NL195037C - Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen. - Google Patents

Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen. Download PDF

Info

Publication number
NL195037C
NL195037C NL9001820A NL9001820A NL195037C NL 195037 C NL195037 C NL 195037C NL 9001820 A NL9001820 A NL 9001820A NL 9001820 A NL9001820 A NL 9001820A NL 195037 C NL195037 C NL 195037C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
section
sleeve
tubes
transport block
loading
Prior art date
Application number
NL9001820A
Other languages
English (en)
Other versions
NL9001820A (nl
Original Assignee
Gold Star Electronics
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1019890012565A external-priority patent/KR910005377A/ko
Priority claimed from KR2019890015506U external-priority patent/KR930008125Y1/ko
Priority claimed from KR1019890015372A external-priority patent/KR960015559B1/ko
Priority claimed from KR2019890017068U external-priority patent/KR940000547Y1/ko
Priority claimed from KR2019890017069U external-priority patent/KR940001273Y1/ko
Priority claimed from KR2019900003834U external-priority patent/KR950006931Y1/ko
Application filed by Gold Star Electronics filed Critical Gold Star Electronics
Publication of NL9001820A publication Critical patent/NL9001820A/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL195037C publication Critical patent/NL195037C/nl

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Filling Or Emptying Of Bunkers, Hoppers, And Tanks (AREA)

