JP5212041B2 - 両面研磨装置用キャリア及びこれを用いた両面研磨装置並びに両面研磨方法 - Google Patents
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Description
しかし、この方法では外周ダレを修正する第2次両面研磨工程を行うことで工程が増えるという欠点があり、より簡便に外周ダレを低減する両面研磨方法が求められていた。
また、研磨前のウェーハの外周部にサポートリングを装着することによってサポートリング付ウェーハを形成し、該サポートリング付ウェーハの状態で研磨することで外周ダレを低減するウェーハの製造方法が開示されている(特許文献2参照)。
以上より、本発明の両面研磨装置用キャリアを用いることで、外周ダレとテーパの発生を防止しながら両面研磨を行うことができるため、効率良くウェーハの平坦度を向上させることができる。
このような凹溝のテーパ面の角度であれば、テーパ面とウェーハの面取り部とがより確実に断面点接触で接するようにウェーハを保持することができる。
このような凹溝のテーパ面の角度であれば、ウェーハの面取り部とキャリアの保持孔内周との隙間を十分に小さくすることができるため、外周ダレの発生をより効果的に抑制することができる。また、研磨時のウェーハの保持力を高めることもできる。
このような深さの凹溝であれば、凹溝の部分を十分な強度にすることができ、キャリアのライフを延ばすことができる。
このような材質であれば、一体成形により本発明のキャリアを容易に作製することができ、研磨時にウェーハのキャリアとの接触部分が破損することも効果的に防止することができる上に、ウェーハにキズや汚染を生じさせることもない。
このように、本発明のキャリアを具備した両面研磨装置であれば、研磨時の外周ダレと研磨面のテーパの発生を防止して平坦度高く、効率的にウェーハを両面研磨することができる。
このように、本発明のキャリアを用いた両面研磨方法であれば、簡易な方法により外周ダレとテーパの発生を防止しながら両面研磨を行うことができるため、効率良くウェーハの平坦度を向上させることができる。
従来のウェーハの両面研磨において、研磨中に研磨布の粘弾性特性に伴うクリープ変形が発生し、ウェーハの周縁部に面取りが施されている場合には、キャリアのウェーハ保持孔の内周部とウェーハの面取り部との隙間にクリープ変形した研磨布が入り込むことによってウェーハの外周にダレが生じてしまう場合があり、ウェーハの平坦度を悪化させる原因となっていた。
このような本発明の両面研磨装置用キャリア1を用いて両面研磨する際に、図4、5に示すように凹溝8に形成された上下のテーパ面9とウェーハWの面取り部12とが断面点接触で接してウェーハWが保持される。
このような凹溝のテーパ面の角度であれば、テーパ面とウェーハの面取り部とがより確実に断面点接触で接するようにウェーハを保持することができる。しかも、βが鋭角になり過ぎることがないので、強度が確保され、カケ等が発生する恐れも少ない。
例えば、ウェーハの面取り角が18°の場合、キャリアの上下主面に対する凹溝のウェーハが接触するテーパ面の角度βが、18°<β≦25°を満たせば、ウェーハの面取り部と保持孔の内周との隙間hを十分小さくすることができ、クリープ変形した研磨布がその隙間に入り込むのをより効果的に抑制することができる。また、ウェーハの保持力を高めることもできる。
このような深さの凹溝であれば、十分な強度のキャリアとすることができ、キャリアのライフが延びる。従って、上下のテーパ面の角度によっては、例えば図5に示すような台形状の凹溝が、その深さを調節するのに好適な場合もある。
本発明のキャリアは一体成形物であるため、上記のような材質を用いることで、保持孔や凹溝を比較的容易に形成することができ、また、金属よりも軟質な材質であるため、研磨時にウェーハの接触する部分が破損することも防止できるとともに、ウェーハを金属汚染させることもない。
そして、上下定盤6、7に貼付された研磨布5でウェーハWの上下研磨面を挟み込み、研磨面に研磨剤を供給しながら研磨を行う。
図3、図4に示すような両面研磨装置用キャリア、及びその両面研磨装置用キャリアを具備した図1のような両面研磨装置を用いて、直径300mmのシリコンウェーハ250枚を両面研磨し、研磨後のウェーハの平坦度(SFQR(max))を平坦度測定器(WaferSight M49モード/Cell Size:26×8mm/Offset:0×0mm/Edge Exclusion:2mm)で測定した。
その結果を図6に示す。図6に示すように、後述する比較例の結果と比べ、SFQR(max)が改善されていることが分かる。そして、SFQR(max)の平均値は27.08nmであり、比較例の33.39nmと比べて改善されており、その改善率は18.90%であった。
図7に示すような従来の凹溝のない一体成形の両面研磨装置用キャリアを具備した両面研磨装置を用いた以外、実施例と同様な条件で250枚のウェーハを研磨し、実施例と同様な方法で平坦度を測定した。
その結果を図6に示す。このときのSFQR(max)の平均値は33.39nmであった。このように、実施例の結果と比べると平坦度が悪化していることが分かった。
4…保持孔、 5…研磨布、 6…上定盤、 7…下定盤、
8…凹溝、 9…テーパ面、 10…キャリアの上主面、
11…キャリアの下主面、 12…面取り部、 13…サンギア、
14…インターナルギア、 W…ウェーハ。
Claims (7)
- 周縁に面取り部を有するウェーハの両面を研磨する両面研磨装置における両面研磨装置用キャリアであって、少なくとも、研磨布が貼付された上下定盤の間に配設され、研磨の際に前記上下定盤の間に挟まれる前記ウェーハを保持するための保持孔が形成された一体成形物であり、前記保持孔の内周に凹状の溝を有し、該凹溝に形成された上下のテーパ面と前記ウェーハの面取り部とが断面点接触で接して前記ウェーハが保持されるものであることを特徴とする両面研磨装置用キャリア。
- 前記キャリアの上下主面に対する前記凹溝のウェーハが接触するテーパ面の角度をβとし、前記ウェーハの面取り角をθとしたとき、θ<β<90°を満たすことによって前記凹溝の上下のテーパ面と前記ウェーハの面取り部とが断面点接触で接するものであることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置用キャリア。
- 前記キャリアの上下主面に対する前記凹溝のウェーハが接触するテーパ面の角度βが、θ<β≦θ+7°を満たすものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の両面研磨装置用キャリア。
- 前記凹溝の前記保持孔最内周からの深さLが、L<1500μmを満たすものであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の両面研磨装置用キャリア。
- 前記キャリアの材質が、ガラスエポキシ樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の両面研磨装置用キャリア。
- 少なくとも、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の両面研磨装置用キャリアを具備したものであることを特徴とする両面研磨装置。
- ウェーハを両面研磨する方法であって、研磨布が貼付された上下定盤の間に請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の両面研磨装置用キャリアを配設し、該キャリアの保持孔内周の凹溝の上下のテーパ面と前記ウェーハの面取り部とを断面点接触させて保持し、前記上下定盤の間に前記ウェーハを挟み込んで両面研磨することを特徴とするウェーハの両面研磨方法。
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