RU2010125124A - Система фильтрации текучей среды - Google Patents
Система фильтрации текучей среды Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010125124A RU2010125124A RU2010125124/05A RU2010125124A RU2010125124A RU 2010125124 A RU2010125124 A RU 2010125124A RU 2010125124/05 A RU2010125124/05 A RU 2010125124/05A RU 2010125124 A RU2010125124 A RU 2010125124A RU 2010125124 A RU2010125124 A RU 2010125124A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- radially
- filter
- insulating element
- end cap
- wall
- Prior art date
Links
- 238000001914 filtration Methods 0.000 title claims 5
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title claims 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 18
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 7
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D27/00—Cartridge filters of the throw-away type
- B01D27/10—Safety devices, e.g. by-passes
- B01D27/106—Anti-leakage or anti-return valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
- B01D29/13—Supported filter elements
- B01D29/15—Supported filter elements arranged for inward flow filtration
- B01D29/21—Supported filter elements arranged for inward flow filtration with corrugated, folded or wound sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
- B01D35/30—Filter housing constructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/29—Filter cartridge constructions
- B01D2201/291—End caps
- B01D2201/295—End caps with projections extending in a radial outward direction, e.g. for use as a guide, spacing means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/30—Filter housing constructions
- B01D2201/301—Details of removable closures, lids, caps, filter heads
- B01D2201/304—Seals or gaskets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/34—Seals or gaskets for filtering elements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Lubrication Details And Ventilation Of Internal Combustion Engines (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
1. Торцевая крышка, содержащая ! первый пластинчатый элемент, включающий радиальную внутреннюю часть, радиальную внешнюю часть и задающий продольную ось, ! фланец, расположенный между радиальными внутренней и внешней частями первого пластинчатого элемента и выступающий в осевом направлении вдоль продольной оси в первом направлении, ! первый изолирующий элемент, расположенный рядом с фланцем и включающий первую часть, контактирующую с обращенной в осевом направлении поверхностью первого пластинчатого элемента, и вторую часть, контактирующую с обращенной в радиальном направлении поверхностью фланца, ! второй пластинчатый элемент, расположенный радиально снаружи радиальной внешней части, и ! второй изолирующий элемент, расположенный рядом со вторым пластинчатым элементом и включающий первую часть, расположенную в осевом направлении на расстоянии от обращенной в осевом направлении поверхности первого пластинчатого элемента во втором направлении вдоль продольной оси противоположно первому направлению. ! 2. Торцевая крышка по п.1, в которой первый изолирующий элемент дополнительно включает третью часть, по существу противоположную второй части и выполненную с возможностью образования обращенного в радиальном направлении герметичного барьера. ! 3. Торцевая крышка по п.1, в которой второй изолирующий элемент дополнительно включает вторую часть, выполненную с возможностью образования обращенного в радиальном направлении герметичного барьера. ! 4. Устройство для герметичного соединения фильтрующей среды с системой фильтрации, которая включает основание, контейнер и выпускное отверстие, содержащее ! ко
Claims (40)
1. Торцевая крышка, содержащая
первый пластинчатый элемент, включающий радиальную внутреннюю часть, радиальную внешнюю часть и задающий продольную ось,
фланец, расположенный между радиальными внутренней и внешней частями первого пластинчатого элемента и выступающий в осевом направлении вдоль продольной оси в первом направлении,
первый изолирующий элемент, расположенный рядом с фланцем и включающий первую часть, контактирующую с обращенной в осевом направлении поверхностью первого пластинчатого элемента, и вторую часть, контактирующую с обращенной в радиальном направлении поверхностью фланца,
второй пластинчатый элемент, расположенный радиально снаружи радиальной внешней части, и
второй изолирующий элемент, расположенный рядом со вторым пластинчатым элементом и включающий первую часть, расположенную в осевом направлении на расстоянии от обращенной в осевом направлении поверхности первого пластинчатого элемента во втором направлении вдоль продольной оси противоположно первому направлению.
2. Торцевая крышка по п.1, в которой первый изолирующий элемент дополнительно включает третью часть, по существу противоположную второй части и выполненную с возможностью образования обращенного в радиальном направлении герметичного барьера.
3. Торцевая крышка по п.1, в которой второй изолирующий элемент дополнительно включает вторую часть, выполненную с возможностью образования обращенного в радиальном направлении герметичного барьера.
4. Устройство для герметичного соединения фильтрующей среды с системой фильтрации, которая включает основание, контейнер и выпускное отверстие, содержащее
корпус, включающий имеющую, по существу, кольцевую форму первую перегородку, радиальную внутреннюю часть, радиальную внешнюю часть и продольную ось,
первый изолирующий элемент, выполненный с возможностью образования обращенного в радиальном направлении герметичного барьера относительно первой обращенной в радиальном направлении поверхности, относящейся к выпускному отверстию, по меньшей мере часть которой расположена на первом осевом расстоянии от фильтрующей среды, и
второй изолирующий элемент, выполненный с возможностью образования обращенного в радиальном направлении герметичного барьера относительно второй обращенной в радиальном направлении поверхности, относящейся к основанию и расположенной на втором осевом расстоянии от фильтрующей среды, причем второе осевое расстояние меньше первого осевого расстояния.
5. Устройство по п.4, дополнительно содержащее по меньшей мере одно отверстие, расположенное в корпусе и выполненное с возможностью обеспечения потока текучей среды между внутренним и внешним изолирующими элементами.
6. Устройство по п.4, в котором устройство представляет собой торцевую крышку, выполненную с возможностью прочного крепления к фильтрующей среде.
7. Устройство по п.4, в котором корпус дополнительно содержит
вторую перегородку, расположенную рядом с радиальной внутренней частью и являющуюся, по существу, цилиндрической относительно продольной оси, и
третью перегородку, расположенную рядом с радиальной внешней частью и являющуюся, по существу, цилиндрической относительно продольной оси.
8. Устройство по п.4, в котором корпус дополнительно содержит вторую перегородку, расположенную рядом с радиальной внешней частью и соединенную с первой перегородкой посредством проходящих в радиальном направлении кронштейнов, расположенных между радиальной внешней частью и второй перегородкой.
9. Устройство по п.4, дополнительно содержащее трубку, расположенную радиально внутри фильтрующей среды, причем по меньшей мере часть корпуса контактирует с трубкой.
10. Устройство по п.4, в котором
корпус дополнительно содержит вторую перегородку, расположенную рядом с радиальной внешней частью, и выемки, расположенные во второй перегородке, причем по меньшей мере часть второго изолирующего элемента расположена по меньшей мере в одной из выемок.
11. Устройство по п.4, в котором корпус дополнительно содержит фланец и выемки, расположенные во фланце, и
по меньшей мере часть первого изолирующего элемента расположена по меньшей мере в одной из выемок.
12. Устройство по п.4, дополнительно содержащее противо-наполняющий элемент, причем по меньшей мере часть противо-наполняющего элемента расположена радиально в пределах первого изолирующего элемента относительно продольной оси.
13. Устройство по п.4, в котором корпус дополнительно содержит фланец, радиально расположенный между радиальной внутренней частью и радиальной внешней частью и выполненный с возможностью по меньшей мере частичного прижатия первого изолирующего элемента к обращенной в радиальном направлении поверхности при контакте первого изолирующего элемента с обращенной в радиальном направлении поверхностью.
14. Сборка для фильтра, содержащая торцевую крышку и фильтрующую среду для системы фильтрации, причем торцевая крышка содержит
первую стенку, имеющую, по существу, кольцевую форму и задающую радиальную внутреннюю часть и радиальную внешнюю часть,
вторую стенку, имеющую, по существу, цилиндрическую форму, расположенную рядом с радиальной внутренней частью и проходящую в осевом направлении от первой стенки, причем вторая стенка задает продольную ось и имеет первый конец, расположенный рядом с первой стенкой, и второй конец, противоположный первому концу,
третью стенку, проходящую в осевом направлении от первой стенки и радиально окружающую вторую стенку, и
концевую стенку, соединенную с третьей стенкой и расположенную на первом расстоянии от второго конца второй стенки.
