JP3482130B2 - 脆性薄板の平面研磨における保持装置 - Google Patents
脆性薄板の平面研磨における保持装置Info
- Publication number
- JP3482130B2 JP3482130B2 JP21174398A JP21174398A JP3482130B2 JP 3482130 B2 JP3482130 B2 JP 3482130B2 JP 21174398 A JP21174398 A JP 21174398A JP 21174398 A JP21174398 A JP 21174398A JP 3482130 B2 JP3482130 B2 JP 3482130B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wedge
- shaped
- protrusion
- shaped concave
- edges
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶基板
や半導体基板のような比較的脆性の薄板をワークとし、
それらのワークの上下両面を平坦に研磨する際に、良好
な保持を可能にする脆性薄板の平面研磨における保持装
置に関する。
や半導体基板のような比較的脆性の薄板をワークとし、
それらのワークの上下両面を平坦に研磨する際に、良好
な保持を可能にする脆性薄板の平面研磨における保持装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】脆性薄板の平面研磨は、従来から、図５
でその概略を示すように、上下方向に並設した上定盤１
及び下定盤２と、その下定盤２の中心部を下から上へ貫
通する駆動軸３と、その駆動軸と一体であり、かつ、前
記上下定盤の間に設けたサンギヤ４と、そのサンギヤと
同芯であり、かつ、下定盤２の上面周縁に設けたインタ
ーナルギヤ５とを備えた平面ラップ盤において、サンギ
ヤ４とインターナルギヤ５の双方に噛合する遊星ギヤ６
を周面に刻設した複数のキャリヤ板７を配置し、それら
のキャリヤ板７の内側にそれぞれ開口部８を設け、その
開口部８に、研磨されるべきワーク９を収容し、双方の
定盤間に所定の研磨液を供給しつつ、前記駆動軸３を回
転させると、それと一体のサンギヤ４が公転し、そのサ
ンギヤ４とインターナルギヤ５に噛合する遊星ギヤ６を
有するキャリヤ板７が自転しつつ公転する遊星運動を
し、従って、キャリヤ板７の開口部８に収容されたワー
ク９には、回転（自転）と旋回（公転）との複合運動が
強制され、そのような運動を負荷されているうちに、ワ
ーク９の表裏両面が、上下から圧接された上定盤１と下
定盤２の対向面によって研磨されていく。
でその概略を示すように、上下方向に並設した上定盤１
及び下定盤２と、その下定盤２の中心部を下から上へ貫
通する駆動軸３と、その駆動軸と一体であり、かつ、前
記上下定盤の間に設けたサンギヤ４と、そのサンギヤと
同芯であり、かつ、下定盤２の上面周縁に設けたインタ
ーナルギヤ５とを備えた平面ラップ盤において、サンギ
ヤ４とインターナルギヤ５の双方に噛合する遊星ギヤ６
を周面に刻設した複数のキャリヤ板７を配置し、それら
のキャリヤ板７の内側にそれぞれ開口部８を設け、その
開口部８に、研磨されるべきワーク９を収容し、双方の
定盤間に所定の研磨液を供給しつつ、前記駆動軸３を回
転させると、それと一体のサンギヤ４が公転し、そのサ
ンギヤ４とインターナルギヤ５に噛合する遊星ギヤ６を
有するキャリヤ板７が自転しつつ公転する遊星運動を
し、従って、キャリヤ板７の開口部８に収容されたワー
ク９には、回転（自転）と旋回（公転）との複合運動が
強制され、そのような運動を負荷されているうちに、ワ
ーク９の表裏両面が、上下から圧接された上定盤１と下
定盤２の対向面によって研磨されていく。
【０００３】初期の表面研磨工程では、ワーク９の板厚
が比較的に厚いから、前記遊星運動を充分に活用し得る
ように、キャリヤ板７は単板式（図５参照）が使用され
る。
が比較的に厚いから、前記遊星運動を充分に活用し得る
ように、キャリヤ板７は単板式（図５参照）が使用され
る。
【０００４】仕上げ時における表面研磨工程では、ワー
ク９の板厚が研磨により薄くなっているため、研磨時に
付加される定盤からの圧力を弱く柔らかくするべく定盤
面に鹿皮等を使用する一方、互いに同芯円で接する内外
複数のキャリヤ板を組み合わせた複板式を使用し（図示
省略）、ワーク９への遊星運動のうち回転（自転）の速
度が減速され、主としてサンギヤ４からの公転旋回運動
