JP2006218577A - 研磨布用ドレッサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨布用ドレッサーを、台金1と該台金1上に固定された複数の構造体2とで構成する。上記構造体2は、平面状の保持材3と、該保持材3の表面に2次元的に規則性を持って配列、保持された多数の砥粒4とから成り、該複数の構造体2を上記台金1上の径が異なる2つ以上の同心円上にそれぞれ規則性を持って配列すると共に、隣り合う同心円上における構造体の円周方向の位置をずらす。
【選択図】 図1
Description
そのため、安定した研磨性能を発揮し、研磨布表の均一なドレッシング面を得ることは不可能であり、また、任意に研磨速度を調整することも不可能である。例えば、砥粒間隔の小さいところでは、研削によって発生した研磨布の切り屑や研磨粒子が排出されずに砥粒間に付着し、或いは研削時の摩擦熱により研磨布の一部が砥粒間に溶着して、目詰まりが発生し、ドレッサーの研削性能が低下して研磨布表面が半鏡面化し、研磨速度が低下する。
また、切り屑や研磨粒子の排出力が悪いと、研磨布用ドレッサーが目詰まりし、その目詰まり部に集中応力がかかる原因になるから、砥粒が保持部より脱落して、ウエハ表面にスクラッチが発生し、致命的な損傷となる。
また、本発明の他の課題は、研削性やスラリーの供給・排出性を任意に調整できる研磨用ドレッサーを提供することにある。
この研磨布用ドレッサーは、金属、セラミックスあるいはプラスチックス等からなるカップ型の台金1と、該台金1上に固定された複数の構造体2とを有し、上記構造体2は、平面状の保持材3と、該保持材3の表面に2次元的に規則性を持って配列(例えば、等間隔で配列)され保持された多数の砥粒4とから成る。
また、上記取付面1a上における上記複数の構造体2の間の空間(即ち、上記取付面1a上における上記構造体2が設けられていない箇所の空間)は、構造体2の表面に比べ構造体2の厚さ分だけ低くなっており(窪んでおり)、該空間をスラリー給排用の空間としている。
砥粒の粒径が#325/#400未満であると、砥粒のドレッシング面からの突き出し量が低く、十分な研磨布のドレッシングができないか、ドレッシングスピードが遅くなるおそれがある。砥粒の粒径が、#30/#40を超えると、ドレッシングの際に研磨布が粗面化するか、研磨布の除去スピードが極端に速く、使用に耐えなくなるおそれがある。
なお、上記格子の形状は上述したところに限るものではないが、各砥粒が2次元的に規則性を持って配列されることが必要である。
また、上記研磨布用ドレッサーは、研磨布用ドレッサーを製作する際に、上記規則性を持って配列された砥粒4や構造体2の間隔を適切に調整することにより、研磨布用ドレッサーの研削性やスラリーの供給・排出性を任意に調整することができる。
[実施例1]
重量比で1:4のタングステン−珪素粉末をボールミルで混合し、得られた混合粉末にパラフィンを体積で20%添加して更に混合し、得られた混合粉末を金型に充填して、圧力50MPaで平板状の成形体を作製した。一方、粘着剤を塗着した粘着性シートに、砥粒サイズの多数の穴を2次元的に等間隔にあけることにより形成した非マスキング部を有するマスキングを施した。上記非マスキング部により形成した粘着部の大きさは、それぞれ直径約270μmであり、それらの配列は、台金(図1参照)上に固定する際の円周方向と径方向に隣接する砥粒がつくる最小の格子が平行四辺形で、その一辺の砥粒間隔を1.5mmの等間隔に形成した。
実施例1と同じ構造体を図5に示すようなリング状配列してなる研磨布用ドレッサーを用いて、実例1と同じ条件で発泡ポリウレタン製研磨布を研削した。研削の結果を実施例1の結果と共に表1に示す。
1a 取付面
2 構造体
3 保持材
4 砥粒
5 接着剤
Claims (5)
- 台金と、該台金上に固定され研磨布をドレッシングする複数の構造体とを有し、
上記構造体が、平面状の保持材と、該保持材の表面に2次元的に規則性を持って配列、保持された多数の砥粒とから成り、
該複数の構造体を上記台金上の径が異なる2つ以上の同心円上にそれぞれ規則性を持って配列すると共に隣り合う同心円上における構造体の円周方向の位置をずらし、該複数の構造体の間の空間をスラリー給排用の空間とした、
ことを特徴とする研磨布用ドレッサー。 - 上記複数の構造体が、互いに接触しないように間隔をおいて上記取付面に固定されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の研磨布用ドレッサー。 - 上記台金がカップ型の台金であり、上記複数の構造体を該台金の回転軸線に直交する平らな取付面に固定した、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の研磨布用ドレッサー。 - 上記砥粒の粒度が♯325/♯400〜♯30/♯40であり、上記保持材に保持される隣接する砥粒間の距離が0.1〜15.0mmである、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の研磨布用ドレッサー。 - 上記砥粒が、ダイヤモンドまたは立方晶窒化ホウ素であり、上記保持材表面に焼結または電着またはロウ付けにより固定されている、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の研磨布用ドレッサー。
Priority Applications (1)
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JP2005034785A JP2006218577A (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | 研磨布用ドレッサー |
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Family Applications (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009214278A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-24 | Nikon Corp | 研削用砥石 |
CN102554787A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-11 | 哈尔滨工业大学 | 抛光砖用金刚石磨块修整装置 |
JP2017154190A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 研磨布用ドレッサー |
JP2020123751A (ja) * | 2020-05-07 | 2020-08-13 | キオクシア株式会社 | ドレッサーの製造方法 |
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2005
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009214278A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-24 | Nikon Corp | 研削用砥石 |
CN102554787A (zh) * | 2012-01-17 | 2012-07-11 | 哈尔滨工业大学 | 抛光砖用金刚石磨块修整装置 |
JP2017154190A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 研磨布用ドレッサー |
JP2020123751A (ja) * | 2020-05-07 | 2020-08-13 | キオクシア株式会社 | ドレッサーの製造方法 |
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