JPS608926Y2 - 研磨キヤリア - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、研磨剤の回り込みと保持を良好にする研磨用
キャリアに関する。

はじめに、本考案をわかり易くするために、研磨キャリ
ア（以下キャリア）を用いた研磨方法について説明する
。

この研磨方法の特徴は、加工物を、回転している上定盤
と下定盤の間に挟み、研磨剤を供給しながら両面を同時
に研磨することである。

本考案に関するキャリアは、この加工物に案内と回転を
与えるために用いる治具であり、第１図に従来のキャリ
アの形状を示す。

第１図Ａは平面図、第１図ＢはＸ−Ｘ’における正面断
面図である。

第１図において、１は歯車状の外周部、２は加工物案内
孔であり、キャリアの厚味は加工物の仕上り寸法により
異なる。

第２図に研磨機構を示し、研磨方法を説明する。

上定盤３と下定盤４がそれぞれ反対方向に回転し、上、
下定盤３，４に挟まれたキャリア５は歯車状の外周部１
を介し、太陽ギア６とインターナルギア７の回転により
、自転しながら下定盤４の回転方向に公転する。

キャリア５内にセットされている加工物８には４方向の
運動が与えられ、また両面を同時に等量ずつ研磨する様
、上定盤３、下定盤４およびキャリア５の回転比が設定
されているので、研磨速度が速く、高度な加工精度を得
ることができる。

研磨剤９はポンプ１０より循環方式で上定盤３を介して
上定盤３と下定盤４の間に供給される。

以上述べた研磨方法において、本考案のキャリアの実施
例を第３図に示す。

第３図Ａは平面図、第３図ＢはＸ−Ｘ’における正面断
面図である。

本考案のキャリアは、歯車状の外周部１１と１個以上の
加工物案内孔１２（本図では４個）を有し、その加工物
案内孔１２の周辺に凹部１３を形成している。

さらに第２図のキャリアに関する部分を拡大し、第４図
、第５図により本考案の効果について説明する。

第４図は従来のキャリアを用いた部分の拡大正面図、第
５図は本考案のキャリアを用いた部分の拡大正面図であ
る。

なお、当図は概略図であり、寸法比は異なる。

第４図、第５図において、１４は上定盤、１５は下定盤
、１６は加工物、１７は太陽ギア、１８はインターナル
ギア、１９は研磨剤を示す。

研磨剤１９は酸化セリウム等の水溶液を用いる。

第４図の従来のキャリア２０と第５図の本考案のキャリ
ア２１のちがいは、第５図で示すとおり、２２の凹部の
有無にあり、この凹部の有無が研磨剤１９のまわり込み
と保持に大きく影響することは、図によっても理解でき
る。

実際に考案者のデータによれば、加工物１６を研磨する
場合、加工時間で約２倍の効果が上っている。

加工物１６の厚味によりキャリアの厚味も変わるが、凹
部２２を形成することにより同様の効果を得ることがで
きる。

凹部の形成は、キャリアの厚味に応じ、切削加工あるい
は、エツチング加工等の方法で容易に得られる。

第５図で示す凹部２２は、第３図で示す様な、個々に加
工物案内孔を取り囲む様に加工物案内孔の周辺に設ける
場合の他に、第６図に示す様な、凹部２３にすべての加
工物案内孔２４（図では４個）を取り囲む様に設けても
良い。

四部は加工物案内孔の数量に応じて、その加工物案内孔
２４を取り囲む様に形成すれば良い。

さらに、凹部の反応例を第７図〜第９図に示す。

各図とも平面図である。第７図は、平行な凹部２５を加
工物案内孔２６の周辺に設けたものである。

図は直交する平行な凹部を示す。

第８図は、円状溝２７を加工物案内孔２８の周辺に設け
たものである。

第９図は、うず巻溝２９を加工物案内孔３０の周辺に設
けたものである。

以上、本考案のキャリアは歯形状の外周部と１個以上の
加工物案内孔を有し、その加工物案内孔の周辺に凹部を
設けたものであり、研磨剤の回り込みと保持を良好にし
たことにより、研磨時間の大巾な短縮が図られるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のキャリアの形状を示す。 第２図は研磨機構を示す。 第３図は本考案のキャリアの実施例を示す。 第４図は従来のキャリアを用いた部分の拡大正面図を示
す。 第５図は本考案のキャリアを用いた部分の拡大正面図を
示す。 第６図、第７図、第８図、第９図は凹部の別の設は方を
示す。 １・・・・・・外周部、２・・・・・・加工物案内孔、
３・・・・・・上定盤、４・・・・・・下定盤、５・・
・・・・キャリア、６・・・・・・太陽ギア、７・・・
・・・インターナルギア、８・・・・・・加工物、９・
・・・・・研磨剤、１０・・・・・・ポンプ、１１・・
・・・・外周部、１２・・・・・・加工物案内孔、１３
・・・・・・凹部、１４・・・・・・上定盤、１５・・
・・・・下定盤、１６・・・・・・加工物、１７・・・
・・・太陽ギア、１８・・・・・・インターナルギア、
１９・・・・・・研磨剤、２０・・・・・・キャリア、
２１・・・・・・キャリア、２２・・・・・・凹部、２
３・・・・・・凹部、２４・・・・・・加工物案内孔、
２５・・・・・・交叉溝、２６・・・・・・加工物案内
孔、２７・・・・・・円状溝、２８・・・・・・加工物
案内孔、２９・・・・・・うず巻溝、３０・・・・・・
加工物案内孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上定盤と下定盤がそれぞれ反対方向に回転腰前記上定盤
   と下定盤に挾まれたキャリアは歯車状の外周部を介し、
   太陽ギアとインターナルギアの回転により、自転しなが
   ら公転する研磨キャリアにおいて、前記キャリアは貫通
   する加工物案内孔を有するとともに、加工物案内孔の上
   下部には前記加工物案内孔の内周に沿って研削剤が流入
   する凹所が設けられており、前記対向する凹所によって
   前記加工物案内孔内周部にできる突部によって加工物を
   径方向に支持して成ることを特徴とする研磨キャリア。