によって表面研磨の仕上げが行われる。
ク９の板厚が研磨により薄くなっているため、研磨時に
付加される定盤からの圧力を弱く柔らかくするべく定盤
面に鹿皮等を使用する一方、互いに同芯円で接する内外
複数のキャリヤ板を組み合わせた複板式を使用し（図示
省略）、ワーク９への遊星運動のうち回転（自転）の速
度が減速され、主としてサンギヤ４からの公転旋回運動
によって表面研磨の仕上げが行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、キャリヤ板
７は研磨に強い硬質材料、例えば、ステンレス鋼で形成
されている反面、その中に収容されるワーク９は耐衝撃
性の低い脆性な材質、例えば、液晶表示用ガラス基板や
シリコンウエハー等で形成されている。
７は研磨に強い硬質材料、例えば、ステンレス鋼で形成
されている反面、その中に収容されるワーク９は耐衝撃
性の低い脆性な材質、例えば、液晶表示用ガラス基板や
シリコンウエハー等で形成されている。
【０００６】それ故、強靱なキャリヤ板７の内側開口部
８に、直接、脆性なワーク９を収容して、それに高速遊
星運動を伝えたとすれば、ワーク９の端面が開口部８に
衝突してクラックや破損を生じ、破片がワーク面や定盤
の研磨面を傷つけてしまうので、修理・交換に追われる
ことになる。従って、そのように脆性なワーク９にクラ
ックや破損を生じることなく、円滑に高速遊星運動を伝
達して研磨の成果を上げるには、キャリア板７の内側開
口部８とワーク９の周面との間に何らかの衝撃緩和材を
介装させることを要する。
８に、直接、脆性なワーク９を収容して、それに高速遊
星運動を伝えたとすれば、ワーク９の端面が開口部８に
衝突してクラックや破損を生じ、破片がワーク面や定盤
の研磨面を傷つけてしまうので、修理・交換に追われる
ことになる。従って、そのように脆性なワーク９にクラ
ックや破損を生じることなく、円滑に高速遊星運動を伝
達して研磨の成果を上げるには、キャリア板７の内側開
口部８とワーク９の周面との間に何らかの衝撃緩和材を
介装させることを要する。
【０００７】この点を解決するために、キャリア板７の
内側開口部８の内縁に沿ってゴム等からなる弾性枠を接
着剤で貼着する方法が容易に考えられる。しかしなが
ら、この弾性枠貼着方式は、研磨時における摩耗が激し
くて長期に亘る使用が不可能で煩雑な交換を要するが、
着脱交換作業に手間と時間がかかる。
内側開口部８の内縁に沿ってゴム等からなる弾性枠を接
着剤で貼着する方法が容易に考えられる。しかしなが
ら、この弾性枠貼着方式は、研磨時における摩耗が激し
くて長期に亘る使用が不可能で煩雑な交換を要するが、
着脱交換作業に手間と時間がかかる。
【０００８】特開平９−１５５７２９号は、軟質の緩衝
材をキャリヤ板よりも薄肉に形成し、または、その軟質
緩衝材をキャリヤ板の表裏両面よりも内側に保持する保
持機構を設けて、研磨時における摩耗を回避して長期の
使用に耐えられるように提案する。しかしながら、研磨
の対象となるワーク自体の初期板厚が既に１mm以下であ
り、キャリヤ板の板厚はそれより更に薄く形成されてい
る状況下において、それらよりも更に薄肉に軟質緩衝材
を設けること自体、機能的に難点があり、しかも、その
位置を保持しつつ、高速遊星運動を的確にワークへ伝達
させることに対する信頼性を確保し得ない。
材をキャリヤ板よりも薄肉に形成し、または、その軟質
緩衝材をキャリヤ板の表裏両面よりも内側に保持する保
持機構を設けて、研磨時における摩耗を回避して長期の
使用に耐えられるように提案する。しかしながら、研磨
の対象となるワーク自体の初期板厚が既に１mm以下であ
り、キャリヤ板の板厚はそれより更に薄く形成されてい
る状況下において、それらよりも更に薄肉に軟質緩衝材
を設けること自体、機能的に難点があり、しかも、その
位置を保持しつつ、高速遊星運動を的確にワークへ伝達
させることに対する信頼性を確保し得ない。
【０００９】この発明の目的は、脆性薄板の平面研磨に
おいて、キャリヤ板の内側開口部内にワークを収容する
に当って、双方の間に次の機能を備えた緩衝材、すなわ
ち、着脱交換の操作が比較的容易でありながら、装着時
におけるキャリヤ板開口部への密着性が物理的に強大で
あって、自転と公転の複合動作をキャリヤ板からワーク
へ確実に伝達することができ、しかも、それ自体がキャ
リヤ板から離脱するおそれのない係合手段を備えた緩衝
材を提供することである。
おいて、キャリヤ板の内側開口部内にワークを収容する
に当って、双方の間に次の機能を備えた緩衝材、すなわ
