JP5709181B2 - エンドキャップ - Google Patents

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Description

関連出願の相互参照
本出願は2007年11月19日に提出された米国特許出願第11/984,503号に対し優先権を主張するものであり、その内容は参照することにより本明細書に組み込まれる。
本開示はフィルタに関し、より詳細には流体フィルタシステムに関する。
例えばエンジンに関連する燃料または潤滑剤などのカートリッジ式の流体フィルタは、典型的にはエンジンに螺合される容器に収容された交換式のフィルタエレメントを備えている。ろ過されていない流体(例えば燃料または潤滑剤)は、入口を介してフィルタに受け入れられ、微粒子はフィルタエレメントによって、ろ過されていない流体から取り除かれ、ろ過された流体は出口を介してエンジンに送られる。フィルタエレメントは多くの場合、1つ以上のエンドキャップによって容器内に支持される略円筒状のろ過材(例えば織物または他の多孔性材料)を備えているため、ろ過されていない流体はろ過材を通って略半径方向に流れる。エンドキャップは典型的に、容器内且つ入口および出口に対してろ過材を支持しおよび/または配置する。流体フィルタはまた、ろ過されていない流体がろ過材を迂回することを減らすまたは回避するため、封止的に入口および出口を分離する1つ以上のシールを大抵備えている。
通常、このような流体フィルタのフィルタエレメントは、ろ過材の圧力低下を減らし、シールの劣化を回避し、および/または、さもなければ確実に流体フィルタを所望通りに機能させるようにするため、しばしば交換される。フィルタエレメントを交換するために、容器は大抵エンジンからねじ外され、流入流と排出流との間のシールは取り外され、古いフィルタエレメントが容器から取り出され、新しいフィルタが挿入され、容器はエンジンに再びねじ入れられる。フィルタのカートリッジを交換する操作者は、容器を流体で充填して、流体システム内に空気が混入するのを回避または減少させる場合がある。この充填した流体は、以前に使用され、および/またはろ過されていない流体であることが多く、容器を充填することによって、ろ過材の下流側、すなわち、ろ過された流体側に移動しないように細心の注意が必要とされる場合がある。さらに、配置入口と出口との間に十分な封止を設け、従ってろ過されていない流体がろ過材を迂回することを減らすために、フィルタカートリッジ交換時に古いシールまたは新しいシールのいずれかのシールを適切に再配置することが望ましい。十分ではない封止および/または操作者の充填のいずれかによる、ろ過材下流のろ過されていない流体および/または充填液によって、作業中に1つ以上のエンジン部品を傷つける場合がある。
Steger,Jrらに発行された特許文献1では、外側シェルとフィルタベースとの間にシールを形成する外側シール、およびエンドキャップとフィルタベースとの間にシールを形成する内側シールを備えるフィルタアセンブリが開示されている。フィルタアセンブリは、フィルタベースに外側シールを押さえ付けるナットプレートを介してフィルタベースにねじ込むように取り付けられている。フィルタアセンブリはまた、ろ過されていない流体がろ過されていない流体通路から外側シェルとフィルタエレメントとの間にある半径方向の空間へと流れ、ろ過されていない流体がフィルタエレメントを通って内側通路に流入し、得られたろ過された流体がろ過された流体通路内に流入するフィルタエレメントを備える。
米国特許第6,554,140号明細書
特許文献1では、フィルタアセンブリと外側シールを備えたフィルタベースとの間にシールが提供され得、且つろ過された流体通路と内側シールを備える内側通路との間の接合部における流体の漏出を最小限に抑えるシールが提供され得る。しかし、特許文献1では、これらの封止を成し遂げるために多くの構成要素が必要とされ、その精密な製造公差を必要とする組み立ておよび位置合わせを複雑にし、および/または封止の十分性を減少させる場合がある。さらに、特許文献1のフィルタアセンブリをフィルタベースに再接合させること、および内側シールと外側シールとを配置することには、フィルタベースとのその適切な位置合わせ、およびフィルタアセンブリの適切な再封止および再接合を確実にするための特殊な形状を備える独特なナットプレートが必要とされる場合がある。
本開示は上記欠点の1つ以上を克服することを目的とする。
一態様では、本開示はエンドキャップに関する。エンドキャップは半径方向内側部分および半径方向外側部分を含み、且つ長手軸を画定する第1プレート部材を含む。エンドキャップはまた、第1プレート部材の半径方向内側部分と半径方向外側部分との間に配置され、且つ第1方向に長手軸に沿って軸方向に突出するフランジを備えている。エンドキャップはまた、フランジに隣接して配置された第1シール部材を含んでいる。第1シールは、第1プレート部材の軸方向に面する表面と係合したその第1部分、およびフランジの半径方向に面する表面と係合したその第2部分を備えている。エンドキャップはさらに、半径方向外側部分の外側に半径方向に配置された第2プレート部材、および第1方向とは反対側の長手軸に沿って第2方向に第1プレート部材の軸方向に面する表面から軸方向に離間したその少なくとも一部を含む、第2プレート部材に隣接して配置された第2シール部材を備えている。
別の態様では、本開示は、ろ過材を、ベース、容器、および出口を備えるフィルタシステムに封止的に接合するための装置に関する。エンドキャップは、半径方向内側部分、半径方向外側部分、および長手軸を有する、実質的に環状形状の第1壁部分を備える本体を備えている。装置はまた、出口に関連付けられた第1の半径方向に面する表面に対して第1の半径方向に面するシール境界面を確立するように構成され、且つろ過材から第1軸方向距離に配置されたその少なくとも一部を有する第1シール部材を備えている。装置はまた、ベースに関連付けられた第2半径方向に面する表面に対して半径方向に面するシール境界面を確立するように構成され、且つろ過材から第2軸方向距離に配置された第2シール部材を備えている。第2軸方向距離は第1軸方向距離よりも小さい。
別の態様では本開示は、フィルタアセンブリに関する。フィルタアセンブリは長手軸を画定するフィルタを備えている。フィルタアセンブリはまた、第1の半径方向に面するシール境界面を確立するように構成された第1シール部材を備えている。第1シール部材の少なくとも一部は、フィルタから第1距離だけ軸方向に離間されている。フィルタアセンブリはさらに、第1の半径方向に面するシール境界面の半径方向外側に第2の半径方向に面するシール境界面を確立するように構成された第2シール部材を備えている。第2シール部材は、フィルタから第2軸方向距離だけ軸方向に離間されている。第2軸方向距離は第1軸方向距離よりも小さい。
さらに別の態様では、本開示はフィルタシステムに関する。フィルタシステムは、入口、出口、および長手軸を有するベースを備えている。出口は長手軸に対して入口の半径方向内側に配置されている。フィルタシステムはまた、ベースに螺合された容器を備えている。フィルタシステムはまた、長手軸に対して容器内に半径方向に配置されたろ過材を備えている。フィルタシステムはさらに、実質的に環状形状および第1壁部材の半径方向外側に配置された少なくとも1つの開口を有する第1壁部材を含むエンドキャップを備えている。フィルタシステムはまた、エンドキャップに接合され、且つベースの少なくとも一部に対し半径方向に圧縮されるように構成された第1シール部材を備えている。フィルタシステムはさらに、エンドキャップに接合され且つ出口に対して半径方向に圧縮されるように構成された第2シール部材を備えている。
本開示によれば、上記欠点の1つ以上が克服される。
本開示による例示的な流体フィルタの概略断面図である。 図1の流体フィルタの例示的なエンドキャップの概略図である。
図1は例示的な流体システム10を示している。流体フィルタシステム10は、ベース12、容器14、フィルタアセンブリ16、および長手軸18を備えてもよい。流体システム10は流体システム(図示せず)内のいくつかの構成要素の1つであってもよく、且つ流体システムの1つ以上の上流構成要素から、ろ過されていない流体を受け入れ、ろ過されていない流体内に浮遊した粒子を捕捉(すなわち流体をろ過)し、ろ過された流体を流体システムの1つ以上の下流構成要素に供給するように構成されてもよい。流体システムは、任意の種類の流体システム、例えば燃料供給システム、潤滑システム、および/または冷却システムを備えてもよく、エンジン(図示せず)に動作可能に関連付けされていても、または関連付けられていなくてもよい。さらに、流体システム10は、任意の種類の流体、例えばガソリン、ディーゼル燃料、潤滑油、水、冷却剤、および/または任意の他の種類の流体をろ過するように構成されてもよい。流体システムの流体は、加圧されていても、加圧されていなくてもよく、加圧されている場合には、任意の圧力で加圧されていてもよいことが想定される。
ベース12は外部壁20および装着部22を備えていてもよい。外部壁20は実質的に円筒状の形状であってもよく、容器14上に備えられた雄ねじ31と螺合するように構成された雌ねじ21を備えてもよい。装着部22は、例えば1つ以上のボルト孔(参照せず)を介してエンジンに流体フィルタシステム10を接合するように構成されてもよい。ベース12はさらに、入口24および出口26を画定してもよい。入口24は流体システムの1つ以上の上流構成要素からろ過されていない流体を受け入れるように構成されてもよく、且つフィルタアセンブリ16に向けてろ過されていない流体を方向付けるように構成されてもよい。具体的には入口24は、ベース12内且つ長手軸18に対して略環状の空間を備えてもよい。出口26はフィルタアセンブリ16からろ過された流体を受け入れるように構成されてもよく、且つ流体システムの1つ以上の下流構成要素に向けてろ過された流体を方向付けるように構成されてもよい。具体的には、出口26は、長手軸18に対して略環状の空間を備えてもよく、且つ入口24内で半径方向に配置されてもよい。入口24および出口26は各々、任意の形状および/または輪郭(例えば多面)を有するベース内の空間を画定してもよいことが想定される。
容器14は外部壁28および端壁30を備えてもよい。外部壁28は実質的に円筒状の形状であり、ベース12上に備えられた雌ねじ21と螺合するよう構成された雄ねじ31を備えてもよい。端壁30は雄ねじ31とは反対側にある外部壁28の端部に配置されてもよい。外部壁28および端壁30は一般に、フィルタアセンブリ16を包含するように構成された内部空洞を画定してもよい。雌ねじ21および雄ねじ31は各々、時計回り、または反時計回りの方向のいずれかにそれぞれ延在してもよいことが想定される。また容器14は、容器14からの流体の排出を容易にするように構成され得る従来の任意の排出口(参照せず)を備えてもよく、および/または流体システムの流体の圧力を制限する従来の任意の安全弁(図示せず)を備えてもよいことが想定される。雌ねじ21と雄ねじ31との係合およびその結果としての摩擦係合は当技術分野では周知であり、従ってさらなる説明をしないことを理解されたい。
フィルタアセンブリ16は第1エンドキャップ32およびろ過材34を備えてもよい。第1エンドキャップ32はベース12に隣接して配置されてもよく、容器14内に且つ容器14に対してろ過材34を支持するように、ベース12と容器14との間および入口24と出口26との間にそれぞれシールを設けるように構成されてもよい。ろ過材34は、流体内に浮遊した微粒子および/または別の粒子を捕捉するように構成されてもよく、長手軸18の周囲に配置され且つ長手軸18に沿って延在する略円筒の形状を備えてもよい。フィルタアセンブリ16はまた、スリーブ36および第2エンドキャップ38を備えてもよい。スリーブ36はろ過材34内に半径方向に、あるいはその半径方向外側に配置された略円筒状のチューブを備えてもよく、且つ流体がそこ、例えば(図1に示すように)ろ過材34から内部空間40を通って流出できるようにろ過材内に構成された1つ以上の穿孔37を備えてもよい。ベース12に隣接して配置されたスリーブ36の第1端部は、第1エンドキャップ32と係合(すなわち接触)してもよく、且つ容器14の端壁30と隣接して配置されたスリーブ36の第2端部は第2エンドキャップ38と係合(すなわち接触)してもよい。第2エンドキャップ38は容器14の端壁30と隣接して配置されてもよく、容器14内で且つ容器14に対してろ過材34を支持するように構成されてもよい。第2エンドキャップ38は容器14の外部壁28および/または端壁30の内面と係合してもよいことが想定される。またろ過材34は、当技術分野で公知の任意のろ過材料および/またはろ過材、例えば織物または別の多孔性物質を備えてもよく、ひだ状でもひだ状でなくてもよいことが想定される。また第1エンドキャップ32、第2エンドキャップ38、およびスリーブ36は、好適な任意の材料、例えばポリマーまたは他のプラスチックから製造されてもよく、且つ射出成形されてもよいことが想定される。さらに、穿孔37は任意の形状、サイズ、および/または量を備えてもよく、且つスリーブ36は選択的に省略されてもよいことが想定される。
図1および図2を参照すると、第1エンドキャップ32は、ベース12と容器14との間に流体シールを設けるように構成された外側シール部材42、および入口24と出口26との間に流体シールを設けるように構成された内側シール部材44を備えてもよい。具体的には、第1エンドキャップ32は、略環状形状の第1壁46、第1壁46の半径方向外側部分(例えば外縁)に隣接して配置された略円筒形状の第2壁48、および第1壁46の半径方向内側部分(例えば内縁)に隣接して配置された略円筒形状の第3壁50を有する本体を備えてもよい。第1壁46は軸18に略垂直なプレート形状を備えてもよい。第2壁48および第3壁50は一般に、長手軸18に沿って、(すなわち略平行して)、方向Aに(例えば容器14の端壁に向かって)延在してもよい。第1エンドキャップはまた、第1壁46の内側部分と外側部分との間に配置され、且つ一般に長手軸18に沿って実質的に方向Aとは反対側の(例えば容器14の端壁30から離れる)方向Bに延在する略円筒状のフランジ52を備えてもよい。第1エンドキャップ32はまた、(図2により明確に示されるように)複数のアーム56を介して第1壁46から半径方向外側に配置され、且つ一般に長手軸18に沿って方向Aに延在する略円筒形状に離間された第4壁54を備えてもよい。アーム56は任意の形状、長さ、および/または量を備えてもよく、且つその隣接するアーム56間に、任意の形状、長さ、および/または量を備える開口57を画定してもよい。第1エンドキャップ32はまた、一般に第4壁54の第1端部から外側半径方向に、軸18に略垂直な方向に延在する略環状形状の第5壁58を備えてもよい。第4壁54の第2端部はベース12の内面に形成された溝60に適合するように構成されてもよい。溝60は第4壁54の円周形状に対して実質的に相補的であってもよいことが想定される。エンドキャップ32に隣接して配置された出口26の軸方向端部は、フランジ52内で半径方向(すなわち軸18により近い半径方向)位置で第1壁46と接触し、内面および/または外面上に面取り、丸み、およびテーパを備えてもよく、および/または、例えば、以下にさらに詳細に説明されるように操作者がフィルタアセンブリ16を交換する際に、内部シール部材44が出口26の軸方向端部を通過できるように構成された他の任意の形状を備えてもよいことが想定される。さらに、エンドキャップ32は、ろ過材34に固定的に接続されても、固定的に接続されなくてもよく、および/またはベース12および出口26に対して、例えば上方のプレートおよび/または別のエンドキャップを、螺合を介してベース12に相互接合するように構成されたアダプタのような流体シールを確立するように構成された任意の装置を備えてもよいことが想定される。
外側シール部材42は、第5壁58の半径方向の最も外側の縁部に隣接して配置され、且つそれを囲むように構成されてもよく、第5壁58と、従って第1エンドキャップ32と一体化していてもよい。具体的には、外側シール部材42は、ベース12および容器14に対してして流体シールを設けるように構成されてもよく、そのため、結果として、外部環境は、ベース12の軸方向に面する表面と容器14の軸方向に面する表面との間で圧縮される。例えば軸方向に面する表面は大部分が軸18に平行でない面(例えば軸18に略垂直であり得る面)を備えてもよい。外側シール部材42は、例えば、ベース12の軸方向に面する表面および容器14の軸方向に面する表面に対して、軸方向に面するシール境界面を確立するようにそれぞれ構成されたその第1部分および第2部分を有する周囲外面を備えてもよい。加えて、ベース12は、外側シール部材42の形状に相補的になるように構成されたその内面に陥凹(参照せず)を備えてもよい。
内側シール部材44は、フランジ52の半径方向内側に、且つ出口26の半径方向外側に配置されてもよく、フランジ52と一体化し、従って第1エンドキャップ32と一体化してもよい。具体的には、内側シール部材44は、フランジ52の半径方向に面する内面と出口26の半径方向に面する外面との間で圧縮されることにより、入口24と出口26の間に流体シールを設けるように構成されてもよい。例えば半径方向に面する表面は、軸18に大部分が垂直でない表面(例えば軸18に略平行であり得る表面)を備えてもよい。内側シール部材44は、第1壁46の軸方向に面する表面およびフランジ52の軸方向に面する表面と係合するようにそれぞれ構成されたその第1部分および第2部分を有する周囲外面を備えてもよい。加えて、内側シール部材44の周囲外面は出口26に対して半径方向に面するシール境界面を確立するように構成されたその第3部分を備えてもよい。フランジ52は、出口26および内側シール部材44のそれぞれ少なくとも一部を少なくとも部分的に囲んでもよく、それにより内側シール部材44はその間で圧縮され、フランジ52は、出口26から外側半径方向に且つ離れるように内側シール部材44の(例えば内側シール部材44に作用する入口24から送られてくる流体により生成された力により生じ得る)移動を抑えることにより、内側シール部材44により確立された半径方向に面するシール境界面の維持を支援してもよい。
内側シール部材44の少なくとも一部は長手軸18に沿って方向Bに軸方向に延在してもよく、外側シール部材42よりも大きい軸方向距離は長手軸18に沿って方向Bに軸方向に延在してもよい。換言すれば、内側シール部材44の少なくとも一部は、ろ過材34の第1端部(図1の線Dとして示す)から長手軸18に沿って第1軸方向距離Cに延在していてもよく、外側シール部材42は、ろ過材34の第1端部(線D)から長手軸18に沿って第2軸方向距離Eに延在していてもよく、且つ第1軸方向距離Cは第2軸方向距離Eよりも大きくてもよい。加えて、内側シール部材44の少なくとも一部は容器14の軸方向端面(図1の線Gとして示す)から長手軸18に沿って第1軸方向距離Fに延在していてもよく、外側シール部材42は容器14の軸方向端面(線G)から長手軸18に沿って第2軸方向距離Hに延在していてもよく、且つ第1軸方向距離Fは第2軸方向距離Hよりも大きくてもよい。このように、外側シール部材42と内側シール部材44との間の軸関係および第1エンドキャップ32の本体は、入口24と出口26との間で好適な封止を維持しながら、入口24から開口57に向けて、次いでろ過材34に向けて流体の流れを方向付けるのを改善および/または支援する。
外側シール部材42および内側シール部材44の両方は、長手軸18の周囲で略円筒形状であってもよく、任意の断面形状を備えてもよく、例えば外側シール部材42は実質的に楕円形または円形の形状を備えてもよく、および/または内側シール部材44は実質的に四角または長方形の形状を備えてもよいことが想定される。また外側シール部材42は、螺合されると、ベース12および容器14の軸方向に面する端面間の軸方向距離の関数として圧縮されてもよく、内側シール部材44はフランジ52の半径方向に面する内面と出口26の半径方向に面する外面との間の半径方向距離の関数として圧縮されてもよいことも想定される。また外側シール部材42は軸方向に面するシール境界面、例えば、ベース12および/または容器14に対して、流体が軸方向に面する表面に沿って流出するのを実質的に防ぐシール境界面だけでなく、半径方向に面するシール境界面、例えば、ベース12に対して、流体が半径方向に面する表面に沿って流出するのを実質的に防ぐシール境界面も確立してもよく、内側シール部材44は、軸方向に面するいかなるシール境界面も確立せずに、フランジ52および/または出口26に対して半径方向に面するシール境界面を確立してもよいことが想定される。さらに、内側シール部材44は半径方向に圧縮されてもよく、半径方向に圧縮された結果として、軸方向に拡張、移動、または歪曲されてもよいが、軸方向には圧縮され得ない(すなわち軸方向の圧縮がない)ことも想定される。さらに外側シール部材は、内側シール部材44に対する任意の半径方向の位置で、ベース12に対して軸方向に圧縮されてもよいことも想定される。このように、内側シール部材42を半径方向に圧縮することにより、出口26および/またはエンドキャップ32の長さおよび周囲寸法に関して製造および/または組み立て公差を減少させながらも、入口24と出口26との間の好適な封止を維持し得る。
図2で示されるように、第1エンドキャップ32は第5壁58内に形成された複数の第1凹部62を備えてもよい。第1凹部62は、外側シール部材42が内部に延在する開口を備えてもよい。第1エンドキャップ32もまた、フランジ52内に形成された複数の第2凹部64を備えてもよい。第2凹部64は内側シール部材44が内部に延在する空洞を備えてもよい。外側シール部材42および内側シール部材44はそれぞれ、第1エンドキャップ32を製造する方法の間に第1凹部62および第2凹部64内に延在していてもよい。具体的には、第1エンドキャップ32は溶融材料を1つ以上の第1鋳型に注入し、溶融材料を固化することにより形成(すなわち1つ以上の射出成形法によって形成)されてもよい。第1鋳型の形状および輪郭によって、第1壁46、第2壁48、第3壁50、第4壁54、および/または第5壁58、フランジ52、突起部56および/または第1凹部62および第2凹部64のような、第1エンドキャップ32の1つ以上の特徴部を設けてもよい。第1鋳型および/または1つ以上のさらなる鋳型内で、外側シール部材42および内側シール部材44は、外側シール部材42および内側シール部材44をそれぞれ第5壁58およびフランジ52に隣接して形成するように、さらなる鋳型に溶融材料を注入し、溶融材料を固化すること(すなわち1つ以上の射出成形法)により形成してもよい。このように、外側シール部材42および内側シール部材44の溶融材料をそれぞれ、第1凹部62および第2凹部64に流し込んでもよく、外側シール部材42および内側シール部材44並びに第1エンドキャップ32の残りと一体的に接合して接合部を形成してもよい。第1凹部62および第2凹部64は、開口、空洞、任意の量、および任意の形状を備えてもよく、および/または長手軸18の周囲に等間隔で離間されていても、等間隔で離間されていなくてもよいことが想定される。またエンドキャップ32は、外側シール部材42および内側シール部材44が形成される前に十分に固化しても、十分に固化しなくてもよいことが想定される。
図1および図2を再度参照すると、第1エンドキャップ32はまた、充填工程の間に、ろ過されていない流体の内部空間40への流入を減らす、および/または防ぐように構成された事前充填防止(anti-prefill)装置66を備えてもよい。装置66は、各々が第1壁46に取り付けられた第1端部を有し、且つ第1壁46から方向Bに延在する複数の壁部分68を備えてもよい。第1壁部分68は、壁部分68の隣接する部分間に離間された複数の開口70を画定してもよい。換言すれば、第1壁部分68は、壁部分68内に開口70を有する第1半径方向に面する壁を確立してもよい。装置66はまた、第1壁部分46に取り付けられた端部とは反対側の壁部分68の端部において壁部分68に取り付けられたキャップ部分74を備えてもよい。装置66はまた、長手軸18に対して壁部分68内で半径方向に配置された略円筒状の壁72を備えてもよい。壁72は壁72の一端で第1壁46に取り付けられてもよく、且つ方向Bに延在してもよい。第1壁46に取り付けられた端部とは反対側の壁72の端部は、キャップ部分74の内面から軸方向に任意の距離だけ離間されていてもよく、壁72の半径方向外面は壁部分68の半径方向内面から半径方向に任意の距離だけ離間されていてもよい。流体フィルタシステム10が組み立てられる際に、装置66は出口26内に延在し、且つ出口26により半径方向に囲まれてもよいことが想定される。また事前充填防止装置66は省略されてもよく、且つ第1エンドキャップ32は流体を内部空間40から出口26に向かって流すことができるように構成された1つ以上の開口を選択的に備えていてもよいことが想定される。
開示した流体フィルタシステムは、多くの複雑な形状の構成要素および/または高い製造公差を必要とすることなく、あらゆる種類の流体をろ過するために適用可能であり、且つろ過されていない流体の流れとろ過された流体の流れとの間にシールを提供し得る。流体フィルタシステム10の操作を以下に説明する。
図1を参照すると、流体フィルタシステム10は、流体システムの1つ以上の上流構成要素からろ過されていない流体を入口24(例えば第1流領域)に受け入れることができる。ろ過されていない流体は入口24から第1エンドキャップ32に沿って半径方向外側に流出してもよく、且つ開口57に向かって流れるように第1エンドキャップ32により方向付けられてもよい。ろ過されていない流体は1つ以上の開口57を介して、例えば第1エンドキャップ32を通って実質的に軸方向に、容器14とろ過材34との間の半径方向の空間に流入してもよい。ろ過されていない流体は、次いでろ過材34を通って略半径方向に流れ、ろ過材34はろ過されていない流体内に浮遊した粒子を捕捉することにより流体をろ過してもよい。次いでろ過された流体は、開口37を通って、従ってスリーブ36を通って、内部空間40に流入してもよい。ろ過された流体はまた、内部空間40から装置66を通って(例えば壁72を通って)壁72と壁部分68との間の空間に流入し、開口70を通って流出してもよい。ろ過された流体はさらに、出口26(例えば第2流領域)に流入し、流体システムの1つ以上の下流構成要素に向かって流れてもよい。
ろ過材34は捕捉された粒子で飽和し得、内側シール部材44および外側シール部材42は劣化し得、メンテナンス期間は経過し得るため、および/または当技術分野で公知の別の任意の論理的根拠のため、フィルタアセンブリ16を交換することが望ましい場合がある。操作者はベース12から容器14をねじ外し、容器14内から古くなったまたは使用済みフィルタアセンブリ16を抜き取り、且つ容器14に新しいまたは未使用のフィルタアセンブリ16を挿入してもよい。このように、外側シール部材42および内側シール部材44は、古い第1エンドキャップ32が古いフィルタアセンブリ16とともに取り出される間、配置されていない。操作者は新しいフィルタアセンブリ16を容器14に挿入し、ベース12に容器14を再びねじ込んでもよく、そのようにして外側シール部材42および内側シール部材44は、新しい第1エンドキャップ32をベース12に位置合わせしながら配置されてもよい。操作者は容器14内に保持された流体の一部または全てを、フィルタアセンブリ16の取り出しと同時および/または取り出し後に除去してもよいことが想定される。また操作者はフィルタアセンブリ16の1つ以上の任意の要素を交換してよい(例えばフィルタアセンブリ16の全ての要素を交換する代わりに、ろ過材34およびエンドキャップ32だけを交換してもよい)ことが想定される。
操作者は、新しいフィルタアセンブリ16を挿入した後に、且つベース12に容器14を再びねじ込む前に、容器14を充填してもよい。そのようにして操作者は容器14とろ過材34との間の半径方向の空間を、例えば開口57を通って、および/または第1エンドキャップ32の上面(例えば入口24に面したおよび/または露出された壁46の表面)に流体を注ぐことにより流体で満たしてもよい。充填液はろ過されてもろ過されなくてもよく、且つ装置66により流体が内部空間40に入り込むことを減らしてもおよび/または防いでもよい。具体的には、操作者が充填液を注ぐ際に、充填液の一部は開口57に向かって半径方向外側に、開口57を通って、ろ過材34と容器14との間の半径方向の空間に流入する場合もある。操作者が開口57を介して過度な量の充填液を注ぎ、従って容器14とろ過材34との間の半径方向の空間が過剰に満たされる場合、および操作者が開口57を介して充填液を直接注がずに一般に第1エンドキャップ32上に流体を注ぐ場合、および/または例えば跳ね飛ばしたり飛び散らせるなどの操作者の不注意の結果、充填液の一部はフランジ52を超えて半径方向内側に流れ、および/またはフランジ内で半径方向に堆積する場合がある。そのように堆積した流体は開口70を通って装置66に向かって流出してもよく、円筒状の壁72により内部空間40に流入することが制限されてもよい。
円筒状の壁72は第1壁46から、フランジ52が第1壁46から軸方向に延在する距離よりも大きい距離で軸方向に延在してもよく、開口57はフランジ52よりも容器14の近くで軸方向に配置されてもよいことが想定される。そのようにして、充填液はフランジ52上を半径方向外側に、開口57を通って、容器14とろ過材34との間の空間に流入してもよく、または円筒状の壁72から流出して内部空間40に流入する代わりに容器14の壁28から流出してもよい。また、充填液の一部がフランジ52と円筒状の壁72との間に保持され、容器14およびフィルタアセンブリ16がベース12と内部接続した後に出口26内で捕捉されてもよいことが想定される。装置66が省略されると、そのように捕捉された充填液の量は、そうしなければ内部空間40に流入する量よりも著しく少ないであろう。さらに外側シール部材42と内側シール部材44との相対的軸関係によって、半径方向外側の流体を内側シール部材44から外側シール部材42に向かって流れるように促進することにより、且つ半径方向内側の流体を外側シール部材42から内側シール部材44に向かって流れるのを抑制することにより、充填時に開口57に向かう流体の流れをさらに支援または向上させてもよいことが想定される。
容器14およびフィルタアセンブリ16はベース12と内部接続され、外側シール部材42はベース12と容器14との間、例えば流体システム10と環境との間にシールを形成してもよく、内部シール部材44は入口24と出口26との間、例えばろ過されていない流体の流れとろ過された流体の流れとの間にシールを形成してもよい。具体的には、外側のシール部材42は外側の壁28の上部に配置され、ベース12と螺合する容器14の関数として圧縮され得、例えば、1つ以上の軸方向に面するシール境界面(例えば容器14および/またはベース12の軸方向に面する表面に対する面シール)を確立するように容器14とベース12との間で圧縮されていてもよい。外側シール部材42は容器14またはベース12のいずれかまたは両方に対して圧縮されてもよく、外側シール部材42は付加的におよび/または代替的に容器14またはベース12のいずれかまたは両方に対して半径方向に面するシール境界面を確立してもよいことが想定される。加えて、内側シール部材44は出口26と整列していてもよく、容器14がベース12と螺合するにつれてその端部を超えて移動してもよく、フランジ52の半径方向に面する内面と出口26の半径方向に面する外面との間の距離の関数として圧縮されてもよく、例えば、半径方向に面するシール境界面(例えば出口26の半径方向の面に対する面シール)を確立するようにそれらの間で圧縮されてもよい。
外側シール部材42および内側シール部材44は第1エンドキャップ32と一体化してもよいため、容器14およびフィルタアセンブリ16はベース12に対して配置されてもよく、且つ流体フィルタシステム10は複雑でない流体フィルタシステムを備えてもよい。加えて、第1エンドキャップ32は装置66を備えているため、フィルタ交換の間の容器14の充填時に、ろ過されていない流体が内部空間40に流入することを減らすまたは防いでもよい。
本開示の流体フィルタシステムに対し、種々の修正および変更が成され得ることは当業者には明らかであろう。本開示の方法および装置の明細書および実施の考察から、当事者であれば他の実施形態が明らかであろう。明細書および実施例は例示的なものとしてのみみなされ、正確な範囲は以下の特許請求の範囲およびそれらの均等物により示唆されることを意図している。
32 第1エンドキャップ
42 外側シール部材
44 内側シール部材
46 第1壁
48 第2壁
50 第3壁
52 フランジ
54 第4壁
58 第5壁

Claims (13)

  1. 半径方向内側部分および半径方向外側部分を備え、且つ長手軸を画定する第1プレート部材と、
    前記第1プレート部材の前記半径方向内側部分と前記半径方向外側部分との間に配置され、且つ第1方向に前記長手軸に沿って軸方向に突出するフランジと、
    前記フランジに隣接して配置された第1シール部材であって、前記第1プレート部材の軸方向に面する表面と係合したその第1部分、および前記フランジの半径方向に面する表面と係合したその第2部分を備える第1シール部材と、
    前記半径方向外側部分の半径方向外側に配置された第2プレート部材と、
    前記第2プレート部材に隣接して配置され、且つ前記第1方向とは反対側の長手軸に沿って第2方向に、前記第1プレート部材の前記軸方向に面する表面から軸方向に離間したその第1部分を備える第2シール部材と、
    を含むエンドキャップ。
  2. 前記第1シール部材は、半径方向に面するシール境界面を確立するように構成された、その前記第2部分とは実質的に反対側のその第3部分をさらに備える、請求項1に記載のエンドキャップ。
  3. 前記第2シール部材は、半径方向に面するシール境界面を確立するように構成された、その第2部分をさらに備える、請求項1に記載のエンドキャップ。
  4. ろ過材を、入口および出口を画定するベース、ならびに容器を備えるフィルタシステムに封止的に接合するためのエンドキャップであって、前記エンドキャップは、
    半径方向内側部分、半径方向外側部分、および長手軸を有する実質的に環状形状の第1壁部分(46)を備える本体と、
    前記出口に関する第1の半径方向に面する表面に対して半径方向に面するシール境界面を確立するように構成された第1シール部材であって、前記ろ過材の前記第1壁部分側の端部(D)から第1軸方向距離(C)に配置された少なくとも一部を有する第1シール部材と、
    前記ベースに関する第2の半径方向に面する表面に対して半径方向に面するシール境界面を確立するように構成された第2シール部材であって、前記ろ過材の前記第1壁部分側の端部(D)から最大で第2軸方向距離(E)まで延在された第2シール部材と、
    を含み、
    前記第2軸方向距離(E)は前記第1軸方向距離(C)よりも小さいエンドキャップ。
  5. 前記第1シール部材と前記第2シール部材との間の流体の流れを可能にするように構成された前記本体内に配置された少なくとも1つの開口をさらに備える、請求項4に記載のエンドキャップ。
  6. 前記エンドキャップは前記フィルタシステムに固定的に取り付けられるよう構成される、請求項4に記載のエンドキャップ。
  7. 前記本体は、
    前記半径方向外側部分に隣接して配置され且つ前記長手軸に対して実質的に円筒状である第2壁部分(48)と、
    前記半径方向内側部分に隣接して配置され且つ前記長手軸に対して実質的に円筒状である第3壁部分(50)と、
    をさらに備える、請求項4に記載のエンドキャップ。
  8. 前記本体は、複数の半径方向に延在するアームを介して前記第1壁部分から半径方向外側に配置され且つ前記長手軸に対して実質的に円筒状である第4壁部分(54)をさらに備える、請求項4に記載のエンドキャップ。
  9. 前記ろ過材内に半径方向に配置されたチューブをさらに備え、前記本体の少なくとも一部が前記チューブと係合する、請求項4に記載のエンドキャップ。
  10. 前記本体は、前記第4壁部分から半径方向外側に、前記長手軸に垂直な方向に延在する第5壁部分(58)、および前記第壁部分内に配置された複数の凹部をさらに備え、
    前記第2シール部材の少なくとも一部は、前記複数の凹部の少なくとも1つ内に配置されている、請求項に記載のエンドキャップ。
  11. 前記本体は、フランジおよび前記フランジ内に配置された複数の凹部をさらに備え、
    前記第1シール部材の少なくとも一部は、前記複数の凹部の少なくとも1つ内に配置されている、請求項4に記載のエンドキャップ。
  12. 事前充填防止構造をさらに備え、前記事前充填防止構造の少なくとも一部は、前記長手軸に対して前記第1シール部材内に半径方向に配置されており、前記事前充填防止構造は、
    複数の壁部分によって前記第1壁部分に接続されたキャップ部分と、
    円筒状の壁であって、第1端部と第2端部を含み、前記第1端部が前記第1壁部分に接続され、前記第2端部が前記第1壁部分から前記長手軸の方向に離間される円筒状の壁と、
    を含み、前記複数の壁部分が、前記第1壁部分に取り付けられた第1端部を有し、前記第1壁部分から前記長手軸の方向に延在し、互いに隣接する前記壁部分の間に開口を画定し、前記キャップ部分が、前記複数の壁部分における前記第1端部とは反対側の端部に取り付けられ、前記円筒状の壁が、前記複数の壁部分内に配置されている、請求項4に記載のエンドキャップ。
  13. 前記本体は、前記半径方向内側部分と前記半径方向外側部分との間に半径方向に配置され、且つ前記第1シール部材が前記半径方向に面する表面と係合すると前記半径方向に面する表面に対して前記第1シール部材を少なくとも部分的に圧縮するように構成されたフランジをさらに備える、請求項4に記載のエンドキャップ。
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Families Citing this family (367)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8419938B2 (en) * 2007-11-19 2013-04-16 Catepillar Inc. Fluid filter system
US8272516B2 (en) * 2007-11-19 2012-09-25 Caterpillar Inc. Fluid filter system
US10378106B2 (en) 2008-11-14 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming insulation film by modified PEALD
DE102008054878B4 (de) * 2008-12-18 2010-12-23 Kaeser Kompressoren Gmbh Filterelement und Druckluftfilter zum Abscheiden von Fremdstoffen aus einem Druckluftstrom
US9394608B2 (en) 2009-04-06 2016-07-19 Asm America, Inc. Semiconductor processing reactor and components thereof
US8802201B2 (en) 2009-08-14 2014-08-12 Asm America, Inc. Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species
US9186612B2 (en) 2010-01-22 2015-11-17 Donaldson Company, Inc. Pulse jet air cleaner systems; evacuation valve arrangements; air cleaner components; and, methods
DE202010006454U1 (de) * 2010-05-05 2010-09-30 Mahle International Gmbh Wärmetauscher
US8869991B2 (en) 2010-06-11 2014-10-28 Wix Filtration Corp Llc Spin-on filter assembly
DE102011010076A1 (de) * 2011-02-01 2012-08-02 Mann + Hummel Gmbh Filterelement eines Flüssigkeitsfilters und Flüssigkeitsfilter
US9312155B2 (en) 2011-06-06 2016-04-12 Asm Japan K.K. High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules
US9793148B2 (en) 2011-06-22 2017-10-17 Asm Japan K.K. Method for positioning wafers in multiple wafer transport
US10364496B2 (en) 2011-06-27 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Dual section module having shared and unshared mass flow controllers
US10854498B2 (en) 2011-07-15 2020-12-01 Asm Ip Holding B.V. Wafer-supporting device and method for producing same
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
US9283500B2 (en) 2011-09-06 2016-03-15 Cummins Filtration Ip, Inc. Spin-on filter without a nut plate
US9017481B1 (en) 2011-10-28 2015-04-28 Asm America, Inc. Process feed management for semiconductor substrate processing
US8946830B2 (en) 2012-04-04 2015-02-03 Asm Ip Holdings B.V. Metal oxide protective layer for a semiconductor device
US9447759B2 (en) * 2012-06-12 2016-09-20 Cummins Filtration Ip, Inc. Filter element endplate defining inflow and outflow flow paths
US9558931B2 (en) 2012-07-27 2017-01-31 Asm Ip Holding B.V. System and method for gas-phase sulfur passivation of a semiconductor surface
US9659799B2 (en) 2012-08-28 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling
US9021985B2 (en) 2012-09-12 2015-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
US9640416B2 (en) 2012-12-26 2017-05-02 Asm Ip Holding B.V. Single-and dual-chamber module-attachable wafer-handling chamber
CA2896352C (en) 2013-01-04 2020-10-27 Baldwin Filters, Inc. Three-part end cap and filter element including same
BR112015015800A2 (pt) 2013-01-14 2017-07-11 Cummins Filtration Ip Inc filtro limpável e métodos para limpar elemento de filtro e filtro instalado em sistema
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US9484191B2 (en) 2013-03-08 2016-11-01 Asm Ip Holding B.V. Pulsed remote plasma method and system
US9589770B2 (en) 2013-03-08 2017-03-07 Asm Ip Holding B.V. Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species
US10173153B2 (en) * 2013-04-03 2019-01-08 Donaldson Company, Inc. Liquid filter assembly and methods
KR101414744B1 (ko) * 2013-06-12 2014-07-04 (주)에이엠이엔지 휴대용 정수기
US8993054B2 (en) 2013-07-12 2015-03-31 Asm Ip Holding B.V. Method and system to reduce outgassing in a reaction chamber
US9018111B2 (en) 2013-07-22 2015-04-28 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor reaction chamber with plasma capabilities
US9793115B2 (en) 2013-08-14 2017-10-17 Asm Ip Holding B.V. Structures and devices including germanium-tin films and methods of forming same
DE202014104029U1 (de) * 2014-08-28 2014-10-20 Hengst Se & Co. Kg Filter, der an einem Anschlussflansch anbaubar ist, und Filtereinsatz
US9240412B2 (en) 2013-09-27 2016-01-19 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process
US9556516B2 (en) 2013-10-09 2017-01-31 ASM IP Holding B.V Method for forming Ti-containing film by PEALD using TDMAT or TDEAT
US9605343B2 (en) 2013-11-13 2017-03-28 Asm Ip Holding B.V. Method for forming conformal carbon films, structures conformal carbon film, and system of forming same
US10179947B2 (en) 2013-11-26 2019-01-15 Asm Ip Holding B.V. Method for forming conformal nitrided, oxidized, or carbonized dielectric film by atomic layer deposition
DE202013011841U1 (de) * 2013-12-11 2015-03-18 Mann + Hummel Gmbh Filtersystem und Filterelement mit Kupplungsvorrichtung und Dichtungsvorrichtung
DE102014000715A1 (de) * 2014-01-23 2015-07-23 Mann + Hummel Gmbh Filterelement
US10683571B2 (en) 2014-02-25 2020-06-16 Asm Ip Holding B.V. Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same
US10167557B2 (en) 2014-03-18 2019-01-01 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same
US9447498B2 (en) 2014-03-18 2016-09-20 Asm Ip Holding B.V. Method for performing uniform processing in gas system-sharing multiple reaction chambers
US11015245B2 (en) 2014-03-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof
US9808745B2 (en) 2014-03-24 2017-11-07 Caterpillar Inc. Filter element and filter assembly with recirculation
US10309078B2 (en) 2014-05-30 2019-06-04 Donaldson Company, Inc. High capacity filter element end cap
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
US9543180B2 (en) 2014-08-01 2017-01-10 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for transporting wafers between wafer carrier and process tool under vacuum
US9890456B2 (en) 2014-08-21 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method and system for in situ formation of gas-phase compounds
US9657845B2 (en) 2014-10-07 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Variable conductance gas distribution apparatus and method
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
FR3026959B1 (fr) 2014-10-13 2019-07-12 Cummins Filtration Ip, Inc. Filtre amovible pour les cotes d'aspiration et de refoulement dans des systemes de filtration
KR102300403B1 (ko) 2014-11-19 2021-09-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US9803751B2 (en) * 2014-12-05 2017-10-31 Wix Filtration Corp Llc Seal, endcap assembly and filter assembly
KR102263121B1 (ko) 2014-12-22 2021-06-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 및 그 제조 방법
USD753269S1 (en) * 2015-01-09 2016-04-05 Asm Ip Holding B.V. Top plate
US9789426B2 (en) * 2015-01-26 2017-10-17 Caterpillar Inc. Flow cap and filter assembly including flow cap
USD754304S1 (en) * 2015-01-26 2016-04-19 Caterpillar Inc. Filter cap
US9478415B2 (en) 2015-02-13 2016-10-25 Asm Ip Holding B.V. Method for forming film having low resistance and shallow junction depth
US10529542B2 (en) 2015-03-11 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Cross-flow reactor and method
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
US10600673B2 (en) 2015-07-07 2020-03-24 Asm Ip Holding B.V. Magnetic susceptor to baseplate seal
DE102015008694A1 (de) 2015-07-08 2016-06-23 Mann+Hummel Gmbh Hohlfilterelement eines Flüssigkeitsfilters, Flüssigkeitsfilter, Filtersystem und Adapterelement eines Hohlfilterelements
US9899291B2 (en) 2015-07-13 2018-02-20 Asm Ip Holding B.V. Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film
US10043661B2 (en) 2015-07-13 2018-08-07 Asm Ip Holding B.V. Method for protecting layer by forming hydrocarbon-based extremely thin film
US10083836B2 (en) 2015-07-24 2018-09-25 Asm Ip Holding B.V. Formation of boron-doped titanium metal films with high work function
US10087525B2 (en) 2015-08-04 2018-10-02 Asm Ip Holding B.V. Variable gap hard stop design
US9647114B2 (en) 2015-08-14 2017-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming highly p-type doped germanium tin films and structures and devices including the films
US9711345B2 (en) 2015-08-25 2017-07-18 Asm Ip Holding B.V. Method for forming aluminum nitride-based film by PEALD
USD777878S1 (en) 2015-09-22 2017-01-31 Caterpillar Inc. Filter cap
USD782000S1 (en) 2015-09-22 2017-03-21 Caterpillar Inc. Filter cap
US20170080365A1 (en) * 2015-09-22 2017-03-23 Caterpillar Inc. End cap for filter element
US9960072B2 (en) 2015-09-29 2018-05-01 Asm Ip Holding B.V. Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings
US20170095759A1 (en) * 2015-10-02 2017-04-06 Caterpillar Inc. Liquid Filter and Drain
US9909214B2 (en) 2015-10-15 2018-03-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing dielectric film in trenches by PEALD
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
US10625184B2 (en) 2015-11-03 2020-04-21 MANN+HUMMEL Filtration Technology Group Inc. Coalescing filter element
US10322384B2 (en) 2015-11-09 2019-06-18 Asm Ip Holding B.V. Counter flow mixer for process chamber
US9455138B1 (en) 2015-11-10 2016-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming dielectric film in trenches by PEALD using H-containing gas
US9905420B2 (en) 2015-12-01 2018-02-27 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming silicon germanium tin films and structures and devices including the films
US9607837B1 (en) 2015-12-21 2017-03-28 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon oxide cap layer for solid state diffusion process
US9735024B2 (en) 2015-12-28 2017-08-15 Asm Ip Holding B.V. Method of atomic layer etching using functional group-containing fluorocarbon
US9627221B1 (en) 2015-12-28 2017-04-18 Asm Ip Holding B.V. Continuous process incorporating atomic layer etching
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US9754779B1 (en) 2016-02-19 2017-09-05 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US10468251B2 (en) 2016-02-19 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning
US10501866B2 (en) 2016-03-09 2019-12-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system
US10343920B2 (en) 2016-03-18 2019-07-09 Asm Ip Holding B.V. Aligned carbon nanotubes
US9892913B2 (en) 2016-03-24 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Radial and thickness control via biased multi-port injection settings
US10087522B2 (en) 2016-04-21 2018-10-02 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides
US10190213B2 (en) 2016-04-21 2019-01-29 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides
US10865475B2 (en) 2016-04-21 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides and silicides
US10032628B2 (en) 2016-05-02 2018-07-24 Asm Ip Holding B.V. Source/drain performance through conformal solid state doping
US10367080B2 (en) 2016-05-02 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a germanium oxynitride film
KR102592471B1 (ko) 2016-05-17 2023-10-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
CN113509772B (zh) * 2016-06-17 2023-07-28 卡特彼勒公司 具有竖管和流动翅片的过滤器中心管
US10388509B2 (en) 2016-06-28 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Formation of epitaxial layers via dislocation filtering
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US9793135B1 (en) 2016-07-14 2017-10-17 ASM IP Holding B.V Method of cyclic dry etching using etchant film
US10714385B2 (en) 2016-07-19 2020-07-14 Asm Ip Holding B.V. Selective deposition of tungsten
US10381226B2 (en) 2016-07-27 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Method of processing substrate
US10177025B2 (en) 2016-07-28 2019-01-08 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US10395919B2 (en) 2016-07-28 2019-08-27 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
KR102532607B1 (ko) 2016-07-28 2023-05-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 가공 장치 및 그 동작 방법
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US10090316B2 (en) 2016-09-01 2018-10-02 Asm Ip Holding B.V. 3D stacked multilayer semiconductor memory using doped select transistor channel
US10410943B2 (en) 2016-10-13 2019-09-10 Asm Ip Holding B.V. Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems
EP3528920B1 (en) 2016-10-21 2022-10-19 Cummins Filtration IP, Inc. Filter element
US10643826B2 (en) 2016-10-26 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for thermally calibrating reaction chambers
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10435790B2 (en) 2016-11-01 2019-10-08 Asm Ip Holding B.V. Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap
US10229833B2 (en) 2016-11-01 2019-03-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10643904B2 (en) 2016-11-01 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures
DE102016013166A1 (de) * 2016-11-04 2018-05-09 Hydac Filter Systems Gmbh Filterelement
US10134757B2 (en) 2016-11-07 2018-11-20 Asm Ip Holding B.V. Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US10340135B2 (en) 2016-11-28 2019-07-02 Asm Ip Holding B.V. Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride
KR20180068582A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US9916980B1 (en) 2016-12-15 2018-03-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
KR20180070971A (ko) 2016-12-19 2018-06-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US10867788B2 (en) 2016-12-28 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10655221B2 (en) 2017-02-09 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
WO2018156489A1 (en) 2017-02-21 2018-08-30 Cummins Filtration Ip, Inc. Undulated interlocking housing-endplate interface geometry
US10529563B2 (en) 2017-03-29 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10283353B2 (en) 2017-03-29 2019-05-07 Asm Ip Holding B.V. Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern
US10103040B1 (en) 2017-03-31 2018-10-16 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for manufacturing a semiconductor device
USD830981S1 (en) 2017-04-07 2018-10-16 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate processing apparatus
KR102457289B1 (ko) 2017-04-25 2022-10-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10892156B2 (en) 2017-05-08 2021-01-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10446393B2 (en) 2017-05-08 2019-10-15 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures
US10504742B2 (en) 2017-05-31 2019-12-10 Asm Ip Holding B.V. Method of atomic layer etching using hydrogen plasma
US10886123B2 (en) 2017-06-02 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
US10685834B2 (en) 2017-07-05 2020-06-16 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US10541333B2 (en) 2017-07-19 2020-01-21 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11018002B2 (en) 2017-07-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10312055B2 (en) 2017-07-26 2019-06-04 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing film by PEALD using negative bias
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10605530B2 (en) 2017-07-26 2020-03-31 Asm Ip Holding B.V. Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace
DE102017007445B4 (de) * 2017-08-05 2023-04-06 Hydac Filtertechnik Gmbh Filterelement und Filtervorrichtung
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US10249524B2 (en) 2017-08-09 2019-04-02 Asm Ip Holding B.V. Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly
US11139191B2 (en) 2017-08-09 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US10236177B1 (en) 2017-08-22 2019-03-19 ASM IP Holding B.V.. Methods for depositing a doped germanium tin semiconductor and related semiconductor device structures
USD900036S1 (en) 2017-08-24 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Heater electrical connector and adapter
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11056344B2 (en) 2017-08-30 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method
KR102491945B1 (ko) 2017-08-30 2023-01-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
US10607895B2 (en) 2017-09-18 2020-03-31 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal
KR102630301B1 (ko) 2017-09-21 2024-01-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치
US10844484B2 (en) 2017-09-22 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10319588B2 (en) 2017-10-10 2019-06-11 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
US10910262B2 (en) 2017-11-16 2021-02-02 Asm Ip Holding B.V. Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure
KR102443047B1 (ko) 2017-11-16 2022-09-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11022879B2 (en) 2017-11-24 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer
KR102597978B1 (ko) 2017-11-27 2023-11-06 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치
CN111344522B (zh) 2017-11-27 2022-04-12 阿斯莫Ip控股公司 包括洁净迷你环境的装置
US10290508B1 (en) 2017-12-05 2019-05-14 Asm Ip Holding B.V. Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
TW202325889A (zh) 2018-01-19 2023-07-01 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 沈積方法
CN111630203A (zh) 2018-01-19 2020-09-04 Asm Ip私人控股有限公司 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法
USD903477S1 (en) 2018-01-24 2020-12-01 Asm Ip Holdings B.V. Metal clamp
US11018047B2 (en) 2018-01-25 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Hybrid lift pin
USD880437S1 (en) 2018-02-01 2020-04-07 Asm Ip Holding B.V. Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus
US10535516B2 (en) 2018-02-01 2020-01-14 Asm Ip Holdings B.V. Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
EP3737779A1 (en) 2018-02-14 2020-11-18 ASM IP Holding B.V. A method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10658181B2 (en) 2018-02-20 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
US11114283B2 (en) 2018-03-16 2021-09-07 Asm Ip Holding B.V. Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US11088002B2 (en) 2018-03-29 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate rack and a substrate processing system and method
US10510536B2 (en) 2018-03-29 2019-12-17 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102501472B1 (ko) 2018-03-30 2023-02-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
TW202344708A (zh) 2018-05-08 2023-11-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構
TWI816783B (zh) 2018-05-11 2023-10-01 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11270899B2 (en) 2018-06-04 2022-03-08 Asm Ip Holding B.V. Wafer handling chamber with moisture reduction
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
WO2020003000A1 (en) 2018-06-27 2020-01-02 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
US11492703B2 (en) 2018-06-27 2022-11-08 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
KR20200002519A (ko) 2018-06-29 2020-01-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10767789B2 (en) 2018-07-16 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components
US10483099B1 (en) 2018-07-26 2019-11-19 Asm Ip Holding B.V. Method for forming thermally stable organosilicon polymer film
US11053591B2 (en) 2018-08-06 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Multi-port gas injection system and reactor system including same
US10883175B2 (en) 2018-08-09 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein
US10829852B2 (en) 2018-08-16 2020-11-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution device for a wafer processing apparatus
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR20200030162A (ko) 2018-09-11 2020-03-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11049751B2 (en) 2018-09-14 2021-06-29 Asm Ip Holding B.V. Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith
CN110970344A (zh) 2018-10-01 2020-04-07 Asm Ip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
US20200107667A1 (en) * 2018-10-09 2020-04-09 Dyln Lifestyle, LLC Contoured double walled fluid container with internal compartment
US10847365B2 (en) 2018-10-11 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD
US10811256B2 (en) 2018-10-16 2020-10-20 Asm Ip Holding B.V. Method for etching a carbon-containing feature
CN109139181B (zh) * 2018-10-17 2020-09-22 河南省中平防护设备制造有限公司 一种机油滤清器
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
USD948463S1 (en) 2018-10-24 2022-04-12 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus
US10381219B1 (en) 2018-10-25 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR20200051105A (ko) 2018-11-02 2020-05-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US11031242B2 (en) 2018-11-07 2021-06-08 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a boron doped silicon germanium film
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10847366B2 (en) 2018-11-16 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process
US10559458B1 (en) 2018-11-26 2020-02-11 Asm Ip Holding B.V. Method of forming oxynitride film
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11020690B2 (en) 2018-12-06 2021-06-01 Caterpillar Inc. 3D printed filter center tube
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
JP2020096183A (ja) 2018-12-14 2020-06-18 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR20200091543A (ko) 2019-01-22 2020-07-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN111524788B (zh) 2019-02-01 2023-11-24 Asm Ip私人控股有限公司 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
TW202104632A (zh) 2019-02-20 2021-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
KR20200102357A (ko) 2019-02-20 2020-08-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법
TW202044325A (zh) 2019-02-20 2020-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備
TW202100794A (zh) 2019-02-22 2021-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理設備及處理基材之方法
KR20200108243A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108248A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108242A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
JP2020167398A (ja) 2019-03-28 2020-10-08 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
KR20200116855A (ko) 2019-04-01 2020-10-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
KR20200123380A (ko) 2019-04-19 2020-10-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 층 형성 방법 및 장치
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130118A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP2020188255A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD935572S1 (en) 2019-05-24 2021-11-09 Asm Ip Holding B.V. Gas channel plate
USD922229S1 (en) 2019-06-05 2021-06-15 Asm Ip Holding B.V. Device for controlling a temperature of a gas supply unit
KR20200141003A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
US20200391142A1 (en) * 2019-06-17 2020-12-17 Caterpillar Inc. Filter element having potted gasket end cap assembly
USD931978S1 (en) 2019-06-27 2021-09-28 Asm Ip Holding B.V. Showerhead vacuum transport
RU193615U1 (ru) * 2019-07-02 2019-11-06 Антон Валерьевич Селютин Фильтр
KR20210005515A (ko) 2019-07-03 2021-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP2021015791A (ja) 2019-07-09 2021-02-12 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646A (zh) 2019-07-10 2021-01-12 Asm Ip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR20210010307A (ko) 2019-07-16 2021-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
KR20210010820A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
CN112242296A (zh) 2019-07-19 2021-01-19 Asm Ip私人控股有限公司 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法
CN112309843A (zh) 2019-07-29 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
CN112309900A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309899A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
KR20210018759A (ko) 2019-08-05 2021-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
JP2021031769A (ja) 2019-08-21 2021-03-01 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
USD949319S1 (en) 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
USD930782S1 (en) 2019-08-22 2021-09-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
KR20210024420A (ko) 2019-08-23 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
KR20210029090A (ko) 2019-09-04 2021-03-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR20210029663A (ko) 2019-09-05 2021-03-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
TW202129060A (zh) 2019-10-08 2021-08-01 荷蘭商Asm Ip控股公司 基板處理裝置、及基板處理方法
KR20210043460A (ko) 2019-10-10 2021-04-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
KR20210045930A (ko) 2019-10-16 2021-04-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 산화물의 토폴로지-선택적 막의 형성 방법
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR20210047808A (ko) 2019-10-21 2021-04-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR20210054983A (ko) 2019-11-05 2021-05-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR20210062561A (ko) 2019-11-20 2021-05-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
KR20210065848A (ko) 2019-11-26 2021-06-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
CN112951697A (zh) 2019-11-26 2021-06-11 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885693A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
JP2021090042A (ja) 2019-12-02 2021-06-10 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
TW202125596A (zh) 2019-12-17 2021-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成氮化釩層之方法以及包括該氮化釩層之結構
KR20210080214A (ko) 2019-12-19 2021-06-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
JP2021109175A (ja) 2020-01-06 2021-08-02 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ガス供給アセンブリ、その構成要素、およびこれを含む反応器システム
KR20210095050A (ko) 2020-01-20 2021-07-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TW202130846A (zh) 2020-02-03 2021-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括釩或銦層的結構之方法
TW202146882A (zh) 2020-02-04 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統
USD926919S1 (en) * 2020-02-04 2021-08-03 P.C. Vaughan Manufacturing Corp. Filter cap
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
CN115103714A (zh) * 2020-02-11 2022-09-23 康明斯滤清系统公司 具有互锁筒式密封设计的先进燃料过滤系统
US11781243B2 (en) 2020-02-17 2023-10-10 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon
USD933157S1 (en) * 2020-03-10 2021-10-12 As America, Inc. Filter cartridge
US11876356B2 (en) 2020-03-11 2024-01-16 Asm Ip Holding B.V. Lockout tagout assembly and system and method of using same
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
KR20210117157A (ko) 2020-03-12 2021-09-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
KR20210124042A (ko) 2020-04-02 2021-10-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TW202146689A (zh) 2020-04-03 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法
TW202145344A (zh) 2020-04-08 2021-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
KR20210132605A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
US11898243B2 (en) 2020-04-24 2024-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming vanadium nitride-containing layer
KR20210134226A (ko) 2020-04-29 2021-11-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고체 소스 전구체 용기
KR20210134869A (ko) 2020-05-01 2021-11-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
KR20210141379A (ko) 2020-05-13 2021-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
KR20210143653A (ko) 2020-05-19 2021-11-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210145078A (ko) 2020-05-21 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
TW202201602A (zh) 2020-05-29 2022-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
TW202218133A (zh) 2020-06-24 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成含矽層之方法
TW202217953A (zh) 2020-06-30 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
TW202219628A (zh) 2020-07-17 2022-05-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於光微影之結構與方法
TW202204662A (zh) 2020-07-20 2022-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
KR20220027026A (ko) 2020-08-26 2022-03-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
KR20220053482A (ko) 2020-10-22 2022-04-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
TW202235675A (zh) 2020-11-30 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 注入器、及基板處理設備
US11946137B2 (en) 2020-12-16 2024-04-02 Asm Ip Holding B.V. Runout and wobble measurement fixtures
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
CN113062784B (zh) * 2021-04-30 2023-01-24 浙江银轮机械股份有限公司 冷却装置及发动机系统
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate
US20230356122A1 (en) * 2022-05-06 2023-11-09 Caterpillar Inc. Fluid filter anti-prefill device

Family Cites Families (108)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US662629A (en) * 1900-07-21 1900-11-27 Israel M Rose Grinding and polishing device.
US2621796A (en) 1948-02-09 1952-12-16 Hastings Mfg Co Oil filter
US3000505A (en) * 1958-05-22 1961-09-19 Purolator Products Inc Filter unit
US3166498A (en) 1962-10-02 1965-01-19 Jr Herbert R Otto Oil filter with check valve
NL125692C (ja) 1963-04-19
US3369666A (en) 1965-09-22 1968-02-20 Champion Lab Inc Filter unit with anti-drain back valve means
DE1933283A1 (de) 1969-07-01 1971-01-14 Purolator Filter Gmbh Filteranordnung,insbesondere fuer OElruecklauffilterung in Kraftfahrzeugen
US4172795A (en) * 1976-11-08 1979-10-30 Friedrich Uhde Gmbh Centrifugal pressure filter with horizontal filter disks
US4298465A (en) * 1979-06-07 1981-11-03 Racor Industries, Inc. Fuel filter and water separator apparatus
US4502956A (en) * 1982-02-24 1985-03-05 Racor Industries, Inc. Filter assembly
US5547572A (en) * 1985-05-14 1996-08-20 Parker Hannifin Corporation Fuel Filter
US4721563A (en) * 1986-09-11 1988-01-26 Rosaen Borje O Fluid filtering device
DE8714656U1 (ja) * 1987-11-04 1987-12-17 Ing. Walter Hengst Gmbh & Co Kg, 4400 Muenster, De
ES2053032T3 (es) * 1989-10-04 1994-07-16 Mann & Hummel Filter Filtro para liquidos para el aceite de engrase de un motor de combustion interna.
US5035797A (en) * 1990-02-14 1991-07-30 Stanadyne Automotive Corp. Key system for filter assembly
DE4124322A1 (de) 1991-07-23 1993-01-28 Knecht Filterwerke Gmbh Filterpatrone, insbesondere anschraubfilter
US5203994A (en) * 1991-08-16 1993-04-20 Stanadyne Automotive Corp. Fuel filter retention system
EP0529782B1 (en) * 1991-08-16 1996-12-11 Stanadyne Automotive Corp. Dry change fuel filter system
ES2138962T3 (es) * 1991-12-17 2000-02-01 Mann & Hummel Filter Filtro para carburantes y/o lubricantes de un motor de combustion.
US5300223A (en) * 1992-01-27 1994-04-05 Allied-Signal Inc. Quick connect/disconnect oil filter
US5302284A (en) * 1992-12-23 1994-04-12 Stanadyne Automotive Corp. Fuel filter with spring-loaded retention system
EP0616825A1 (en) * 1993-03-17 1994-09-28 Fram Europe Limited Fluid filter assemblies
DE4310234C1 (de) * 1993-03-30 1994-08-18 Argo Feinmechanik Rücklauffilter für Flüssigkeiten
DE9312051U1 (de) * 1993-08-12 1993-10-14 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Filtereinsatz für ein Filter zur Filterung von flüssigen oder gasförmigen Medien
US5342519A (en) * 1993-07-30 1994-08-30 Donaldson Company, Inc. Fluid filter cartridge with replaceable filter element
US6016923A (en) * 1993-08-12 2000-01-25 Ing. Walter Hengst Gmbh & Co. Kg Filter cartridge for a filter for filtering liquid or gaseous media
WO1995007745A1 (en) * 1993-09-15 1995-03-23 Parker Hannifin Corporation Fuel filter element
US5922199A (en) * 1993-09-15 1999-07-13 Parker Hannifin Corporation Double pass fuel filter assembly
US6113781A (en) * 1993-09-15 2000-09-05 Parker-Hannifin Corporation Fuel filter with dual flow
US5474676A (en) 1993-12-13 1995-12-12 Stanadyne Automotive Corp. Filter base assembly
US5484527A (en) * 1993-12-13 1996-01-16 Stanadyne Automotive Corp. Module for filter assembly base
US5366400A (en) * 1993-12-27 1994-11-22 Michael Kucik Apparatus and method for draining out the residual oil in a replaceable oil filter used in a marine engine for avoiding pollution to the environment when changing filters
CA2153737A1 (en) * 1994-07-12 1996-01-13 Mark A. Roll Rebuildable spin-on filters
DE9411212U1 (de) * 1994-07-13 1994-09-01 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Flüssigkeitsfilter
US5458767A (en) * 1994-08-10 1995-10-17 Parker-Hannifin Corporation Fuel filter assembly with dual filter media and by-pass device
DE4428771A1 (de) * 1994-08-13 1996-02-15 Mann & Hummel Filter Filter, insbesondere zum Reinigen von Schmieröl einer Brennkraftmaschine
GB9423823D0 (en) * 1994-11-25 1995-01-11 Glacier Metal Co Ltd Improvements in and relating to filtration
DE4443581C2 (de) * 1994-12-09 1999-08-05 Daimler Benz Ag Flüssigkeitsfilter, insbesondere Kraftstoff- oder Ölfilter
US5578221A (en) * 1994-12-23 1996-11-26 Stanadyne Automotive Corp. Fuel filter with improved hand primer
DE19502020C2 (de) * 1995-01-24 2002-02-28 Mann & Hummel Filter Flüssigkeitsfilter
DE29623867U1 (de) * 1995-03-16 2000-05-25 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Filterelement für einen Flüssigkeitsfilter mit Filterumgehungsventil und filterelementseitiger Dichtfläche
US5548893A (en) * 1995-03-20 1996-08-27 Koelfgen; Douglas F. Spin-on oil filter replacement element
DE19511450A1 (de) * 1995-03-29 1996-10-02 Argo Gmbh Fuer Fluidtechnik Nebenstromfilteraggregat
DE29509806U1 (de) * 1995-06-16 1995-08-24 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Flüssigkeitsfilter
US6068762A (en) * 1995-09-29 2000-05-30 Parker-Hannifin Corporation Reusable oil filter assembly
DE19539918C1 (de) * 1995-10-27 1997-02-06 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Flüssigkeitsfilter, insbesondere für Öl oder Kraftstoff einer Brennkraftmaschine, und dazu passender maschinenseitiger Filteranschlußflansch
FI98990C (fi) * 1995-10-27 1997-09-25 Parker Hannifinn Oy Suodatin
DE19540251C2 (de) * 1995-10-28 1997-11-20 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Kühlmittelfilter
US5753120A (en) * 1995-11-01 1998-05-19 Parker-Hannifin Corporation Tubular filter element having a sealing arrangement with a housing post
GB2306342B (en) * 1995-11-02 2000-03-01 Pall Corp Filter assemblies and end caps for filter assemblies
US5660771A (en) 1995-11-29 1997-08-26 Dana Corporation Molding process for forming a sealing gasket on filter media
FI101201B (fi) 1995-12-14 1998-05-15 Parker Hannifin Oy Suodatin
US5738785A (en) * 1995-12-20 1998-04-14 Baldwin Filters, Inc. Oil filter housing
US5685985A (en) 1995-12-20 1997-11-11 Baldwin Filters, Inc. Environmentally friendly filter cartridge
US5702602A (en) 1995-12-20 1997-12-30 Baldwin Filters, Inc. Filter system with environmentally friendly filter cartridge
JP3680396B2 (ja) 1995-12-27 2005-08-10 株式会社デンソー エレメント交換型フィルタ
RU2113268C1 (ru) * 1996-01-05 1998-06-20 Арендное автомеханическое предприятие "Седан" Элемент фильтрующий
GB2309397B (en) * 1996-01-25 2000-08-02 Mann & Hummel Filter Oil filter
DE29602330U1 (de) * 1996-02-10 1996-05-30 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Filterablauf mit Federverschluß
DE19606182A1 (de) * 1996-02-20 1997-08-21 Mann & Hummel Filter Abtrennvorrichtung
DE19623190C2 (de) * 1996-06-11 1998-07-30 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Filtergehäuse mit ungleichförmiger Rippe
US5858227A (en) * 1996-09-23 1999-01-12 Parker-Hannifin Corporation Fuel filter assembly with in-line valve
DE19644646A1 (de) * 1996-10-26 1998-04-30 Mann & Hummel Filter Filter, insbesondere zur Filtrierung des Schmieröls einer Brennkraftmaschine
US5772881A (en) 1996-11-08 1998-06-30 Champion Laboratories, Inc. Non-metallic spin-on filter
DE69724076T2 (de) 1996-11-20 2004-06-09 Denso Corp., Kariya Ölfilter
US5785850A (en) 1997-03-17 1998-07-28 Certified Technologies Corp. Cleanable oil filter
FR2762230B1 (fr) * 1997-04-18 1999-07-16 Fleetguard Filtre et cartouche de filtrage a flasque flexible pour le filtrage de liquides circulant dans un moteur ou dans un equipement hydraulique
DE19731556A1 (de) * 1997-07-23 1999-01-28 Mann & Hummel Filter Filteranordnung
US6045693A (en) 1997-07-24 2000-04-04 Fleetguard, Inc. Spin-on filter assembly
DE19847999A1 (de) * 1998-10-17 2000-04-20 Mann & Hummel Filter Filtereinrichtung
US6610203B1 (en) * 1998-11-14 2003-08-26 Filterwerk Mann & Hummel Gmbh Liquid filter, particularly for oil or fuel in an internal combustion engine
US6322697B1 (en) * 1999-07-19 2001-11-27 Donaldson Company, Inc. Oil filter assembly
DE19934378A1 (de) * 1999-07-22 2001-01-25 Mann & Hummel Filter Filter mit Flüssigkeiten
DE50014997D1 (de) * 1999-09-09 2008-04-10 Hengst Gmbh & Co Kg Fluidfilter mit gehäusefestem ablassdom
WO2001021278A2 (de) * 1999-09-17 2001-03-29 Ing. Walter Hengst Gmbh & Co. Kg Fluidfilter mit einem montierbaren, zentralen bauteil
US6174438B1 (en) * 1999-10-15 2001-01-16 Parker-Hannifin Corporation Dual pass fuel filter assembly and element therefor
DE19955635A1 (de) * 1999-11-20 2001-05-31 Argo Gmbh Fuer Fluidtechnik Filtervorrichtung
DE29921168U1 (de) * 1999-12-02 2001-04-05 Hengst Walter Gmbh & Co Kg Flüssigkeitsfilter mit demontierbarem, zentralen Bauteil, mit zusätzlichem Haltebauteil
DE19961580A1 (de) * 1999-12-21 2001-06-28 Mann & Hummel Filter Flüssigkeitsfilter mit Ablaß für Flüssigkeitsrückstände
ES2273779T3 (es) * 2000-02-16 2007-05-16 Stanadyne Corporation Cartucho y montaje ecologico de filtro de carburante.
DE60124331T2 (de) * 2000-02-16 2007-02-15 Stanadyne Corp., Windsor Befestigungssystem für ökologische Filterpatrone und Filterelement
DE20004431U1 (de) 2000-03-09 2000-06-21 Mann & Hummel Filter Flüssigkeitsfilter mit Umgehungsventil
DE20012736U1 (de) * 2000-07-22 2000-09-21 Mann & Hummel Filter Baugruppe für eine Brennkraftmaschine mit einem Ölfilter
US6591807B1 (en) * 2000-08-25 2003-07-15 Walter Hengst Gmbh & Co Kg Combination comprising a main unit and at least one add-on functional unit
US6554140B2 (en) 2000-12-19 2003-04-29 Fleetguard, Inc. Spin-on filter assembly
US20020104794A1 (en) * 2001-02-06 2002-08-08 Hoffmann Jack E. Filter apparatus using alternate types of replaceable filter elements
US6571962B2 (en) * 2001-04-30 2003-06-03 Fleetguard, Inc. Cartridge filter element with housing seal retainer
DE10133893A1 (de) * 2001-07-12 2003-01-30 Mahle Filtersysteme Gmbh Ringförmige Kunststoff-Endscheibe für ein Ringfilter
US6607665B2 (en) * 2001-07-17 2003-08-19 Baldwin Filters, Inc. Fuel filter element and cover assembly
US6974539B1 (en) 2001-10-01 2005-12-13 Wix Filtration Corp. Combination filter element support and anti-prefill valve
RU24949U1 (ru) * 2002-02-28 2002-09-10 Закрытое акционерное общество "Седан" Фильтрующий элемент
US6740234B1 (en) * 2002-03-05 2004-05-25 Stanadyne Corporation Key track system
US6823996B2 (en) * 2002-04-26 2004-11-30 Donaldson Company, Inc. Spin-on filter including improved seal arrangement and methods
US6729477B2 (en) 2002-05-03 2004-05-04 Arvin Technologies, Inc. Fluid filter retainer and seal apparatus
GB2389322B (en) * 2002-06-07 2005-08-17 Baldwin Filters Inc Environmentally friendly dual lube venturi filter cartridge
US7182864B2 (en) * 2002-06-07 2007-02-27 Baldwin Filters, Inc. Housing for environmentally friendly filter cartridge
GB2389323B (en) * 2002-06-07 2005-08-17 Baldwin Filters Inc Environmentally friendly filter cartridge
US6972092B1 (en) * 2003-05-16 2005-12-06 Wix Filtration Corp. Self-venting valve end cap and method
US6988625B2 (en) * 2004-02-16 2006-01-24 Fleetguard, Inc. Fluid filter with low-cost housing
DE202004006545U1 (de) * 2004-04-22 2004-08-19 Mann + Hummel Gmbh Filterelement
US20060091064A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-04 Baldwin Filters, Inc. Filter apparatus with separable seal support frame
US20060096934A1 (en) * 2004-11-05 2006-05-11 Weinberger Keith R Oil filter assembly
DE102004058885B4 (de) * 2004-12-06 2016-12-22 Mann + Hummel Gmbh Füssigkeitsfilter
EP1981608B1 (en) 2006-02-09 2009-06-24 Parker-Hannifin Corporation Filter element with flow directing end cap
DE202006018334U1 (de) * 2006-12-04 2008-04-17 Mann+Hummel Gmbh Ölfilter und Filtereinsatz für einen derartigen Ölfilter
DE202006018335U1 (de) * 2006-12-04 2008-04-17 Mann+Hummel Gmbh Auswechselbarer Filtereinsatz
US8845897B2 (en) * 2007-06-18 2014-09-30 Cummins Filtration Ip, Inc. Drain valve for filter service and method
US8272516B2 (en) * 2007-11-19 2012-09-25 Caterpillar Inc. Fluid filter system

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