Description

1 195037
Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting voor halfgeleider-schakelingen
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een 5 testinrichting voor halfgeleiderschakelingen, omvattende: - een beladersectie, waarin met te testen halfgeleiderschakelingen gevulde kokers gericht naar een sorteersectie worden gevoerd, - een sorteersectie, waarin gevulde kokers elk in een eerste transportblok van de beladersectie naar de testinrichting worden getransporteerd, en lege kokers elk in een eerste transportblok verder worden 10 getransporteerd naar een ejecteursectie, - een ejecteursectie waarin de lege kokers elk uit het eerste transportblok worden verwijderd en omlaag vallen in een neerlaatsectie, - een neerlaatsectie, waarin de lege kokers verzameld worden, en van waaruit telkens een lege koker wordt toegevoerd aan een ontlaadsectie, 15 - en een ontlaadsectie, waarin door de testinrichting geteste halfgeleiderschakelingen gesorteerd worden aangebracht in een toegevoerde lege koker, waarna de kokers geclassificeerd en opgeslagen worden in opslagkisten in de ontlaadsectie, waarbij de beladersectie een transportband omvat die tussen een aan een frame bevestigde opslagkist en een draagsteun is opgesteld en die is voorzien van op gelijke afstanden op de transportband gemonteerde 20 kokerhouders voor het transporteren van de kokers, waarbij wanneer de met te testen halfgeleiderschakelingen gevulde kokers in de opslagkist geplaatst zijn, de kokers door middel van de beladersectie aan de sorteersectie kunnen worden toegevoerd, waardoor de halfgeleiderschakelingen aan de testinrichting toegevoerd worden en de lege kokers, die in een gegeven positie van de sorteersectie aankomen, door middel van de ejecteursectie getransporteerd worden naar de 25 afvoersectie, en daarna, wanneer de halfgeleiderschakelingen gesorteerd zijn door de testinrichting, de gesorteerde halfgeleiderschakelingen worden opgenomen door de lege kokers die vervolgens worden geclassificeerd en opgeslagen in opslagkisten in de ontlaadsectie.
Een dergelijke inrichting voor het beladen en ontladen van kokers van een testinrichting voor halfgeleiderschakelingen is bekend uit de Europese octrooiaanvrage EP-0.227.968-A2.
30 Bij de bekende inrichting zijn de te testen halfgeleiderschakelingen ondergebracht in kokers met de ”C”-vormige dwarsdoorsnede, die vanuit een voorraad worden toegevoerd en, indien nodig, om de lengteas worden gedraaid om op gelijke wijze georiënteerd te worden toegevoerd aan een kokerontlaadstation voor het ontladen van de halfgeleiderschakelingen. De lege kokers worden met behoud van de oriëntatie toegevoerd aan een buffer, en vervolgens naar een beladingsstation, waarin de kokers gevuld worden met 35 geteste halfgeleiderschakelingen. Het transport van de kokers wordt uitgevoerd met behulp van transportbanden. Het op de juiste wijze oriënteren van de kokers vindt plaats met behulp van een oriëntatieinrichting die de kokers in de gewenste positie draait.
Indien een van de transportbanden uitvalt staat de gehele inrichting stil. Bovendien zal een storing in de oriêntatie-inrichting leiden tot aanvoer van foutief georiënteerde kokers, met een machinestoring tot gevolg. 40 De uitvinding beoogt te voorzien in een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting voor halfgeleiderschakelingen, waarbij de met de te testen halfgeleiderschakelingen gevulde kokers met gebruikmaking van de zwaartekracht in de juiste oriëntatie worden gebracht en met behoud van die oriëntatie worden toegevoerd aan een sorteersectie voor het legen van de kokers en de lege kokers met behoud van oriëntatie worden overgebracht naar een ontlaadsectie om, na te zijn gevuld met geteste 45 halfgeleiderschakelingen, te worden ontladen en opgeslagen.
Daartoe heeft een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting voor halfgeleiderschakelingen van de in de aanhef beschreven soort volgens de uitvinding het kenmerk dat, de beladersectie verder eerste en tweede aan een vaste plaat bevestigde uitlijnplaten omvat, dat de sorteersectie een eerste transportblok omvat, dat van vasthaakgroeven voorziene benen heeft, welk 50 eerste transportblok een vasthouduitsparing heeft voor het vasthouden van een koker, en dat de sorteersectie verder transportbalken voor het geleiden van een heen-en-weer beweging van het eerste transportblok, een langs de transportbalken bewegende drager, een aan het eerste transportblok bevestigde solenoïdeklep, een zwenkarm voor het omhoog en omlaag bewegen van het eerste transportblok, en een duwplaat voor het plaatsen van de koker in de vasthouduitsparing heeft, 55 dat de ejecteursectie een rolondersteuningstafel met een paar rollen en gemonteerd op een stationaire plaat, een door de rollen beweegbare nokplaat, met de nokplaat door middel van een verbindingsplaat verbonden ondersteuningsbalken, een met de rolondersteuningstafel door middel van een verbindingsplaat 195037 2 verbonden glijblok, en een met het glijblok via verbindingsdelen gekoppelde ejecteur heeft, dat de neerlaatsectie een paar geieidingsrails, een paar op een stationaire plaat gemonteerde eerste cilinders, die elk een met een siliciumplaat beklede duwplaat hebben, en een paar tweede cilinders, die aan weerszijden van de eerste cilinders zijn aangebracht en die elk een koppelstang hebben voor het ondersteu-5 nen van een koker omvat, dat de ontlaadsectie een tweede transportblok heeft voor het vasthouden en transporteren van een lege koker, alsmede een met door het tweede transportblok gaande geleidingsstaven verbonden kokerhouder, een in de kokerhouder aangebrachte en neerwaarts door een veer voorgespannen tasterpin, een sensor voor het detecteren van een inbrenging van de koker door de tasterpin, en een duwplaat voor het inbrengen 10 van de koker in het tweede transportblok heeft, dat de uitlijnplaten van de beladersectie zijn ingericht om onder invloed van de zwaartekracht slechts die kokers toe te laten tot de sorteersectie die de juiste oriëntatie van hun dwarsdoorsnede ten opzichte van de transportband hebben, en dat het transport van de lege kokers van de ejecteursectie naar de neerlaatsectie en van de neerlaat· 15 sectie naar de ontlaadsectie plaatsvindt onder invloed van de zwaartekracht.