ち、着脱交換の操作が比較的容易でありながら、装着時
におけるキャリヤ板開口部への密着性が物理的に強大で
あって、自転と公転の複合動作をキャリヤ板からワーク
へ確実に伝達することができ、しかも、それ自体がキャ
リヤ板から離脱するおそれのない係合手段を備えた緩衝
材を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達するために、緩衝材の材質を帯摩耗性に富むエポキ
シガラス積層版又はエポキシアラミドガラス積層版と
し、この材質を有する緩衝帯をステンレス鋼からなるキ
ャリヤ板の内側開口部に沿って取り付ける。
を達するために、緩衝材の材質を帯摩耗性に富むエポキ
シガラス積層版又はエポキシアラミドガラス積層版と
し、この材質を有する緩衝帯をステンレス鋼からなるキ
ャリヤ板の内側開口部に沿って取り付ける。
【００１１】この発明による脆性薄板の平面研磨におけ
る保持装置は、一対の定盤の間における中心部に駆動用
のサンギヤを、その周辺部にそのサンギヤと同芯のイン
ターナルギヤを対設し、それら双方のギヤに噛合する遊
星ギヤを周面に備えたキャリヤ板を介装し、そのキャリ
ヤ板の内側開口部にワークを収容して、そのワークの表
裏両面を遊星ギヤ運動によって研磨する平面ラップ盤に
おいて、基端部の幅よりも先端部の幅が広いクサビ形突
部とクサビ形凹部を交互に配した第１のクサビ形凹突を
前記キャリヤ板の内側開口部に沿って設ける一方、前記
第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部の両側縁間長
さよりも僅かに幅広の両側縁間長さを有するクサビ形突
部と、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形突部の
両側縁間長さよりも僅かに幅狭の両側縁間長さを有する
クサビ形凹部を交互に配した第２のクサビ形凹突を緩衝
帯の外側縁に沿って設け、前記第２のクサビ形凹突にお
けるクサビ形突部の両側縁部を、順次対向方向に圧縮さ
せた状態で、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形
凹部に順次圧入して、前記第２のクサビ形凹突を前記第
１のクサビ形凹突と係合させ、前記緩衝帯の内側に前記
ワークを収容する、ことを特徴とするものである。
る保持装置は、一対の定盤の間における中心部に駆動用
のサンギヤを、その周辺部にそのサンギヤと同芯のイン
ターナルギヤを対設し、それら双方のギヤに噛合する遊
星ギヤを周面に備えたキャリヤ板を介装し、そのキャリ
ヤ板の内側開口部にワークを収容して、そのワークの表
裏両面を遊星ギヤ運動によって研磨する平面ラップ盤に
おいて、基端部の幅よりも先端部の幅が広いクサビ形突
部とクサビ形凹部を交互に配した第１のクサビ形凹突を
前記キャリヤ板の内側開口部に沿って設ける一方、前記
第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部の両側縁間長
さよりも僅かに幅広の両側縁間長さを有するクサビ形突
部と、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形突部の
両側縁間長さよりも僅かに幅狭の両側縁間長さを有する
クサビ形凹部を交互に配した第２のクサビ形凹突を緩衝
帯の外側縁に沿って設け、前記第２のクサビ形凹突にお
けるクサビ形突部の両側縁部を、順次対向方向に圧縮さ
せた状態で、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形
凹部に順次圧入して、前記第２のクサビ形凹突を前記第
１のクサビ形凹突と係合させ、前記緩衝帯の内側に前記
ワークを収容する、ことを特徴とするものである。
【００１２】前記第２のクサビ形凹突を前記第１のクサ
ビ形凹突と係合させた後、対向方向への圧縮が解除され
ると、緩衝帯側におけるクサビ形突部の両側縁部には、
互いに反対方向に反発復帰しようとする反力が陽動化
し、しかも、その反力が生じる両側縁部の部位がクサビ
形の基端部から先端部に向けて徐々に幅広となる斜面を
形成しているために、前記両側縁部に生じた反力の総和
が結集されて、緩衝帯側のクサビ形突起の先端面をキャ
リヤ板側のクサビ形凹部の底面に押し付ける押圧力に変
化し、そして、その押圧力は緩衝帯側に設けた各クサビ
形突部の先端面のすべてに生じる。従って、それらの押
圧力の総和が緩衝帯をキャリヤ板の内側開口部に強力に
密着させ、その密着力が、強大な摩擦力から生じる水平
