JP2972866B2 - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JP2972866B2 JP2972866B2 JP34657297A JP34657297A JP2972866B2 JP 2972866 B2 JP2972866 B2 JP 2972866B2 JP 34657297 A JP34657297 A JP 34657297A JP 34657297 A JP34657297 A JP 34657297A JP 2972866 B2 JP2972866 B2 JP 2972866B2
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- jig
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ラップ加工や平面
ホーニング加工などによる研磨を行なうための研磨装置
に関するものである。
ホーニング加工などによる研磨を行なうための研磨装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ラップ加工ではラップ板
を、平面ホーニング加工ではホーニング砥石をそれぞれ
研磨盤として使用し、精密な研磨を行なう。この精密研
磨加工では、研磨盤の形状を加工物に転写することにな
るので、研磨盤の平坦度がきわめて重要である。このた
め、従来の精密研磨装置では、加工物を円盤状保持具に
張り付けて加工物保持機構により保持具を回転させ、円
盤状保持具が研磨盤の一部でのみ加工されることがない
ように研磨盤上の位置を変えたり、加工物を円盤状保持
具に張り付ける位置を工夫し、いずれも研磨盤が不均一
に減耗することがないようにしている。そして、研磨盤
の形状が乱れた場合には修正リングを使用し、平面の形
状を修正しながら加工したりする。
を、平面ホーニング加工ではホーニング砥石をそれぞれ
研磨盤として使用し、精密な研磨を行なう。この精密研
磨加工では、研磨盤の形状を加工物に転写することにな
るので、研磨盤の平坦度がきわめて重要である。このた
め、従来の精密研磨装置では、加工物を円盤状保持具に
張り付けて加工物保持機構により保持具を回転させ、円
盤状保持具が研磨盤の一部でのみ加工されることがない
ように研磨盤上の位置を変えたり、加工物を円盤状保持
具に張り付ける位置を工夫し、いずれも研磨盤が不均一
に減耗することがないようにしている。そして、研磨盤
の形状が乱れた場合には修正リングを使用し、平面の形
状を修正しながら加工したりする。
【０００３】前記修正リングや円盤状保持具の保持位置
を可変にして保持するための構成としては、従来ではパ
ンタグラフ状の治具で位置を固定された軸で修正リング
の回転中心を上部から保持するパンタグラフ方式と、２
個のコロで修正リングの外周を保持し、両コロの位置を
変化させて修正リングの位置を変化させるコロ方式とが
ある。
を可変にして保持するための構成としては、従来ではパ
ンタグラフ状の治具で位置を固定された軸で修正リング
の回転中心を上部から保持するパンタグラフ方式と、２
個のコロで修正リングの外周を保持し、両コロの位置を
変化させて修正リングの位置を変化させるコロ方式とが
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たパンタグラフ方式では、重心位置で修正リングの保持
ができないし、保持力が弱く振動が多い、保持位置の微
調整を行いにくいなどの欠点がある。また、研磨盤が中
凸形状になった場合には、複数枚の修正リングを同時に
内側に設置することが能率を高める上で有利であるが、
修正リングの外周を保持するコロ方式では、研磨盤の中
心に近い位置のコロが干渉してしまう。
たパンタグラフ方式では、重心位置で修正リングの保持
ができないし、保持力が弱く振動が多い、保持位置の微
調整を行いにくいなどの欠点がある。また、研磨盤が中
凸形状になった場合には、複数枚の修正リングを同時に
内側に設置することが能率を高める上で有利であるが、
修正リングの外周を保持するコロ方式では、研磨盤の中
心に近い位置のコロが干渉してしまう。
【０００５】そこで本発明の目的は、複数の修正リング
をコロ又はボールなどで回転自在に保持した状態で設置
することができ、しかも互いに干渉することがない精密
研磨装置を提供しようとするものである。
をコロ又はボールなどで回転自在に保持した状態で設置
することができ、しかも互いに干渉することがない精密
研磨装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために提案されたもので、請求項１に記載の発明
は、回転機構により回転する研磨盤と、前記研磨盤の上
方に位置する状態で支持されて貫通した保持空部を有
し、この保持空部が研磨盤の中心から外れた位置におけ
る複数の円形空部を組み合せた形状として構成されてい
る固定板と、前記固定板の円形空部に回動可能な状態で