Wanneer de met te testen halfgeleiderschakelingen gevulde kokers willekeurig opgeslagen zijn in de opslagkist met één van de deksels van de respectieve kokers verwijderd, worden de kokers continu getransporteerd door de transportband en automatisch toegevoerd aan de sorteersectie in een juiste stand, en daarna worden de halfgeleiderschakelingen aan de testinrichting toegevoerd. Daardoor kan de 20 beladingssectie geautomatiseerd worden. Aangezien de lege kokers automatisch door het eerste transportblok getransporteerd worden naar de ejecteursectie en daarna één voor één vanaf de ejecteursectie door de neerlaatsectie naar de ontlaadsectie gevoerd worden om gevuld te worden met de door de testinrichting gesorteerde halfgeleiderschakelingen, kan verder de gehele werking vanaf het beladen tot het ontladen van de testinrichting geautomatiseerd worden.
25 Opgemerkt wordt dat uit de Europese octrooiaanvrage EP-0-0.166.448-A2 een inrichting voor het testen van halfgeleiderschakelingen bekend is, waarbij lege kokers voor halfgeleiderschakelingen in een gewenste oriëntatie worden toegevoerd aan een neerlaatsectie, waarin de kokers in kolommen worden opgeslagen en de onderste kokers van de kolommen naar behoefte worden toegevoerd aan een ontlaadsectie om te worden gevuld met geteste halfgeleiderschakelingen.
30
De uitvinding wordt toegelicht aan de hand van de tekening. Hierin toont: figuur 1 een schematisch vooraanzicht van een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting voor halfgeleiderschakelingen; figuur 2 een schematisch zijaanzicht van de inrichting volgens figuur 1; 35 figuur 3 een vergroot fragmentarisch aanzicht, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van een deel van de in figuur 1 getoonde inrichting; figuur 4 een vergroot aanzicht van een in figuur 3 omcirkeld deel ”A”; figuur 5 een aanzicht in perspectief van het in figuur 4 weergegeven deel; figuur 6 een vergroot aanzicht in perspectief van een sorteersectie van een in figuur 2 weergegeven deel 40 ”B”; figuur 7 een dwarsdoorsnedeaanzicht van een in figuur 6 weergegeven sorteersectie; figuur 8 een aanzicht in perspectief van een ejecteursectie; figuur 9A een dwarsdoorsnedeaanzicht van de ejecteursectie voor het in werking treden; figuur 9B een aanzicht gelijk aan figuur 9A, de ejecteursectie weergevend nadat het in werking getreden 45 is; figuur 10 een langsdoorsnedeaanzicht van een eerste transportblok met een onder het blok aangebrachte ejecteur; figuur 11 een vlakaanzicht van het in figuur 10 weergegeven eerste transportblok; figuur 12 een vlakaanzicht van een neerlaatsectie met een door een koppeling ondersteunde koker; 50 figuur 13 een zijaanzicht van de in figuur 12 weergegeven neerlaatsectie; figuur 14 een vergroot aanzicht in perspectief van een in figuur 2 weergegeven deel ’Έ’, welke een koppelelement toont; figuur 15 een vergroot aanzicht in perspectief, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van een in figuur 19 weergegeven deel ”C"; 55 figuur 16 een zijaanzicht van een ontlaadsectie, waarbij delen gedeeltelijk weggebroken zijn; figuur 17 een vlakaanzicht van de in figuur 16 weergegeven ontlaadsectie; figuur 18 een dwarsdoorsnedeaanzicht langs lijn D-D van figuur 17; en 3 195037 figuur 19 een aanzicht, welke weergeeft dat de in een tweede transportblok van de ontlaadsectie geplaatste koker langs een geleidingsstang bewogen is naar een positie voor het opnemen van door een testinrichting gesorteerde halfgeleiderschakeiing.
5 Figuren 1 en 2 zijn schematische weergaven van een uitvoeringsvorm van een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting voor halfgeleiderschakelingen of IC-chips. Figuren 3 tot 5 zijn aanzichten voor het toelichten van een beladersectie van de inrichting, waarbij figuur 3 een doorsnede-aanzicht van een deel van de in figuur 1 weergegeven inrichting toont.
In figuren 1 en 3 wordt en trechtertype bak 2 weergegeven voor het opnemen van met elektronische 10 componenten, zoals IC-chips 10 gevulde kokers 11. De kokers 11 zijn willekeurig opgeslagen in de opslagbak 2 met één van de deksels van de respectieve kokers verwijderd. Een transportband 4 is voor rotatie gemonteerd aan één zijde van de opslagbak onder een bepaalde hoek (bijvoorbeeld ongeveer 10°) met een verticaal vlak om een aan een frame 1 bevestigde plaat 3 te omringen. De transportband 4 is voorzien van over de lengte van de band op gelijke afstanden van elkaar aangebrachte kokerhouders 5. De 15 kokerhouders 5 zorgen voor het omhoogheffen van de kokers 11 in de opslagbak 2 en voor het toevoeren van hen aan een sorteersectie wanneer de transportband roteert door activering van een hoofdschakelaar (niet weergegeven). Eerste en tweede uitlijnplaten 6, 7, elk met een hellend ondervlak, zijn bevestigd aan de onder de transportband aangebrachte vaste plaat 3 aan de tegenoverstaande zijden van de band 4. Wanneer de kokers 11 getransporteerd worden naar de sorteersectie door de transportband 4, glijden zij 20 daardoor tegen de uitlijnplaten 6, 7, zoals weergegeven in figuur 4. In het bijzonder kan de koker 11, die opglijdt tegen de uitlijnplaten met zijn groef naar links toegekeerd (zoals te zien is in de figuur) getransporteerd worden naar de sorteersectie zonder van de kokerhouder 5 af te vallen als gevolg van het zwaartepunt van de in de koker aanwezige IC-chip 10.
Wanneer de koker ondersteund wordt door de kokerhouder met de groef naar de andere richtingen 25 toegekeerd, zoals weergegeven in (a)-(c) van figuur 4, dan wordt echter de koker naar buiten geduwd tijdens het passeren van de uitlijnplaten en valt dus in de opslagbak 2 als gevolg van instabiliteit van het zwaartepunt van de met IC-chips gevulde koker. De in de opslagbak 2 gevallen kokers kunnen weer omhoog geheven worden door de kokerhouders 5 en alleen de op de juiste wijze geplaatste kokers kunnen getransporteerd worden naar de sorteersectie.
30 Met de transportband 4 en de vaste plaat 3 onder een hoek van ongeveer 10° met het verticale vlak, kan een effectievere werkprestatie verkregen worden. De inrichting van de uitlijnplaten in verscheidene paren is bedoeld om de hoeveelheid te transporteren kokers 11 te vergroten en de betrouwbaarheid van het uitlijnen van de kokers te verbeteren. De afstand (t) tussen het bovenoppervlak van de kokerhouder 5 en de bovenoppervlakken van de eerste en tweede uitlijnplaten 6, 7 kan bijvoorbeeld aangepast worden door het 35 wijzigen van de platen met betrekking tot een grootte van de koker 11 en een vorm van de IC-chip 10.