15. Сборка для фильтра по п.14, дополнительно содержащая отверстия, расположенные в третьей стенке.
16. Сборка для фильтра по п.14, в которой торцевая крышка дополнительно содержит
первый изолирующий элемент, соединенный с корпусом и расположенный радиально между радиальной внешней частью первой стенки и второй стенкой, и
второй изолирующий элемент, соединенный с корпусом и расположенный рядом с радиальной внешней частью первой стенки.
17. Сборка для фильтра по п.14, в которой система фильтрации содержит контейнер и выпускное отверстие, причем торцевая крышка дополнительно содержит
первое уплотнение, расположенное радиально во внешнем направлении от первой стенки и выполненное с возможностью обеспечения по меньшей мере одного обращенного в осевом направлении герметичного барьера относительно первой обращенной в осевом направлении поверхности, относящейся к контейнеру, и
второе уплотнение, расположенное радиально между первым уплотнением и второй стенкой и выполненное с возможностью обеспечения по меньшей мере одного обращенного в радиальном направлении герметичного барьера относительно первой обращенной в радиальном направлении поверхности, относящейся к выпускному отверстию.
18. Сборка для фильтра по п.17, в которой
первое уплотнение проходит от первой обращенной в осевом направлении поверхности первое осевое расстояние, причем
по меньшей мере часть второго уплотнения расположена от первой обращенной в осевом направлении поверхности на втором осевом расстоянии, а
второе осевое расстояние больше первого осевого расстояния.
19. Сборка для фильтра, содержащая
фильтр, задающий продольную ось,
первый изолирующий элемент, выполненный с возможностью образования первого обращенного в радиальном направлении герметичного барьера, причем по меньшей мере часть первого изолирующего элемента расположена в осевом направлении от фильтра на первом осевом расстоянии, и
второй изолирующий элемент, выполненный с возможностью образования второго обращенного в радиальном направлении герметичного барьера, расположенного радиально снаружи от первого обращенного в радиальном направлении герметичного барьера, причем второй изолирующий элемент в осевом направлении расположен от фильтра на втором осевом расстоянии, при этом второе осевое расстояние меньше первого осевого расстояния.
20. Сборка для фильтра по п.19, в которой фильтр содержит фильтрующую среду и трубку, расположенную радиально внутри фильтрующей среды.
21. Сборка для фильтра по п.20, в которой первый и второй изолирующие элементы соединены с торцевой крышкой, и первый конец трубки выполнен с возможностью контакта с частью торцевой крышки.
22. Сборка для фильтра по п.19, дополнительно содержащая по меньшей мере одно отверстие, расположенное радиально между первым и вторым уплотнениями, выполненное с возможностью обеспечения потока текучей среды между ними.
23. Сборка для фильтра по п.22, в которой по меньшей мере одно отверстие представляет собой отверстия, каждое из которых отделено от смежного радиально проходящими кронштейнами.
24. Сборка для фильтра по п.22, в которой первый и второй изолирующие элементы соединены с торцевой крышкой, содержащей фланец, расположенный радиально между первым и вторым изолирующими элементами.
25. Сборка для фильтра по п.19, в которой первый изолирующий элемент выполнен с возможностью образования герметичного барьера между сборкой для фильтра и выпускным отверстием, и второй изолирующий элемент выполнен с возможностью образования герметичного барьера между сборкой для фильтра и внешней окружающей средой.
26. Система фильтрации, содержащая
основание, содержащее впускное отверстие, выпускное отверстие и продольную ось, причем выпускное отверстие расположено радиально внутри впускного отверстия относительно продольной оси,
контейнер, соединенный посредством резьбового соединения с основанием,
фильтрующую среду, расположенную радиально внутри контейнера относительно продольной оси,
торцевую крышку, содержащую первый перегородочный элемент, имеющий, по существу, кольцевую форму, и по меньшей мере одно отверстие, расположенное радиально снаружи от первой перегородки,
первый изолирующий элемент, соединенный с торцевой крышкой и выполненный с возможностью радиального прижатия по меньшей мере к части основания, и
второй изолирующий элемент, соединенный с торцевой крышкой и выполненный с возможностью радиального прижатия к выпускному отверстию.
27. Система по п.26, в которой:
по меньшей мере часть первого изолирующего элемента расположена на первом осевом расстоянии от первого конца контейнера относительно продольной оси, и
по меньшей мере часть второго изолирующего элемента расположена на втором осевом расстоянии от первого конца контейнера относительно продольной оси, причем
второе осевое расстояние больше первого осевого расстояния.
28. Система по п.26, в которой первый и второй изолирующие элементы целиком прикреплены к торцевой крышке.
29. Система по п.26, в которой торцевая крышка дополнительно содержит
второй перегородочный элемент, имеющий, по существу, цилиндрическую форму и продольно проходящий от первого перегородочного элемента к фильтрующей среде, и
третий перегородочный элемент, имеющий, по существу, цилиндрическую форму и продольно проходящий от первого перегородочного элемента в направлении к фильтрующей среде,
причем третий перегородочный элемент расположен радиально в пределах второго перегородочного элемента.
30. Система по п.26, в которой:
первый перегородочный элемент дополнительно содержит первый конец, расположенный радиально рядом с выпускным отверстием, и второй конец, расположенный радиально снаружи первого конца, и
торцевая крышка дополнительно содержит второй перегородочный элемент, расположенный радиально снаружи второго конца и соединенный со вторым концом посредством радиально проходящих кронштейнов.
31. Система по п.30, в которой
второй изолирующий элемент расположен между первым концом и вторым концом и
первое уплотнение расположено рядом со вторым перегородочным элементом.
32. Система по п.26, отличающаяся тем, что она выполнена с возможностью содержания и направления потока текучей среды вдоль пути протекающей жидкости, содержащего,
поток неотфильтрованной текучей среды от впускного отверстия через отверстие к первому пространству, расположенному радиально снаружи фильтрующей среды,
поток текучей среды от первого пространства через фильтрующую среду к второму пространству, расположенному радиально внутри фильтрующей среды, и
поток текучей среды от второго пространства, через торцевую крышку и к выпускному отверстию.
33. Система по п.26, в которой
контейнер содержит, по существу, цилиндрическую стенку и концевую стенку, и
контейнер задает внутреннюю полость, выполненную с возможностью содержания фильтрующей среды.
34. Способ герметизации фильтра относительно основания и герметичного разделения первого потока текучей среды от второго потока текучей среды, проходящего в радиальном направлении снаружи первого потока текучей среды, согласно которому
образуют первый обращенный в радиальном направлении герметичный барьер, радиально расположенный между первым и вторым потоками текучей среды, посредством первого изолирующего элемента, и
образуют второй обращенный в радиальном направлении герметичный барьер, радиально расположенный снаружи второго потока текучей среды, посредством второго изолирующего элемента,
причем по меньшей мере часть первого изолирующего элемента расположена на первом осевом расстоянии от фильтра, и по меньшей мере часть второго изолирующего элемента расположена на втором осевом расстоянии от фильтра, при этом первое осевое расстояние больше второго осевого расстояния.
35. Способ по п.34, согласно которому второй поток текучей среды направляют к фильтру и первый поток текучей среды направляют из фильтра.
36. Способ по п.34, согласно которому дополнительно образуют обращенный в осевом направлении герметичный барьер, расположенный радиально снаружи второго потока текучей среды.
