JP2001088017A - ペレット状研削砥石担持工具及びそれを用いた研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研削装置の固定砥粒工具への加工済ワークの
付着を防止し、該加工済ワークの落下に伴うワーク損傷
を防止する。 【解決手段】 上面が接着剤層１２２により上側定盤１
２１に貼付されたダイヤモンドペレット１２３の下面に
よりワーク２２を研削するペレット状研削砥石担持工
具。定盤１２１に形成されている気体流通路１２１ａが
到達しているペレット１２３には、気体流通路１２１ａ
と連通した貫通路１２３’が形成されている。下側定盤
１４１の表面には接着剤層１４２によりペレット１４３
が貼付されている。キャリア２４Ａに拘束されたワーク
２２をペレット１２３，１４３に接触させながら移動さ
せて両面研削加工する。加工後、予め定められたキャリ
ア停止位置において、気体供給源から気体流通路１２１
ａへと気体を供給することで、ペレット１２３に対する
ワーク２２及びキャリア２４Ａの付着を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研削加工の技術分
野に属するものであり、特に砥粒を結合材により固定し
たペレット状研削砥石を担持せる研削砥石担持工具及び
それを用いた研削装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ガラス
製や金属製の被加工物（ワーク）の表面を研削するため
の研削装置として、いわゆるラップ盤と称される両面研
削装置（または片面研削装置）がある。この研削装置に
おいては、研削砥粒としてダイヤモンド固定砥粒を用い
たダイヤモンドペレットを定盤の表面に貼付してなるダ
イヤモンドペレット担持工具を用いて、該工具をワーク
の表面に対し適宜の圧力で押圧しながら表面内方向に相
対的に移動させ、その際にワーク表面に研削液を供給す
ることで所要の研削性能を得ている。

【０００３】この研削装置では、ワークを工具に対して
移動させるために、上側工具と下側工具との間にこれら
工具に対してペレット面内方向で相対移動するワークキ
ャリアが配置される。ワークは、キャリアに形成された
所定のワーク収容開口内に収容され、キャリアの移動に
伴って上側工具及び下側工具に対して所定の経路で相対
移動する。

【０００４】所要の研削加工後に、上側工具を上方へと
吊り上げ、下側工具上にあるキャリアの収容開口内の加
工済ワークを取り出す。

【０００５】しかるに、該加工済ワークは研削液付着に
より湿潤状態にあるため、上側工具の吊り上げの際に、
研削液の表面張力によりワークのいくつかが上側工具に
密着して該上側工具と共に上方へと持ち上げられること
がある。その場合には、上側工具に付着したワークが重
力の影響を受けて落下することがあり、その場合、落下
するワーク及びこの落下ワークが衝突する下側工具上の
ワークが損傷して不良品となることがしばしばである。

【０００６】従って、作業者は細心の注意を払って、こ
のようなワーク落下が発生する前に上側工具に付着した
ワークを取り外す手作業を行うことが要求されていた。
このことが、研削装置からの加工済ワーク取り出しの自
動化の大きな障害となっいていた。

【０００７】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解決し、研削装置の固定砥粒工具への加工済ワークの
付着を防止し、該加工済ワークの落下に伴うワーク損傷
を防止することを目的とするものである。

【０００８】更に、本発明は、研削加工後の研削装置か
らのワークの取り出しを容易にし、ワーク取り出しの自
動化を可能にすることを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、以上の
如き目的を達成するものとして、複数のペレット状研削
砥石の夫々の第１面が定盤の表面に貼付されており、前
記ペレット状研削砥石の夫々の第２面によりワークの表
面を研削するペレット状研削砥石担持工具であって、前
記定盤には前記ペレット状研削砥石のうちのいくつかに
それぞれ到達する気体流通路が形成されており、該気体
流通路が到達している前記ペレット状研削砥石には、前
記気体流通路と連通し前記第１面側から前記第２面側へ
の気体流通を可能となす気体流通機構が形成されている
ことを特徴とするペレット状研削砥石担持工具、が提供
される。

【００１０】本発明の一態様においては、前記ペレット
状研削砥石の気体流通機構は、前記第１面から前記第２
面へと前記ペレット状研削砥石を貫通して形成された貫
通路である。

【００１１】本発明の一態様においては、前記ペレット
状研削砥石の気体流通機構は、該ペレット状研削砥石の
互いに隣接する気孔どうしの連通により形成された気体
流通経路である。本発明の一態様においては、前記ペレ
ット状研削砥石の気孔率は３５％以上である。前記気体
流通路が到達している前記ペレット状研削砥石の第１面
の外周縁と第２面の外周縁との間に存在する外周面には
気体通過阻止のためのシール層が付されている。

【００１２】本発明の一態様においては、前記ペレット
状研削砥石は固定砥粒としてダイヤモンド砥粒を用いて
なるダイヤモンドペレットである。

【００１３】本発明の一態様においては、前記定盤は複
数の部分に分割されており、各部分に前記気体流通路が
形成されている。

【００１４】更に、本発明によれば、以上の如き目的を
達成するものとして、上記のペレット状研削砥石担持工
具と、該ペレット状研削砥石担持工具のペレット状研削
砥石の第２面を前記ワークの表面に接触させながら該ワ
ークを前記ペレット状研削砥石担持工具に対して相対移
動させるためのワーク移動機構と、前記ペレット状研削
砥石担持工具の気体流通路へと気体を供給するための気
体供給源と、を備えていることを特徴とする研削装置、
が提供される。

【００１５】本発明の一態様においては、前記ワーク移
動機構は、前記ペレット状研削砥石担持工具に対して相
対的に回転せしめられ且つ前記ワークを前記定盤の表面
と平行な方向に関して拘束するキャリアを含んでいる。
本発明の一態様においては、予め定められた前記ペレッ
ト状研削砥石担持工具に対する前記キャリアの停止位置
に対応する位置にある前記ペレット状研削砥石に前記気
体流通機構が形成されている。

【００１６】本発明の一態様においては、予め定められ
た前記ペレット状研削砥石担持工具に対する前記ワーク
の停止位置に対応する位置にある前記ペレット状研削砥
石に前記気体流通機構が形成されている。

【００１７】本発明の一態様においては、前記ペレット
状研削砥石担持工具により前記ワークの一方の面を研削
し、且つ、複数のペレット状研削砥石の夫々の第１面が
定盤の表面に貼付されている追加のペレット状研削砥石
担持工具の第２面により前記ワークの他方の面を研削
し、前記ワークの両面を同時に研削するようにしてな
る。本発明の一態様においては、前記ペレット状研削砥
石担持工具により前記ワークの上面を研削し、且つ、前
記追加のペレット状研削砥石担持工具により前記ワーク
の下面を研削するようにしてなる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００１９】図１は、本発明のペレット状研削砥石担持
工具を用いた研削装置の一実施形態を示す模式的断面図
であり、図２はその部分拡大断面図である。

【００２０】図１及び図２において、１２は上側の砥石
担持工具であり、１４は下側の砥石担持工具（追加の砥
石担持工具）である。上側砥石担持工具１２は、円環形
状で平行平板状をなしている上側定盤１２１とその表面
（下側の面）に接着剤層１２２により貼付・固定された
複数のダイヤモンドペレット１２３とを含んでなるもの
である。一方、下側砥石担持工具１４は、円環形状で平
行平板状をなしている下側定盤１４１とその表面（上側
の面）に接着剤層１４２により貼付・固定された複数の
ダイヤモンドペレット１４３とを含んでなるものであ
る。尚、図１において、Ｘは上側定盤１２１及び下側定
盤１４１の回転対称中心軸であり、該中心軸Ｘは上下方
向を向いている。

【００２１】図１に示されているように、下側定盤１４
１は回転テーブル１６上に固定されており、該回転テー
ブル１６は上下方向の固定軸１８の周りで回転可能なよ
うに取り付けられている。回転テーブル１６は不図示の
モータの駆動力により中心軸Ｘの周りで駆動回転させる
ことができ、所望の回転方向（周方向）位置にて停止さ
せることができる。また、上側定盤１２１は、吊り下げ
部材２０により下側定盤１４１に対する上下方向の接近
及び離隔の移動が可能なように吊り下げられている。