嵌合され、リング材を回動可能な状態で内部に嵌め付け
ることができるホールド空部を有する回動治具と、を備
え、前記回動治具のホールド空部の中心位置を、回動治
具の外周面の中心位置から偏心させたことを特徴とす
る。
するために提案されたもので、請求項１に記載の発明
は、回転機構により回転する研磨盤と、前記研磨盤の上
方に位置する状態で支持されて貫通した保持空部を有
し、この保持空部が研磨盤の中心から外れた位置におけ
る複数の円形空部を組み合せた形状として構成されてい
る固定板と、前記固定板の円形空部に回動可能な状態で
嵌合され、リング材を回動可能な状態で内部に嵌め付け
ることができるホールド空部を有する回動治具と、を備
え、前記回動治具のホールド空部の中心位置を、回動治
具の外周面の中心位置から偏心させたことを特徴とす
る。
【０００７】また請求項２に記載の発明は、請求項１の
構成に加えて、回動治具の外周面をウォームホイールと
し、このウォームホイールに噛合するウォームを固定板
側に設け、ウォームを回転することにより回動治具を、
円形空部内で回転させて前記リング材の位置を可変にし
たことを特徴とする。
構成に加えて、回動治具の外周面をウォームホイールと
し、このウォームホイールに噛合するウォームを固定板
側に設け、ウォームを回転することにより回動治具を、
円形空部内で回転させて前記リング材の位置を可変にし
たことを特徴とする。
【０００８】また請求項３に記載の発明は、リング材
は、研磨盤の修正リングまたは加工物保持具である。
は、研磨盤の修正リングまたは加工物保持具である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明に係る精密研磨装
置１の概略構成を示す分解斜視図である。この図１に示
すように、精密研磨装置１は、ラップ加工のラップ板や
平面ホーニング加工のホーニング砥石などの研磨盤２を
上面に載せて回転するターンテーブル３やモータ等から
なる回転機構、前記研磨盤２の上方に位置するようにし
て装置本体のフレーム等に固定して設けた固定板４、前
記固定板４の保持空部５内に回動可能な状態で嵌合した
回動治具６などが主要な構成部材である。
に基づいて説明する。図１は、本発明に係る精密研磨装
置１の概略構成を示す分解斜視図である。この図１に示
すように、精密研磨装置１は、ラップ加工のラップ板や
平面ホーニング加工のホーニング砥石などの研磨盤２を
上面に載せて回転するターンテーブル３やモータ等から
なる回転機構、前記研磨盤２の上方に位置するようにし
て装置本体のフレーム等に固定して設けた固定板４、前
記固定板４の保持空部５内に回動可能な状態で嵌合した
回動治具６などが主要な構成部材である。
【００１０】前記固定板４は、上下方向に貫通した保持
空部５を開設した厚板材である。この保持空部５は、研
磨盤２の中心から外れた位置の円形を組み合せた形状で
あって、本発明の実施の形態では、研磨盤２の中心位置
Ｏを中心として１２０度位相を変えた位置に、回動治具
６が丁度嵌合し得る大きさの円形空部７を３つ配置する
とともに、各円形空部７は近接するが重ならないように
した構成である。そして、上記３つの円形空部７に囲ま
れて前記研磨盤２の中心位置Ｏを含む略三角形の部分
（図３（ａ）の斜線部分）を欠除するとともに、隣り合
う２つの円形空部７が近接して上記略三角形部分の頂角
に連続する三角形部分（図３（ａ）の斜線部分）を欠除
しているので、前記保持空部５は、三つ葉のクローバ形
状である。したがって、前記固定板４に形成した保持空
部５の各円形空部７内に回動治具６を嵌合すると、各回
動治具６は当該円形空部７内で回動できるが、横方向に
外れることはない。
空部５を開設した厚板材である。この保持空部５は、研
磨盤２の中心から外れた位置の円形を組み合せた形状で
あって、本発明の実施の形態では、研磨盤２の中心位置
Ｏを中心として１２０度位相を変えた位置に、回動治具
６が丁度嵌合し得る大きさの円形空部７を３つ配置する
とともに、各円形空部７は近接するが重ならないように
した構成である。そして、上記３つの円形空部７に囲ま
れて前記研磨盤２の中心位置Ｏを含む略三角形の部分
（図３（ａ）の斜線部分）を欠除するとともに、隣り合
う２つの円形空部７が近接して上記略三角形部分の頂角
に連続する三角形部分（図３（ａ）の斜線部分）を欠除
しているので、前記保持空部５は、三つ葉のクローバ形
状である。したがって、前記固定板４に形成した保持空
部５の各円形空部７内に回動治具６を嵌合すると、各回
動治具６は当該円形空部７内で回動できるが、横方向に
外れることはない。
【００１１】この様にして固定板４の各円形空部７に保
持する回動治具６は、リング材８を保持するために形成
するホールド空部９の中心を、回動治具６の外周面の中
心から偏心させた三日月形状である。具体的には、外周
が互いに一点で接した大きさの異なる２つの円で構成さ
れ、中心距離は加工物の位置の変化量の１／２より長く
設定してある。２つの円の内、大きい円は固定板４の円
