JPS62287967A

JPS62287967A - ラツピングキヤリア

Info

Publication number: JPS62287967A
Application number: JP61127130A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yamamoto; 武士山本; Tsutomu Maeda; 力前田; Mamoru Kamiya; 守神谷
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1986-06-03
Filing date: 1986-06-03
Publication date: 1987-12-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明Ａ１発明の目的（１）産業上の利用分野本発明は、水晶振動子或いはＬＳＩ等に組込まれる微小
部品の規定厚さを出すためのラフピング装置において、
上記被加工物を回転研必させるためのラッピングキャリ
アに関するものである。

（２）従来例水晶振動子、或いはＬＳＩ等に組込まれる微小部品（以
下被加工物という）の厚さは、百分の一ミリ単位の寸法
が要求される。

この寸法は、被加工物を研磨することによってのみ達成
される。すなわち、第１図は、ラッピング装置の概念図
を示し、一点鎖線は、歯車を表す。

ｌは、ラフピングキャリアで三個図示されているが、そ
の内−個だけが正確に画かれ、その他のものは省略され
ている。ラッピングキャリア１の中には、被加工物５を
入れる透孔４が１列（図示のもの）ないし２列程度設け
られている。

２は、センタードライブギアで、ラッピングキャリア１
を回転させるものである。

３は、アウタギアで、センタードライブギア２と協動し
て、ラフピングキャリア１を自転させるとともに、セン
タードライブギア２のまわりを公転させる。

ラフピングキャリア１の透孔４には、被加工物５を入れ
、被加工物５の上には、研磨剤をかけ、ラッピング装置
の中に入るような内蓋（図示されていない）を乗せる。

そして、この装置を回転させれば、被加工物、研磨剤の
種類、蓋の重さ、および研磨時間によっにも薄く　（第２図参照）、その厚みの差は、少ない程、
被加工物の厚さが正確に制御される。

被加工物の精度は、百分のＬミリ電位を要求されるため
、ラッピングキャリア１の厚さも百分の１ミリ重位のも
のを作らねばならない。

例えば、被加工物の仕上がりＩ７さが０．３２ｍｍのも
のを作るには、ラッピングキャリア１は、０．３１ｖｗ
のものが必要である。

ところで、普通の歯車同志の力の伝達は、歯車をインボ
リュウト曲線にすることによって、理想的に行われるが
、歯車の加工或いは歯車の組立精度に誤差があると、歯
車の噛合はガタが生ずる。

しかし、歯車には、成る程度厚さがあるから、歯車の一
部に集中荷重がかかったとしても、その部分の強度に耐
える設計をすれば、十分正確な回転が伝達される。

ラッピングキャリアの場合は、前述のように非常に薄い
素材で出来ているため、歯車の外周とインボリュウト曲
線とを結ぶ点の角部同、志が当った場合、その点に荷重
が集中し、この荷重に耐えるだけの厚みがないから、ラ
ッピングキャリアは、変形するという問題があった。

また、ラッピングキャリアは、高速回転をしているため
、ラッピングキャリアの歯車の精度および十目手の歯車
との相対関係で、歯車の外周とインボリュウト曲線とを
結ぶ点の角部同志が当り、ラッピングキャリアの回転は
ガタつき、ラッピングキャリアの一部が磨滅して、ラッ
ピングキャリアは、変形するという問題があった。

更に、薄いランピングキャリアの歯車は、損傷され易い
ので１、損傷されたまま研磨を４１続していると、ラッ
ピングキャリアの回転むらによって、被加工物の厚さが
正確に出ない。このため、ラッピングキャリアは、歯車
が損傷される前に交換しなくてはならない。

したがって、ラッピングキャリアは、消耗品として安価
で量産が可能なものでなければならない。

しかし、薄いラッピングキャリアは、多数積み重ねて固
定され、切削加工されるが、この場合、歯車の外周とイ
ンボリュウト曲線とを結ぶ点に角部があるため切削が困
難であるだけでなく、手間もかかるという問題があった
。

