TW201341289A - 玻璃板搬運裝置及其搬運方法 - Google Patents

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Abstract

一種玻璃板搬運裝置，將玻璃板G以載置在並列排列的數條搬運帶1上的狀態搬運，藉由配置在其搬運路徑上的按壓輥2使玻璃板G在與搬運方向正交的寬度方向移動而予以定位，且該玻璃板搬運裝置包括：輔助支撐部3，在定位時，以液體層8從下方輔助性地支撐由搬運帶1從下方支撐的玻璃板G的一部分，從而減輕玻璃板G的寬度方向的移動阻力。

Description

玻璃板搬運裝置及其搬運方法
本發明是有關於一種於玻璃板的端面加工等之前，在搬運路徑上進行玻璃板的定位的搬運技術的改良。
如周知般，液晶顯示器(display)或有機電致發光(electroluminescence，EL)顯示器等平板顯示器(flat-panel display，FPD)用的玻璃基板等的各種玻璃板，有時載置在隔開間隔而並列排列的數條搬運帶上高速搬運(例如參照專利文獻1~專利文獻2)。
而且，在搬運路徑上，對與搬運方向正交的玻璃板的寬度方向兩邊實施磨削等端面加工。在該情形時，為確保加工精度，必須於端面加工之前對玻璃板在搬運帶上準確地定位。在該定位時，通常是在搬運帶上使玻璃板向與搬運方向正交的方向移動，而調整玻璃板相對於搬運帶的位置或方向。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2007-51029號公報
[專利文獻2]日本專利特開2006-247768號公報
此外，近年來，玻璃板的薄板化不斷推進，伴隨於此，現實情況是玻璃板易於變形。
然而，如圖11所示，若將薄板化的玻璃板G支撐在數條搬運帶1上，則玻璃板G中未以搬運帶1支撐的部分有時會向下方撓曲。而且，若欲在該狀態下在搬運帶上對玻璃板進行定位，則對於玻璃板的寬度方向移動而言玻璃板的撓曲成為較大的阻力，從而產生無法順利地進行玻璃板的定位的問題。
本發明是鑒於上述實際情況，以即便玻璃板薄板化亦可在數條搬運帶上順利地進行定位為技術性課題。
為解決上述課題而創作的本發明是一種玻璃板搬運裝置，將玻璃板以載置在並列排列的數條搬運帶上的狀態搬運，通過配置在其搬運路徑上的定位機構使玻璃板在與搬運方向正交的寬度方向移動而予以定位，其特徵在於包括輔助支撐部：在定位時，以流體或彈性體輔助性地支撐由上述搬運帶支撐的玻璃板的一部分，而降低玻璃板的上述寬度方向的移動阻力。
根據該構成，藉由利用輔助支撐部的流體或彈性體的輔助性支撐，而降低玻璃板的寬度方向的移動阻力。因此，即便在假設玻璃板薄板化的情形時，亦可通過定位機構使玻璃板在寬度方向順利地移動，從而可容易地進行定位作業。
在上述構成中，上述輔助支撐部較佳為如下構成，在玻璃板的搬運時，上述流體的供給量較定位時減小。
如此一來，既可在定位時降低玻璃板與搬運帶之間的移動阻力，亦可在搬運時對玻璃板與搬運帶賦予適度的摩擦力而確實地搬運玻璃板。
在上述構成中，上述輔助支撐部亦可為如下構成，即具有通過液體的供給而形成有液體層(包含於上述流體)的支撐面，且經由上述液體層而支撐玻璃板。
如此一來，玻璃板由液體層上浮支撐，因此當在定位時使玻璃板於寬度方向移動時，可防止玻璃板與輔助支撐部刮擦而損傷的情況。又，若使液體循環而依序更新液體層，則亦可防止在玻璃板上附著玻璃粉等微粒(particle)，或可防止產生由微粒引起的擦傷。
在上述構成中，上述輔助支撐部亦可為如下構成，即具有包含數個線狀構件的刷(brush)狀部(包含於上述彈性體)，且利用上述刷狀部的彈性而支撐玻璃板。
如此一來，能以簡單的構成降低定位時的玻璃板的寬度方向的移動阻力。
在上述構成中，上述刷狀部較佳為具有上述寬度方向的旋轉軸，且可伴隨玻璃板的搬運而旋轉地構成。
如此一來，藉由刷狀部的旋轉而依序更新輔助性地支撐玻璃板的支撐面，由此可防止在玻璃板上附著玻璃粉等微粒，或 可防止產生由微粒引起的擦傷。
在上述構成中，上述刷狀部的下方部較佳為會自動清洗。
如此一來，伴隨刷狀部的旋轉，刷狀部的周圍會自動清洗，由此可更確實地防止微粒附著於玻璃板等。