方向の離反を阻止する。
ビ形凹突と係合させた後、対向方向への圧縮が解除され
ると、緩衝帯側におけるクサビ形突部の両側縁部には、
互いに反対方向に反発復帰しようとする反力が陽動化
し、しかも、その反力が生じる両側縁部の部位がクサビ
形の基端部から先端部に向けて徐々に幅広となる斜面を
形成しているために、前記両側縁部に生じた反力の総和
が結集されて、緩衝帯側のクサビ形突起の先端面をキャ
リヤ板側のクサビ形凹部の底面に押し付ける押圧力に変
化し、そして、その押圧力は緩衝帯側に設けた各クサビ
形突部の先端面のすべてに生じる。従って、それらの押
圧力の総和が緩衝帯をキャリヤ板の内側開口部に強力に
密着させ、その密着力が、強大な摩擦力から生じる水平
方向の離反を阻止する。
【００１３】 更に、この発明による脆性薄板の平面研
磨における保持装置は、前記第１のクサビ形凹突におけ
るクサビ形凹部の両側上端縁及び下端縁に沿って拡開斜
面部を設ける。
磨における保持装置は、前記第１のクサビ形凹突におけ
るクサビ形凹部の両側上端縁及び下端縁に沿って拡開斜
面部を設ける。
【００１４】前述した緩衝帯側のクサビ形突部の両側縁
部が対向方向に圧縮された状態でキャリヤ板側のクサビ
形凹部に圧入された後、その押圧力が解除されると、当
該両側端部が、互いに反対方向に反発復帰しようとする
反力によって、キャリヤ板側のクサビ形凹部の両側縁面
に密着することは前々項記載と同じであるが、それと同
時に、キャリヤ板側のクサビ形凹部の両側上端縁及びま
たは下端縁に沿った拡開斜面部に、前記緩衝帯側のクサ
ビ形突部の両側における上端縁及びまたは下端縁が変形
してそれらを埋め込み、その変形部がキャリヤ板の内側
開口部に対する緩衝帯の上下方向の係合離脱を阻止す
る。
部が対向方向に圧縮された状態でキャリヤ板側のクサビ
形凹部に圧入された後、その押圧力が解除されると、当
該両側端部が、互いに反対方向に反発復帰しようとする
反力によって、キャリヤ板側のクサビ形凹部の両側縁面
に密着することは前々項記載と同じであるが、それと同
時に、キャリヤ板側のクサビ形凹部の両側上端縁及びま
たは下端縁に沿った拡開斜面部に、前記緩衝帯側のクサ
ビ形突部の両側における上端縁及びまたは下端縁が変形
してそれらを埋め込み、その変形部がキャリヤ板の内側
開口部に対する緩衝帯の上下方向の係合離脱を阻止す
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態について、
以下、図によって詳述する。この発明は、従来周知の平
面ラップ盤におけるキャリヤ板７の内側開口部８とワー
ク９との間に緩衝帯１０を介装してワーク９を保持する
装置に関し、平面ラップ盤の要部の概略構成は（０００
２）項で説明した。
以下、図によって詳述する。この発明は、従来周知の平
面ラップ盤におけるキャリヤ板７の内側開口部８とワー
ク９との間に緩衝帯１０を介装してワーク９を保持する
装置に関し、平面ラップ盤の要部の概略構成は（０００
２）項で説明した。
【００１６】ワークを保持するための緩衝帯１０の第１
実施例を図１〜２、６〜９で示し、第２実施例を図３及
び１０で示す。
実施例を図１〜２、６〜９で示し、第２実施例を図３及
び１０で示す。
【００１７】第１及び第２の実施例において、キャリヤ
板７の内側開口部８に沿って設けたクサビ形凹突を第１
のクサビ形凹突と称し、緩衝帯１０の外側縁に沿って設
けたクサビ形凹突を第２のクサビ形凹突と称して以下に
説明する。
板７の内側開口部８に沿って設けたクサビ形凹突を第１
のクサビ形凹突と称し、緩衝帯１０の外側縁に沿って設
けたクサビ形凹突を第２のクサビ形凹突と称して以下に
説明する。
【００１８】第１のクサビ形凹突は、図６及び７で示す
ように、基端部の幅よりも先端部の幅の方が広いクサビ
形突部７１とクサビ形凹部７２とをキャリヤ板７の内側
開口部８に沿って交互に配設したものからなる。
ように、基端部の幅よりも先端部の幅の方が広いクサビ
形突部７１とクサビ形凹部７２とをキャリヤ板７の内側
開口部８に沿って交互に配設したものからなる。
【００１９】第２のクサビ形凹突は、図６及び７で示す
ように、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部
７２の両側縁間長さＬよりも僅かに幅広の両側縁間長さ
Ｌ1を有するクサビ形突部１０１と、前記第１のクサビ
形凹突におけるクサビ形突部７１の両側縁間長さＭより
も僅かに幅狭の両側縁間長さＭ1 を有するクサビ形凹部
１０２とを、緩衝帯１０の外側縁に沿って交互に配設し