In figuren 6 en 7 wordt de sorteersectie weergegeven voor het transporteren van de kokers 11 naar de testinrichting 8 vanaf een laadsectie, en voor het daarna verplaatsen van de lege kokers naar een ejecteursectie. Een eerste transportblok 13 is gemonteerd bovenop een drager 12, welke horizontaal glijdt langs een paar van transportstaven 9. Het transportblok 13 is door middel van een trekveer 14 ingesteld ten 40 opzichte van de drager 12 en kan over een bepaalde hoek draaien rond de drager 12. Een paar benen 15 met daarin gevormde inhaakgroeven 15a, 15b zijn integraal bevestigd aan een ondergedeelte van het eerste transportblok 13.
Een met een cilinder 16 verbonden zwenkarm 17 voor op-en-neerbeweging kan selectief in de in de benen 15 gevormde inhaakgroeven 15a, 15b gestoken worden. Een aangrijpuitsparing 13a voor het 45 aangrijpen van de koker 11 is gevormd in het transportblok 13. Zoals weergegeven in figuren 10 en 11, is eveneens een langgerekte opening 13b, waarin een ejecteur 18 geplaatst is, gevormd in het onderste gedeelte van het transportblok 13. De ejecteur 18 neemt de lege kokers uit het transportblok en voert hen naar een afvoersectie. Een afdekplaat 19 rust op en is bevestigd aan de bovenkant van het transportblok 13. Een solenoïde klep 20 met aan zijn vooreinde een stuurpen 20a is gemonteerd op de afdekplaat 19.
50 Bovendien is aan een vanaf één einde van de afdekplaat uitstekend verlengstuk een trilinrichting 21 bevestigd voor het waarborgen van een soepele inbrenging van de IC-chip 10 tijdens het in de testinrichting invoeren van de in de koker 11 opgenomen chips.
Zoals weergegeven in figuur 2 is een duwplaat 23 met een V-vormige dwarsdoorsnede en door middel van een cilinder 22 geactiveerd, via een steunarm 24 gemonteerd aan de zijkant van een frame 1 55 tegengesteld aan het eerste transportblok. De duwplaat 23 brengt de koker 11 in de aangrijpuitsparing 13a na activering door de cilinder 22, wanneer de koker getransporteerd is naar een inlaatopening van de aangrijpuitsparing 13a door middel van de transportband 4. In een normale (of begintoestand blijft de voor 195037 4 het zwenken van het transportblok 13 dienende zwenkarm 17 omhooggeheven of uitgestoken. Wanneer de door middel van de transportband 4 in de voorafgaande laadsectie getransporteerde koker geplaatst is in de aangrijpuitsparing 13a en tegelijkertijd de transportband gestopt wordt door een van een sensor (niet-weergegeven) afkomstig signaal, dan wordt de in één 15a van de inhaakgroeven van de benen 15 gestoken 5 zwenkarm 17 omlaaggebracht of teruggetrokken door werking van de cilinder 16, waardoor het eerste transportblok 13 neergelaten kan worden tegen de trekkracht van de veer 14 in en daarna horizontaal gehouden. In deze positie wordt de een V-vormige dwarsdoorsnede vertonende duwplaat 23 geactiveerd door de cilinder 22, om de koker 11 in de aangrijpuitsparing 13a te brengen. De V-vormige dwarsdoorsnede van de duwplaat 23 is van voordeel in het belang van een correcte inbrenging van de koker in de aangrijp-10 uitsparing. Daarna wordt, zodra de zwenkarm 17 omhoog geheven is door middel van de cilinder 16, het transportblok 13, waarin zoals hierboven vermeld de koker 11 ingebracht is, gedraaid en onder een bepaalde hoek geplaatst door middel van de trekkracht van de veer 14. Op dit punt worden de IC-chips 10 in de koker geblokkeerd door middel van de aan het einde van de solenoïde klep 20 aangebrachte stuurpen 20a, zoals weergegeven in figuur 7. Wanneer de zwenkarm 17 verwijderd is uit de inhaakgroeven 15a van 15 de benen 15 door een van een sensor (niet-weergegeven) afkomstig signaal, kan daarna het eerste transportblok langs de transportstaven 9 bewogen worden naar een lege inlaat van de testinrichting 8. Daarna wordt de stuurpen 20a door de werking van de solenoïde klep 20 omhoog geheven om de aangrijpuitsparing 13a te openen. De IC-chips 10 in de koker 11 treden door hun eigen gewicht in de testinrichting naar binnen. Als echter de IC-chips stevig in contact staan met een binnenoppervlak van de 20 koker, dan kunnen de chips niet in hun geheel toegevoerd worden aan de testinrichting. Voor het voorkomen van een dergelijke incomplete toevoer, wordt de aan het verlengingsstuk van de afdekplaat 19 gemonteerde trilinrichting 21 voor het contact maken met een bovenoppervlak van de koker 11 in werking gesteld voor het doen trillen van de koker. Daardoor kunnen alle in de koker aanwezige IC-chips soepel toegevoerd worden aan de testinrichting 8.
25 Nadat de in de koker aanwezige IC-chips toegevoerd zijn aan de testinrichting, wordt het de lege koker vasthoudende transportblok 13 langs de transportbalken 9 verplaatst In een tegengestelde richting naar een positie, waarin het been 15 met de inhaakgroef 15b gepositioneerd is aan de rechterzijde van de omhooggeheven zwenkarm 17, zoals weergegeven door middel van een streep-puntlijn in figuur 6. Daarna wordt de zwenkarm 17 omlaag gebracht door de werking van de cilinder 16 om het transportblok 13 naar zijn 30 oorspronkelijke horizontale positie te doen terugkeren. Het transportblok 13 is nu geplaatst in de ejecteur-sectie.
Figuur 8 is een aanzicht in perspectief, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van de ejecteursectie, figuren 9A en 9B tonen de werking van de ejecteursectie en figuren 10 en 11 tonen een onder het eerste transportblok geplaatste ejecteur. Een geleidingsstijl 27 met een daaraan bevestigde geleidingsplaat 26 is gemonteerd op 35 een zijgedeelte van een bovenoppervlak van een stationaire plaat 25. Een rollenondersteuningstafel 29 met een daarboven op roteerbaar gemonteerd paar rollen 28 is geplaatst aan één zijde van de geleidingsstijl 27. De tafel 29 kan heen en weer bewogen worden door de werking van een cilinder 30 in tegengestelde richtingen, zoals aangeduid met de pijl in figuur 8. Verder is een nokplaat 31, met een hellend vlak bovenop de rollenondersteuningstafel 29 gemonteerd tegenover de geleidingsplaat 26. Aan de onderzijde van de 40 nokplaat 31 is een trekveer 32 gemonteerd, die het hellende vlak van de nokplaat constant tegen één van de rollen 28 aandrukt. Wanneer de rollenondersteuningstafel 29 heen en weer bewogen wordt door middel van de cilinder 30 wordt daardoor de nokplaat 31 verplaatst in een richting loodrecht op de bewegingsrichting van de tafel 29 door middel van de tussen het hellende vlak van de nokplaat en de geleidingsplaat 26 aangebrachte rollen 28. In het bijzonder, aangezien het hellende vlak van de nokplaat 31 op een 45 dusdanige wijze gevormd is, dat een afstand tussen de nokplaat en de geleidingsplaat kleiner wordt wanneer de tussen de stationaire geleidingsplaat 26 en de beweegbare nokplaat 31 aangebrachte rollen 28 bewogen worden door de beweging van de ondersteuningstafel 29, maken de rollen de hierboven vermelde afstand groter, waarbij de nokplaat 31 bewogen kan worden weg van de geleidingsplaat 26.