【００２２】下側砥石担持工具１４の上方にはワーク２
２を所定の様式にて水平面内方向に移動させるワーク移
動機構を構成する複数のキャリア２４Ａ，２４Ｂ・・・
・が配置されている。該キャリア２４Ａ，２４Ｂは、い
ずれも大略円板形状をなしており、外周に形成された外
歯ギヤが上記固定軸１８の外周に形成された外歯ギヤ１
８１及び回転テーブル１６の外周部に形成された内歯ギ
ヤ１６１と噛み合っている。これにより、回転テーブル
１６が中心軸Ｘの周りで回転するときに、各キャリア２
４Ａ，２４Ｂ・・・・は上下方向の周りで自転しながら
中心軸Ｘの周りに公転するようにして水平面内で所定の
様式で移動する。

【００２３】キャリア２４Ａ，２４Ｂ・・・・には、複
数のワーク２２を収容するための開口２４１が形成され
ている。この開口２４１は上下両面が同時に研削加工さ
れるワーク２２の側部外周面にほぼ対応した形状を有し
ており、従ってワーク２２はキャリア２４Ａ，２４Ｂ・
・・・が水平面内で上記のような形態で移動を行う時
に、該キャリア２４Ａ，２４Ｂ・・・・とほぼ一体とな
って水平面内で移動する。

【００２４】上側砥石担持工具１２には、圧縮エアー源
からダイヤモンドペレット１２３までのエアー供給手段
が形成されている。即ち、上側定盤１２１には、該上側
定盤の下面に貼付された複数のダイヤモンドペレット１
２３のうちのいくつかに対応する位置に上下方向に貫通
したエアー流通路１２１ａが形成されており、上側定盤
１２１の上面上にはエアー流通路１２１ａと連通したチ
ャンバ１２１ｂが付設されており、該チャンバ１２１ｂ
には圧縮エアー供給源と一端が接続されたエアー配管１
２１ｃの他端が接続されている。

【００２５】図２に示されているように、上側定盤１２
１のエアー流通路１２１ａは、対応する位置のダイヤモ
ンドペレット１２３に形成された気体流通機構を構成す
る上下方向の貫通路１２３’と連通している。図示され
ているように、エアー流通路１２１ａに対応する位置で
は接着剤層１２２が除去されている。

【００２６】尚、図１に示されているように、下側砥石
担持工具１４と上側砥石担持工具１２との間に研削液を
供給するためのノズル２６が配置されている。該ノズル
２６から吐出された研削液は、下側砥石担持工具１４の
ダイヤモンドペレット１４３と上側砥石担持工具１２の
ダイヤモンドペレット１２３との間に位置するワーク２
２の研削加工面に供給される。

【００２７】次に、気体流通機構を有するダイヤモンド
ペレットの配置に関して説明する。図３は上記の上側砥
石担持工具１２の部分底面図である。図３には、工具１
２に対するキャリア２４Ａ及びワーク２２の位置関係も
示されている。

【００２８】図３には、１０個のワーク２２を収容する
キャリア２４Ａが示されている。図１に示されている研
削装置では、上側砥石担持工具１２は中心軸Ｘの周りで
の回転を行わず、下側砥石担持工具１４は回転テーブル
１６とともに中心軸Ｘの周りで回転する。回転テーブル
１６の回転方向（周方向）位置は、モータを用いた駆動
機構により連続的に変化するが、回転テーブル１６の回
転角度に対する各キャリアの位置及びその時の当該キャ
リアのワーク収容開口の位置は、駆動機構の構造に基づ
き予め知ることができる。

【００２９】そこで、研削加工を終了させる際に、回転
テーブル１６を所定の回転方向位置で停止させ、上側定
盤１２に対してキャリア２４Ａ・・・・を予め設定され
た周方向位置に配置することができる。図３は、その時
の様子を示すものであり、各ワーク２２に対応する位置
に配置されたダイヤモンドペレット１２３のうちの少な
くとも１つ（図３では２つ）として、貫通路１２３’を
有するものが使用されている。図３では、この位置にあ
る貫通路１２３’を有するダイヤモンドペレットをＲ１
で示している。また、キャリア２４Ａのワーク収容開口
以外の領域に対応する位置に配置されたダイヤモンドペ
レット１２３のうちの少なくとも１つ（図３では３つ）
として、貫通路１２３’を有するものが使用されてい
る。図３では、この位置にある貫通路１２３’を有する
ダイヤモンドペレットをＲ２で指示している。

【００３０】そして、研削加工終了後に、圧縮エアー源
から、エアー配管１２１ｃ、チャンバ１２１ｂ及びエア
ー流通路１２１ａを経て、ダイヤモンドペレット１２３
（Ｒ１，Ｒ２）の貫通路１２３’へと圧縮エアーを供給
しながら、吊り下げ部材２０により上側砥石担持工具１
２を上方へと吊り上げる。このようにすることで、ワー
ク２２及びキャリア２４Ａ，２４Ｂ・・・・が研削液の
表面張力に基づき上側工具１２に吸着するのを十分に防
止することができる。従って、研削加工終了後にはワー
ク２２は全て下側工具１４上に位置するので、研削加工
終了後のワーク落下などによるワークの損傷を防止で
き、研削加工後の研削装置からのワーク取り出しを良好
な歩留をもって自動化することが可能となる。この自動
化により、加工サイクルに要する時間を、自動化なしの
場合に対して１／２〜１／４に短縮することも可能であ
る。

【００３１】以上の実施形態では、貫通路の形成された
ダイヤモンドペレット１２３（Ｒ１，Ｒ２）の貫通路の
数が１つである例が示されているが、ダイヤモンドペレ
ット１２３（Ｒ１，Ｒ２）にほぼ平行な複数の貫通路を
形成してもよい。貫通路の断面形状は円形が好ましい
が、これに限定されることはない。

【００３２】ダイヤモンドペレット１２３，１４３の寸
法は、例えば、外径が６〜２５ｍｍφで、厚さが１〜１
５ｍｍ好ましくは２〜１０ｍｍで、貫通路１２３’の内
径が２〜１５ｍｍφ好ましくは３〜１０ｍｍφである。
また、上側定盤１２１及び下側定盤１４１の外径は、例
えば３００〜２０００ｍｍφである。キャリア２４Ａ，
２４Ｂ・・・・の数は、例えば４〜８枚である。貫通路
１２３’付きダイヤモンドペレット１２３は、各ワーク
２２に対応して例えば１〜３個配置され（Ｒ１）、各キ
ャリア２４Ａ，２４Ｂ・・・・に対応して例えば１〜５
個配置される（Ｒ２）。

【００３３】以上の実施形態ではダイヤモンドペレット
の気体流通機構が貫通路１２３’である例が示されてい
るが、本発明ではダイヤモンドペレットなどのペレット
状研削砥石の気体流通機構として、高い気孔率をもった
ダイヤモンドペレットなどのペレット状研削砥石の気体
流通経路を利用することができる。図４は、そのような
実施形態を示す部分断面図である。本図において、上記
図１〜３におけると同様の機能を有する部材には同一の
符号が付されている。また、本実施形態は、使用される
ペレット以外は上記図１〜３の実施形態のものと同様の
構成を有する。

【００３４】この実施形態では、上側定盤１２１に形成
されたエアー流通路１２１ａに対応する位置にて接着剤
層１２２により貼付されたダイヤモンドペレット１２３
は、気孔率３５％以上のものであり、これにより該ダイ
ヤモンドペレット内にて互いに隣接する気孔どうしの連
通により気体流通経路が形成される。ダイヤモンドペレ
ット１２３の気孔率は６５％以下であるのが好ましい。
ペレット１２３には、上面から下面への気体流通の効率
を向上させるために外周面（側面）にシール層１２４が
形成されている。このシール１２４層は、研削加工に伴
いペレット１２３の損耗と共に同時に容易に下端部から
除去され、ワークに対して悪影響を与えないものが利用
され、例えば常温で固化しているワックスや合成樹脂か
らなる。

