク研磨装置および板状ワーク研磨方法 - Google Patents
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Description
2 サンギア
4 研磨定盤
6 インターナルギア
7 キャリア
8 円形のホール(円形ホール)
9 矩形ガラス板
D 円形のホールの直径
L 矩形ガラス板の対角線長さ
x キャリアの自転の中心
Claims (6)
- サンギアと、インターナルギアと、これらの両ギア間に介設され且つ外周部に形成された歯が前記両ギアに噛合して自転しながら公転するキャリアと、該キャリアに形成されたホールに保持される板状ワークと、該板状ワークの面を支持する研磨定盤とを備えた板状ワーク研磨装置において、
前記板状ワークが矩形ガラス板であって、前記キャリアに形成されたホールが平面視で円形であり、前記円形のホールの直径が、前記矩形ガラス板の対角線長さの1.1倍以上で且つ2倍以下であり、前記キャリアの下方に前記研磨定盤が配置されると共に、前記矩形ガラス板が、前記円形のホール内にて平面視で自由に回転するように前記円形のホールに遊びをもって保持され且つ前記研磨定盤上でその片面のみが研磨されるように構成されていることを特徴とする板状ワーク研磨装置。 - 前記矩形ガラス板が、その自重により前記研磨定盤上で研磨されるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の板状ワーク研磨装置。
- 前記円形のホールが、前記キャリアの自転の中心から偏心して形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の板状ワーク研磨装置。
- 前記キャリアの少なくとも円形のホールの周面部が樹脂または硬質ゴムで形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の板状ワーク研磨装置。
- 前記キャリアの少なくとも円形のホールの周面部の肉厚が、前記矩形ガラス板の肉厚よりも厚いことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の板状ワーク研磨装置。
- サンギアと、インターナルギアと、これらの両ギア間に介設され且つ外周部に形成された歯が前記両ギアに噛合して自転しながら公転するキャリアとを有し、該キャリアに形成されたホールに板状ワークを保持して、研磨定盤により該板状ワークの面を支持する板状ワーク研磨方法において、
前記板状ワークが矩形ガラス板であって、前記キャリアに形成されたホールが平面視で円形であり、前記円形のホールの直径が、前記矩形ガラス板の対角線長さの1.1倍以上で且つ2倍以下であり、前記キャリアの下方に前記研磨定盤を配置すると共に、前記矩形ガラス板を、前記円形のホール内にて平面視で自由に回転させるように前記円形のホールに遊びをもって保持させ、且つ前記研磨定盤上で前記矩形ガラス板の片面のみを研磨することを特徴とする板状ワーク研磨方法。
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