Een verbindingsplaat 34 met een daaraan bevestigd paar ondersteuningsbalken 33 is bevestigd aan één 50 zijde van de nokplaat 31 en kan heen en weer bewogen worden tussen een paar geleidingsrails 35, zodat de ondersteuningsbalken 33 de door het eerste transportblok 13 vrijgegeven lege koker kunnen opnemen. De geleidingsrails 35 zijn aangebracht in de neerlaatsectie. Een andere geleidingslijst 37 is bevestigd aan de andere zijde van de stationaire plaat 25. Een paar geleidingsstaven 36 zijn bevestigd aan de geleidingslijst 37 en gaan door een glijblok 38. Het glijblok 38 is verbonden met de rollenondersteuningstafel 29 door 55 middel van een verbindingsplaat 39 en kan daardoor bewogen worden langs de geleidingsstaven 36 door de beweging van de rollenondersteuningstafel. De in de langgerekte opening 13b van het eerste transportblok 13 beweegbare ejecteur 18 is verbonden met het glijblok 38 via verbindingsdelen 40. Wanneer het 5 195037 transportblok 13 verplaatst wordt naar een positie waarin het van de inhaakgroef 15b voorziene been 15 geplaatst is aan de rechterzijde van de zwenkarm 17, zoals weergegeven in een streep-puntlijn in figuur 6, en daarna horizontaal gehouden wordt door de zwenkarm 17, wordt de lege koker 11 gepositioneerd tussen de in de neerlaatsectie aangebrachte geleidingsrails 35, zoals in figuur 8 weergegeven is.
5 Wanneer het over de geleidingsrail 36 glijbare glijblok 38 verplaatst wordt vanaf de in figuur 9A
weergegeven positie naar de In figuur 9B weergegeven positie door de werking van de cilinder 30 voor het verwijderen van de lege koker uit het eerste transportblok 13, wordt daarna de in de langgerekte opening 13B van het transportblok geplaatste ejecteur 18 tezamen met het glijblok bewogen om tegen één einde van de lege koker te duwen. De lege koker wordt daarna uit de aangrijpuitsparing 13a van het transportblok 10 13 verwijderd en valt tussen de geleidingsrails 35. Tegelijkertijd wordt de met het glijblok 38 via de verbindingsplaats 39 verbonden rollenondersteuningstafel 29 ook in dezelfde richting als de bewegingsrichting van het glijblok bewogen. Daardoor worden de bovenop de rollenondersteuningstafel roteerbaar gemonteerde rollen bewogen onder geleiding van de geleidingsplaat 26, waarbij zij tegen het hellende vlak van de nokplaat 31 duwen. De nokplaat wordt daardoor bewogen in een richting loodrecht op de rollen-15 ondersteuningstafel 29, waardoor de uit de aangrijpuitsparing 13a van het transportblok 13 verwijderde lege koker op de ondersteuningsbalken 33 geplaatst kan worden. Na terugtrekking van de staaf van de cilinder 30 zet de rollenondersteuningstafel 29 zich terug in omgekeerde volgorde, keert de nokplaat 31 terug naar zijn oorspronkelijke positie door middel van de aan de onderzijde van de nokplaat gemonteerde trekveer 32. Op dit punt kan de tussen de geleidingsrails 35 vastgehouden lege koker 11 niet met de ondersteunings-20 balken 33 mee bewogen worden en valt na verwijdering van de ondersteuningsbalken 33 door zijn eigen gewicht in de daaropvolgende neerlaatsectie.
Figuur 12 is een vlakaanzicht van de neerlaatsectie, figuur 13 is een zijaanzicht daarvan en figuur 14 is een aanzicht in perspectief van een aan de onderste delen van de geleidingsrails van de neerlaatsectie aangebracht aangrijpelement. Aan de binnenzijde van een aan een zijwand van het frame 1 bevestigde 25 stationaire plaat 41 is een paar eerste cilinders 42 gemonteerd. Aan een voorste einde van de eerste cilinder 42 is een duwplaat 44 met een daaraan bevestigde siliciumplaat 43 bevestigd, die door de werking van de cilinder 42 in staat is vooruit te bewegen en terug te trekken. De siliciumplaat 43 op de duwplaat 44 voorkomt dat de koker 11 gedeformeerd wordt door de duwplaat, wanneer de duwplaat de koker ondersteunt door werking van de eerste cilinder 42. Aan de buitenzijde van de eerste cilinders 42 is een paar 30 tweede cilinders 46 gemonteerd, die elk aan hun voorwaartse einde een aangrijpstaaf 45 hebben. De aangrijpstaaf 45 kan zich uitstrekken en terugtrekken door werking van de tweede cilinder 46 en de laagste koker ondersteunen in zijn uitgestrekte positie. Verder is aan de zijde van het frame 1 tegenover het eerste transportblok 13 een stopper 47 gemonteerd, dat wil zeggen de zijde grenzend aan één van de geleidingsrails 35, die de kokers geleiden wanneer zij opgestapeld worden in de neerlaatsectie, terwijl zij constant op 35 afstand van de stationaire plaat 41 gehouden worden. Een aangrijpelement 48, met een op een gegeven plaat gevormd hellend vlak, zoals weergegeven is in figuur 14, is bevestigd aan de onderste delen van de geleidingsrails 35 door middel van schroeven 49, waardoor ervoor gezorgd wordt dat de in de neerlaatsectie opgestapelde laagste koker 11 gemakkelijker in de daaropvolgende ontladingssectie gevoed kan worden.
Zoals te zien is in figuur 13, blijft de eerste cilinder 42 teruggetrokken in de toestand, waarin de vanaf de 40 voorgaande ejecteur gevoede kokers opgestapeld zijn tussen de geleidingsrails 35, terwijl de tweede cilinder 46 uitgestrekt blijft voor het ondersteunen van de laagste koker door de aangrijpstaaf 45. Wanneer de laagste koker 11 in de ontlaadsectie gevoerd dient te worden, wordt daarna de eerste cilinder 42 eerst uitgestrekt, zodat de aan de duwplaat 44 bevestigde siliciumplaat 43 de bovenste kokers zacht aangrijpt met uitzondering van de laagste koker, zoals in figuur 13 weergegeven door middel van een streep-puntlijn.
45 Daarna wordt de uitgestrekte aangrijpstaaf 45 van de tweede cilinder 46 teruggetrokken om de ondersteunde laagste koker 11 vrij te maken, waardoor de koker vrij kan vallen in het daaropvolgende proces. Op dit punt valt de koker in een hellende toestand als gevolg van het hellende vlak van het in figuur 14 weergegeven aangrijpelement 48.
