NL9001820A - Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een ic-testinrichting. - Google Patents

Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een ic-testinrichting. Download PDF

Info

Publication number
NL9001820A
NL9001820A NL9001820A NL9001820A NL9001820A NL 9001820 A NL9001820 A NL 9001820A NL 9001820 A NL9001820 A NL 9001820A NL 9001820 A NL9001820 A NL 9001820A NL 9001820 A NL9001820 A NL 9001820A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
sleeve
transport block
section
plate
chips
Prior art date
Application number
NL9001820A
Other languages
English (en)
Other versions
NL195037C (nl
Original Assignee
Gold Star Electronics
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1019890012565A external-priority patent/KR910005377A/ko
Priority claimed from KR2019890015506U external-priority patent/KR930008125Y1/ko
Priority claimed from KR1019890015372A external-priority patent/KR960015559B1/ko
Priority claimed from KR2019890017068U external-priority patent/KR940000547Y1/ko
Priority claimed from KR2019890017069U external-priority patent/KR940001273Y1/ko
Priority claimed from KR2019900003834U external-priority patent/KR950006931Y1/ko
Application filed by Gold Star Electronics filed Critical Gold Star Electronics
Publication of NL9001820A publication Critical patent/NL9001820A/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL195037C publication Critical patent/NL195037C/nl

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67253Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Filling Or Emptying Of Bunkers, Hoppers, And Tanks (AREA)