於此，作為使刷狀部的下方部自動清洗的方法，例如亦可為將刷狀部的下方部浸漬於貯存有清洗液的清洗液槽內的浸漬方法，但在該情形時，根據清洗液的循環形態，有在槽底部沈積藉由清洗而除去的微粒，從而導致清洗力降低的顧慮。因此，作為使刷狀部的下方部自動清洗的方法，例如更佳為採用從噴嘴(nozzle)等清洗液噴射部對刷狀部的下方部直接噴射清洗液的構成。如此一來，可避免藉由清洗液而除去的微粒混入用於清洗的清洗液中的情況，因此可提高清洗力。
在上述構成中，上述輔助支撐部較佳為設置在上述搬運帶的上述寬度方向兩側。
如此一來，可更確實地抑制玻璃板向下方撓曲，從而可更順利地進行定位。
為解決上述課題而創作的本發明是一種玻璃板搬運方法，將玻璃板以載置在並列排列的數條搬運帶上的狀態搬運，通過配置在其搬運路徑上的定位機構使玻璃板在與搬運方向正交的寬度方向移動而予以定位，其特徵在於：在定位時，以流體或彈性體輔助性地支撐由上述搬運帶支撐的玻璃板的一部分，而降低 玻璃板的上述寬度方向的移動阻力。
根據該方法，可享有與已述的對應的構成同樣的作用效果。
如以上般，根據本發明，在定位時，以流體或彈性體輔助性地支撐由搬運帶支撐的玻璃板的一部分，因此可降低玻璃板的向寬度方向的移動阻力，從而即便玻璃板薄板化亦可在搬運帶上順利地定位。
1‧‧‧搬運帶
2‧‧‧按壓輥
3‧‧‧輔助支撐部
4‧‧‧基座構件
5‧‧‧支撐塊
6‧‧‧支撐面
6a‧‧‧第1錐形面
6b‧‧‧第2錐形面
6c‧‧‧水平面
7‧‧‧液體噴出孔
8‧‧‧液體層
9‧‧‧導帶器
10‧‧‧帶架
11‧‧‧輔助帶
12‧‧‧磨削工具
13‧‧‧彈性體
14‧‧‧基準帶
15‧‧‧線狀構件
16‧‧‧旋轉刷
17‧‧‧旋轉軸
18‧‧‧清洗液
19‧‧‧清洗液噴射噴嘴
A‧‧‧搬運方向
B‧‧‧寬度方向
G‧‧‧玻璃板
Z1‧‧‧定位區域
Z2‧‧‧加工區域
圖1是表示本發明的第1實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。
圖2是表示第1實施方式的玻璃板的搬運裝置的寬度方向的縱剖面圖。
圖3是表示第1實施方式的玻璃板的搬運裝置的搬運方向的縱剖面圖。
圖4是表示第1實施方式的玻璃板的搬運裝置的定位區域與加工區域的側視圖。
圖5是表示第1實施方式的玻璃板的搬運裝置的定位區域與加工區域的平面圖。
圖6是表示本發明的第2實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。
圖7是表示本發明的第3實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。
圖8是表示本發明的第4實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。
圖9是表示第4實施方式的玻璃板的搬運裝置的旋轉刷的搬運方向的縱剖面圖。
圖10是表示圖9所示的旋轉刷的清洗方法的變形例的搬運方向的縱剖面圖。
圖11是用以說明現有技術的問題點的圖。
以下，參照隨附圖式對本發明的實施方式進行說明。
<第1實施方式>
圖1是表示本發明的第1實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。該搬運裝置包括如下構成，即與搬運方向(圖中的箭頭A方向。再者，其他圖中的箭頭A亦表示搬運方向)平行的數條搬運帶1，在與搬運方向正交的寬度方向(以下簡單地稱作寬度方向)隔開間隔而並列排列。
搬運帶1由環狀的帶(belt)構成，使伺服電動機(servo motor)或旋轉軸協同化等而分別同步驅動。再者，搬運帶1的寬度或其排列間距(pitch)可根據玻璃板G的撓曲而適當變更。
於此，搬運的玻璃板G的板厚例如為0.3 mm~0.7 mm，至於其大小，例如1邊設為1500 mm以上。
在搬運帶1的搬運路徑上，設置有對載置在搬運帶1上的玻璃板G進行定位的定位區域Z1。在該定位區域Z1中，在玻璃板G的搬運路徑的兩側分別配置有作為定位機構發揮功能的按壓輥2。各按壓輥2可在圖中的箭頭B方向(寬度方向)進退移動，通過抵接於搬運而來的玻璃板G的與寬度方向對向的兩側邊而進行玻璃板G的定位。
而且，在該定位區域Z1中，還設置有輔助性地支撐由搬運帶1支撐的玻璃板G的輔助支撐部3。再者，圖例中，輔助支撐部3在鄰接的搬運帶1之間、及寬度方向兩端部的搬運帶1與按壓輥2之間排列有數個。