Figuur 15 is een aanzicht in perspectief, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van de ontlaadsectie, figuren 16 50 en 17 zijn respectievelijk een zijaanzicht en een vlakaanzicht van de ontlaadsectie met delen gedeeltelijk weggebroken, figuur 18 is een dwarsdoorsnedeaanzicht volgens lijn D-D van figuur 17 en figuur 19 laat zien, dat de lege koker verplaatst wordt door een tweede transportblok van de ontlaadsectie voor het opnemen van de door de testinrichting gesorteerde IC-chips. Een door middel van een paar geleidings-staven 52 met een cilinder 51 verbonden kokerhouder is gemonteerd bovenop het tweede transportblok 50, 55 die geleidingsvlakken 50a heeft en de koker 11 aangrijpt. Een sensorpen 54, die contact kan maken met de koker 11, is gemonteerd in een gat van de kokerhouder 53 en gewoonlijk door middel van een veer 55 naar beneden ingesteld en steeds naar beneden toe door een aan de onderzijde van de kokerhouder 53 195037 6 gevormde uitsparing 53a. Bovenop de kokerhouder zijn bovendien een sensor 56 voor het detecteren van het inbrengen van de koker 11 via het stijgen van de sensorpen 54 en een aangrijpblok 57 met een V-vormige groef 57a voor het geleiden van de in een hellende toestand vallende koker door het aan de geleidingsrails 35 bevestigd aangrijpelement 48, gemonteerd.
5 Zoals weergegeven wordt in figuur 16 is aan de onderzijde van het tweede transportblok 50 een drager 58 bevestigd, die glijdend verbonden is met een paar transportstaven 59, waardoor het tweede transportblok 50 heen en weer bewogen kan worden langs de transportstaven. Een onder een hoek van ongeveer 30°-40° ten opzichte van een horizontaal vlak hellende plaat 60 is gemonteerd aan één zijde van het transportblok 50. Aan het ten opzichte van het tweede transportblok 50 andere einde van de hellende plaat 10 60 is ook een met een cilinder 62 verbonden V-vormige duwplaat 61 bevestigd. Dichtbij het binnenoppervlak van de duwplaat 61 is een stationaire plaat 64, met een daaraan bevestigde sensor 63, gemonteerd. De geleidingsvlakken 50a zijn gevormd aan één zijde van het tweede transportblok 50 voor het bewerkstelligen van een nauwkeurige inbrenging van de koker 11 in het tweede transportblok tijdens het voeden van de koker aan het transportblok door middel van de duwplaat 61. De sensor 63 is gemonteerd aan de 15 stationaire plaat 64 dichtbij de duwplaat 61 voor het detecteren van de in de koker achterblijvende IC-chip 10 zonder dat zij aan de testinrichting 8 toegevoerd zijn, wanneer de lege koker naar de ontlaadsectie gezonden wordt. Bovendien kunnen, met de hellende plaat 60 aangebracht onder een hoek van 30°-40° ten opzichte van een horizontaal vlak, de IC-chips gemakkelijk in de lege koker 11 binnentreden als gevolg van de hellende toestand van de door het tweede transportblok 50 getransporteerde lege koker en daarna 20 gevuld worden met de door de testinrichting 8 gesorteerde chips.
De laagste door middel van de neerlaatsectie vrijvallende lege koker wordt geplaatst op de hellende plaat 60 onder geleiding van de V-vormige groef 57a van het aan het tweede transportblok 50 bevestigde aangrijpblok 57 en wordt aan zijn ene einde aangegrepen door de duwplaat 61. Op dit punt wordt de kokerhouder 53 in de omhoog geheven positie gehouden, waarin de staaf van de cilinder 51 via de 25 geleidingsstaven 52 uitgestrekt is voor het losmaken van de kokerhouder 53 van het bovenoppervlak van het tweede transportblok 50.
In de toestand waarin de koker 11 op de hellende plaat 60 rust en aan zijn ene einde aangegrepen wordt door de duwplaat 61, kunnen de IC-chips 10, welke naar alle waarschijnlijkheid in de koker achterblijven zonder in de testinrichting 8 binnen te treden door middel van de sorteersectie verplaatst worden naar het 30 lagere einde van de door de hellende plaat 60 hellende koker. Zodra de dichtbij de duwplaat 61 op de stationaire plaat 64 bevestigde sensor de IC-chip detecteert, stopt bovendien de sensor de werking van de cilinder en geeft de bedieningspersoon het feit van het achterblijven van de chip te kennen, bijvoorbeeld door middel van een zoemer of elk ander geschikt signaal.
Wanneer er geen IC-chip in de koker aanwezig is, doet de cilinder 62 de duwplaat 61 bewegen in de 35 richting van de in figuur 16 weergegeven pijl, waardoor de koker in het tweede transportblok 50 ingebracht wordt onder geleiding van de in het tweede transportblok gevormde geleidingsvlakken 50a. Op het moment dat de koker in het tweede transportblok 50 ingebracht is, wordt de kokerhouder 53 door middel van de cilinder 51 omlaag bewogen om de koker aan te grijpen en tegelijkertijd beweegt de in de kokerhouder 53 gemonteerde sensorpen 54 naar de koker 11 toe. In het geval dat de koker geplaatst is met zijn groef 40 omhoog gekeerd, zoals weergegeven in figuur 15, dan wordt de binnen de gegeven limieten neerdalende sensorpen 54 gepositioneerd in de groef van de koker, waardoor de pen geen contact maakt met de koker en de sensor 56 niet activeert, waardoor de daaropvolgende trap uitgevoerd kan worden. Wanneer echter de koker 11 geplaatst is onder de sensorpen 54 met zijn groef naar beneden of naar opzij gekeerd, zoals weergegeven in (a), (b) en (c) van figuur 15, maakt de sensorpen contact met het bovenoppervlak van de 45 koker en stijgt tegen de instelling van de veer 55 in en activeert de bovenop de kokerhouder 53 gemonteerde sensor 56. Zodra de sensor een foutplaatsing van de koker detecteert voert het een signaal uit om de ontlaadsectie stop te zetten en de bedieningspersoon van een dergelijke foutplaatsing op de hoogte te brengen, bijvoorbeeld door middel van de met de sensor verbonden zoemer of lamp.
Zodra de koker 11 op normale wijze ingebracht is in het tweede transportblok 50 en aangegrepen is door 50 de kokerhouder 53, zoals weergegeven in figuur 19, kan de aan het tweede transportblok 50 bevestigde drager 58 langs de transportstaven 59 verplaatst worden naar de uitlaatopeningen van de testinrichting 8, zodat de koker de door de testinrichting gesorteerde IC-chips 10 kan opnemen. Het naar de uitlaatopeningen van de testinrichting verplaatste tweede transportblok 50 wordt stopgezet bij de uitlaatopening, die geselecteerd Is met betrekking tot het detecteren van de hoeveelheid van gesorteerde IC-chips, dat wil 55 zeggen de uitlaatopening, welke de geteste IC-chips bevat tot een hoeveelheid, die in één koker opgenomen kan worden. Daarna treedt een boven de uitlaatopening van de testinrichting verschafte solenoïde klep 65 in werking om de geteste chips in de koker te brengen door middel van luchtdruk. Nadat de chips