形空部７の円と同一の径であり、小さい円はホールド空
部９の内径と同一であって、前記リング材８の外形と同
一である。前記リング材８は、研磨盤２の形状修正用の
修正リングであったり、研磨盤２によって研磨処理する
加工物の保持リングであったりする。
持する回動治具６は、リング材８を保持するために形成
するホールド空部９の中心を、回動治具６の外周面の中
心から偏心させた三日月形状である。具体的には、外周
が互いに一点で接した大きさの異なる２つの円で構成さ
れ、中心距離は加工物の位置の変化量の１／２より長く
設定してある。２つの円の内、大きい円は固定板４の円
形空部７の円と同一の径であり、小さい円はホールド空
部９の内径と同一であって、前記リング材８の外形と同
一である。前記リング材８は、研磨盤２の形状修正用の
修正リングであったり、研磨盤２によって研磨処理する
加工物の保持リングであったりする。
【００１２】そして、前記回動治具６の内側の面（小さ
い方の円が形成する面）に複数本のコロ１０又はボール
など（以下ボールなどの記述を省略）を、軸方向を回動
治具６の厚さ方向に向けた状態で設ける。これらのコロ
１０は、リング材８がホールド空部９内で自在に回動し
得るためのベアリングとして機能するものであり、コロ
１０の大部分は回動治具６の前記内側の面に形成したコ
ロ収納部に収納され、コロ１０の外周面の一部が回動治
具６の内側の面に少し突出する。
い方の円が形成する面）に複数本のコロ１０又はボール
など（以下ボールなどの記述を省略）を、軸方向を回動
治具６の厚さ方向に向けた状態で設ける。これらのコロ
１０は、リング材８がホールド空部９内で自在に回動し
得るためのベアリングとして機能するものであり、コロ
１０の大部分は回動治具６の前記内側の面に形成したコ
ロ収納部に収納され、コロ１０の外周面の一部が回動治
具６の内側の面に少し突出する。
【００１３】また、図２（ｂ）に示すように、この回動
治具６の外側の面の上部に鍔部１１を形成し、この鍔部
１１が固定板４の円形空部７の内周面上縁に係合するこ
とにより、回動治具６が固定板４に回動可能に支持され
るように構成する。そして、前記回動治具６の鍔部１１
の外面にウォームホイール１２を刻設するとともに、前
記ウォームホイール１２に噛合するウォーム１３を固定
板４の上面に、各回動治具６ごとに回動可能に設け、前
記ウォーム１３の回動操作により回動治具６を連続的に
回動させるとともに、回動停止させる。
治具６の外側の面の上部に鍔部１１を形成し、この鍔部
１１が固定板４の円形空部７の内周面上縁に係合するこ
とにより、回動治具６が固定板４に回動可能に支持され
るように構成する。そして、前記回動治具６の鍔部１１
の外面にウォームホイール１２を刻設するとともに、前
記ウォームホイール１２に噛合するウォーム１３を固定
板４の上面に、各回動治具６ごとに回動可能に設け、前
記ウォーム１３の回動操作により回動治具６を連続的に
回動させるとともに、回動停止させる。
【００１４】この様な構成からなる研磨装置１におい
て、固定板４の保持空部５の各円形空部７内に回動治具
６を嵌合するとともに、各回動治具６のホールド空部９
内にリング材８を嵌合すると、各リング材８は、コロ１
０のベアリング機能により自由にホールド空部９内で回
転することができる。そして、回動治具６を前記のとお
りウォーム機構によって回動すると、回動治具６の中心
に対してホールド空部９、即ちリング材８の中心が偏心
しているのでリング材８の位置が変動し、これにより前
記リング材８の研磨盤２に対する位置が変動する。した
がって、回動治具６の回動角度を調整することにより、
当該回動治具６により保持したリング材８を研磨盤２の
中心側（内側）に移動したり、或は研磨盤２の外周寄り
（外側）に移動したりすることができる。
て、固定板４の保持空部５の各円形空部７内に回動治具
６を嵌合するとともに、各回動治具６のホールド空部９
内にリング材８を嵌合すると、各リング材８は、コロ１
０のベアリング機能により自由にホールド空部９内で回
転することができる。そして、回動治具６を前記のとお
りウォーム機構によって回動すると、回動治具６の中心
に対してホールド空部９、即ちリング材８の中心が偏心
しているのでリング材８の位置が変動し、これにより前
記リング材８の研磨盤２に対する位置が変動する。した
がって、回動治具６の回動角度を調整することにより、
当該回動治具６により保持したリング材８を研磨盤２の
中心側（内側）に移動したり、或は研磨盤２の外周寄り
（外側）に移動したりすることができる。
【００１５】研磨盤２の中心側が高く外周側が摩耗して
低くなった場合（中凸形状になった場合）、図３
（ａ）、（ｂ）に示すように、３つのリング材８を同時
に内側の位置に移動して修正する。この様に、３つのリ
ング材８を同時に内側に移動しても、隣り合うリング材
８が互いに干渉することはない。逆に、研磨盤２の外周
側が高く中心側が低くなった場合には、図４（ａ）、
（ｂ）に示すように、研磨盤２の外周寄り（外側）に移