詳細而言，如圖2所示，輔助支撐部3包括：基座(base)構件4，包含金屬等；及支撐塊(block)5，包含與該基座部4一體化的樹脂等。在形成在支撐塊5的上表面的支撐面6，開口有作為流體的液體(例如水)噴出的液體噴出孔7。而且，在支撐面6上，藉由從液體噴出孔7噴出的液體而形成有液體層8，藉由該液體層8而上浮支撐玻璃板G的一部分。於此，液體層8藉由從液體噴出孔7供給液體而依序更新為新的液體。再者，圖中，9為導帶器(belt guide)，10為帶架(belt frame)。
如圖3所示，支撐面6包括：第1錐形(taper)面6a，位於搬運方向的上游側；第2錐形面6b，位於搬運方向的下游側；及水平面6c，位於第1錐形面6a與第2錐形面6b之間。在玻璃板G的撓曲大的情形時，第1錐形面6a是用以防止玻璃板G與支 撐面6直接接觸而設置的。再者，支撐面6可省略第2錐形面6b而由第1錐形面6a與水平面6c構成，亦可省略該等第1錐形面6a、第2錐形面6b而僅由水平面6c構成。又，支撐面6的水平面6c較搬運帶1的上表面稍低地配置為佳。
而且，該實施方式中，如圖4所示，在與定位區域Z1的下游側鄰接的加工區域Z2中，平行排列有在與搬運帶1之間夾持玻璃板G並搬運的一對輔助帶11。進而，如圖5所示，在搬運帶1與輔助帶11重疊的玻璃板G的搬運路徑的兩側分別配備有包含旋轉磨石等的磨削工具(tool)12，該磨削工具12用以對由搬運帶1與輔助帶11夾持的玻璃板G的兩側邊實施磨削加工或切角(corner cut)加工。
下面，對具有以上構成的玻璃板的搬運裝置的動作進行說明。
首先，如圖1所示，玻璃板G以水平姿勢載置在搬運帶1上。而且，伴隨搬運帶1的驅動，玻璃板G在箭頭A方向，以例如60 m/min~180 m/min的搬運速度搬運。若玻璃板G被搬運至該搬運路徑上的定位區域Z1，則使玻璃板G暫時停止或充分減速(例如，搬運速度的1/10左右的速度)，並且設置在玻璃板G的寬度方向兩側的按壓輥2抵接於玻璃板G的兩側邊而進行玻璃板G的定位。在該定位時，玻璃板G由輔助支撐部3輔助性地支撐。
詳細而言，如圖2及圖3所示，藉由形成在輔助支撐部 3的支撐面6上的液體層8而上浮支撐玻璃板G的一部分。藉此，在鄰接的搬運帶1之間等未由搬運帶1支撐的區域產生的玻璃板G的撓曲受到限制，從而可降低玻璃板G的寬度方向的移動阻力(摩擦阻力)。因此，可順利地利用按壓輥2對玻璃板G進行定位。又，借助液體層8的保護效果，亦可有效抑制玻璃板G直接接觸於支撐面6而產生擦傷的情況。
而且，在如此般完成玻璃板G的定位之後，使從輔助支撐部3供給的液體的供給停止或減小，將玻璃板G向下游側的加工區域Z2搬運。即，恢復至玻璃板G難以在搬運帶1上移動的狀態，由此可使玻璃板G在短時間進行加減速，從而可實現整體的搬運速度的高速化。
向加工區域Z2搬運的玻璃板G由搬運帶1與輔助帶11夾持，並藉由磨削工具12實施端面加工。
再者，該實施方式中，以搬運帶1與輔助帶11夾持玻璃板G，以此來維持已定位的玻璃板G的姿勢，但亦可省略輔助帶11，而在加工區域Z2中將玻璃板G吸附保持於搬運帶1上。
又，對使用液體層8輔助性地支撐玻璃板G的情形進行了說明，但亦可不使液體為層狀而將液體直接噴射至玻璃板G，以其噴射壓支撐玻璃板G。在該情形時，亦可噴射氣體(例如空氣等)來代替液體。
<第2實施方式>
圖6是表示本發明的第2實施方式的玻璃板的搬運裝置的平 面圖。該第2實施方式的搬運裝置與第1實施方式的搬運裝置不同之處在於如下方面，即僅在位於寬度方向兩端部的搬運帶1與按壓輥2之間配置有輔助支撐部3。即，在玻璃板G相對小的情形時(例如，一邊的尺寸1500 mm以下的情形時)，不存在搬運帶1的區域中的玻璃板G的撓曲變小，因此可適當減小輔助支撐部3的配置個數。又，同樣地，在玻璃板G的板厚相對厚的情形時(例如，板厚0.5 mm以上的情形時)，玻璃板G的撓曲變小，因此可使輔助支撐部3的配置個數減少。換言之，輔助支撐部3的配置形態可根據玻璃板G的大小或板厚而適當變更。
<第3實施方式>
圖7是表示本發明的第3實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。該第3實施方式的搬運裝置與第1實施方式~第2實施方式的搬運裝置不同之處在於如下方面，即一面搬運玻璃板G一面進行玻璃板G的定位。
詳細而言，在與定位區域Z1對應的搬運路徑側的一側，由板簧(flat spring)等彈性體13向寬度方向中央側賦能的按壓輥2沿搬運方向配置有數個。又，在與定位區域Z1對應的搬運路徑側的另一側，以與按壓輥2對向的方式在搬運方向配置有長條狀的基準帶14。基準帶14以不妨礙玻璃板G的搬運的方式由環狀的帶構成，且以與玻璃板G的搬運速度相同的速度驅動旋轉，或配合於玻璃板G的移動而隨動旋轉。
而且，在定位區域Z1中，不使玻璃板G減速而保持規 定的搬運速度(例如4 m/min~25 m/min)連續搬運玻璃板G，並且藉由按壓輥2將玻璃板G依序按壓於基準帶14側而進行定位。
再者，該實施方式中，在鄰接的搬運帶1之間配置有數列(圖中為2列)輔助支撐部3。又，當在定位區域Z1中不使玻璃板G減速而保持規定的搬運速度連續搬運玻璃板G的情形時，從輔助支撐部3供給的液體的供給量在定位完成後亦可設為固定。其原因在於，玻璃板G的搬運無須以比較低的速度加減速便可進行，在通過定位區域Z1之後玻璃板G在搬運帶1上位置偏移的風險(risk)較小。而且，在該情形時，可簡化切換液體的供給量的設備。
<第4實施方式>
圖8是表示本發明的第4實施方式的玻璃板的搬運裝置的平面圖。該第4實施方式的搬運裝置與第1實施方式~第3實施方式的搬運裝置不同之處在於，輔助支撐部由包含作為彈性體的數個線狀構件15的旋轉刷16構成。
詳細而言，各旋轉刷16由與搬運方向正交的旋轉軸17軸支撐，且伴隨玻璃板G的搬運而隨動旋轉。而且，該等旋轉刷16利用線狀構件15的彈性而輔助性地支撐由搬運帶1支撐的玻璃板G。再者，旋轉刷16較佳為配置在其上端與搬運帶1的上表面大致成為同一水平面上的高度。
線狀構件15具有如下程度的彈性，即在輔助支撐玻璃板G時，毛尖因玻璃板G的重量而撓曲，例如使用樹脂製(例如 尼龍(nylon)系樹脂)且線徑細(例如30 μm以下，較佳為20 μm以下)的線狀構件。
又，如圖9所示，各旋轉刷16的下方部浸漬在清洗液18中，伴隨旋轉刷16的旋轉，附著在線狀構件15上的微粒等藉由清洗液18清洗。藉此，可防止在由旋轉刷16輔助性地支撐的玻璃板G上產生由微粒引起的污垢或擦傷。
於此，對於旋轉刷16的清洗，亦可例如圖10所示，從1個或數個清洗液噴射噴嘴19(或開在管(pipe)上的小孔)將清洗液18直接噴射至旋轉刷16的下方部來代替將旋轉刷16浸漬於清洗液中。如此一來，可從清洗液噴射噴嘴19簡單地連續供給潔淨的清洗液18，因此可效率佳地除去微粒。
再者，該實施方式中，對以旋轉刷構成輔助支撐部的情形進行了說明，但亦可為不具有旋轉的構成的平面狀的刷狀構件(例如人工草皮等)。又，除刷狀構件以外，只要為摩擦阻力較搬運帶1小的低摩擦材，則亦可用作輔助支撐部。
1‧‧‧搬運帶
2‧‧‧按壓輥
3‧‧‧輔助支撐部
A‧‧‧搬運方向
B‧‧‧寬度方向
Z1‧‧‧定位區域
G‧‧‧玻璃板

Claims (8)

  1. 一種玻璃板搬運裝置，將玻璃板以載置在並列排列的數條搬運帶上的狀態搬運，通過配置在其搬運路徑上的定位機構使上述玻璃板在與搬運方向正交的寬度方向移動而予以定位，其特徵在於包括：輔助支撐部，在定位時，以流體或彈性體輔助性地支撐由上述搬運帶支撐的上述玻璃板的一部分，而降低上述玻璃板的上述寬度方向的移動阻力。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃板的搬運裝置，其中上述輔助支撐部構成為：在上述玻璃板的搬運時，上述流體的供給量較定位時減小。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的玻璃板的搬運裝置，其中上述輔助支撐部具有通過液體的供給而形成有液體層的支撐面，且經由上述液體層而支撐上述玻璃板。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃板的搬運裝置，其中上述輔助支撐部具有包含數個線狀構件的刷狀部，且利用上述刷狀部的彈性而支撐上述玻璃板。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的玻璃板的搬運裝置，其中上述刷狀部具有上述寬度方向的旋轉軸，且可伴隨上述玻璃板的搬運而旋轉。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的玻璃板的搬運裝置，其中上述刷狀部的下方部會自動清洗。
