JPH012861A - 研摩装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガラス、セラミックス等の硬脆材料またはア
ルミ等の金属からなる被加工物を研摩する装置に関する
ものである。

〔従来の技術〕

従来、フォトマスク用ガラス基板の主表面、すなわちそ
の表裏面を同時にかつ高精度に研摩するこの種の研摩装
置としては、第５図および第６（財）に示す如く構成さ
れたものが知られている。すなわち、この研摩装置１は
、上下方向に所定の間隔を保って対向配置さｎその対向
面にそｎぞれ研摩布２，３を装着してなる上定盤４およ
び下定盤５を図示を省略した駆動モータによってそれぞ
れ互いに反対方向〔矢印Ａ、Ｂ方向〕に回転させ、被加
工物６を保持して前記上、下定盤４．５間に介在された
キャリアＴを太陽歯車８と内歯車９とで遊星歯車運動、
つ”まり前記太陽歯車８０周りを公転さきながら自転さ
せると同時に前記画定盤４゜５間に研摩剤（例えば、粒
径１μｍの酸化セリウム）１０を供給することにより、
に１記被Ｄロエ物６の表裏面を同時に研摩するものであ
る。この場合、上定盤４は昇降自在な軸１１に設げられ
ることによシ、キャリアＩおよび被加工物６の取出しを
可能にし、下定盤５は前記軸１１と同軸配置された他の
軸１２に設けられている。太陽歯車８はさらに別の軸１
４に設けられ、その上面周縁部には歯としての作用をな
す多数のビンギア１５が同一円周上に所定の間隔をおい
て全均に亘って植設されている。内ｍ単９は太陽歯車８
と同軸に配設され、ギヤ（図示せず）を介して後記する
駆動モータによって回転され、その上面には多舷のピン
ギヤ１６が所定の間隔をおいて植設されており、このピ
ンギヤ１６と前記ピンギヤ１５とに、前記キャリア７の
外周面に形成されたインボリュート曲線の一部からなる
歯１７が噛合している。また、キャリアＴの中央部には
貫通孔からなる収納孔１８が開設されてお９、この中に
前記被加工物６が収納されている。なお、太陽歯車８と
内歯車９が駆動モータ（図示せず）によって矢印Ａ、Ｂ
方向にそれぞれ回転されると、キャリア７は太陽歯車８
の周りを矢印Ｃ方向に公転しなからＤ方向に自転する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、このような従来の研摩装置においては、キャ
リアＴは下定盤５の研摩布３上に置かれ、当然のことな
がら被加工物６の板厚に比して薄いため、上定盤４の研
摩布２とは接触せず、該キャリア７の表面上方に空間が
形成されている。このため、研摩加工進行過程において
被加工物６の表面側においては研摩剤１０の供給が十分
に行われるが、裏面側においてはキャリアＴが研摩剤１
０を押しのけてしまい、加工に寄与する分量が表面側に
比して著しく少なくなってしまうものである。

その結果、被加工物６の表裏面で加工速度に差が生じ（
表面加工の方が裏面加工より速く進む）、該表裏面での
内部応力のバランスが崩れ、トワイマン効果によシ被加
工物６０表面側が凹面状に、裏面側が凸面状に変形して
しまい、高Ｎ度な平坦面が得られないという欠点があっ
た。また、下側の研摩布３はキャリア７の裏面とこすり
合わされるため、上側の研摩布２と比較して摩耗が早い
という欠点もあった。

したがって、本発明では上記のような欠点を改善し、被
加工物の表裏面を同じ速度で加工することにより、表裏
面の変形を防止し高い平面精度を得ることができる研摩
装置を提供しようとするものである。

Ｌ問題点金牌決するための手段〕 本発明は上記目的を達成するために、キャリアの裏面外
周部を太陽歯車と内歯車とで支承し、該キャリアを上定
盤と下定盤の夫々の研摩表面から離間させて位置させた
ものである。

こ＼で、本発明において用いられる用語１研摩表面」は
、上、下定盤の互いに対向する面にそれぞれ研摩布を設
けて被〃ロエ物を研摩する場合、該布の表面をさし、研
摩布を使用しない場合は上。

下定盤の互いに対向する面をさす広い用語として理解さ
れるべきである。また、研摩とは、酸化セリウム等の研
摩剤を用いるボリシング及び炭化珪素や酸化アルミニウ
ム等の研摩材を用いるラッピングを含むものである。

〔作　用〕

本発明においてはキャリアを下定盤の研摩表面から浮か
しているため、研摩剤（もしくは研摩材〕を被加工物の
裏面と下定盤の研摩表面との間に良好に供給することが
できる。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明に係る研摩装置の第１実施例を示す要部
断面図である。なお、図中第５図および第６図と同一構
成部品のものに対しては同一符号を以って示し、その説
明を省略する。第１図において、本実施例は上、下定盤
４，５間に介在されるキャリア７の裏面外周部を太陽歯
車８と内歯車９とで支承し、キャリアＴの裏面を下定盤
５の研摩布３から浮かせた点と、上記両歯車８，９およ
び中ヤリア７の歯をインボリュート曲線の一部からなる
歯２０，２１，２２で構成した点が上述した従来装置と
異なυ、その他の点は同様である。