（３）発明が解決しようとする問題点本発明は、以上のような従来の問題点を解決するもので
あり、非常に薄いラフピングキャリアが加工上或いは装
置の組立上の誤差がわずかにあったとしても、変形し難
いラッピングキャリアを提供することを目的とするもの
である。

また、本発明は、量産する場合、切削加工を容易にする
ラッピングキャリアを提供することを目的とするもので
ある。

Ｂ９発明の構成（１）問題点を解決するだめの手段前記目的を達成するために、本発明のラッピングキャリ
アは、その外周に設けられた歯車の形状を、角部のない
滑らかな曲線とした。そのために、本発明のラッピング
キャリアは、板体に厚さの薄い微小物品を挿入する複数
個の透孔と、上記板体の外周に設けられた歯車とを有す
るもので、上記歯車は、その外周とインポリュウト曲線
とを結ぶ点を滑らかに連続した曲線としたものである。

（２）　　作用したがって、本発明のような構成によれば、ラッピング
キャリアの歯車の外周とインポリュウト曲線とを結ぶ点
を滑らかに連続した曲線とすることによって、歯車の一
部に集中荷重を受けることがないから、ラッピングキャ
リアが変形し難いという効果を有する。

本発明のような構成によれば、歯車の加工或いは取付精
度にわずかのガタがあっても、回転を滑らかに伝達する
ことができ、回転むらがなくなるから、ラッピングキャ
リアは、変形し難いという効果を有する。

また、本発明のような構成によれば、ラッピングキャリ
アが変形し難いから、被加工物は、精度が高く、所望の
厚さに研磨されるという効果を有する。

更に、本発明のような構成によれば、ラッピングキャリ
アの歯車部分の形状が、滑らかに＆統した曲線であるか
ら、切削加工がＮ’Ｊ−にできるという効果を有する。

（３）実施例第３図は、本発明におけるラッピングキャリア１の歯車
の一部７と、従来の歯車の一部６とを示す。従来の歯車
６は、外周（イ）とインポリュウト曲線（ロ）とを結ぶ
点に角部（ハ）ができている。しかし、本発明のものは
、この角部（ハ）がなく、滑らかに連続した曲線となっ
ている。そして、角部（ハ）が滑らかに連続した曲線に
なっていれば、この曲線は、いかなる形状のものにも限
定されないが、この曲線の頂部（ニ）が長過ぎると歯車
の伝達に支障をきたすから上記頂部（ニ）は、歯車の回
転が正常に行われる範囲のものであることはいうまでも
ないことである。

Ｃ５発明の効果本発明は、前記実施例から明らかなように、ラッピング
キャリアの歯車の外周とインボリュウト曲線とを結ぶ点
を滑らかに連続した曲線とすることによって、被加工物
の研磨を高速回転で行っても、変形し難いラッピングキ
ャリアを（序るここができる。

また、本発明は、歯車の外周とインボリュウト曲線とを
結ぶ点に角部を有するものと比較して、切削が容易で安
価なラッピングキャリアを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ラッピング装置の概念図、第２図は、ラッピ
ングキャリアに被加工物が入っている状態を示すもの、
第３図は、従来の歯車と末完明番こおけるラッピングキ
ャリアの歯車とを並べて画いたものである。 ■・・・ラッピングキャリア２・・・センタドライブギア３・・・アウタギア４・・・ラッピングキャリアの透孔５・・・被加工物イ・・・歯車の外周（従来のもの）口・・・インボリュウト曲線ハ・・・歯車の外周とインボリュウト曲線とを結ぶ角部

Claims

【特許請求の範囲】

板体に厚さの薄い微小物品を挿入する複数個の透孔と、
上記板体の外周に設けられた歯車とを有するラッピング
キャリアにおいて、上記歯車は、その外周とインボリュ
ウト曲線とを結ぶ点を滑らかに連続した曲線としたこと
を特徴とするラッピングキャリア。