  7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的玻璃板的搬運裝置，其中上述輔助支撐部設置在上述搬運帶的上述寬度方向兩側。
  8. 一種玻璃板搬運方法，將玻璃板以載置在並列排列的數條搬運帶上的狀態搬運，通過配置在其搬運路徑上的定位機構使上述玻璃板在與搬運方向正交的寬度方向移動而予以定位，其特徵在於：在定位時，以流體或彈性體輔助性地支撐由上述搬運帶支撐的上述玻璃板的一部分，而降低上述玻璃板的上述寬度方向的移動阻力。
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Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104536171B (zh) * 2015-01-13 2017-04-12 京东方科技集团股份有限公司 一种液晶屏检测装置
CN105151780B (zh) * 2015-08-28 2018-11-23 武汉华星光电技术有限公司 一种超声波传送装置
CN108349668A (zh) * 2015-11-17 2018-07-31 旭硝子株式会社 薄板状体的搬运方法、装置、及玻璃薄板状体产品的制造方法
CN205397506U (zh) * 2016-03-17 2016-07-27 深圳市华星光电技术有限公司 基板搬送装置和基板加工系统
FR3049942A1 (fr) * 2016-04-06 2017-10-13 Saint Gobain Dispositif de convoyage et de maintien pour feuille de verre notamment dans une installation de lavage
CN106734015B (zh) * 2017-02-09 2018-12-04 泉州泉港灿鹏机械设备有限公司 一种机械领域的玻璃板自动清洗设备
US10214366B2 (en) 2017-04-10 2019-02-26 Cardinal Ig Company Drop batch builder technology
KR102475075B1 (ko) * 2017-04-20 2022-12-07 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법 및 제조 장치
JP6907849B2 (ja) * 2017-09-15 2021-07-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法および製造装置
JP6905684B2 (ja) * 2017-10-02 2021-07-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板の洗浄装置およびガラス板の製造方法
JP2019102721A (ja) * 2017-12-06 2019-06-24 エスペック株式会社 基板用位置決め装置
CN108312056B (zh) * 2018-02-26 2020-09-04 重庆大学 一种含台阶方轴的细长杆多磨头集成的无心外圆砂带磨床
NL2021536B1 (en) * 2018-08-31 2020-04-30 Levitech B V Substrate processing apparatus and to a method for processing substrates
JP6853520B2 (ja) * 2018-09-20 2021-03-31 株式会社Ｎｓｃ 浮上搬送装置
CN110255276A (zh) * 2019-05-17 2019-09-20 中建材轻工业自动化研究所有限公司 一种下片铺纸系统
CN110304456A (zh) * 2019-07-25 2019-10-08 深圳市路远智能装备有限公司 一种重载玻璃板传送机构及其送板机构
