JPS63300857A - 研摩装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガラス、セラミックス等の硬脆材料またはア
ルミニウム等の金属からなる被加工物を研摩する装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来、被加工物の表裏面を研摩するこの種の研摩装置と
しては第６図および第７図に示す如く構成されたものが
知られている。すなわち、この研摩装置１は、上下に対
向配置された上定盤２および下定盤３を図示を省略した
駆動モータによってそれぞれ反対方向（矢印Ａ、Ｂ方向
）に回転させ、被加工物４を保持して前記上、下定盤２
．３間に介在されたキャリア５を太陽歯車６と内歯車７
とで遊星歯車運動、つｔｂ前記太陽歯車６の周りを公転
させながら自転させると同時に前記上、下定盤２，３間
に、例えば＋　１０００の酸化アルミニウム等からなる
研摩材８を供給することにより、前、２被加工物４の表
裏面を同時に研摩するものである。

この場合、上定盤２は昇降自在な軸９に設けられること
によシ被加工物４およびキャリア５の上。

下定盤２．３間への挿入、取出しを可能にし、複数個の
研摩材供給孔１０を有している。一方、下定盤３は前記
軸９に対して同軸配置式れた他の軸１１に固定されてい
る。そして、上、下定盤２゜３の互いに対向する面、す
なわち研摩表面２　ａ　、３ａには、多数の細溝１２が
それぞれ交差して刻設されておシ、これによシ研摩材８
．研摩された被加工物４の破片、上、下定盤２，３の切
削片等の排除を良好にしている。

太陽歯車６は軸９，１１に対して同軸配置された軸１４
に固定され、上面周縁部には歯としての作用をなす多数
のピンギヤ１５が同一円周上に等間隔で植設されている
。内歯車７は前記太陽歯車６と同軸でほぼ同一平面上に
配設され、ギヤ（図示せず）を介して後記する駆動モー
タによって回転され、その上面には多数のピンギヤ１６
が等間・隔で植設されておシ、このビンギヤ１Ｂと前記
太陽歯車６のビンギヤ１５に、前記キヤ！Ｊ　７５　（
７）外周面に形成されたインボリュート曲線の一部から
彦る歯１７が噛合している。キャリア５の中央には被加
工物４を収納する収納孔１８が貫通形成されている。な
お、太陽歯車６と内歯車７が駆動モータ（図示せず）に
よって矢印Ａ、Ｂ方向にそれぞれ回転されると、キャリ
ア５は太陽歯車６の周りを矢印Ｃ方向に公転しながら矢
印り方向に自転する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、このような従来の研摩装置１においては、キ
ャリア５は被加工物４の板厚よフ薄く、下定盤３の研摩
表面３ａの上に設狙され、被加工物４が上、下定盤２．
３によって挾持され、研摩材８の供給を受けて研摩が行
われる。この研摩加工進行過程において、被加工物４の
表面側においては、上定盤２とキャリア５との間に空間
が形成されているため、研摩材８の供給が十分に行われ
る反面、裏面側においては下定盤３とキャリア５との間
に供給される研摩材８の大部分をキャリア５が押しのけ
てしまい、加工に研摩加工に寄与する分量にアンバラン
スが生じるものである。その結果、被加工物４の表裏面
の加工速度に差が生じ（表面加工が裏面加工よシ速く進
む）、表裏面での内部応力のバランスが崩れ、トワイマ
ン効果によシ表面側が凹状に、裏面側が凸状に反シ、高
精度な平担面が得られないという欠点があった。また、
・下実盤３の研摩表面３ａはキャリア５との接触によバ
上定盤２の研摩表面２ａよυ摩耗が早いという１欠点も
あった。

したがって、本発明では上述したような欠点を解決し、
被加工物の表裏面の加工速度を自由に調整し得、高い平
面精度を得ることができる研摩装置を提供しようとする
ものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、キャリアの下面外
周部を太陽歯車と内歯車のうち少な（ともいずれか一方
に設けた昇降量調整手段によって上下方向に移動調整自
在に支承し、キャリアの上下面を上、下定盤の研摩表面
から離間させるようにしたものである。

〔作用〕

本発明においてはキャリアを昇降量調整手段によって上
下方向に移動調整すると、上定盤とキャリアの間および
下定盤とキャリアの間にそれぞれ供給される研摩材（も
しくは研摩剤）の分量化が変化する。

