JP3086591U - 両面用、片面用研磨盤に使用される金属、樹脂の複合キャリヤに於ける研磨物収納穴の改良製品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】薄物の研磨物を研磨する研磨盤に使用される研
磨治具の改良製品である。従来の金属キャリヤ、樹脂キ
ャリヤ、複合キャリヤの問題点である強度及びワークの
キズ、欠け、割れ等を防護し不良発生を解決するキャリ
ヤである。 【解決手段】本考案の研磨用キャリヤは金属キャリヤの
総厚みに対して段差を設け金属キャリヤ部分の厚みとリ
ング状に出来た段差の平面部を利用して樹脂を強固に加
熱加圧させて樹脂保持具を作る。尚且つ段差の平面部に
は小径の穴を必要数明け同樹脂が入り込み金属部と樹脂
部のハガレ、又空回り防止の効果を成し従来の研磨作業
の始動時、研磨中の樹脂保持具のハズレ、ワークの逸脱
等トラブルの解決を目的とした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

【０００２】 半導体ウェハー、ガラス、アルミディスク、水晶、液晶用 ガラス、アルミナ等特に薄物の研磨加工用に供する両面及び片面キャリヤの改良 製品の考案である。

【従来の技術】

【０００３】 金属キャリヤに直接ワーク穴を加工、研磨加工を行い、ラ ップ、ポリッシングをしている。金属部とワークが直接接触してしまう為、どう しても金属汚染、スクラッチ、チッピング、クラックの発生原因となっている。

【０００４】 エポキシガラス積層板を主とする各樹脂キャリヤの歯部、 ワーク穴の強度がない。又母材が磨耗して基材のガラスの粉が製品のキズ等の不 良要因となっている。

【０００５】 金属と樹脂の組合せとしては歯車母材を金属で作りワーク 穴の周囲を樹脂コーティングし更にキャリヤ全体をエポキシガラスクロスが挟み 込む方法がとられている。薄板の厚みの両サイドをガラスクロスの厚みにとられ てしまう為強度に必要な金属の厚みが制限され使用に限界がある。

【０００６】 歯車母材に金属を使用しワーク収納穴の周囲を樹脂で圧着 している方法があるが薄い金属の厚み部分のみの融着で簡単にはづれ易い、又凹 凸状にカン合させる方法もとられているが研磨加工中にハガレ、ワークの逸脱の 危険性があり完全ではない。この発明はこの欠点に着目し解決を求めた物である 。

【０００７】 金属を母材としワーク穴の外周部にリング状の樹脂をイン ナーキャリヤとして使用されている。これはキャリヤの回転中に更にワーク穴の 中でこのダブルキャリヤが連れ回り経過後磨耗して使用に耐えない。研磨中キャ リヤからはづれた時等修復に大変な損害を被る。

【考案が解決しようとする課題】

【０００８】 半導体ウェハー、ガラス、アルミディスク、水晶、液晶ガ ラス等技術革新が急速化する中でより薄物の需要が要求され、ワーク研磨が必要 とされそれに伴いキャリヤ保持具の薄型化が必須になっている。現状ではキャリ ヤ材の各材質の強度差があり極薄の分野で金属キャリヤと樹脂保持具の接着性の 強度が解決に至っていない。この考案は現状の構造上の不備を解決し研磨工程で の樹脂保持具のハズレ、ワークの逸脱等あらゆるクレームを除去し得る両面、片 面研磨用キャリヤの考案である。

【課題を解決する為の手段】

【０００９】 以上

【０００３】から

【０００７】で記述した現状での問 題点を解決達成する為に請求項１及び２に記載する金属キャリヤの厚み強度を１ ００％利用し半導体ウェハーを始めワーク研磨物の表面又は端面のキズ、欠け、 割れを防護する為にワーク穴の樹脂材（エポキシガラス、同不織布、テトロン布 、ウレタン、ナイロン、ポリカーボネート）を充填させ熱プレス機にて加熱、加 圧を行い金属部と樹脂部との強固な圧着を施す。そして各々のワーク寸法にて切 り抜き加工する。従来の問題点を解決し、良品率を高めキャリヤのライフサイク ルを伸ばし原価低減を目的とする。