CN110775586B (zh) * 2019-11-15 2021-04-06 湖北中纬幸和自动化设备科技有限公司 一种pcb板自动光学检测机送料系统
KR20220164688A (ko) 2020-04-06 2022-12-13 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리판의 제조 방법 및 제조 장치
CN112090808B (zh) * 2020-09-01 2022-08-05 广西开蒙医疗科技有限公司 用于清洁电子秤盘玻璃镜面的清洁器
CN112550124A (zh) * 2020-11-10 2021-03-26 中车长江车辆有限公司 一种输送夹紧装置
CN112885248B (zh) * 2021-01-21 2022-12-13 深圳亿格创电子有限公司 一种室内led显示屏防尘用玻璃框架
GB2605622B (en) * 2021-04-07 2023-12-20 Landa Labs 2012 Ltd System for introducing a substrate into a nip
CN113501664A (zh) * 2021-07-29 2021-10-15 陈秋硕 一种玻璃深加工智能制造生产线
CN113976573A (zh) * 2021-11-03 2022-01-28 张爱梅 一种显示屏玻璃基板的检测系统
CN116923987B (zh) * 2023-09-05 2024-02-23 辽宁巨尚新材料有限公司 一种pvc板生产用防偏移输送设备
CN117139248A (zh) * 2023-09-13 2023-12-01 安徽磊鑫茶油开发有限公司 一种茶籽自动化清洗装置

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1751712A (en) * 1928-06-25 1930-03-25 Pittsburgh Plate Glass Co Glass-handling apparatus
US4716086A (en) * 1984-12-19 1987-12-29 Ppg Industries, Inc. Protective overcoat for low emissivity coated article
DE3536846A1 (de) * 1985-10-16 1987-04-16 Karl Lenhardt Vorrichtung zum foerdern von hochkant stehenden glasscheiben
US5311979A (en) * 1993-01-29 1994-05-17 Ambec Vacuum combiner
JPH076987A (ja) * 1993-06-15 1995-01-10 Toshiba Corp 洗浄装置
JPH09169427A (ja) 1995-12-22 1997-06-30 Kaijo Corp 浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置
AT405863B (de) * 1997-09-12 1999-12-27 Lisec Peter Vorrichtung zum beschichten von abstandhalterrahmen für isolierglasscheiben
JP2000193604A (ja) 1998-12-25 2000-07-14 Takano Co Ltd 基板用自動検査装置
ITMI991382A1 (it) * 1999-06-21 2000-12-21 Bavelloni Z Spa Macchina automatica bilaterale per la lavorazione dei bordi di lastredi vetro materiali lapidei e simili
US6296029B1 (en) * 1999-07-21 2001-10-02 Timesavers, Inc. Centering sectional shoe assembly
JP2001085496A (ja) 1999-09-10 2001-03-30 Daiichi Shisetsu Kogyo Kk 板状部材の搬送装置