37. Способ по п.34, согласно которому дополнительно сжимают первое уплотнение между первой и второй обращенными в радиальном направлении поверхностями до степени, зависящей от расстояния между ними.
38. Способ по п.34, согласно которому первый и второй потоки текучей среды сформированы с возможностью протекания через торцевую крышку.
39. Способ по п.34, согласно которому первое и второе уплотнения целиком соединены с торцевой крышкой.
40. Способ по п.34, согласно которому фильтр представляет собой топливный фильтр, первый или второй поток текучей среды представляет собой поток неотфильтрованного топлива, а другой из первого и второго потоков текучей среды представляет собой поток отфильтрованного топлива.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US11/984,503 US8272516B2 (en) | 2007-11-19 | 2007-11-19 | Fluid filter system |
| US11/984,503 | 2007-11-19 | ||
| PCT/US2008/012871 WO2009067188A1 (en) | 2007-11-19 | 2008-11-18 | Fluid filter system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010125124A true RU2010125124A (ru) | 2011-12-27 |
| RU2495703C2 RU2495703C2 (ru) | 2013-10-20 |
Family
ID=40379827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010125124/05A RU2495703C2 (ru) | 2007-11-19 | 2008-11-18 | Система фильтрации текучей среды |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US8272516B2 (ru) |
| EP (1) | EP2234689B1 (ru) |
| JP (3) | JP5324592B2 (ru) |
| CN (1) | CN101861193B (ru) |
| AU (1) | AU2008326806B2 (ru) |
| BR (1) | BRPI0820545B1 (ru) |
| CA (2) | CA2885458C (ru) |
| ES (1) | ES2637345T3 (ru) |
| RU (1) | RU2495703C2 (ru) |
| WO (1) | WO2009067188A1 (ru) |
| ZA (1) | ZA201003622B (ru) |
Families Citing this family (379)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8272516B2 (en) * | 2007-11-19 | 2012-09-25 | Caterpillar Inc. | Fluid filter system |
| US8419938B2 (en) * | 2007-11-19 | 2013-04-16 | Catepillar Inc. | Fluid filter system |
| US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
| DE102008054878B4 (de) * | 2008-12-18 | 2010-12-23 | Kaeser Kompressoren Gmbh | Filterelement und Druckluftfilter zum Abscheiden von Fremdstoffen aus einem Druckluftstrom |
| US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
| US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
| WO2011102934A1 (en) | 2010-01-22 | 2011-08-25 | Donaldson Company, Inc. | Pulse jet air cleaner systems; evacution valve arrangements; air cleaner components; and, methods |
| DE202010006454U1 (de) * | 2010-05-05 | 2010-09-30 | Mahle International Gmbh | Wärmetauscher |
| US8869991B2 (en) | 2010-06-11 | 2014-10-28 | Wix Filtration Corp Llc | Spin-on filter assembly |
| DE102011010076A1 (de) * | 2011-02-01 | 2012-08-02 | Mann + Hummel Gmbh | Filterelement eines Flüssigkeitsfilters und Flüssigkeitsfilter |
| US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
| US9793148B2 (en) | 2011-06-22 | 2017-10-17 | Asm Japan K.K. | Method for positioning wafers in multiple wafer transport |
| US10364496B2 (en) | 2011-06-27 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Dual section module having shared and unshared mass flow controllers |
| US10854498B2 (en) | 2011-07-15 | 2020-12-01 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer-supporting device and method for producing same |
| US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
| US9283500B2 (en) | 2011-09-06 | 2016-03-15 | Cummins Filtration Ip, Inc. | Spin-on filter without a nut plate |
| US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
| US8946830B2 (en) | 2012-04-04 | 2015-02-03 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal oxide protective layer for a semiconductor device |
| US9447759B2 (en) * | 2012-06-12 | 2016-09-20 | Cummins Filtration Ip, Inc. | Filter element endplate defining inflow and outflow flow paths |
| US9558931B2 (en) | 2012-07-27 | 2017-01-31 | Asm Ip Holding B.V. | System and method for gas-phase sulfur passivation of a semiconductor surface |
| US9659799B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling |
| US9021985B2 (en) | 2012-09-12 | 2015-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor |
| US10714315B2 (en) | 2012-10-12 | 2020-07-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Semiconductor reaction chamber showerhead |
| US9640416B2 (en) | 2012-12-26 | 2017-05-02 | Asm Ip Holding B.V. | Single-and dual-chamber module-attachable wafer-handling chamber |
| CA2896352C (en) | 2013-01-04 | 2020-10-27 | Baldwin Filters, Inc. | Three-part end cap and filter element including same |
| BR112015015800A2 (pt) | 2013-01-14 | 2017-07-11 | Cummins Filtration Ip Inc | filtro limpável e métodos para limpar elemento de filtro e filtro instalado em sistema |
| US20160376700A1 (en) | 2013-02-01 | 2016-12-29 | Asm Ip Holding B.V. | System for treatment of deposition reactor |
| US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
| US9484191B2 (en) | 2013-03-08 | 2016-11-01 | Asm Ip Holding B.V. | Pulsed remote plasma method and system |
| WO2014165606A2 (en) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | Donaldson Company, Inc. | Liquid filter assembly and methods |
| KR101414744B1 (ko) * | 2013-06-12 | 2014-07-04 | (주)에이엠이엔지 | 휴대용 정수기 |
| US8993054B2 (en) | 2013-07-12 | 2015-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system to reduce outgassing in a reaction chamber |
| US9018111B2 (en) | 2013-07-22 | 2015-04-28 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor reaction chamber with plasma capabilities |
| US9793115B2 (en) | 2013-08-14 | 2017-10-17 | Asm Ip Holding B.V. | Structures and devices including germanium-tin films and methods of forming same |
| DE202014104029U1 (de) * | 2014-08-28 | 2014-10-20 | Hengst Se & Co. Kg | Filter, der an einem Anschlussflansch anbaubar ist, und Filtereinsatz |
| US9240412B2 (en) | 2013-09-27 | 2016-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process |
| US9556516B2 (en) | 2013-10-09 | 2017-01-31 | ASM IP Holding B.V | Method for forming Ti-containing film by PEALD using TDMAT or TDEAT |
| US9605343B2 (en) | 2013-11-13 | 2017-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming conformal carbon films, structures conformal carbon film, and system of forming same |
| US10179947B2 (en) | 2013-11-26 | 2019-01-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming conformal nitrided, oxidized, or carbonized dielectric film by atomic layer deposition |
| DE202013011841U1 (de) * | 2013-12-11 | 2015-03-18 | Mann + Hummel Gmbh | Filtersystem und Filterelement mit Kupplungsvorrichtung und Dichtungsvorrichtung |
| DE102014000715A1 (de) * | 2014-01-23 | 2015-07-23 | Mann + Hummel Gmbh | Filterelement |
| US10683571B2 (en) | 2014-02-25 | 2020-06-16 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same |
| US9447498B2 (en) | 2014-03-18 | 2016-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for performing uniform processing in gas system-sharing multiple reaction chambers |
| US10167557B2 (en) | 2014-03-18 | 2019-01-01 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same |
| US11015245B2 (en) | 2014-03-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof |
| US9808745B2 (en) | 2014-03-24 | 2017-11-07 | Caterpillar Inc. | Filter element and filter assembly with recirculation |
| US10309078B2 (en) | 2014-05-30 | 2019-06-04 | Donaldson Company, Inc. | High capacity filter element end cap |
| US10858737B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-12-08 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead assembly and components thereof |
| US9543180B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-01-10 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for transporting wafers between wafer carrier and process tool under vacuum |
| US9890456B2 (en) | 2014-08-21 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method and system for in situ formation of gas-phase compounds |
| US10941490B2 (en) | 2014-10-07 | 2021-03-09 | Asm Ip Holding B.V. | Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same |
| US9657845B2 (en) | 2014-10-07 | 2017-05-23 | Asm Ip Holding B.V. | Variable conductance gas distribution apparatus and method |
| FR3026959B1 (fr) * | 2014-10-13 | 2019-07-12 | Cummins Filtration Ip, Inc. | Filtre amovible pour les cotes d'aspiration et de refoulement dans des systemes de filtration |
| KR102300403B1 (ko) | 2014-11-19 | 2021-09-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
| US9803751B2 (en) * | 2014-12-05 | 2017-10-31 | Wix Filtration Corp Llc | Seal, endcap assembly and filter assembly |
| KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
| USD753269S1 (en) * | 2015-01-09 | 2016-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Top plate |
| US9789426B2 (en) * | 2015-01-26 | 2017-10-17 | Caterpillar Inc. | Flow cap and filter assembly including flow cap |
| USD754304S1 (en) * | 2015-01-26 | 2016-04-19 | Caterpillar Inc. | Filter cap |
| US9478415B2 (en) | 2015-02-13 | 2016-10-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming film having low resistance and shallow junction depth |
| US10529542B2 (en) | 2015-03-11 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Cross-flow reactor and method |
| US10276355B2 (en) | 2015-03-12 | 2019-04-30 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same |
| US10458018B2 (en) | 2015-06-26 | 2019-10-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same |
| US10600673B2 (en) | 2015-07-07 | 2020-03-24 | Asm Ip Holding B.V. | Magnetic susceptor to baseplate seal |
| DE102015008694A1 (de) | 2015-07-08 | 2016-06-23 | Mann+Hummel Gmbh | Hohlfilterelement eines Flüssigkeitsfilters, Flüssigkeitsfilter, Filtersystem und Adapterelement eines Hohlfilterelements |
| US9899291B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-02-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film |
| US10043661B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-08-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film |
| US10083836B2 (en) | 2015-07-24 | 2018-09-25 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of boron-doped titanium metal films with high work function |
| US10087525B2 (en) | 2015-08-04 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | Variable gap hard stop design |
| US9647114B2 (en) | 2015-08-14 | 2017-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming highly p-type doped germanium tin films and structures and devices including the films |
| US9711345B2 (en) | 2015-08-25 | 2017-07-18 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming aluminum nitride-based film by PEALD |
| USD777878S1 (en) | 2015-09-22 | 2017-01-31 | Caterpillar Inc. | Filter cap |
| US20170080365A1 (en) * | 2015-09-22 | 2017-03-23 | Caterpillar Inc. | End cap for filter element |
| USD782000S1 (en) | 2015-09-22 | 2017-03-21 | Caterpillar Inc. | Filter cap |
| US9960072B2 (en) | 2015-09-29 | 2018-05-01 | Asm Ip Holding B.V. | Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings |
| US20170095759A1 (en) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | Caterpillar Inc. | Liquid Filter and Drain |
| US9909214B2 (en) | 2015-10-15 | 2018-03-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing dielectric film in trenches by PEALD |
| US10211308B2 (en) | 2015-10-21 | 2019-02-19 | Asm Ip Holding B.V. | NbMC layers |
| US10625184B2 (en) | 2015-11-03 | 2020-04-21 | MANN+HUMMEL Filtration Technology Group Inc. | Coalescing filter element |
| US10322384B2 (en) | 2015-11-09 | 2019-06-18 | Asm Ip Holding B.V. | Counter flow mixer for process chamber |
| US9455138B1 (en) | 2015-11-10 | 2016-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming dielectric film in trenches by PEALD using H-containing gas |
| US9905420B2 (en) | 2015-12-01 | 2018-02-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming silicon germanium tin films and structures and devices including the films |
| US9607837B1 (en) | 2015-12-21 | 2017-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon oxide cap layer for solid state diffusion process |
| US9627221B1 (en) | 2015-12-28 | 2017-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Continuous process incorporating atomic layer etching |
| US9735024B2 (en) | 2015-12-28 | 2017-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using functional group-containing fluorocarbon |
| US11139308B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices |
| US9754779B1 (en) | 2016-02-19 | 2017-09-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
| US10529554B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-01-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches |
| US10468251B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning |
| US10501866B2 (en) | 2016-03-09 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system |
| US10343920B2 (en) | 2016-03-18 | 2019-07-09 | Asm Ip Holding B.V. | Aligned carbon nanotubes |
| US9892913B2 (en) | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Asm Ip Holding B.V. | Radial and thickness control via biased multi-port injection settings |
| US10865475B2 (en) | 2016-04-21 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides and silicides |
| US10087522B2 (en) | 2016-04-21 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
| US10190213B2 (en) | 2016-04-21 | 2019-01-29 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of metal borides |
| US10367080B2 (en) | 2016-05-02 | 2019-07-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a germanium oxynitride film |
| US10032628B2 (en) | 2016-05-02 | 2018-07-24 | Asm Ip Holding B.V. | Source/drain performance through conformal solid state doping |
| KR102592471B1 (ko) | 2016-05-17 | 2023-10-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
| US11453943B2 (en) | 2016-05-25 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor |
| CN113509772B (zh) * | 2016-06-17 | 2023-07-28 | 卡特彼勒公司 | 具有竖管和流动翅片的过滤器中心管 |
| US10388509B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Formation of epitaxial layers via dislocation filtering |
| US10612137B2 (en) | 2016-07-08 | 2020-04-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Organic reactants for atomic layer deposition |
| US9859151B1 (en) | 2016-07-08 | 2018-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Selective film deposition method to form air gaps |
| US9793135B1 (en) | 2016-07-14 | 2017-10-17 | ASM IP Holding B.V | Method of cyclic dry etching using etchant film |
| US10714385B2 (en) | 2016-07-19 | 2020-07-14 | Asm Ip Holding B.V. | Selective deposition of tungsten |
| KR102354490B1 (ko) | 2016-07-27 | 2022-01-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
| US9887082B1 (en) | 2016-07-28 | 2018-02-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| US10395919B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-08-27 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| KR102532607B1 (ko) | 2016-07-28 | 2023-05-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 가공 장치 및 그 동작 방법 |
| US10177025B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-01-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| US9812320B1 (en) | 2016-07-28 | 2017-11-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and apparatus for filling a gap |
| US10090316B2 (en) | 2016-09-01 | 2018-10-02 | Asm Ip Holding B.V. | 3D stacked multilayer semiconductor memory using doped select transistor channel |
| US10410943B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-09-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems |
| EP3528920B1 (en) * | 2016-10-21 | 2022-10-19 | Cummins Filtration IP, Inc. | Filter element |
| US10643826B2 (en) | 2016-10-26 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for thermally calibrating reaction chambers |
| US11532757B2 (en) | 2016-10-27 | 2022-12-20 | Asm Ip Holding B.V. | Deposition of charge trapping layers |
| US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
| US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
| US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
| US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
| DE102016013166A1 (de) * | 2016-11-04 | 2018-05-09 | Hydac Filter Systems Gmbh | Filterelement |
| US10134757B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method |
| KR102546317B1 (ko) | 2016-11-15 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
| US10340135B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride |
| KR20180068582A (ko) | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US11581186B2 (en) | 2016-12-15 | 2023-02-14 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus |
| US11447861B2 (en) | 2016-12-15 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure |
| US9916980B1 (en) | 2016-12-15 | 2018-03-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
| KR20180070971A (ko) | 2016-12-19 | 2018-06-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
| US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
| US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