動して修正することができる。
低くなった場合（中凸形状になった場合）、図３
（ａ）、（ｂ）に示すように、３つのリング材８を同時
に内側の位置に移動して修正する。この様に、３つのリ
ング材８を同時に内側に移動しても、隣り合うリング材
８が互いに干渉することはない。逆に、研磨盤２の外周
側が高く中心側が低くなった場合には、図４（ａ）、
（ｂ）に示すように、研磨盤２の外周寄り（外側）に移
動して修正することができる。
【００１６】したがって、研磨盤２の修正部分に応じて
回動治具６を個別に回動することにより、何等の支障も
なく各リング材８を任意の位置に合わせることができ
る。そして、回動治具６と固定板４との相対位置を示す
目盛を設け、この目盛を読むだけでリング材８の位置を
正確に把握できるようにしてもよい。
回動治具６を個別に回動することにより、何等の支障も
なく各リング材８を任意の位置に合わせることができ
る。そして、回動治具６と固定板４との相対位置を示す
目盛を設け、この目盛を読むだけでリング材８の位置を
正確に把握できるようにしてもよい。
【００１７】なお、リング材８として、加工物を張り付
けた円盤状の保持具を回動治具６のホールド空部９内に
嵌合すると、保持具を任意の位置に移動することができ
るので、研磨盤２の任意の部分で精密研磨加工を行うこ
とができる。
けた円盤状の保持具を回動治具６のホールド空部９内に
嵌合すると、保持具を任意の位置に移動することができ
るので、研磨盤２の任意の部分で精密研磨加工を行うこ
とができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、以
下の効果を奏する。請求項１の発明によれば、回転機構
により回転する研磨盤と、前記研磨盤の上方に位置する
状態で支持されて貫通した保持空部を有し、この保持空
部が研磨盤の中心から外れた位置における複数の円形空
部を組み合せた形状として構成されている固定板と、前
記固定板の円形空部に回動可能な状態で嵌合され、リン
グ材を回動可能な状態で内部に嵌め付けることができる
ホールド空部を有する回動治具と、を備え、前記回動治
具のホールド空部の中心位置を、回動治具の外周面の中
心位置から偏心させているので、複数の修正リングを同
時に内側に設置しても隣り合うリング材が干渉したり、
コロが干渉することもない。したがって、研磨盤が中凸
形状になったり、外周部分若しくは内周部分が凸形状に
なった場合には、複数のリング材により能率良く修正す
ることができる。また、コロなどによりリング材の外周
を１／２周以上の広い範囲で保持するので、リング材が
飛び出すことがないばかりでなく保持力が強く、安定し
て振動も少ない。このため、精密な研磨加工を確実に行
うことができるし、研磨盤の表面を精密に修正すること
ができる。
下の効果を奏する。請求項１の発明によれば、回転機構
により回転する研磨盤と、前記研磨盤の上方に位置する
状態で支持されて貫通した保持空部を有し、この保持空
部が研磨盤の中心から外れた位置における複数の円形空
部を組み合せた形状として構成されている固定板と、前
記固定板の円形空部に回動可能な状態で嵌合され、リン
グ材を回動可能な状態で内部に嵌め付けることができる
ホールド空部を有する回動治具と、を備え、前記回動治
具のホールド空部の中心位置を、回動治具の外周面の中
心位置から偏心させているので、複数の修正リングを同
時に内側に設置しても隣り合うリング材が干渉したり、
コロが干渉することもない。したがって、研磨盤が中凸
形状になったり、外周部分若しくは内周部分が凸形状に
なった場合には、複数のリング材により能率良く修正す
ることができる。また、コロなどによりリング材の外周
を１／２周以上の広い範囲で保持するので、リング材が
飛び出すことがないばかりでなく保持力が強く、安定し
て振動も少ない。このため、精密な研磨加工を確実に行
うことができるし、研磨盤の表面を精密に修正すること
ができる。
【００１９】請求項２の発明によれば、前記回動治具の
外周面をウォームホイールとし、このウォームホイール
に噛合するウォームを固定板側に設けたので、ウォーム
の回転によりリング材を任意の位置に容易且つ簡単に設
置することができる。また、回動治具を設置位置で止め
る手段を別途設ける必要がない。
外周面をウォームホイールとし、このウォームホイール
に噛合するウォームを固定板側に設けたので、ウォーム
の回転によりリング材を任意の位置に容易且つ簡単に設
置することができる。また、回動治具を設置位置で止め
る手段を別途設ける必要がない。
【００２０】 請求項３に記載の発明によれば、リング
材は、研磨盤の修正リングまたは加工物保持具であるか
ら、研磨盤の表面形状を修正する場合、加工物を研磨す
る場合のいずれにでも使用することができ、実用的価値
の高いものとなる。
材は、研磨盤の修正リングまたは加工物保持具であるか
ら、研磨盤の表面形状を修正する場合、加工物を研磨す
る場合のいずれにでも使用することができ、実用的価値
の高いものとなる。