【００３５】この実施形態においても、図１〜３に関し
説明した実施形態と同様な効果を得ることができる。

【００３６】図５に、複数の分割部分からなる砥石担持
工具の実施形態を示す。この実施形態では、砥石担持工
具１２は、５つの分割部分１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１
２Ｄ，１２Ｅからなっている。工具分割部分１２Ａで
は、定盤分割部分１２１Ａの表面に複数のダイヤモンド
ペレット１２３Ａが貼付されている。他の工具分割部分
でも同様である。これらの工具分割部分は、研削装置に
装着される際には、各定盤部分が適宜の共通支持部材に
取り付けられて、予め定められた所定の配置で固定さ
れ、図示されているような円環形状の工具１２とされ
る。

【００３７】図５には、工具１２に対するキャリア２４
Ａ〜２４Ｅの位置関係も示されている。この位置関係は
研削装置において研削加工を終了させる際のものであ
り、各キャリア２４Ａ〜２４Ｅはそれぞれ工具分割部分
１２Ａ〜１２Ｅに対応する位置に配置されている。この
ように、工具分割数は研削装置のキャリアの数と同一に
するのが好ましい。そして、上記の実施形態と同様に、
各ワークに対応する位置に配置されたダイヤモンドペレ
ット１２３Ａ，・・・・・のうちの少なくとも１つ及び
各キャリア２４Ａ〜２４Ｅに対応する位置に配置された
ダイヤモンドペレット１２３Ａ，・・・・・のうちの少
なくとも１つに気体流通路が形成されている（即ち、各
工具分割部分１２Ａ〜１２Ｅの定盤には気体流通路が形
成されている）。

【００３８】本実施形態によれば、上記の実施形態で得
られる効果に加えて、工具１２の寸法が大きい場合（例
えば、外径１０００〜２０００ｍｍφの場合）にも、特
に重量が大きい定盤を分割することで、製造及び搬送の
際の取扱が容易になるという効果が得られる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
研削装置の固定砥粒工具への加工済ワークの付着を防止
し、加工済ワークの落下に伴うワーク損傷を防止するこ
とができる。また、本発明によれば、研削加工後の研削
装置からのワークの取り出しを容易にすることができ、
ワーク取り出しの自動化が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のペレット状研削砥石担持工具を用いた
研削装置の一実施形態を示す模式的断面図である。

【図２】図１の研削装置の部分拡大断面図である。

【図３】図１の研削装置の上側砥石担持工具の部分底面
図である。

【図４】本発明のペレット状研削砥石担持工具を用いた
研削装置の一実施形態を示す模式的断面図である。

【図５】本発明による複数の分割部分からなる砥石担持
工具の実施形態を示す模式図である。

【符号の説明】

１２ 上側砥石担持工具 １２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ 砥石担持
工具の分割部分 １２１ 上側定盤 １２１ａ エアー流通路 １２１ｂ チャンバ １２１ｃ エアー配管 １２１Ａ 定盤の分割部分 １２２ 接着剤層 １２３ ダイヤモンドペレット １２３Ａ ダイヤモンドペレット １２３’ 貫通路 １２４ シール層 １４ 下側砥石担持工具 １４１ 下側定盤 １４２ 接着剤層 １４３ ダイヤモンドペレット １６ 回転テーブル １６１ 内歯ギヤ １８ 固定軸 １８１ 外歯ギヤ ２０ 吊り下げ部材 ２２ ワーク ２４Ａ，２４Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ キャリア ２４１ ワーク収容開口 ２６ 研削液吐出ノズル Ｒ１，Ｒ２ ダイヤモンドペレット Ｘ 中心軸

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１２年２月３日（２０００．２．３）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 勝彦 埼玉県入間市狭山ケ原11−10 三井研削砥 石株式会社内 (72)発明者 有村 琢磨 埼玉県入間市狭山ケ原11−10 三井研削砥 石株式会社内 Ｆターム(参考） 3C058 AA04 AA07 AA09 AA18 AB03 CB02 CB03 CB10 3C063 AA02 AB02 AB05 BA03 BB02 BB10 BG04 BG07 BH02 DD01 FF16 FF18