| US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
| US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
| CN110382075A (zh) | 2017-02-21 | 2019-10-25 | 康明斯滤清系统知识产权公司 | 波状互锁壳体-端板界面几何结构 |
| US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
| US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
| US10103040B1 (en) | 2017-03-31 | 2018-10-16 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for manufacturing a semiconductor device |
| USD830981S1 (en) | 2017-04-07 | 2018-10-16 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate processing apparatus |
| KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
| US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
| US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
| US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
| US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
| US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
| US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
| US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
| KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
| US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
| US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
| US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
| US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
| US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
| US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
| DE102017007445B4 (de) * | 2017-08-05 | 2023-04-06 | Hydac Filtertechnik Gmbh | Filterelement und Filtervorrichtung |
| US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
| US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
| US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| US10236177B1 (en) | 2017-08-22 | 2019-03-19 | ASM IP Holding B.V.. | Methods for depositing a doped germanium tin semiconductor and related semiconductor device structures |
| USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
| US11830730B2 (en) | 2017-08-29 | 2023-11-28 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
| US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
| US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
| KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| KR102401446B1 (ko) | 2017-08-31 | 2022-05-24 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
| KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
| US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
| US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
| US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
| US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
| US10923344B2 (en) | 2017-10-30 | 2021-02-16 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures |
| KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
| US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
| US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
| KR102597978B1 (ko) | 2017-11-27 | 2023-11-06 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치 |
| CN111344522B (zh) | 2017-11-27 | 2022-04-12 | 阿斯莫Ip控股公司 | 包括洁净迷你环境的装置 |
| US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
| US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
| KR20200108016A (ko) | 2018-01-19 | 2020-09-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 플라즈마 보조 증착에 의해 갭 충진 층을 증착하는 방법 |
| TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
| USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
| US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
| US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
| USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
| US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
| CN111699278B (zh) | 2018-02-14 | 2023-05-16 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环沉积工艺在衬底上沉积含钌膜的方法 |
| US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
| US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
| US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
| KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
| US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
| US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
| US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
| US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
| KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
| US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
| US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
| US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
| KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
| TWI811348B (zh) | 2018-05-08 | 2023-08-11 | 荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 | 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構 |
| TW202349473A (zh) | 2018-05-11 | 2023-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
| KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
| US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
| US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
| US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
| KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
| US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
| CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
| TWI815915B (zh) | 2018-06-27 | 2023-09-21 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法 |
| KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
| US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
| US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
| US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
| US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
| US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
| US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
| US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
| US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
| US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
| US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
| KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
| US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
| CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
| US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
| KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
| US20200107667A1 (en) * | 2018-10-09 | 2020-04-09 | Dyln Lifestyle, LLC | Contoured double walled fluid container with internal compartment |
| US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
| US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
| CN109139181B (zh) * | 2018-10-17 | 2020-09-22 | 河南省中平防护设备制造有限公司 | 一种机油滤清器 |
| KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
| KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
| USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
| US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
| US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
| KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
| US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
| US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
| US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
| US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
| US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
| US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
| KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
| US11020690B2 (en) | 2018-12-06 | 2021-06-01 | Caterpillar Inc. | 3D printed filter center tube |
| US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
| TW202037745A (zh) | 2018-12-14 | 2020-10-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成裝置結構之方法、其所形成之結構及施行其之系統 |
| TW202405220A (zh) | 2019-01-17 | 2024-02-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ 私人控股有限公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
| KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
| JP2020136678A (ja) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置 |
| CN111593319B (zh) | 2019-02-20 | 2023-05-30 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于填充在衬底表面内形成的凹部的循环沉积方法和设备 |
| KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
| KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
| JP2020133004A (ja) | 2019-02-22 | 2020-08-31 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 基材を処理するための基材処理装置および方法 |
| KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
| US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
| KR20200108242A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체 |