【考案の実施の形態】 図３はキャリヤの実施使用形態を図示した物をであ る。

【００１０】 この図面は、研磨盤の上面図である。太陽ギヤの駆動と内 歯ギヤ（インターナルギヤ）の駆動で内側の４枚のキャリヤが矢印方向に回転す る。キャリヤ内の穴は各々研磨するワークの入る穴である。

【実施例】

【００１１】 研磨機構については上定盤（砥石）、下定盤（砥石）から 成り上定盤が下がり研磨剤の注入をしながらワークに面圧をかけて平面研磨（ラ ップ、ポリッシュ）にて目的の厚み平行度に仕上げる。その時にワークはかなり の面圧を受ける。この面圧を如何に多くかけるか如何で研磨量が決まり作業時間 に影響する。従ってキャリヤは強靭でひねり強度の強い材質が要求される。キャ リヤのワークはその作業中に発生する強度に耐えられずキズ、欠け、割れが発生 する。従来この部分の対策がいろいろ講じられているがワークの飛び出し、樹脂 保持具のハズレ、クラック等大変なトラブルの原因となっている。この考案のキ ャリヤはそれらを構造的に改良した物である。

【考案の効果】

【００１２】 従来市場に出ているこの種のキャリヤはワークの高品質高 精度を満足させる為に益々薄物化を要求されている。現状金属キャリヤの厚み部 分の圧着だけでは始動時に起きる面圧の歪み強度に耐えられず樹脂インナー部が はづれる原因になっている。当改良キャリヤは金属キャリヤワーク穴の平面部と 小径の抜け防止、回り止め効果でそれらのトラブルを解決出来る。

【００１３】 ワークは樹脂枠で保護されている為金属部と直接接触して いない。その為ワークのキズ、欠け、割れ等の原因を防護している。

【００１４】 薄物がより要求されているキャリヤの中で残念ながら母材 としては金属に頼らざるを得ない。その限られた金属の厚みと樹脂の結合には接 着強度的に様々な不安がある。この考案はその問題点を解決出来るキャリヤ対策 である。

【図面の簡単な説明】

【図１】金属キャリヤのワーク収納穴に樹脂保持具が平
面の段差と小径の穴を利用して強固に圧着された平面図
である。

【図２】図１のワーク穴Ａ−Ａ１の断面図で金属キャリ
ヤの厚みと小径の穴を利用してハガレ、回り止めを防止
する樹脂枠の圧着構成を見た図である。

【図３】研磨盤にキャリヤを装填した図である。

【符号の説明】

Ｓ 金属キャリヤ Ｚ 歯部 Ｗ 研磨物収納穴 １ａ 金属キャリヤ段差部 Ｂ 段差部の平面部 １ｂ 金属キャリヤ厚面 １ｃ 金属キャリヤ小径部 Ｐ 樹脂コート保持部 Ｈ 樹脂コート部の収納穴外径 Ｈ１ 樹脂コート部の収納穴内径 Ｈ２ ワーク収納穴寸法 Ｔ 金属キャリヤの全厚み Ｔ１ 段差部の外側の厚み Ｔ２ 段差部の内側の厚み

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１４年１月２３日（２００２．１．２
３）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】実用新案登録請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【実用新案登録請求の範囲】

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属キャリヤの研磨物収納穴の周囲の板
   厚に段差を作る。従来の板厚部分のみ又凹凸のカギ合せ
   だけの接着ではなく板の厚み部分及び平面部分での接着
   で接着強度を増し樹脂保持具を加熱加圧させ、より強固
   な関係にした。
2. 【請求項２】 ワーク収納穴周囲に作ったリング状の段
   差の平面部に小径の穴を適当な数だけ明け同種の樹脂を
   充填させハガレ空回り防止対策をした。充填させた樹脂
   部を機械加工により、円形・角形・異形と必要な穴加工
   が得られる。