Claims (10)

1. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting voor halfgeleiderschakelingen, omvattende: - een beladersectie, waarin met te testen halfgeleiderschakelingen gevulde kokers gericht naar een sorteersectie worden gevoerd, 20. een sorteersectie, waarin gevulde kokers elk in een eerste transportblok van de beladersectie naar de testinrichting worden getransporteerd, en lege kokers elk in een eerste transportblok verder worden getransporteerd naar een ejecteursectie, - een ejecteursectie waarin de lege kokers elk uit het eerste transportblok worden verwijderd en omlaag vallen in een neeriaatsectie, 25. een neeriaatsectie, waarin de lege kokers verzameld worden, en van waaruit telkens een lege koker wordt toegevoerd aan een ontlaadsectie, - en een ontlaadsectie, waarin door de testinrichting geteste halfgeleiderschakelingen gesorteerd worden aangebracht in een toegevoerde lege koker, waarna de kokers geclassificeerd en opgeslagen worden in opslagkisten in de ontlaadsectie, 30 waarbij de beladersectie een transportband omvat die tussen een aan een frame bevestigde opslagkist en een draagsteun is opgesteld en die is voorzien van op gelijke afstanden op de transportband gemonteerde kokerhouders voor het transporteren van de kokers, waarbij wanneer de met te testen halfgeleiderschakelingen gevulde kokers in de opslagkist geplaatst zijn, de kokers door middel van de beladersectie aan de sorteersectie kunnen worden toegevoerd, waardoor de halfgeleiderschakelingen aan de testinrichting 35 toegevoerd worden en de lege kokers, die in een gegeven positie van de sorteersectie aankomen, door middel van de ejecteursectie getransporteerd worden naar de afvoersectie, en daarna, wanneer de halfgeleiderschakelingen gesorteerd zijn door de testinrichting, de gesorteerde halfgeleiderschakelingen worden opgenomen door de lege kokers die vervolgens worden geclassificeerd en opgeslagen in opslagkisten in de ontlaadsectie, met het kenmerk, dat de beladersectie verder eerste en tweede aan een vaste 40 plaat bevestigde uitlijnplaten omvat, dat de sorteersectie een eerste transportblok omvat, dat van vasthaakgroeven voorziene benen heeft, welk eerste transportblok een vasthouduitsparing heeft voor het vasthouden van een koker, en dat de sorteersectie verder transportbanen voor het geleiden van een heen-en-weer beweging van het eerste transportblok, een langs de transportbanen bewegende drager, een aan het eerste transportblok bevestigde 45 solenoïdeklep, een zwenkarm voor het omhoog en omlaag bewegen van het eerste transportblok, en een duwplaat voor het plaatsen van de koker in de vasthouduitsparing heeft, dat de ejecteursectie een rolondersteuningstafel met een paar rollen en gemonteerd op een stationaire plaat, een door de rollen beweegbare nokplaat, met de nokplaat door middel van een verbindlngsplaat verbonden ondersteuningsbalken, een met de rolondersteuningstafel door middel van een verbindingsplaat 50 verbonden glijblok, en een met het glijblok via verbindingsdelen gekoppelde ejecteur heeft, dat de neeriaatsectie een paar geieidingsrails, een paar op een stationaire plaat gemonteerde eerste cilinders, die elk een met een siliciumplaat beklede duwplaat hebben, en een paar tweede cilinders, die aan weerszijden van de eerste cilinders zijn aangebracht en die elk een koppelstang hebben voor het ondersteunen van een koker omvat, 55 dat de ontlaadsectie een tweede transportblok heeft voor het vasthouden en transporteren van een lege koker, alsmede een met door het tweede transportblok gaande geleidingsstaven verbonden kokerhouder, een in de kokerhouder aangebrachte en neerwaarts door een veer voorgespannen tasterpin, een sensor 195037 8 voor het detecteren van een inbrenging van de koker door de tasterpin, en een duwplaat voor het inbrengen van de koker in het tweede transportblok heeft, dat de uitlijnplaten van de beladersectie zijn ingericht om onder invloed van de zwaartekracht slechts die kokers toe te laten tot de sorteersectie die de juiste oriëntatie van hun dwarsdoorsnede ten opzichte van de 5 transportband hebben, en dat het transport van de lege kokers van de ejecteursectie naar de neerlaatsectie en van de neerlaat-sectie naar de ontlaadsectie plaatsvindt onder invloed van de zwaartekracht.
2. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat een hoogte van elk van de kokerhouders op de transportband van de laadsectie een afstand 10 groter is dan de hoogte van de eerste en tweede uitlijnplaten, waardoor, wanneer de koker niet ondersteund wordt door de kokerhouder in een gegeven toestand, de koker door zijn eigen gewicht in de opneembak kan vallen.
3. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de duwplaat tegenovergesteld aan het eerste transportblok aangebracht is en V-vormig in 15 dwarsdoorsnede is voor het in de aangrijpuitsparing van het eerste transportblok inbrengen van de door middel van de transportband toegevoerde koker.
4. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de bovenop het eerste transportblok van de sorteersectie gemonteerde solenoïde klep aan zijn ondereinde een stuurpen heeft, waarbij de stuurpen kan worden uitgestrekt in en teruggetrokken uit de 20 aangrijpuitsparing om in de koker de toevoer van de halfgeleiderschakelingen aan de testinrichting te besturen.
5. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat de sorteersectie verder een aan een zijde van een afdekplaat gemonteerde trilïnrichting bevat, waarbij de trilïnrichting in werking treedt na het verloop van een bepaalde tijd vanaf een terugtrekking van 25 de stuurpen van de solenoïde klep.
6. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de zwenkarm selectief gestoken wordt in de inhaakgroeven van de aan het onderste gedeelte van het eerste transportblok bevestigde benen voor het omhoogheffen of neerlaten van het eerste transportblok.
7. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de sorteersectie verder een tussen het eerste transportblok en de drager aangebrachte veer bevat, waardoor het eerste transportblok steeds in een omhoog geheven positie gehouden kern worden.
7 195037 volledig opgenomen zijn in de koker, wordt het tweede transportblok 50 verplaatst naar de onder de transportstaven 59 aangebracht opslagbak 66, die scheidingswanden 66a heeft, welke ervoor zorgen dat de IC-chips geclassificeerd en opgeslagen kunnen worden volgens hun karakteristieken. Zodra het tweede transportblok stopgezet is bij de transportbak, wordt de kokerhouder 53 omhoog geheven door werking van 5 de cilinder 51 om de vastgehouden koker vrij te geven, waardoor de opnieuw gevulde koker door zijn eigen gewicht in de opslagbak 66 kan vallen en daarin opgeslagen wordt. De voorgaande beschrijving beschrijft één werkingscyclus, bevattende de stappen van het automatisch voeden van de in de koker 11 opgenomen IC-chips 10, welke koker willekeurig in de opslagbak 2 geplaatst is, aan de testinrichting 8 via de laad- en sorteersecties, het verzenden van de lege koker naar de 10 ontlaadsectie via de ejecteur en neerlaatsecties, het hervullen van de lege koker met de door de testinrichting gesorteerde IC-chips en het opslaan van de opnieuw gevulde koker in de opslagbak. 15
8. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de geleidingsrails van de neerlaatsectie staven bevatten, die elk de vorm van een speer 35 hebben.
9. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de neerlaatsectie verder een aangrijpelement bevat, met een hellend vlak en bevestigd aan de onderste delen van de geleidingsrails, en de ontlaadsectie verder een boven de sensor aangebrachte aangrijpblok bevat, die aan zijn voorste einde een onder een hoek gevormde V-vormige groef heeft om 40 ervoor te zorgen dat de door zijn eigen gewicht vallende koker hellend naar de ontlaadsectie glijdt.
10. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de ontlaadsectie verder bevat een hellende plaat, een evenwijdig aan de hellende plaat en dichtbij de duwplaat aangebrachte stationaire plaat, en een aan de stationaire plaat bevestigde sensor voor het detecteren van de eventuele aanwezigheid van in de koker achtergebleven halfgeleiderschakelingen. Hierbij 4 bladen tekening
NL9001820A 1989-08-31 1990-08-14 Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen. NL195037C (nl)