| JP2020167398A (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-08 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置 |
| KR20200116855A (ko) | 2019-04-01 | 2020-10-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자를 제조하는 방법 |
| US11447864B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method and apparatus |
| KR20200125453A (ko) | 2019-04-24 | 2020-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
| KR20200130121A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기 |
| KR20200130118A (ko) | 2019-05-07 | 2020-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법 |
| KR20200130652A (ko) | 2019-05-10 | 2020-11-19 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조 |
| JP2020188255A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
| JP2020188254A (ja) | 2019-05-16 | 2020-11-19 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法 |
| USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
| USD947913S1 (en) | 2019-05-17 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
| USD935572S1 (en) | 2019-05-24 | 2021-11-09 | Asm Ip Holding B.V. | Gas channel plate |
| USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
| KR20200141002A (ko) | 2019-06-06 | 2020-12-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법 |
| KR20200143254A (ko) | 2019-06-11 | 2020-12-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조 |
| USD944946S1 (en) | 2019-06-14 | 2022-03-01 | Asm Ip Holding B.V. | Shower plate |
| US12017162B2 (en) | 2019-06-17 | 2024-06-25 | Caterpillar Inc. | Filter element having potted gasket end cap assembly |
| USD931978S1 (en) | 2019-06-27 | 2021-09-28 | Asm Ip Holding B.V. | Showerhead vacuum transport |
| RU193615U1 (ru) * | 2019-07-02 | 2019-11-06 | Антон Валерьевич Селютин | Фильтр |
| KR20210005515A (ko) | 2019-07-03 | 2021-01-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법 |
| JP7499079B2 (ja) | 2019-07-09 | 2024-06-13 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法 |
| CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
| KR20210010307A (ko) | 2019-07-16 | 2021-01-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| KR20210010816A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법 |
| KR20210010820A (ko) | 2019-07-17 | 2021-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법 |
| US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
| CN112242296A (zh) | 2019-07-19 | 2021-01-19 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法 |
| TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
| CN112309899A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| CN112309900A (zh) | 2019-07-30 | 2021-02-02 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
| US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
| US11227782B2 (en) | 2019-07-31 | 2022-01-18 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
| CN112323048B (zh) | 2019-08-05 | 2024-02-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于化学源容器的液位传感器 |
| USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
| USD965524S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-10-04 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor support |
| JP2021031769A (ja) | 2019-08-21 | 2021-03-01 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置 |
| USD979506S1 (en) | 2019-08-22 | 2023-02-28 | Asm Ip Holding B.V. | Insulator |
| USD940837S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-01-11 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode |
| USD949319S1 (en) | 2019-08-22 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Exhaust duct |
| KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
| USD930782S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor |
| US11286558B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film |
| KR20210024420A (ko) | 2019-08-23 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법 |
| KR20210029090A (ko) | 2019-09-04 | 2021-03-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법 |
| KR20210029663A (ko) | 2019-09-05 | 2021-03-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
| CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
| CN112635282A (zh) | 2019-10-08 | 2021-04-09 | Asm Ip私人控股有限公司 | 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法 |
| KR20210042810A (ko) | 2019-10-08 | 2021-04-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법 |
| KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
| US12009241B2 (en) | 2019-10-14 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette |
| TWI834919B (zh) | 2019-10-16 | 2024-03-11 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法 |
| US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
| KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
| KR20210050453A (ko) | 2019-10-25 | 2021-05-07 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
| US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
| KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
| US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
| KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
| CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
| CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
| JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． | 基板処理装置、基板処理方法 |
| KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
| KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
| TW202140135A (zh) | 2020-01-06 | 2021-11-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 氣體供應總成以及閥板總成 |
| US11993847B2 (en) | 2020-01-08 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Injector |
| TW202129068A (zh) | 2020-01-20 | 2021-08-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 形成薄膜之方法及修飾薄膜表面之方法 |
| TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
| TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
| USD926919S1 (en) * | 2020-02-04 | 2021-08-03 | P.C. Vaughan Manufacturing Corp. | Filter cap |
| US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
| WO2021163027A1 (en) * | 2020-02-11 | 2021-08-19 | Cummins Filtration Inc. | Advanced fuel filtration system with interlocking cartridge seal design |
| TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
| TW202203344A (zh) | 2020-02-28 | 2022-01-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 專用於零件清潔的系統 |
| USD933157S1 (en) * | 2020-03-10 | 2021-10-12 | As America, Inc. | Filter cartridge |
| KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
| KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
| CN113394086A (zh) | 2020-03-12 | 2021-09-14 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法 |
| KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
| TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
| TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
| US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
| US11996289B2 (en) | 2020-04-16 | 2024-05-28 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods |
| KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
| TW202146831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-12-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法 |
| TW202140831A (zh) | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成含氮化釩層及包含該層的結構之方法 |
| US11707703B2 (en) | 2020-04-27 | 2023-07-25 | Caterpillar Inc. | Filter element integrated seal profile |
| KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
| KR20210134869A (ko) | 2020-05-01 | 2021-11-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환 |
| KR20210141379A (ko) | 2020-05-13 | 2021-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구 |
| KR20210143653A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
| KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
| KR20210145080A (ko) | 2020-05-22 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치 |
| TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
| TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
| TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
| KR20220006455A (ko) | 2020-07-08 | 2022-01-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
| KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
| TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
| US11725280B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-08-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers |
| USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
| USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
| US12009224B2 (en) | 2020-09-29 | 2024-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for etching metal nitrides |
| TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
| TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
| TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
| KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
| US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
| TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
| CN113062784B (zh) * | 2021-04-30 | 2023-01-24 | 浙江银轮机械股份有限公司 | 冷却装置及发动机系统 |
| USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
| USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
| USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
| USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
| USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
| US20230356122A1 (en) * | 2022-05-06 | 2023-11-09 | Caterpillar Inc. | Fluid filter anti-prefill device |
Family Cites Families (108)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US662629A (en) * | 1900-07-21 | 1900-11-27 | Israel M Rose | Grinding and polishing device. |
| US2621796A (en) | 1948-02-09 | 1952-12-16 | Hastings Mfg Co | Oil filter |
| US3000505A (en) * | 1958-05-22 | 1961-09-19 | Purolator Products Inc | Filter unit |
| US3166498A (en) | 1962-10-02 | 1965-01-19 | Jr Herbert R Otto | Oil filter with check valve |
| BE629037A (ru) | 1963-04-19 | |||
| US3369666A (en) | 1965-09-22 | 1968-02-20 | Champion Lab Inc | Filter unit with anti-drain back valve means |
| DE1933283A1 (de) | 1969-07-01 | 1971-01-14 | Purolator Filter Gmbh | Filteranordnung,insbesondere fuer OElruecklauffilterung in Kraftfahrzeugen |
| US4172795A (en) | 1976-11-08 | 1979-10-30 | Friedrich Uhde Gmbh | Centrifugal pressure filter with horizontal filter disks |
| US4298465A (en) | 1979-06-07 | 1981-11-03 | Racor Industries, Inc. | Fuel filter and water separator apparatus |
| US4502956A (en) | 1982-02-24 | 1985-03-05 | Racor Industries, Inc. | Filter assembly |
| US5547572A (en) | 1985-05-14 | 1996-08-20 | Parker Hannifin Corporation | Fuel Filter |
| US4721563A (en) | 1986-09-11 | 1988-01-26 | Rosaen Borje O | Fluid filtering device |
| DE8714656U1 (de) | 1987-11-04 | 1987-12-17 | Ing. Walter Hengst GmbH & Co KG, 4400 Münster | Ölfilter für die Reinigung von Schmieröl |
| ES2053032T3 (es) | 1989-10-04 | 1994-07-16 | Mann & Hummel Filter | Filtro para liquidos para el aceite de engrase de un motor de combustion interna. |
| US5035797A (en) | 1990-02-14 | 1991-07-30 | Stanadyne Automotive Corp. | Key system for filter assembly |
| DE4124322A1 (de) | 1991-07-23 | 1993-01-28 | Knecht Filterwerke Gmbh | Filterpatrone, insbesondere anschraubfilter |
| US5203994A (en) | 1991-08-16 | 1993-04-20 | Stanadyne Automotive Corp. | Fuel filter retention system |
| DE69215795T2 (de) | 1991-08-16 | 1997-04-03 | Stanadyne Automotive Corp | Tropfwassergeschütztes Austauschsystem für Kraftstoffilter |
| DE59209746D1 (de) | 1991-12-17 | 1999-10-21 | Mann & Hummel Filter | Filter für Kraft- und/oder Schmierstoffe eines Verbrennungsmotors |
| US5300223A (en) | 1992-01-27 | 1994-04-05 | Allied-Signal Inc. | Quick connect/disconnect oil filter |
| US5302284A (en) | 1992-12-23 | 1994-04-12 | Stanadyne Automotive Corp. | Fuel filter with spring-loaded retention system |
| EP0616825A1 (en) | 1993-03-17 | 1994-09-28 | Fram Europe Limited | Fluid filter assemblies |
| DE4310234C1 (de) | 1993-03-30 | 1994-08-18 | Argo Feinmechanik | Rücklauffilter für Flüssigkeiten |
| DE9312051U1 (de) | 1993-08-12 | 1993-10-14 | Ing. Walter Hengst GmbH & Co KG, 48147 Münster | Filtereinsatz für ein Filter zur Filterung von flüssigen oder gasförmigen Medien |
| US5342519A (en) | 1993-07-30 | 1994-08-30 | Donaldson Company, Inc. | Fluid filter cartridge with replaceable filter element |
| US6016923A (en) | 1993-08-12 | 2000-01-25 | Ing. Walter Hengst Gmbh & Co. Kg | Filter cartridge for a filter for filtering liquid or gaseous media |
| US6113781A (en) | 1993-09-15 | 2000-09-05 | Parker-Hannifin Corporation | Fuel filter with dual flow |
| AU7797194A (en) | 1993-09-15 | 1995-04-03 | Parker-Hannifin Corporation | Fuel filter element |
| US5922199A (en) | 1993-09-15 | 1999-07-13 | Parker Hannifin Corporation | Double pass fuel filter assembly |
| US5474676A (en) | 1993-12-13 | 1995-12-12 | Stanadyne Automotive Corp. | Filter base assembly |
| US5484527A (en) | 1993-12-13 | 1996-01-16 | Stanadyne Automotive Corp. | Module for filter assembly base |
| US5366400A (en) | 1993-12-27 | 1994-11-22 | Michael Kucik | Apparatus and method for draining out the residual oil in a replaceable oil filter used in a marine engine for avoiding pollution to the environment when changing filters |
| CA2153737A1 (en) | 1994-07-12 | 1996-01-13 | Mark A. Roll | Rebuildable spin-on filters |
| DE9411212U1 (de) | 1994-07-13 | 1994-09-01 | Ing. Walter Hengst GmbH & Co KG, 48147 Münster | Flüssigkeitsfilter |
| US5458767A (en) | 1994-08-10 | 1995-10-17 | Parker-Hannifin Corporation | Fuel filter assembly with dual filter media and by-pass device |
| DE4428771A1 (de) | 1994-08-13 | 1996-02-15 | Mann & Hummel Filter | Filter, insbesondere zum Reinigen von Schmieröl einer Brennkraftmaschine |
| GB9423823D0 (en) | 1994-11-25 | 1995-01-11 | Glacier Metal Co Ltd | Improvements in and relating to filtration |
| DE4443581C2 (de) | 1994-12-09 | 1999-08-05 | Daimler Benz Ag | Flüssigkeitsfilter, insbesondere Kraftstoff- oder Ölfilter |
| US5578221A (en) | 1994-12-23 | 1996-11-26 | Stanadyne Automotive Corp. | Fuel filter with improved hand primer |
| DE19502020C2 (de) | 1995-01-24 | 2002-02-28 | Mann & Hummel Filter | Flüssigkeitsfilter |
| DE29623867U1 (de) | 1995-03-16 | 2000-05-25 | Hengst Walter Gmbh & Co Kg | Filterelement für einen Flüssigkeitsfilter mit Filterumgehungsventil und filterelementseitiger Dichtfläche |
| US5548893A (en) | 1995-03-20 | 1996-08-27 | Koelfgen; Douglas F. | Spin-on oil filter replacement element |
| DE19511450A1 (de) | 1995-03-29 | 1996-10-02 | Argo Gmbh Fuer Fluidtechnik | Nebenstromfilteraggregat |
| DE29509806U1 (de) | 1995-06-16 | 1995-08-24 | Ing. Walter Hengst GmbH & Co KG, 48147 Münster | Flüssigkeitsfilter |
| US6068762A (en) | 1995-09-29 | 2000-05-30 | Parker-Hannifin Corporation | Reusable oil filter assembly |
| FI98990C (fi) | 1995-10-27 | 1997-09-25 | Parker Hannifinn Oy | Suodatin |
| DE19539918C1 (de) | 1995-10-27 | 1997-02-06 | Hengst Walter Gmbh & Co Kg | Flüssigkeitsfilter, insbesondere für Öl oder Kraftstoff einer Brennkraftmaschine, und dazu passender maschinenseitiger Filteranschlußflansch |
| DE19540251C2 (de) | 1995-10-28 | 1997-11-20 | Hengst Walter Gmbh & Co Kg | Kühlmittelfilter |
| BR9611272A (pt) * | 1995-11-01 | 1999-01-26 | Parker Hannifin Corp | Alojamento para filtro e elemento para o mesmo |
| GB2306342B (en) | 1995-11-02 | 2000-03-01 | Pall Corp | Filter assemblies and end caps for filter assemblies |
| US5660771A (en) | 1995-11-29 | 1997-08-26 | Dana Corporation | Molding process for forming a sealing gasket on filter media |
| FI101201B1 (fi) | 1995-12-14 | 1998-05-15 | Parker Hannifin Oy | Suodatin |
| US5738785A (en) | 1995-12-20 | 1998-04-14 | Baldwin Filters, Inc. | Oil filter housing |
| US5685985A (en) | 1995-12-20 | 1997-11-11 | Baldwin Filters, Inc. | Environmentally friendly filter cartridge |
| US5702602A (en) | 1995-12-20 | 1997-12-30 | Baldwin Filters, Inc. | Filter system with environmentally friendly filter cartridge |
| JP3680396B2 (ja) | 1995-12-27 | 2005-08-10 | 株式会社デンソー | エレメント交換型フィルタ |
| RU2113268C1 (ru) * | 1996-01-05 | 1998-06-20 | Арендное автомеханическое предприятие "Седан" | Элемент фильтрующий |
| GB2309397B (en) | 1996-01-25 | 2000-08-02 | Mann & Hummel Filter | Oil filter |
| DE29602330U1 (de) | 1996-02-10 | 1996-05-30 | Ing. Walter Hengst GmbH & Co KG, 48147 Münster | Filterablauf mit Federverschluß |
| DE19606182A1 (de) | 1996-02-20 | 1997-08-21 | Mann & Hummel Filter | Abtrennvorrichtung |
| DE19623190C2 (de) | 1996-06-11 | 1998-07-30 | Hengst Walter Gmbh & Co Kg | Filtergehäuse mit ungleichförmiger Rippe |
| US5858227A (en) | 1996-09-23 | 1999-01-12 | Parker-Hannifin Corporation | Fuel filter assembly with in-line valve |
| DE19644646A1 (de) | 1996-10-26 | 1998-04-30 | Mann & Hummel Filter | Filter, insbesondere zur Filtrierung des Schmieröls einer Brennkraftmaschine |
| US5772881A (en) | 1996-11-08 | 1998-06-30 | Champion Laboratories, Inc. | Non-metallic spin-on filter |
| DE69724076T2 (de) | 1996-11-20 | 2004-06-09 | Denso Corp., Kariya | Ölfilter |
| US5785850A (en) | 1997-03-17 | 1998-07-28 | Certified Technologies Corp. | Cleanable oil filter |
| FR2762230B1 (fr) | 1997-04-18 | 1999-07-16 | Fleetguard | Filtre et cartouche de filtrage a flasque flexible pour le filtrage de liquides circulant dans un moteur ou dans un equipement hydraulique |
| DE19731556A1 (de) | 1997-07-23 | 1999-01-28 | Mann & Hummel Filter | Filteranordnung |
| US6045693A (en) | 1997-07-24 | 2000-04-04 | Fleetguard, Inc. | Spin-on filter assembly |
| DE19847999A1 (de) | 1998-10-17 | 2000-04-20 | Mann & Hummel Filter | Filtereinrichtung |
| US6610203B1 (en) | 1998-11-14 | 2003-08-26 | Filterwerk Mann & Hummel Gmbh | Liquid filter, particularly for oil or fuel in an internal combustion engine |
| US6322697B1 (en) * | 1999-07-19 | 2001-11-27 | Donaldson Company, Inc. | Oil filter assembly |
| DE19934378A1 (de) | 1999-07-22 | 2001-01-25 | Mann & Hummel Filter | Filter mit Flüssigkeiten |
| BR0007088B1 (pt) | 1999-09-09 | 2009-08-11 | filtro para fluidos com uma cúpula de descarga que é fixada na estrutura. | |
| BR0007048B1 (pt) | 1999-09-17 | 2009-08-11 | filtro para fluidos. | |
| US6174438B1 (en) | 1999-10-15 | 2001-01-16 | Parker-Hannifin Corporation | Dual pass fuel filter assembly and element therefor |
| DE19955635A1 (de) | 1999-11-20 | 2001-05-31 | Argo Gmbh Fuer Fluidtechnik | Filtervorrichtung |
| DE29921168U1 (de) | 1999-12-02 | 2001-04-05 | Hengst Walter Gmbh & Co Kg | Flüssigkeitsfilter mit demontierbarem, zentralen Bauteil, mit zusätzlichem Haltebauteil |
| DE19961580A1 (de) | 1999-12-21 | 2001-06-28 | Mann & Hummel Filter | Flüssigkeitsfilter mit Ablaß für Flüssigkeitsrückstände |
| EP1125621B1 (en) | 2000-02-16 | 2006-10-04 | Stanadyne Corporation | Ecological fuel filter cartridge and assembly |
| EP1126159B1 (en) | 2000-02-16 | 2006-11-08 | Stanadyne Corporation | Key system for ecological filter cartridge and element |
| DE20004431U1 (de) | 2000-03-09 | 2000-06-21 | Mann & Hummel Filter | Flüssigkeitsfilter mit Umgehungsventil |
| DE20012736U1 (de) | 2000-07-22 | 2000-09-21 | Mann & Hummel Filter | Baugruppe für eine Brennkraftmaschine mit einem Ölfilter |
| US6591807B1 (en) | 2000-08-25 | 2003-07-15 | Walter Hengst Gmbh & Co Kg | Combination comprising a main unit and at least one add-on functional unit |
| US6554140B2 (en) * | 2000-12-19 | 2003-04-29 | Fleetguard, Inc. | Spin-on filter assembly |
| US20020104794A1 (en) * | 2001-02-06 | 2002-08-08 | Hoffmann Jack E. | Filter apparatus using alternate types of replaceable filter elements |
| US6571962B2 (en) * | 2001-04-30 | 2003-06-03 | Fleetguard, Inc. | Cartridge filter element with housing seal retainer |
| DE10133893A1 (de) * | 2001-07-12 | 2003-01-30 | Mahle Filtersysteme Gmbh | Ringförmige Kunststoff-Endscheibe für ein Ringfilter |
| US6607665B2 (en) | 2001-07-17 | 2003-08-19 | Baldwin Filters, Inc. | Fuel filter element and cover assembly |
| US6974539B1 (en) | 2001-10-01 | 2005-12-13 | Wix Filtration Corp. | Combination filter element support and anti-prefill valve |
| RU24949U1 (ru) * | 2002-02-28 | 2002-09-10 | Закрытое акционерное общество "Седан" | Фильтрующий элемент |
| US6740234B1 (en) | 2002-03-05 | 2004-05-25 | Stanadyne Corporation | Key track system |
| US6823996B2 (en) * | 2002-04-26 | 2004-11-30 | Donaldson Company, Inc. | Spin-on filter including improved seal arrangement and methods |
| US6729477B2 (en) | 2002-05-03 | 2004-05-04 | Arvin Technologies, Inc. | Fluid filter retainer and seal apparatus |
| US7182864B2 (en) | 2002-06-07 | 2007-02-27 | Baldwin Filters, Inc. | Housing for environmentally friendly filter cartridge |
| US7014761B2 (en) * | 2002-06-07 | 2006-03-21 | Baldwin Filters, Inc. | Environmentally friendly dual lube venturi filter cartridge |
| GB2389323B (en) | 2002-06-07 | 2005-08-17 | Baldwin Filters Inc | Environmentally friendly filter cartridge |
| US6972092B1 (en) | 2003-05-16 | 2005-12-06 | Wix Filtration Corp. | Self-venting valve end cap and method |
| US6988625B2 (en) * | 2004-02-16 | 2006-01-24 | Fleetguard, Inc. | Fluid filter with low-cost housing |
| DE202004006545U1 (de) * | 2004-04-22 | 2004-08-19 | Mann + Hummel Gmbh | Filterelement |
| US20060091064A1 (en) * | 2004-11-02 | 2006-05-04 | Baldwin Filters, Inc. | Filter apparatus with separable seal support frame |
| US20060096934A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-11 | Weinberger Keith R | Oil filter assembly |
| DE102004058885B4 (de) | 2004-12-06 | 2016-12-22 | Mann + Hummel Gmbh | Füssigkeitsfilter |
| BRPI0707562B1 (pt) | 2006-02-09 | 2017-12-12 | Parker-Hannifin Corporation | Filter element with flux directing end cap |
| DE202006018334U1 (de) | 2006-12-04 | 2008-04-17 | Mann+Hummel Gmbh | Ölfilter und Filtereinsatz für einen derartigen Ölfilter |
| DE202006018335U1 (de) | 2006-12-04 | 2008-04-17 | Mann+Hummel Gmbh | Auswechselbarer Filtereinsatz |
| US8845897B2 (en) | 2007-06-18 | 2014-09-30 | Cummins Filtration Ip, Inc. | Drain valve for filter service and method |
| US8272516B2 (en) * | 2007-11-19 | 2012-09-25 | Caterpillar Inc. | Fluid filter system |
-
2007
- 2007-11-19 US US11/984,503 patent/US8272516B2/en active Active
-
2008
- 2008-11-18 CA CA2885458A patent/CA2885458C/en active Active
- 2008-11-18 CA CA2704233A patent/CA2704233C/en active Active
- 2008-11-18 RU RU2010125124/05A patent/RU2495703C2/ru active
- 2008-11-18 CN CN200880116674.0A patent/CN101861193B/zh active Active
- 2008-11-18 ES ES08852291.7T patent/ES2637345T3/es active Active
- 2008-11-18 JP JP2010534054A patent/JP5324592B2/ja active Active
- 2008-11-18 EP EP08852291.7A patent/EP2234689B1/en active Active
- 2008-11-18 AU AU2008326806A patent/AU2008326806B2/en active Active
- 2008-11-18 BR BRPI0820545A patent/BRPI0820545B1/pt active IP Right Grant
- 2008-11-18 WO PCT/US2008/012871 patent/WO2009067188A1/en active Application Filing
-
2010
- 2010-05-21 ZA ZA2010/03622A patent/ZA201003622B/en unknown
-
2012
- 2012-08-07 US US13/568,945 patent/US8540080B2/en active Active
-
2013
- 2013-07-18 JP JP2013149798A patent/JP5709181B2/ja active Active
- 2013-08-23 US US13/974,813 patent/US9089795B2/en active Active
-
2015
- 2015-02-25 JP JP2015035775A patent/JP6073394B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2009067188A1 (en) | 2009-05-28 |
| BRPI0820545A2 (pt) | 2015-06-16 |
| CA2885458A1 (en) | 2009-05-28 |
| AU2008326806B2 (en) | 2013-06-06 |
| ES2637345T3 (es) | 2017-10-11 |
| EP2234689A1 (en) | 2010-10-06 |
| US9089795B2 (en) | 2015-07-28 |
| CA2885458C (en) | 2016-01-19 |
| EP2234689B1 (en) | 2017-06-14 |
| CN101861193B (zh) | 2014-03-12 |
| ZA201003622B (en) | 2011-07-27 |
| AU2008326806A1 (en) | 2009-05-28 |
| CA2704233A1 (en) | 2009-05-28 |
| US8272516B2 (en) | 2012-09-25 |
| JP2011504135A (ja) | 2011-02-03 |
| RU2495703C2 (ru) | 2013-10-20 |
| JP2014012274A (ja) | 2014-01-23 |
| JP5709181B2 (ja) | 2015-04-30 |
| US20090127198A1 (en) | 2009-05-21 |
| CN101861193A (zh) | 2010-10-13 |
| JP6073394B2 (ja) | 2017-02-01 |
| US8540080B2 (en) | 2013-09-24 |
| US20130334147A1 (en) | 2013-12-19 |
| CA2704233C (en) | 2016-02-23 |
| US20130033006A1 (en) | 2013-02-07 |
| JP2015127055A (ja) | 2015-07-09 |
| JP5324592B2 (ja) | 2013-10-23 |
| BRPI0820545B1 (pt) | 2018-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2010125124A (ru) | Система фильтрации текучей среды | |
| EP3461548B1 (en) | Spin-on filter with external threads and methods | |
| CN105935501B (zh) | 油水分离过滤器 | |
| JP5133417B2 (ja) | フィルタカートリッジハウジング取付けシステム | |
| US8132675B2 (en) | Filter having baseplate with internal gasket location | |
| RU2659906C2 (ru) | Фильтрующий элемент с волнообразным уплотнением | |
| RU2612639C2 (ru) | Концевая пластина фильтрующего элемента, образующая пути движения притока и оттока | |
| CN102781540B (zh) | 过滤装置 | |
| RU2008122554A (ru) | Жидкостный фильтр и его узел | |
| CN105327577B (zh) | 用于分离流体的装置以及该装置的壳体、壳盖和连接件 | |
| JP2010000501A (ja) | 流体フィルター、流体フィルターアセンブリ及び取り付け方法 | |
| JP2014531557A (ja) | シュノーケルベントを有する燃料フィルタ | |
| US9757672B2 (en) | Coalescer filter | |
| CN108495698A (zh) | 用于从气体中分离至少一种流体的装置的壳体、流体出口密封部件、壳体盖、连接部件，以及用于分离流体的装置和设备 | |
| AU2014240074B2 (en) | Composite filter cartridge | |
| JP5484838B2 (ja) | 内燃機関において液体をろ過するためのろ過装置 | |
| US11565203B2 (en) | Filter element of a filter for liquid, drain closure element for a drain opening in a filter housing, housing part of a filter housing and filter | |
| US20030146143A1 (en) | High strength, spin-on filter | |
| CN203990025U (zh) | 过滤单元 | |
| CN215049164U (zh) | 简易型多合一滤芯 | |
| CN215102343U (zh) | 多合一滤芯结构 |