太陽歯車８と内歯車９の歯２０．２１の下部には前記キ
ャリア７の裏面外周部を支承する支承部２３，２４が一
体に張出し形成されている。中ヤリア７は上、下定盤４
，５間のほぼ中央に設定保持されることによシ、上側の
研摩布２０表面とキャリア７の表面との間隔４重と、下
側の研摩布３の表面とキャリア７の裏面との間隔ｄ８と
はほぼ等しく設定（ｄｔ＝ｄｚ）　　されている。

ここで、上記実施例は太陽歯車８．内回車９およびキャ
リア７の歯２０，２１．２２をインボリュート曲線の一
部からなる歯で形成したが、これに限らず従来装置と同
様第２図に示す第２実施例のように太陽歯車８と内歯車
９の歯をビンギヤ１５．１６で、キャリア７の歯をビン
ギヤ１５゜１６に対応したインボリュート曲線の一部か
らなる歯で構成し、かつこれら歯車８，９の上面８ａ＋
９ａを下側の研摩布３の表面より高くしてキャリアＴの
支承面とした夛、あるいはまた第３図に示す第３実施例
のように太陽歯車８と内歯車９０表面にキャリアＴの裏
面外周部を支承する環状の支承台２５．２６をそれぞれ
突設し、その上にビンギヤ１．５　、１６を植設するな
ど、種々の変形、変更が可能である。

かくして、このような構成からなる研摩装置によれば、
キャリアＴが上下の研摩布２，３間のほぼ中央に位置し
ているため、被加工物６の表裏面に対する研摩剤１０の
供給が共に良好かつ十分で、はぼ等量の供給を可能にし
、したがって表裏面の刀ロエ速度もほぼ同一にすること
ができる。その結果、被加工物６が加工中に変形せず、
高平坦面を得ることができるものである。また、下側の
研摩布３からギヤリア７を浮かせているため、これら両
者の摩耗もなく、その耐久性を向上させる。

第４図は本発明の第４実施例と示す要部断面図である。

この実施例は研摩布を使用せず上、下定盤４．５の互い
に対向する面４ａ、５ａを研摩表面とし、この研摩表面
４ａ、５ａに被加工物６の表裏面を接触させてかつ酸化
アルミニウム等の研摩＃１０ａｔ供給し研摩するように
したもので、その他の構成は第２図に示した実施例と同
様である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る研摩装置によれば、構
造が極めて簡単にも拘わらず被加工物の表裏面に対する
研摩剤の供給が良好で、該表裏面の単位時間当りの加工
量をほぼ等しくすることができ、したがって凹凸面の発
竺を防止でき被加工物の平坦度を向上させることができ
る。また、下側の研摩表面とキャリアの摩耗がなく、こ
れらの長寿命化を計ることができ、そのうえ下定盤を回
転駆動させるｙ動源にかかる負荷を低減できるなど、そ
の効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す要部断面図、第２図
は本発明の第２実施例を示す要部断面図、第３図は本発
明の第３実施例を示す要部断面図、第４図は本発明の第
４実施例を示す要部断面図、第５図および第６図は研摩
装置の従来例を示す要部断面図および平面図である。 １・・・・研摩装置、２，３・・・・研摩布（研摩表面
）、４・・嗜・上定盤、４ａ　・・・・研摩表面、５・
・・・下定盤、５ａ＠φ・・研摩表面、６・・・Φ被加
工物、７・・・・キャリア、８・・・・太陽歯車、９・
・・・内歯車、１ｏ・・・・研摩剤、１０ａ　・・・・
研摩材、１８１１・Φ・収納孔、２３，２４・・・・支
承部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）同軸配置された太陽歯車およびこの太陽歯車を取
   り囲む内歯車と、被加工物を収納保持する収納孔を有し
   て前記太陽歯車と内歯車とに噛合し、該太陽歯車の周り
   を公転しながら自転するキャリアと、このキャリアを挾
   んで上下に対向しその対向面にはそれぞれ前記被加工物
   の表裏面を研摩する研摩表面が設けられかつそれぞれ回
   転駆動される上定盤および下定盤とを備え、前記キャリ
   アの裏面外周部を前記太陽歯車と内歯車とで支承し、該
   キャリアの表裏面を前記上、下定盤の前記研摩表面から
   離間させたことを特徴とする研摩装置。
2. （２）上定盤の研摩表面とキャリアの表面との間隔と、
   下定盤の研摩表面と前記キャリアの裏面との間隔とが実
   質的に等しいことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の研摩装置。