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のペレット状研削砥石の夫々の第１
   面が定盤の表面に貼付されており、前記ペレット状研削
   砥石の夫々の第２面によりワークの表面を研削するペレ
   ット状研削砥石担持工具であって、 前記定盤には前記ペレット状研削砥石のうちのいくつか
   にそれぞれ到達する気体流通路が形成されており、 該気体流通路が到達している前記ペレット状研削砥石に
   は、前記気体流通路と連通し前記第１面側から前記第２
   面側への気体流通を可能となす気体流通機構が形成され
   ていることを特徴とするペレット状研削砥石担持工具。
2. 【請求項２】 前記ペレット状研削砥石の気体流通機構
   は、前記第１面から前記第２面へと前記ペレット状研削
   砥石を貫通して形成された貫通路であることを特徴とす
   る、請求項１に記載のペレット状研削砥石担持工具。
3. 【請求項３】 前記ペレット状研削砥石の気体流通機構
   は、該ペレット状研削砥石の互いに隣接する気孔どうし
   の連通により形成された気体流通経路であることを特徴
   とする、請求項１に記載のペレット状研削砥石担持工
   具。
4. 【請求項４】 前記ペレット状研削砥石の気孔率は３５
   ％以上であることを特徴とする、請求項３に記載のペレ
   ット状研削砥石担持工具。
5. 【請求項５】 前記気体流通路が到達している前記ペレ
   ット状研削砥石の第１面の外周縁と第２面の外周縁との
   間に存在する外周面には気体通過阻止のためのシール層
   が付されていることを特徴とする、請求項３〜４のいず
   れかに記載のペレット状研削砥石担持工具。
6. 【請求項６】 前記ペレット状研削砥石は固定砥粒とし
   てダイヤモンド砥粒を用いてなるダイヤモンドペレット
   であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記
   載のペレット状研削砥石担持工具。
7. 【請求項７】 前記定盤は複数の部分に分割されてお
   り、各部分に前記気体流通路が形成されていることを特
   徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載のペレット状
   研削砥石担持工具。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載のペレッ
   ト状研削砥石担持工具と、 該ペレット状研削砥石担持工具のペレット状研削砥石の
   第２面を前記ワークの表面に接触させながら該ワークを
   前記ペレット状研削砥石担持工具に対して相対移動させ
   るためのワーク移動機構と、 前記ペレット状研削砥石担持工具の気体流通路へと気体
   を供給するための気体供給源と、を備えていることを特
   徴とする研削装置。
9. 【請求項９】 前記ワーク移動機構は、前記ペレット状
   研削砥石担持工具に対して相対的に回転せしめられ且つ
   前記ワークを前記定盤の表面と平行な方向に関して拘束
   するキャリアを含んでいることを特徴とする、請求項８
   に記載の研削装置。
10. 【請求項１０】 予め定められた前記ペレット状研削砥
    石担持工具に対する前記キャリアの停止位置に対応する
    位置にある前記ペレット状研削砥石に前記気体流通機構
    が形成されていることを特徴とする、請求項９に記載の
    研削装置。
11. 【請求項１１】 予め定められた前記ペレット状研削砥
    石担持工具に対する前記ワークの停止位置に対応する位
    置にある前記ペレット状研削砥石に前記気体流通機構が
    形成されていることを特徴とする、請求項８〜１０のい
    ずれかに記載の研削装置。
12. 【請求項１２】 前記ペレット状研削砥石担持工具によ
    り前記ワークの一方の面を研削し、且つ、複数のペレッ
    ト状研削砥石の夫々の第１面が定盤の表面に貼付されて
    いる追加のペレット状研削砥石担持工具の第２面により
    前記ワークの他方の面を研削し、前記ワークの両面を同
    時に研削するようにしてなることを特徴とする、請求項
    ８〜１１のいずれかに記載の研削装置。
13. 【請求項１３】 前記ペレット状研削砥石担持工具によ
    り前記ワークの上面を研削し、且つ、前記追加のペレッ
    ト状研削砥石担持工具により前記ワークの下面を研削す
    るようにしてなることを特徴とする、請求項１２に記載
    の研削装置。