JPS5936368Y2 - 平面研削装置用キヤリア - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ラッピングマシンやポリッシングマシン等の
平面研削装置においてワークの保持に用いられるキャリ
アの改良に関するものである。

一般にこの種平面研削装置には、ワークの上下面を同時
に研削する両面研削方式のものと、ワークの片面のみを
研削する片面研削方式のものとがあるが、いずれにおい
てもワークの保持にはギヤノアが使用される。

このキャリアは、複数のワーク保持孔を備え、該保持孔
内に研削すべきワークを嵌入保持させるようにしたもの
であって、一般的には金属（工具鋼、不銹鋼等）、グラ
スファイバー、ベークライト、塩化ビニールなどの素材
によって形成されている。

しかしながら、金属製のキャリアの場合には、それがワ
ークと接触することによって該ワークを傷つけたり破損
させるケースが多く、そのため半導体ウェハーなどのよ
うに軟かくてもろいワークの研削には使用することがで
きない。

従って従来では、このような割れ易いワークの研削には
合成樹脂製のキャリアを使用していたが、ワークの破損
防止には有効であるものの、キャリア自体の強度低下を
避けることができず、研削加工中の摩擦や衝撃によって
その破損やギヤの摩滅等を生じ易いという欠点があった
。

特にミクロン単位のワークの研削にはそれに応じた極薄
のキャリアが必要であり、このようなキャリアを合成樹
脂によって形成することは不可能に近い。

本考案は、上記従来の欠点に鑑み、十分な強度を有し且
つワークを破損させることなく保持することのできるキ
アリアを提供しようとするもので、キアリア本体を金属
素材によって形威し、該キアリア本体における少なくと
もワーク保持孔の内側面から周辺部上下面にかけて合成
樹脂薄膜を被設したことを特徴とするものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
に、第１図は、本考案のキャリア１を使用してワーク２
に両面研削を施す場合を例示するもので、上記キャリア
１が内歯歯車３と中央の太陽歯車４とに同時に噛合して
それらの間を自転及び公転し、該キャリア１に保持され
たワーク２が上下のラップ定盤５，６における研摩布５
ａ、６ａに摺接せしめられるようになっている。

上記キャリア１は、第２図及び第３図に示すように、周
囲に切設されたギヤ８と放射状に位置する複数のワーク
保持孔９とを備えたキャリア本体７をアルミニウムやス
テンレスなどの不銹鋼である金属素材によって形威し、
該キャリア本体７に合成樹脂被膜１０を被設することに
より構成したもので、この合成樹脂薄膜１０は、金属製
のキャリア本体７が直接ワーク２に接触するのを防止し
て該ワーク２を緩衝的に保持させ得るようにするための
ものであり、その被設に当っては、第２図及び第３図の
右半部に示すように、ギヤ８及びその近接部分を除くキ
ャリア本体７の全面にそれを被設してもよいが、同図左
半部に示すように、ワーク保持孔９の周りだけに局部的
に被設してもよく、その場合、ワーク保持孔９の内側面
９ａだけでなく、その周辺部上下面９ｂにかけても被設
することにより、該薄膜１０の付着強度を高めてその剥
離や変形等を防止することができる。

また、上記キャリア１の厚さは対象とするワークによっ
て異なるが、薄い場合には、例えば１００μのキャリア
本体７の上下面に５０μずつの合成樹脂薄膜１０を被設
することにより２００μの厚さに形成することもあり、
この薄膜１０の厚さについては、それを被設したあと仕
上加工を施すことにより任意に調整することができ、特
にキャリアの上下面の場合には、それをラップすること
により簡単に調整することができる。

この場合、合成樹脂薄膜１０の厚さは全体として均一で
あってもよいが、図示の如くワーク保持孔９の内側面９
ａにおける厚さを上下面９ｂより厚目にしておけば、そ
の分キャリア本体７を肉厚にして全体の強度を高め得る
と同時に、少ない合成樹脂の使用量で勝れた緩衝効果を
得ることができる。

このように、キャリア本体７を金属素材によって形成す
ることによりキャリア１の強度が著しく高められ、それ
に伴い、ワーク保持孔９の数を増加させて一時に保持し
得るワーク数を増やすことができる。

即ち、従来の合成樹脂型のキャリアの場合は、その強度
を考慮して、ワーク保持孔をできるだけ中心寄りの位置
に互いに十分な間隔をおいて穿設するようにしており、
そのためワーク保持孔の数が必然的に限定されて少ない
ワークしか保持することができなかったが、本考案にお
けるキャリア１の場合は、ワーク保持孔９を、ギヤ８に
十分近接させると同時に孔相互の間隔を非常に狭くした
状態で設けることが可能であり、これによってワーク保
持孔９の数即ち保持し得るワークの数を増加させて生産
性の向上を図ることができる。

なお、片面研削に使用されるキャリアにおいても同様に
構成し得ることはいうまでもない。

以上詳述したように、本考案によれば、金属素材によっ
てキャリア本体を形成し、これに合成樹脂薄膜を被設す
るようにしたので、キャリアの強度を著しく高め得ると
同時に、合成樹脂薄膜を介してワークを緩衝的に保持さ
せることができ、従って、キャリアやワークの破損を生
じることなく研削を行うことができ、その際、上記薄膜
をワーク保持孔の内側面だけでなく、キャリア保持孔の
周辺部上下面にかけても一体的に被設するようにしたの
で、薄膜の付着強度を著しく高めてワークの圧接による
剥離を確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のキャリアの使用状態における断面図、
第２図は本考案のキャリアの異種実施例を図面の右半部
と左半部とで同時に示した平面図、第３図は第２図にお
けるＡ−Ａ線での断面図である。 １・・・・・・キャリア、７・・・・・・キャリア本体
、９・・・・・・ワーク保持孔、９ａ・・・・・・内側
面、９ｂ・・・・・・周辺部上下面、１０・・・・・・
合成樹脂薄膜。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ワーク保持孔を備えたキャリア本体を金属素材によって
   形威し、該キャリア本体における少なくともワーク保持
   孔の内側面から周辺部上下面にかけて合成樹脂薄膜を被
   設したことを特徴とする平面研削装置用キャリア。