たものからなる。
ように、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部
７２の両側縁間長さＬよりも僅かに幅広の両側縁間長さ
Ｌ1を有するクサビ形突部１０１と、前記第１のクサビ
形凹突におけるクサビ形突部７１の両側縁間長さＭより
も僅かに幅狭の両側縁間長さＭ1 を有するクサビ形凹部
１０２とを、緩衝帯１０の外側縁に沿って交互に配設し
たものからなる。
【００２０】かかる構成において、図７で示すように、
第２のクサビ形凹突におけるクサビ形突部１０１の両側
縁間長さＬ1 に対して、矢印で示すように、対向方向か
ら、圧力を加えて、その長さＬ1 を、第１のクサビ形凹
凸におけるクサビ形凹部７２の両側縁間長さＬまで圧縮
させた状態で、当該クサビ形突部１０１をクサビ形凹部
７２に圧入する（図８参照）。この圧入係合作業を、順
次隣接するクサビ形突部１０１とクサビ形凹部７２の間
で繰り返すうちに、緩衝帯１０のクサビ形突部１０１の
全部が、それぞれキャリヤ板７のクサビ形凹部７２に係
合して、図１で示すように、キャリヤ板７の内側開口部
全体に緩衝帯１０の外側縁が取り付けられる。
第２のクサビ形凹突におけるクサビ形突部１０１の両側
縁間長さＬ1 に対して、矢印で示すように、対向方向か
ら、圧力を加えて、その長さＬ1 を、第１のクサビ形凹
凸におけるクサビ形凹部７２の両側縁間長さＬまで圧縮
させた状態で、当該クサビ形突部１０１をクサビ形凹部
７２に圧入する（図８参照）。この圧入係合作業を、順
次隣接するクサビ形突部１０１とクサビ形凹部７２の間
で繰り返すうちに、緩衝帯１０のクサビ形突部１０１の
全部が、それぞれキャリヤ板７のクサビ形凹部７２に係
合して、図１で示すように、キャリヤ板７の内側開口部
全体に緩衝帯１０の外側縁が取り付けられる。
【００２１】このようにして第２のクサビ形凹突を第１
のクサビ形凹突と係合させた後、対向方向への圧縮を解
除すると、図８及び９で示すように、緩衝帯１０側にお
けるクサビ形突部１０１の両側縁部には、矢印で示すよ
うに、互いに反対方向に反発復帰しようとする反力が陽
動化し、しかも、その反力が生じる両側縁部の部位がク
サビ形の基端部から先端部に向けて徐々に幅広となる斜
面を形成しているために、前記両側縁部に生じた反力の
総和が結集されて、緩衝帯１０側のクサビ形突起１０１
の先端面をキャリヤ板７側のクサビ形凹部７２の底面に
押し付ける押圧力（矢印参照）に変化し、そして、その
押圧力は緩衝帯１０側に設けた各クサビ形突部１０１の
先端面のすべてに生じる。従って、それらの押圧力の総
和が緩衝帯１０をキャリヤ板７の内側開口部８に強力に
密着させ、その密着力が、強大な摩擦力から生じる水平
方向の離反を阻止する。
のクサビ形凹突と係合させた後、対向方向への圧縮を解
除すると、図８及び９で示すように、緩衝帯１０側にお
けるクサビ形突部１０１の両側縁部には、矢印で示すよ
うに、互いに反対方向に反発復帰しようとする反力が陽
動化し、しかも、その反力が生じる両側縁部の部位がク
サビ形の基端部から先端部に向けて徐々に幅広となる斜
面を形成しているために、前記両側縁部に生じた反力の
総和が結集されて、緩衝帯１０側のクサビ形突起１０１
の先端面をキャリヤ板７側のクサビ形凹部７２の底面に
押し付ける押圧力（矢印参照）に変化し、そして、その
押圧力は緩衝帯１０側に設けた各クサビ形突部１０１の
先端面のすべてに生じる。従って、それらの押圧力の総
和が緩衝帯１０をキャリヤ板７の内側開口部８に強力に
密着させ、その密着力が、強大な摩擦力から生じる水平
方向の離反を阻止する。
【００２２】更に、この発明による脆性薄板の平面研磨
における保持装置は、図７及び図８で示すように、第１
のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部７２の両側上端縁
及びまたは下端縁に沿って拡開斜面部７３を設けること
が望ましい。何故ならば、拡開斜面部７３に、前記緩衝
帯１０側のクサビ形突起１０１の両側における上端縁及
びまたは下端縁が変形してそれらを埋め込むので、その
変形部がキャリヤ板７の内側開口部８に対する緩衝帯１
０の上下方向の係合離脱を防止するのに効果的である。
における保持装置は、図７及び図８で示すように、第１
のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部７２の両側上端縁
及びまたは下端縁に沿って拡開斜面部７３を設けること
が望ましい。何故ならば、拡開斜面部７３に、前記緩衝