【図１】本発明の研磨装置の実施の形態の概略構成を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
【図２】（ａ）は固定板の平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ
−Ａ断面図である。
−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）はリング材を内側に寄せた状態における
固定板の平面図、（ｂ）は断面図である。
固定板の平面図、（ｂ）は断面図である。
【図４】（ａ）はリング材を外側に寄せた状態における
固定板の平面図、（ｂ）は断面図である。
固定板の平面図、（ｂ）は断面図である。
１ 精密研磨装置 ２ 研磨盤 ３ ターンテーブル ４ 固定板 ５ 保持空部 ６ 回動治具 ７ 円形空部 ８ リング材 ９ ホールド空部 １０ コロ １１ 鍔部 １２ ウォームホイール １３ ウォーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−309659（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−309560（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−39866（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭38−23595（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭62−8998（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭45−7039（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 37/00 B24B 37/04
Claims (3)
- 【請求項１】 回転機構により回転する研磨盤と、前記
研磨盤の上方に位置する状態で支持されて貫通した保持
空部を有し、この保持空部が研磨盤の中心から外れた位
置における複数の円形空部を組み合せた形状として構成
されている固定板と、前記固定板の円形空部に回動可能
な状態で嵌合され、リング材を回動可能な状態で内部に
嵌め付けることができるホールド空部を有する回動治具
と、を備え、前記回動治具のホールド空部の中心位置
を、回動治具の外周面の中心位置から偏心させたことを
特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 回動治具の外周面をウォームホイールと
し、このウォームホイールに噛合するウォームを固定板
側に設け、ウォームを回転することにより回動治具を、
円形空部内で回転させて前記リング材の位置を可変にし
たことを特徴とする請求項１に記載の精密研磨装置。 - 【請求項３】 リング材は、研磨盤の修正リングまたは
加工物保持具である請求項１または２に記載の精密研磨
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34657297A JP2972866B2 (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34657297A JP2972866B2 (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11179647A JPH11179647A (ja) | 1999-07-06 |
| JP2972866B2 true JP2972866B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=18384339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34657297A Expired - Lifetime JP2972866B2 (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2972866B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010005777A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Covalent Materials Corp | 研磨装置用リテーナリング、これを用いた研磨方法 |
-
1997
- 1997-12-16 JP JP34657297A patent/JP2972866B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11179647A (ja) | 1999-07-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |