JP2004243465A - ダイヤモンドラップ定盤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】定盤1にダイヤモンドペレット2を複数個固着したダイヤモンドラップ定盤である。ラップ定盤の外周部と内周部には、研削砥3からなる複数のセグメント3がリング状に固着されている。これら外周部と内周部のセグメントに挟まれる領域にはダイヤモンドを結合材により結合したペレット2が固着されている。研削砥石としては、砥粒がAl2O3系砥粒又はSiC系砥粒であって、結合度がGからJの砥石が挙げられる。ペレット2は、ダイヤモンド粒子を結合材で結合したもので、ラップ盤にほぼ均一に配置されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明はラップ定盤に関するものである。特に、超硬合金、サーメット、アルチック、ガラス、サファイヤ、セラミックスなどの超高精密平面加工および鏡面加工に最適な超砥粒ラップ定盤に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ダイヤモンドラップ定盤は、ダイヤモンドペレットを同じ高さに、所望の位置に固着した研磨用の定盤である。ダイヤモンドラップ定盤の実際の使用方法を図4に示す。ラップ定盤は、研削機の回転軸を中心として、上定盤9と下定盤10が各1個ずつ対向して具えられている。これら上下定盤9、10の表面には、ダイヤモンドを結合した超砥粒ペレット2を所望のパターンで、同一高さに設けてある。ワーク8をワークキャリア7の穴に挿入し、外歯歯車11と内歯歯車12に噛み合わせて下定盤10の上に載置する。上定盤9を、矢印aのごとくそのワークキャリア7を介在して下定盤10に下降する。次に、上定盤9、下定盤10を矢印b、cの方向に回転することにより、ワークキャリア7を回転させながら公転させて、ワーク8の上下両面を上定盤9、下定盤10で研磨加工する。上定盤9、下定盤10には給水孔(図示せず)が設けられ、この給水孔から研削液が供給され、スラッジなどが外周へ排出される。このとき、下定盤10だけの片面研削する場合もある。
【0003】
特許文献1は、ダイヤモンド砥粒を特定の結合材で結合した円盤状のダイヤモンドペレットをラップ定盤の外周と定盤の中心を結ぶ半径上に固着したラップ定盤を開示している。定盤の外周部と内周部にはペレットと同じ組成の円弧状ダイヤモンドセグメントが固着されている。また、ラップ定盤の全加工面に対するペレットの面積比が40〜80%の範囲内に設定されている。この構成のラップ定盤によれば、切れ味の持続性が高く、砥粒の脱落が少なく、高い加工圧力に対しても砥粒が結合材の中に埋没することがない。そして、最外周縁、最内周縁の超砥粒層の偏摩耗を抑制することができる。
【0004】
特許文献2は、定盤本体表面に、超砥粒をボンド材で結合したペレットをラップ定盤の外周と定盤の中心を結ぶ半径上に、同じ高さに設けたラップ定盤を開示している。この超砥粒ラップ定盤は、研削面の内外周縁の少なくとも一方の超砥粒層の固着密度、又は超砥粒層の砥粒集中度を、その内外周縁で囲まれた部分より高くしている。このような構成とすることにより、最外周縁、最内周縁の超砥粒層の偏摩耗が抑制され、チッピングの少ない平面加工や鏡面加工を行うことができる。
【0005】
【特許文献1】
特許第3050379号
図1、第1−2頁
【特許文献2】
特開平11−165254号公報
図3、第2頁
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1及び特許文献2に記載の技術では、ラップ定盤における最外周縁、最内周縁の超砥粒層の偏摩耗がある程度は抑制されるものの、特に難加工材をより早く、高い平面度、平行度に加工することは難しい。通常、ワークは外径:30−250mm、内径:5−150mm、厚さ:0.05−5mm程度の円盤状で、その材料はサーメットや超硬合金、セラミックスである。このような材料を、厚みのバラツキが5μm以下、ワークの歪が平面度20μm以下に加工することは極めて難しい。
【0007】
また、ワークキャリアの寿命も短いという問題がある。ワークキャリアは、定盤におけるペレットやセグメントの固着された加工面へ入る際と出る際に、高硬度のダイヤモンドペレットやダイヤモンドセグメントに衝突し、損傷する場合がある。この損傷に伴い、ワークキャリアに歪みが発生し、ペレットやセグメントの偏摩耗を促進する。その結果、高精度の研磨も行うことができないことになる。そして、最終的にはキャリアの破損に至ってしまう。
【0008】
従って、本発明の主目的は、定盤に固着されたペレットやセグメントの偏摩耗を効果的に抑制し、高精度の研磨を実現できるダイヤモンドラップ定盤を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ダイヤモンドペレットとセグメントを組み合わせたラップ定盤において、このペレットよりも摩耗しやすいセグメントを組み合わせることで上記の目的を達成する。
【0010】
すなわち、本発明ダイヤモンドラップ定盤は、定盤にダイヤモンドペレットを複数個固着したダイヤモンドラップ定盤であって、ラップ定盤の外周部と内周部に研削砥石からなる複数のセグメントがリング状に固着され、外周部と内周部の間はダイヤモンドペレットが固着されていることを特徴とする。
【0011】
一般に、ラップ定盤の外周部や内周部は被削材との接触時間(研磨時間)が他のペレットに比較すると少なく、摩耗が進行しない。そこで、ダイヤモンドペレットに比較して摩耗が進行し易い研削砥石をラップ定盤の外周部や内周部に配し、中間部にダイヤモンドペレットを配することで、内外周部は被削材との接触時間が少ないにも関わらず、ラップ定盤のほぼ全面にわたって均一に摩耗させることができる。その結果、高精度の加工を行うことができる。研削砥石とは、ダイヤモンドおよびCBN以外を砥粒とする砥石で、例えばJISR6210のビトリファイド研削砥石、JISR6212のレジノイド研削砥石、JISR6219のマグネシア研削砥石のことである。より具体的には、砥粒がAl2O3系砥粒又はSiC系砥粒であって、結合度がLより柔らかい砥石である。より好ましくは、結合度がJIS規格によるGからJの砥石である。結合度GからJの砥石は結合力が弱いので摩耗し易く、ダイヤモンドペレットと同じ速度で摩耗するので偏摩耗しない。
【0012】
上記の定盤において、隣り合うセグメントの間に間隙があることが望ましい。この間隙から研削液やスラッジの排出が出来るので、加工精度、品質が向上する。これらのリングやセグメントの幅は、ワークの外径の1/10〜2/3程度が適当である。1/10より狭いとセグメントが早く摩耗し、2/3より広いとセグメントの摩耗が遅く段差が生じる。さらに、1/10〜1/2程度が望ましい。
【0013】
ダイヤモンドペレットの結合材は、銅40−65質量%、錫25−50質量%、黒鉛5−18質量%を含む。この結合材は、黒鉛を含むので被削材との潤滑が良く、かつ黒鉛と金属との結合が弱いので研磨に従い結合材が後退し、いつも新しいダイヤモンド粒子が現れてダイヤモンドペレットの切れ味を維持することができる。ダイヤモンドペレットにおける好ましいダイヤモンドの含有量は、通常5〜70容量%である。5容量%より少ないと加工速度が遅くなり、70容量%を越えると砥石の強度が弱くなる。さらに、5〜50容量%が好ましい。
【0014】
一般的には、ダイヤモンドペレットと外周部及び内周部の研削砥石で構成されたセグメントの摩耗の度合いは、被削材の種類、被削材の大きさ、ダイヤモンドのペレットの密度、セグメントの幅などに依存する。しかしながら、上記した黒鉛を含有する結合材のペレットと研削砥石との組合せとすることで、研磨条件に関係なく偏摩耗の殆どないラップ定盤を提供することができる。
【0015】
ペレットの密度を外周から内周にかけてほぼ均一にすることが好ましい。そうすることで偏摩耗がより減少する。具体的には、ペレットが定盤の回転軸を中心とする複数の同心円上に固着されていて、その最内周のペレット数が最も少ない配列が好適である。そして、任意のリング上のペレット数を、その1つ外側のリング上のペレット数以下とすることが好ましい。言い換えれば、任意のリング上のペレット数を、その1つ内側のリング上のペレット数以上とする。なお、後述する定盤の分割面形状や、研削液の給水孔の位置といった設計上の理由により、ペレット数は一部のリング上で上記の順にならないことがある。また、研削液の給水孔や、その他の都合で、ペレットの位置が同心円上から若干ずれてもかまわない。
【0016】
定盤は複数に分割されていることが好ましい。分割数は、3個から8個が望ましい。定盤は鋳物で出来ているので、重量が大きく取り扱いが困難である。分割してあれば、個々の分割片の重量も軽くなり、取り扱いが容易になる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は、本件発明に係るダイヤモンドラップ定盤の正面図である。定盤1は、ドーナツ状で、その表面には、多数の円盤状のダイヤモンドペレット2と、研削砥石からなる複数の円弧状のセグメント3とが配置されている。セグメント3は、定盤1の内周部と外周部に複数並列することでリング状に配列されている。このリング状に配されたセグメント3で囲まれる領域にはダイヤモンドペレット2が固着されている。ダイヤモンドペレット2は、定盤の中心5を同心とするリング状に配置されている。
【0018】
図2は、図1を部分的に拡大した部分拡大正面図である。図1の定盤は、8個の分割定盤6からなる。セグメント3は、ひとつの分割定盤6に外周、内周それぞれに3個づつ配置され、セグメントの間は、隙間が開いている。この隙間から、研削液やスラッジなどが排出される。研削液は、分割定盤に設けられた給水孔13から供給される。分割定盤6の扇の片側の側面にはペレットの形状に相当する凹凸が設けられ、隣り合う分割定盤を強固に組み合わせることが出来る。
【0019】
図3は、別の例であるが扇を形成する側面には図2に示すような凹凸はなく直線で形成されている。形状が簡単なので、安価に定盤を加工することが出来る。
この例では、内周部と外周部には各々1個のセグメント3が固着され、このセグメント3は隣の分割定盤のセグメントとも隙間なく連続するように配列されている。
【0020】
このようなラップ定盤は、図4に示した装置に装着されて、ワークの研磨に供される。すなわち、同一回転軸を有する上下の定盤を近接・離反可能に対向配置し、両定盤の間にワークの装着されたワークキャリアを配して、同キャリアを遊星運動させてワークの研磨を行なう。
【0021】
ワークキャリアは以下のようにして寿命となる。ペレットやセグメントに偏摩耗に伴う凹凸があると、被削材やワークキャリアがそれに衝突する。そのときワークキャリアは、機械強度が弱いので先に曲がりが発生し、やがて破損する。その結果、被削材の破損などにつながる。先にも記載したとおり、本発明のラップ定盤は薄い材料を加工するので、ペレットやセグメントの凹凸はキャリア寿命を短くする。本発明の定盤はペレットやセグメントの凹凸が生じにくいので、ワークキャリアの寿命を長くすることができる。
【0022】
(実施例1)
銅60質量%、錫35質量%、黒鉛5質量%からなる結合材と、平均粒径70μmのダイヤモンド砥粒とを集中度75(約20容量%)となるように混合し、この混合粉を金型に入れてホットプレスし、円柱状のいわゆるペレットを作製した。さらに、Al2O3を砥粒として、結合度がやわらかめのGの砥石を用いてセグメントを作製した。これらを図2及び図3に示す鋳鉄製の8分割した定盤に接着剤により固着してダイヤモンドラップ定盤を作製した。定盤最外周の研削砥石からなるセグメントのサイズは、直径600mm、幅5mm、厚さ8mm、最内周の研削砥石からなるセグメントのサイズは直径230mm、幅5mm、厚さ8mm、ペレットのサイズは直径13mm、厚さ8mmである。
【0023】
図2の分割定盤において、ペレットの数を内周側から数えると、7、8、8、9、9、10、11、11、12個である。したがってラップ定盤全体では、上記の数字を8倍した値のペレットが固着されていることとなる。すなわち、最内周のペレット4の数が最も少なく、任意のリング上のペレットの数が、その1つ外側のリング上のペレット数以下である。別な言い方をすれば、任意のリング上のペレットの数が、その1つ内側のペレット数以上である。この関係はペレットの直径とも密接に関係するが、取り扱いを考慮すると、この関係を満たすとき優れた性能を示す。この定盤を試料1とする。
【0024】
図3の分割定盤において、ペレットの数を内周側から数えると、7、7、8、8、9、9、11、10、12個である。したがってラップ定盤全体では、上記の数字を8倍した値となる。すなわち、最内周のペレット4の数が最も少なく、最内周と最外周の間に位置するリング上のペレットの数が、その1つ外側のリング上のペレット数以下であることを基本配列とする。ただし、外周から2番目と3番目のペレット数を比較すると10個と11個であり、ペレット数が逆転している。このように例外的にペレット数が逆転することは許される。この定盤を試料2とする。
【0025】
(比較例)
比較例として、研削面の内外周縁に設けられたペレットの固着密度を、その内外周縁で囲まれた部分より高くした超砥粒ラップ定盤を作製した。最外周付近と最内周付近はワークを加工する時間が少なく、したがって、その部分のペレット、セグメントは摩耗量が少ない。すなわち摩耗は、ダイヤモンドラップ定盤の中央部で最も大きくなり、内周部と外周部では少なく、凹型に偏摩耗する。したがって外周部と内周部のペレットは、中央部のペレットと比較すると突き出ているので、加工中にワークキャリアやワークが外周部のペレット、セグメントやリングに突き当たることになる。例えば、超硬合金基板を一回加工すると、ダイヤモンドペレットの最大摩耗量は0.1mmである。
【0026】
上記試料1、2および比較例の3つのラップ定盤をそれぞれ両面ラップ盤に取り付け、ダイヤモンドドレスキャリアーでツルーイングして、ダイヤモンド層の平面度を3μm以下とした。次に、GC砥石によりドレッシングした後、外径150mm、厚み3.5mmのWC−Co系の超硬合金製基板を加工した。その際、ダイヤモンドラップ定盤の回転数は1分間に70回転で、被削材に対する加工圧力は0.5kg/cm2とした。
【0027】
そして、加工された基板の平面度と平行度、ならびにキャリア寿命を評価した。厚みのばらつきは、マイクロメータで基板の厚みを12箇所測定し、その最大値と最小値の差で示した。また、平面度は干渉縞測定器により求めた。キャリア寿命は、使用できた回数で示す。加工結果を表1に示す。試料1、2はいずれも比較例に比べて厚みのバラツキ、平面度ともに優れ、キャリア寿命も格段に長い。試料1の方が試料2よりキャリア寿命が長いのは、研削液の流れが良好で、切粉の排出がスムースでペレットが目詰まりしないことと、分割定盤を組み上げたときに剛性が高いからと考えられる。
【0028】
【表1】
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明ダイヤモンドラップ定盤によれば、ダイヤモンドペレットと研削砥石を用いたセグメントとで構成されたラップ定盤とすることにより、高精度の加工を行うことができる。特に、厚みのばらつきが5μm以下で、平面度が20μm以下の高精度の加工を行うことができる。さらに、ワークキャリアの寿命を約4倍程度長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明のダイヤモンドラップ定盤の正面図である。
【図2】図2は図1の部分拡大正面図である。
【図3】図3は図2と異なる本発明ダイヤモンドラップ定盤の部分拡大正面図である。
【図4】図4はダイヤモンドラップ定盤の使用方法の説明図である。
【符号の説明】
1 ラップ定盤
2 ダイヤモンドペレット
3 セグメント
4 最内周のペレット
5 定盤の中心
6 分割定盤
7 ワークキャリア
8 ワーク
9 上定盤
10 下定盤
11 外歯歯車
12 内歯歯車
13 給水孔
Claims (9)
- 定盤にダイヤモンドペレットを複数個固着したダイヤモンドラップ定盤であって、
前記ラップ定盤の外周部と内周部に研削砥石からなる複数のセグメントがリング状に固着され、
外周部と内周部の間はダイヤモンドペレットが固着されていることを特徴とするダイヤモンドラップ定盤。 - 前記研削砥石は、砥粒がAl2O3系砥粒又はSiC系砥粒であって、結合度がLより柔らかいことを特徴とする請求項1記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 隣り合うセグメントの間に間隙があることを特徴とする請求項1−2のいずれかに記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 前記ダイヤモンドペレットの結合材が、銅40−65質量%、錫25−50質量%、黒鉛5−18質量%からなることを特徴とする請求項1−3のいずれかに記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 前記ダイヤモンドペレットのダイヤモンドの含有量が5−70容量%であることを特徴とする請求項1−4のいずれかに記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 前記ダイヤモンドペレットがラップ定盤上でほぼ均一に分布していることを特徴とする請求項1−5のいずれかに記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 前記ダイヤモンドペレットが定盤の中心の同心円上に固着されていて、その最内周のリング上のペレット数が最も少ないことを特徴とする請求項1−6のいずれかに記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 任意のリング上のペレット数が、その1つ外側のリング上のペレット数以下であることを特徴とする請求項7に記載のダイヤモンドラップ定盤。
- 定盤が分割されていることを特徴とする請求項1−8のいずれかに記載のダイヤモンドラップ定盤。
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