帯１０側のクサビ形突起１０１の両側における上端縁及
びまたは下端縁が変形してそれらを埋め込むので、その
変形部がキャリヤ板７の内側開口部８に対する緩衝帯１
０の上下方向の係合離脱を防止するのに効果的である。
【００２３】第２のクサビ形凹突におけるクサビ形突部
１０１を第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部７２
から取り外すには、それに隣接するステンレス鋼から成
る一対のクサビ形突部７１の下面に下敷きをした後、当
該クサビ形突部１０１に、前記密着力に勝る衝撃力を上
方から下方へ加えると、離脱する。
１０１を第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部７２
から取り外すには、それに隣接するステンレス鋼から成
る一対のクサビ形突部７１の下面に下敷きをした後、当
該クサビ形突部１０１に、前記密着力に勝る衝撃力を上
方から下方へ加えると、離脱する。
【００２４】図３及び１０で示す第２実施例は、図２及
び９で示す第１実施例と対比すれば明らかなように、双
方のクサビ形凹突において生じる鋭角部分をなるべく円
曲状に改変して、破壊が生じる原因となる応力集中を回
避した形状を有せしめたクサビ形凹凸による係合を示
す。
び９で示す第１実施例と対比すれば明らかなように、双
方のクサビ形凹突において生じる鋭角部分をなるべく円
曲状に改変して、破壊が生じる原因となる応力集中を回
避した形状を有せしめたクサビ形凹凸による係合を示
す。
【００２５】
【発明の効果】以上詳述したように、本願発明によるワ
ークの保持手段は、キャリヤ板側と緩衝帯側の双方に互
いに嵌め込み可能なクサビ形凹突を対設し、更に、緩衝
帯側のクサビ形突部の両側縁間長さをキャリヤ側のクサ
ビ形凹部の両側縁間長さよりも僅かに幅広に作成して、
それを圧縮しながら係合させたので、係合後における双
方の密着力が強く、水平方向の離反を阻止して、ワーク
の端部を緩衝的に保持しつつ平面研磨の成果を達成する
ことが出来るようになった。
ークの保持手段は、キャリヤ板側と緩衝帯側の双方に互
いに嵌め込み可能なクサビ形凹突を対設し、更に、緩衝
帯側のクサビ形突部の両側縁間長さをキャリヤ側のクサ
ビ形凹部の両側縁間長さよりも僅かに幅広に作成して、
それを圧縮しながら係合させたので、係合後における双
方の密着力が強く、水平方向の離反を阻止して、ワーク
の端部を緩衝的に保持しつつ平面研磨の成果を達成する
ことが出来るようになった。
【００２６】 更に、本願発明によるワークの保持手段
は、キャリヤ板側のクサビ形凹部の両側の上端縁及びま
たは下端縁に沿って拡開斜面部を設けて、緩衝帯側のク
サビ形突部の両側における上端縁及び下端縁をその拡開
斜面部に変形して埋め込む係合としたので、それによっ
て、キャリヤ板の内側開口部に対する緩衝帯の上下方向
への離脱もまた阻止され、円滑な研磨が遂行される。
は、キャリヤ板側のクサビ形凹部の両側の上端縁及びま
たは下端縁に沿って拡開斜面部を設けて、緩衝帯側のク
サビ形突部の両側における上端縁及び下端縁をその拡開
斜面部に変形して埋め込む係合としたので、それによっ
て、キャリヤ板の内側開口部に対する緩衝帯の上下方向
への離脱もまた阻止され、円滑な研磨が遂行される。
【００２７】更に、本願発明による緩衝帯のキャリヤ板
への係合が、接着剤等による貼着方式によらず、緩衝帯
自体から生じる圧縮の反発力を利用したので、交換時に
は上下方向への剪断力によって容易に離脱させ得るか
ら、摩耗が生じても交換の手間や時間がかからず、容易
に取り換えることも可能になった。
への係合が、接着剤等による貼着方式によらず、緩衝帯
自体から生じる圧縮の反発力を利用したので、交換時に
は上下方向への剪断力によって容易に離脱させ得るか
ら、摩耗が生じても交換の手間や時間がかからず、容易
に取り換えることも可能になった。
【図１】この発明による緩衝帯をキャリヤ板とワークと
の関係で示す平面図、
の関係で示す平面図、
【図２】キャリヤ板の内側開口部と緩衝帯の外側縁との
係合関係の第１実施例を拡大して示す部分的平面図、
係合関係の第１実施例を拡大して示す部分的平面図、
【図３】キャリヤ板の内側開口部と緩衝帯の外側縁との
係合関係の第２実施例を拡大して示す部分的平面図、
係合関係の第２実施例を拡大して示す部分的平面図、
【図４】図５及び図１の４−４線に沿った縦断面図、
【図５】この発明の対象となる平面ラップ盤の要部の一
部切欠平面図、
部切欠平面図、