〔実施例〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明に係る研摩装置の第１笑施例を示す要部
断面図、第２図は同装置の上定盤を取り除いた要部平面
図でおる。なお、図中第６図および第７図と同一構成部
品１部分に対しては同一符号を以って示し、その説明を
省略する。これらの図において、本実施例は上、下定盤
２，３間に介在てれるキャリア５の下面外周部を、太陽
歯車Ｂおよび内歯車７に設けた昇降量調整手段２０によ
って上下方向に移動調整自在に支承し、キャリア５ｔ−
下定盤３の研摩表面３ａから任意距離浮かせた点が上述
した従来装置と異なシ、その他の点は同様である。

前記昇降量調整手段２０は、太陽歯車６に上方から被冠
された第１のキャリア支承部材２１と、このキャリア支
承部材２１を上下動させる手段としての止めねじ２２と
、内歯車７に上方から被冠されたリング状の第２のキャ
リア支承部材２３と、このキャリア支承部材２３を上下
動させる手段としての止めねじ２４とで構成され、第１
および第２のキャリア支承部材２１．２３の上面によυ
前記キャリア５の下面外周部を支承している。前記第１
のキャリア支承部材２１は同一円周上に形成された多数
の挿通孔２６を有し、これらの孔２６に太陽歯車６のビ
ンギヤ１５がそれぞれ挿通されることによシ、前記太陽
歯車６と一体的に回転し、キャリア５の高さ調整時には
前記ビンギヤ１５をガイドとして上下動される。前記止
めねじ２２は第１のキャリア支承部材２１の略中央部に
例えば３個（図では１つのみ示す）ねじ込まれてその下
端が前記太陽歯車６の上面に当接しておシ、このねじ２
２を回転させると、前記第１のキャリア支承部材２１が
ビンギヤ１５に沿って上昇もしくは下降し、その高さを
調整される。

前記第２のキャリア支承部材２３は内歯車子と一体的に
回転するもので、該歯車７のビンギヤ１６がそれぞれ挿
通される多数の挿通孔２Ｔを有し、キャリア５の高さ調
整時には前記ビンギヤ１６に泊って上下動される。第２
のキャリア支承部材２３を上下動させる前記止めねじ２
４は該支承部材２３の上面外周部に複数個（例えば８個
）ねじ込まれ、その下端が前記内歯車７の上面に当接し
ている。

前記キャリア５は前記昇降量調整手段２０によって高さ
調整されることにより、第１図に示すように上、下定盤
２．３間のほぼ中央に設定保持され、この状態で被加工
物４の研摩加工が行われる。

かくして、このよりな構成からなる研摩装置１によれば
、キャリア５の高さ調整が自在で、上。

下定盤２，３間のほぼ中央に位置させることができるた
め、被加工物４の表裏面に対する研摩材８の供給量をほ
ぼ等量にすることができ、したがって表裏面をほぼ同一
の加工速度で加工することができる。また、加工速度が
等しければ被加工物４の表裏面での内部応力のバランス
も等しい状態で加工が進行し、トワイマン効果の発生を
防止するため、表裏面が変形せず、高平担面を得ること
ができる。また、下定盤３の研摩表面３ａからキャリア
５を浮かせているため、これら両部材の摩耗が少なく、
その耐久性を向上させる。さらに、第１、第２のキャリ
ア支承部材２１．２３の高さを変えて第１図２点鎖線で
示すようにキャリア５を水平面に対して傾斜させると、
キャリア５上に供給された研摩材の遠心力によυ飛散す
る量を減少させることができる。その結果、被加工物４
に供給される研摩材のうち加工に寄与する分量が実質的
に増加し、加工速度を向上させる。

第３図は本発明の第２実施例を示す要部断面図である。

この実施例は昇降量調整手段２０を内歯車７にのみ設け
てキャリア５の外端部、すなわち、上、下定盤２，３の
外側に突出する部分の下面を上下方向に移動調整自在に
支承し、内端部の下面を太陽歯車６の上面外周部６ａに
て支承するようにしたものである。この場合、太陽歯車
６のキャリア５を支承する上面外周部６ａは下定盤３の
研摩表面３ａよシ高く設定されている。なお、昇降量ｍ
差手段２０は、上記第１実施例と同様、内歯車７に上方
よシ上下動自在に被冠されたリング状のキャリア支承部
材２３と、昇降手段としての止めねじ２４とで構成され
ている。

第４図は本発明の第３実施例を示すもので、上記第２実
施例とは反対に太陽歯車６に昇降量調整手段２０を設け
てキャリア５の内端部下面を高さ調整自在に支承し、内
歯車７の上面内周部をキャリア５の外端部下面を支承す
る支承面３０とし、との支承面３０を下定盤３の研摩表
面３ａよシ高くしたものである。

第５図は本発明の第４実施例を示す要部断面図で、キャ
リア支承部材２１を上下動させる手段として止めねじの
代シに筒状に形成されたスペーサ３１を使用した例を示
す。スペーサ３１は高さの異なるものが各種用意され、
そのいずれか１つ（もしくは複・個数）が必要に応じて
選択され、ビンギヤ１５に嵌装される。またスペーサ３
１０代シにリング状のシートに、ビンギヤ１５を挿通す
る買通孔を同一円周上に所定間隔をおいて形成したもの
を用いてもよい。

なお、上記実施例はいずれも上、下定盤２．３の互いに
対向する面を研摩表面２ａ、３ａとして使用する研摩装
置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに
特定されるものではなく、上、下定盤２．３の互いに対
向する面に研摩布をそれぞれ接着固定し、この研摩布に
よシ例えば粒径１μｍの酸化セリウムからなる研摩剤の
供給を受けながら被加工物を研摩するようにした研摩装
置にも実施し得ることは勿論である。そして、この場合
には上、下定盤２．３の互いに対向する面にそれぞれ設
けられた研摩布の表面（研摩面側）がそれぞれ上、下定
盤２，３の研摩表面となる。

また、本発明はキャリア支承部材２１．２３の昇降手段
として止めねじ２２．２４およびスペーサ３１等を示し
たが、カム等の使用も可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る研摩装置は、キャリア
を昇降量調整手段によって高さ調整自在に支承するよう
にしたので、キャリアを下定盤から浮かせることで被加
工物の表裏面に対する研摩材（もしくは研摩剤）の供給
量を自由に調整することができ、したがって表裏面に対
する研摩材の量をほぼ等しくすることが可能で、表裏面
の加工速度を同一に設定し得る。

その結果、表裏面において内部応力バランスを崩さず加
工することができ、高平担度な面が得られる。また、被
加工物の板厚に応じてキャリア支承位置を変えることが
できるため、キャリアを常に最適位置に設定し得、しか
も被加工物とは無関係に傾斜支持することもできるため
、該キャリア上の研摩材の遠心力による飛散を軽減防止
できるなど、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す要部断面図、第２図
は上定盤を取り外した要部平面図、第３図は本発明の第
２実施例を示す要部断面図、第４図は本発明の第３実施
例を示す要部断面図、第５図は本発明の第４実施例を示
す要部断面図、第６図および第７図は研摩装置の従来例
を示す要部断面図および上定盤を取り除いた要部平面図
である。 ２・φ・φ上定盤、３・・・・下定盤、４・・・Ｑ被加
工物、５・・・曽キャリア、６・・・拳太陽歯車、Ｉ・
・・・内歯車、８・拳・・研摩材、１８・・・・収納孔
、２０・・・・昇降量調整手段、２１，２３・・・・キ
ャリア支承部材、２２゜２４・・・・止めねじ、３１１
・・・スペーサ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 同軸配置された太陽歯車およびこの太陽歯車を取り囲む
   内歯車と、被加工物を収納保持する収納孔を有して前記
   太陽歯車と前記内歯車の双方に噛合し、前記太陽歯車の
   周りを公転しながら自転するキャリアと、このキャリア
   を挾んで上下に対向しその対向面にはそれぞれ前記被加
   工物の表裏面を研摩する研摩表面が設けられかつそれぞ
   れ回転駆動される上定盤および下定盤とを備え、前記キ
   ャリアの下面外周部を、前記太陽歯車と前記内歯車のう
   ち少なくともいずれか一方に付設された昇降量調整手段
   によつて上下方向に移動調整自在に支承し、前記キャリ
   アの上下面を前記上、下定盤の前記研摩表面から離間さ
   せるようにしたことを特徴とする研摩装置。