JP3587104B2 (ja) * 1999-10-12 2004-11-10 坂東機工株式会社 ガラス板の加工機械
JP2002331449A (ja) * 2001-05-09 2002-11-19 Bando Kiko Co Ltd ガラス板の加工方法及びその装置
JP2002347922A (ja) * 2001-05-22 2002-12-04 Central Glass Co Ltd 板状体の搬送方法および装置
TWI222423B (en) * 2001-12-27 2004-10-21 Orbotech Ltd System and methods for conveying and transporting levitated articles
JP2003300618A (ja) * 2002-04-10 2003-10-21 Orc Mfg Co Ltd 基板搬送機構
TWI226303B (en) * 2002-04-18 2005-01-11 Olympus Corp Substrate carrying device
KR101018909B1 (ko) * 2002-10-25 2011-03-02 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 얼라이먼트장치, 기판처리장치 및 기판반송장치
JP2005239403A (ja) * 2004-02-27 2005-09-08 Espec Corp コンベア
JP2005262423A (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Shiraitekku:Kk 板ガラスの研磨装置
JP4270142B2 (ja) * 2005-03-09 2009-05-27 日本電気硝子株式会社 ガラス基板の製造方法及びその装置
JP4553376B2 (ja) * 2005-07-19 2010-09-29 東京エレクトロン株式会社 浮上式基板搬送処理装置及び浮上式基板搬送処理方法
JP2007038369A (ja) * 2005-08-05 2007-02-15 Central Glass Co Ltd ガラス板端面加工装置
JP5003990B2 (ja) 2005-08-18 2012-08-22 日本電気硝子株式会社 ガラス板の加工方法及びその装置
JP2007099553A (ja) * 2005-10-03 2007-04-19 Nippon Electric Glass Co Ltd 板ガラスの加工方法及びその装置
JP4753313B2 (ja) 2006-12-27 2011-08-24 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP5128148B2 (ja) 2007-03-02 2013-01-23 株式会社オーク製作所 搬送装置
JP2008273687A (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Dainippon Printing Co Ltd 平板状基材の搬送装置
JP5550107B2 (ja) * 2010-03-15 2014-07-16 株式会社シライテック Ｌｃｄパネルｕｖ硬化前基板のエッジカット加工装置
US9004262B2 (en) * 2010-05-03 2015-04-14 Lisec Austria Gmbh Device for conveying plate-shaped elements
CN102161438B (zh) * 2011-03-10 2013-04-24 李梦琪 搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
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US20150068867A1 (en) 2015-03-12

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