【図６】図２で示す第１実施例を更に拡大して示す部分
的平面図、
的平面図、
【図７】係合直前における双方の状態を示す図６の８−
８線に沿った縦断面図、
８線に沿った縦断面図、
【図８】係合後における双方の状態を示す図６の８−８
線に沿った縦断面図、
線に沿った縦断面図、
【図９】係合によって緩衝帯の外側縁に生じるキャリヤ
板の内側開口部への密着力を解説する拡大平面図、
板の内側開口部への密着力を解説する拡大平面図、
【図１０】図３で示す第２実施例の係合によって緩衝帯
の外側縁に生じるキャリヤ板の内側開口部への密着力を
解説する拡大平面図。
の外側縁に生じるキャリヤ板の内側開口部への密着力を
解説する拡大平面図。
１ 上定盤
２ 下定盤
３ 駆動軸
４ サンギヤ
５ インターナルギヤ
６ 遊星ギヤ
７ キャリヤ板
７１ クサビ形突部
Ｍ その両側縁間長さ
７２ クサビ形凹部
Ｌ その両側縁間長さ
８ キャリヤ板の内側開口部
９ ワーク
１０ 緩衝帯
１０１ クサビ形突部
Ｌ1 その両側縁間長さ
１０２ クサビ形凹部
Ｍ1 その両側縁間長さ
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 37/04
B24B 7/17
B24B 41/06
F16F 7/00
F16F 1/36
F16F 15/02
Claims (3)
- 【請求項１】 一対の定盤の間における中心部に駆動用
のサンギヤを、その周辺部にそのサンギヤと同芯のイン
ターナルギヤを対設し、それら双方のギヤに噛合する遊
星ギヤを周面に備えたキャリヤ板を介装し、そのキャリ
ヤ板の内側開口部にワークを収容して、そのワークの表
裏両面を遊星ギヤ運動によって研磨する平面ラップ盤に
おいて、基端部の幅よりも先端部の幅が広いクサビ形突
部とクサビ形凹部を交互に配した第１のクサビ形凹突を
前記キャリヤ板の内側開口部に沿って設ける一方、前記
第１のクサビ形凹突におけるクサビ形凹部の両側縁間長
さよりも僅かに幅広の両側縁間長さを有するクサビ形突
部と、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ形突部の
両側縁間長さよりも僅かに幅狭の両側縁間長さを有する
クサビ形凹部を交互に配した第２のクサビ形凹突を緩衝
帯の外側縁に沿って設け、さらに前記第１のクサビ形凹
突におけるクサビ形凹部の両側における上端縁及び下端
縁に沿って拡開斜面を設け、前記第２のクサビ形凹突に
おけるクサビ形突部の両側縁部を、順次対向方向に圧縮
させた状態で、前記第１のクサビ形凹突におけるクサビ
形凹部に順次圧入して、前記第２のクサビ形凹突を前記
第１のクサビ形凹突と係合させ、前記緩衝帯の内側に前
記ワークを収容する、ことを特徴とする脆性薄板の平面
研磨における保持装置。 - 【請求項２】前記緩衝帯の材質をエポキシガラス積層版
とする請求項１に記載の保持装置。 - 【請求項３】前記緩衝帯の材質をエポキシアラミドガラ
ス積層版とする請求項１に記載の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21174398A JP3482130B2 (ja) | 1998-07-10 | 1998-07-10 | 脆性薄板の平面研磨における保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21174398A JP3482130B2 (ja) | 1998-07-10 | 1998-07-10 | 脆性薄板の平面研磨における保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000024912A JP2000024912A (ja) | 2000-01-25 |
| JP3482130B2 true JP3482130B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=16610860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21174398A Expired - Fee Related JP3482130B2 (ja) | 1998-07-10 | 1998-07-10 | 脆性薄板の平面研磨における保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3482130B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4605233B2 (ja) | 2008-02-27 | 2011-01-05 | 信越半導体株式会社 | 両面研磨装置用キャリア及びこれを用いた両面研磨装置並びに両面研磨方法 |
| JP4605564B1 (ja) * | 2009-09-28 | 2011-01-05 | 株式会社白崎製作所 | 脆性薄板研磨装置用ホルダ、およびその製造方法 |
| JP6792106B2 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-11-25 | スピードファム株式会社 | ワークキャリア及びワークキャリアの製造方法 |
| JP2022106193A (ja) | 2021-01-06 | 2022-07-19 | 不二越機械工業株式会社 | ウェハ研磨用キャリアおよびウェハ研磨装置 |
-
1998
- 1998-07-10 JP JP21174398A patent/JP3482130B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000024912A (ja) | 2000-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20020058468A1 (en) | Semiconductor polishing pad | |
| JPS5833699B2 (ja) | 半導体ウエ−フア−用の研磨装置 | |
| JP3482130B2 (ja) | 脆性薄板の平面研磨における保持装置 | |
| CN111565890B (zh) | 具有多层加强件的抛光或磨削垫片 | |
| EP1759811B1 (en) | Method of adhering polishing pads and jig for adhering the same | |
| KR20100127427A (ko) | 연마시트 | |
| JPH10329013A (ja) | 両面研磨及び両面ラッピング用キャリア | |
| JP2001193796A (ja) | 金属ベルト用エレメント及び金属ベルト | |
| JPS62259759A (ja) | 回転体を有する表面研削仕上装置 | |
| JP2002005241A (ja) | 金属ベルト用エレメント、金属ベルト及び金属ベルトの組付方法 | |
| JP3550334B2 (ja) | 金属ベルト用エレメント及び金属ベルト | |
| JP2001038611A (ja) | 研磨用被加工物保持具及びこれを用いた研磨方法 | |
| JPH068147A (ja) | 弾性砥石の支持方法及び砥石支持具 | |
| KR101026574B1 (ko) | 양면 연마 장치용 캐리어와 프레이트 및 이를 이용한 양면 연마 장치 | |
| KR20140014425A (ko) | 연마 패드 및 이를 포함하는 연마 장치 | |
| KR100310995B1 (ko) | 글래스패널용연마장치 | |
| KR102610352B1 (ko) | 벨트 중심부분과 가장자리부분에 대한 동일 가압기능을 갖는 벨트크리너 | |
| KR20060054093A (ko) | 온라인 롤연삭용 컵형상 숫돌 | |
| JP2614343B2 (ja) | ワイヤーソー | |
| JP2000042910A (ja) | 研磨用被加工物保持具 | |
| JP2537217B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPH0748726A (ja) | 振動緩衝部材を備えたベルト圧接駆動ローラ懸架体 | |
| JP2004122346A (ja) | 研磨用キャリアプレート | |
| CN211940512U (zh) | 一种砂带 | |
| JP2002224939A (ja) | 真空チャック装置及び真空チャック式研摩装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091010 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010 Year of fee payment: 7 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131010 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |