NO20081007L - Fremgangsmåte for fremstilling av et tynt glassaktig belegg på substrater for å redusere gasspermeering - Google Patents

Fremgangsmåte for fremstilling av et tynt glassaktig belegg på substrater for å redusere gasspermeering

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Abstract

Det er beskrevet en fremgangsmåte for fremstilling av et glasslignende, transparent belegg på et substrat ved belegging av substratet med en oppløsning omfattende a) et polysilazan av formel (1) -(SiR'R"-NR"')n- (1) hvor R', R", R"' er like eller forskjellige og er hver uavhengig hydrogen eller en eventuelt substituert alkyl, aryl, vinyl eller (trialkoksysilyl)alkylrest, hvor n er et helt tall og n er slik at polysilazanet har en antallsmidlere molekylvekt varierende fra 150 til 150 000 g/mol, og b) en katalysator i et organisk oppløsningsmiddel, og deretter fjernelse av oppløsningsmidlet ved å anvende fordampning slik at et polysilazanlag som har en lagtykkelse på 0.05-3.0 µm forblir på substratet, og bestråling av polysilazanlaget med VUV-stråling som har bølgelengdeandeler < 230 nm og UV-stråling som har bølgelengdeandeler mellom 230 og 300 nm i en dampholdig atmosfære i nærvær av oksygen, aktivt oksygen og eventuelt nitrogen.
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