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR890012565 1989-08-31
KR1019890012565A KR910005377A (ko) 1989-08-31 1989-08-31 슬리브의 분리, 수평유지, 낙하의 자동화 장치
KR890015372 1989-10-25
KR890015506 1989-10-25
KR2019890015506U KR930008125Y1 (ko) 1989-10-25 1989-10-25 슬리브 방향 검출장치
KR1019890015372A KR960015559B1 (ko) 1989-10-25 1989-10-25 아이시(ic)테스트기의 슬리브 로딩 장치
KR2019890017068U KR940000547Y1 (ko) 1989-11-18 1989-11-18 슬리이브의 낙하장치
KR890017069 1989-11-18
KR2019890017069U KR940001273Y1 (ko) 1989-11-18 1989-11-18 슬리이브속의 ic유무 검출장치
KR890017068 1989-11-18
KR2019900003834U KR950006931Y1 (ko) 1990-03-31 1990-03-31 Ic 테스트 슬리브의 솟터 장치
KR900003834 1990-03-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL9001820A NL9001820A (nl) 1991-03-18
NL195037C true NL195037C (nl) 2003-06-25

Family

ID=37735089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL9001820A NL195037C (nl) 1989-08-31 1990-08-14 Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen.

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPH0645406B2 (nl)
DE (1) DE4023772A1 (nl)
FR (1) FR2651330B1 (nl)
GB (1) GB2235581B (nl)
NL (1) NL195037C (nl)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950001245Y1 (ko) * 1991-09-13 1995-02-24 금성일렉트론 주식회사 핸들러의 디바이스 자동 송출장치
DE4430846C2 (de) * 1994-08-31 1997-04-10 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Umsetzung eines Transportobjektes zwischen zwei Endlagen
DE4430844C1 (de) * 1994-08-31 1996-02-22 Jenoptik Technologie Gmbh Beschickungseinrichtung für Halbleiterbearbeitungsanlagen
DE4443061A1 (de) * 1994-12-03 1996-06-05 Elmako Damm Gmbh Chip-Handling System
JP3063602B2 (ja) * 1995-12-22 2000-07-12 日立電子エンジニアリング株式会社 Icデバイスの移載装置
TW371347B (en) * 1995-12-27 1999-10-01 Advantest Corp Structure of rotary arm and device chuck part of a device handler
KR100481298B1 (ko) * 1997-08-04 2006-05-22 삼성전자주식회사 반도체디바이스이/삽입시스템및이를통한반도체디바이스이/삽입방법
DE19733937C1 (de) * 1997-08-06 1999-03-04 Multitest Elektronische Syst Führungsbahn für mikroelektronische Bauelemente
DE19813684C2 (de) 1998-03-27 2001-08-16 Brooks Automation Gmbh Einrichtung zur Aufnahme von Transportbehältern an einer Be- und Entladestation
CN108152778B (zh) * 2018-01-29 2024-01-30 苏州立讯技术有限公司 滤波器自动互调测试设备
CN115432423B (zh) * 2022-08-29 2023-08-18 深圳市博辉特科技有限公司 一种简便的物料分类机构
CN115870228B (zh) * 2022-12-21 2023-10-20 江苏晟銮电子科技有限公司 一种肖特基芯片检测系统和芯片检测方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4715501A (en) * 1984-06-29 1987-12-29 Takeda Riken Co., Ltd. IC test equipment
US4775279A (en) * 1985-12-11 1988-10-04 American Tech Manufacturing, Inc. Method and apparatus for loading/unloading dip devices
US4776747A (en) * 1986-01-03 1988-10-11 Motorola Inc. High speed integrated circuit handler
US4744799A (en) * 1986-06-06 1988-05-17 Usm Corporation Combined sequencer and insertion machine
US4850785A (en) * 1987-03-13 1989-07-25 Quality Automation, Inc. Eprom feed apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
FR2651330A1 (fr) 1991-03-01
JPH03238233A (ja) 1991-10-24
GB2235581B (en) 1993-06-09
GB9017541D0 (en) 1990-09-26
JPH0645406B2 (ja) 1994-06-15
DE4023772C2 (nl) 1992-07-16
NL9001820A (nl) 1991-03-18
DE4023772A1 (de) 1991-03-14
GB2235581A (en) 1991-03-06
FR2651330B1 (fr) 1994-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL195037C (nl) Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen.
US5244330A (en) Bottler loader and method
KR100591518B1 (ko) 약제다발 검사 및 절단장치
US4761106A (en) Part feeder
US3842573A (en) Method and apparatus for packaging coins
JPS627696B2 (nl)
JP6622539B2 (ja) 容器供給装置
JPS5994433A (ja) 半導体素子の選別装置
JP2017065748A (ja) 容器クリーニング装置
KR101234722B1 (ko) 불량선별기용 진단스틱 적층장치
US5217120A (en) Apparatus for loading and unloading sleeves for integrated circuit ester
US4169342A (en) Article separating device for case loading machine
JP2841266B2 (ja) 物品の取扱い装置
KR102132562B1 (ko) 몰딩용 타블렛 공급장치
KR101248846B1 (ko) 계란의 자동 선별 포장을 위한 계란투입제어 시스템
JP7545031B2 (ja) 物品収容装置
JP2000019183A (ja) ピペットチップセット機におけるガイドパイプ
US4686816A (en) Dip tube loader and handler apparatus
JP2001080736A (ja) 物品切出装置および物品1列払出機
KR100952734B1 (ko) 부품 실장기용 트레이 공급 장치 및 이의 트레이 공급 방법
JPH049360B2 (nl)
KR100835178B1 (ko) 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치
US4514957A (en) Bag loading machine
KR960006764B1 (ko) 핸들러의 튜브 자동공급장치
JP2657745B2 (ja) 荷移載方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
A1A A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
SNR Assignments of patents or rights arising from examined patent applications

Owner name: HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.

TNT Modifications of names of proprietors of patents or applicants of examined patent applications

Owner name: HYNIX SEMICONDUCTOR INC.

Owner name: LG SEMICON CO., LTD.

Owner name: HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.

SNR Assignments of patents or rights arising from examined patent applications

Owner name: MAGNACHIP SEMICONDUCTOR LTD.

Effective date: 20050715

V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20070301