Description

Korte aanduiding: Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC-test inricht ing.
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC-test inricht ing, waarin in de kokers opgenomen electronische componenten, zoals IC-chips, continu door een toevoerbron toegevoerd worden aan de testinricht ing, in de testinrichting getest worden, volgens karakteristieken van de geteste chips gesorteerd worden, en daarna weer in lege kokers opgenomen worden.
In een bekende inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC-testinrichting, wanneer de IC-chips bevattende kokers door een bediener handmatig systematisch geplaatst worden in een bel-aderpaar, elk met een "C"-vormige dwarsdoorsnede, worden de kokers één voor één getransporteerd naar de testinrichting om de IC-chips in de aangevoerde koker aan de testinrichting toe te voeren, en daarna worden lege kokers willekeurig verzameld in een opslagkist. Als de in de opslagkist verzamelde lege kokers opgestapeld en door de bediener aan een ontlader toegevoerd zijn, worden daarna de de testinrichting gepasseerde en volgens hun karakteristieken gesorteerde IC-chips opgenomen in de systematisch in de ontlader geplaatste lege kokers. In dit geval dienen de kokers voortdurend en systematisch handmatig door de bediener aan de belader en de ontlader toegevoerd te worden. Aangezien in dergelijke bekende inrichtingen het toevoeren van de kokers aan de belader en de ontlader met de hand uitgevoerd wordt, worden de werkuren overmatig lang. Bovendien kunnen, vanwege het feit dat de lege kokers door de bediener vanaf de belader naar de ontlader getransporteerd dienen te worden, automatische regelingen niet verkregen worden en is dus de produktiviteit verminderd.
Met het oog op het bovenstaande probleem van de bekende inrichting, is het een doel van de uitvinding om een inrichting te verschaffen voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC-testin-richting, welke de willekeurig in een opslagkist geplaatste, met IC-chips gevulde kokers automatisch één voor één kan overbrengen naar de testinrichting door middel van een tussen een inwendige ruimte van de opslagkist en een sorteersectie verschafte transportband, en lege kokers automatisch kan transporteren naar een ontladersectie, zodat de geteste en volgens hun karakteristieken gesorteerde IC-chips opgenomen kunnen worden in de lege kokers.
Voor het bereiken van bovenstaande doel, verschaft de uitvinding een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC- test inrichting, bevattende een beladersectie met een tussen een op-slagkist en een draagsteun verschafte transportband, beiden bevestigd aan een frame, equidistant op de transportband gemonteerde en de kokers transporterende kokerhouders, en eerste en tweede aan een vaste plaat bevestigde uitlijnplaten; een sorteersectie met een eerste transportblok, welke van vasthaakgroeven voorziene benen heeft, waarbij het transportblok ook een vasthouduitsparing heeft voor het vasthouden van de koker, transportbalken voor het geleiden van een heen en weer beweging van het eerste transportblok, een langs de transportbalken beweegbare drager, een aan het eerste transportblok bevestigde solenoïde klep, een zwenkarm voor het omhoog en omlaag bewegen van het eerste transportblok, en een duwplaat voor het plaatsen van de koker in de vasthouduitsparing; een injecteursectie bevattende een rolonder-steuningstafel met een paar rollen en gemonteerd op een stationaire plaat, een door de rollen beweegbare nokplaat, met de nokplaat door middel van een verbindingsplaat verbonden ondersteuningsbalken, een met de rolondersteuningstafel door middel van een verbindingsplaat verbonden glijblok, en een met het glijblok via verbindingsdelen gekoppelde ejecteur; een neerlaatsectie bevattende een paar geleidings-rails, een paar van op een stationaire plaat gemonteerde cilinders en elk met een siliciumplaat, en een duwplaat, en een ander paar van tweede buiten de eerste cilinders aangebrachte cilinders en elk met een koppelstang; en een ontladingssectie bevattende een tweede transportblok voor het vasthouden en het transporteren van een lege koker, een met de door het tweede transportblok gaande geleidingsstaven verbonden kokerhouder, een in de kokerhouder aangebrachte en gewoonlijk neerwaarts door een veer voorgespannen sensorpin, een sensor voor het detecteren van een inbrenging van de koker door de sensorpin, en een duwplaat voor het inbrengen van de koker in het tweede transportblok; waarbij, wanneer de met de IC-chips gevulde kokers in de opslagkist geplaatst zijn, de kokers via de laadsectie aan de sorteersectie toegevoerd worden, daardoor de IC-chips aan de testinrichting toevoerend en de lege kokers, welke in een gegeven positie van de sorteersectie arriveren, worden getransporteerd naar de afvoersectie door middel van de ejecteursectie, en daarna, wanneer de IC-chips gesorteerd zijn door de testinrichting, nemen de lege kokers de geteste IC-chips op en worden daarna geklassificeerd en opgeslagen in opslagkisten in de ont-laadsectie.
Wanneer de met de IC-chips gevulde kokers willekeurig opgeslagen zijn in de opslagkist met één van de deksels van de respectieve kokers verwijderd, worden volgens de inrichting van de uitvinding de kokers continu getransporteerd door de transportband en automatisch toegevoerd aan de sorteersectie in een juiste stand, en daarna worden de IC-chips aan de testinrichting toegevoerd. Daardoor kan de beladings-sectie geautomatiseerd worden. Aangezien de lege kokers automatisch door het eerste transportblok getransporteerd worden naar de ejecteur-sectie en daarna één voor één vanaf de ejecteursectie door de neer-laatsectie naar de ontladingssectie gevoerd worden om gevuld te worden met de door de testinrichting gesorteerde IC-chips, kan verder de gehele werking vanaf het beladen tot het ontladen van de testinrichting geautomatiseerd worden, daardoor de produktiviteit verbeterend.
Vele andere voordelen, kenmerken en overige doelen van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de volgende gedetailleerde beschrijving en de bijbehorende tekeningen, waarin een het principe van de uitvinding belichamende voorkeursuitvoeringsvorm bij wijze van illustratief voorbeeld weergegeven wordt.
Fig. 1 is een schematisch vooraanzicht van een inrichting volgens de uitvinding; fig. 2 is een schematisch zijaanzicht van de inrichting; fig. 3 is een vergroot fragmentarisch aanzicht, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van een deel van de in fig. 1 getoonde inrichting; fig. 4 is een vergroot aanzicht van een in fig. 3 omcirkeld deel "A"; fig. 5 is een aanzicht in perspectief van het in fig. 4 weergegeven deel; fig. 6 is een vergroot aanzicht in perspectief van een sorteersectie van een in fig. 2 weergegeven deel "B"; fig. 7 is een dwarsdoorsnede-aanzicht van een in fig. 6 weergegeven sorteersectie; fig. 8 is een aanzicht in perspectief van een ejecteursectie; fig. 9A is een dwarsdoorsnede-aanzicht van de ejecteursectie voor het in werking treden; fig. 9B is een aanzicht gelijk aan fig. 9A, de ejecteursectie weergevend nadat het in werking getreden is; fig. 10 is een langsdoorsnede-aanzicht van een eerste transportblok met een onder het blok aangebrachte ejecteur? fig. 11 is een vlakaanzicht van het in fig. 10 weergegeven eerste transportblok; fig. 12 is een vlakaanzicht van een neerlaatsectie, welke de door een koppelstang ondersteunde koker toont; fig. 13 is een zijaanzicht van de in fig. 12 weergegeven neerlaatsect ie? fig. 14 is een vergroot aanzicht in perspectief van een in fig. 2 weergegeven deel "E", welke een koppelelement toont; fig. 15 is een vergroot aanzicht in perspectief, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van een in fig. 19 weergegeven deel "C"; fig. 16 is een zijaanzicht van een ontladingssectie, waarbij delen gedeeltelijk weggebroken zijn; fig. 17 is een vlakaanzicht van de in fig. 16 weergegeven ontladingssectie; fig. 18 is een dwarsdoorsnede-aanzicht langs lijn D-D van fig. 17; en fig. 19 is een aanzicht, welke weergeeft dat de in een tweede transportblok van de ontladingssectie geplaatste koker langs een ge-leidingsstang bewogen is naar een positie voor het opnemen van door een testinrichting gesorteerde IC-chip.
Fig. 1 en 2 zijn schematische weergaven van een uitvoeringsvorm van een inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC-testinrichting volgens de uitvinding. Fig. 3 tot 5 zijn aanzichten voor het toelichten van een beladingssectie van de inrichting, waarbij fig. 3 een doorsnede-aanzicht is, dat een deel van de in fig. 1 weergegeven inrichting illustreert.
In fig. 1 en 3 wordt een trechtertype bak 2 weergegeven voor het opnemen van met electronische componenten, zoals IC-chips 10 gevulde kokers 11. De kokers 11 zijn willekeurig opgeslagen in de cpslagbak 2 met één van de deksels van de respectieve kokers verwijderd. Een transportband 4 is voor rotatie gemonteerd aan één zijde van de op-slagbak onder een bepaalde hoek (bijvoorbeeld ongeveer 10 “) met een verticaal vlak om een aan een frame 1 bevestigde plaat 3 te omringen. De transportband 4 is voorzien van over de lengte van de band op gelijke afstanden van elkaar aangebrachte kokefhouders 5. De kokerhou-ders 5 zorgen voor het omhoogheffen van de kokers 11 in de opslagbak 2 en voor het toevoeren van hen aan een sorteersectie wanneer de transportband roteert door activering van een hoofdschakelaar (niet weergegeven) . Eerste en tweede uitlijnplaten 6,7, elk met een hellend ondervlak, zijn bevestigd aan de onder de transportband aangebrachte vaste plaat 3 aan de tegenoverstaande zijden van de band 4. Wanneer de ko kers 11 getransporteerd worden naar de sorteersectie door de transportband 4, glijden zij daardoor tegen de uitlijnplaten 6, 7, zoals weergegeven in fig. 4. In het bijzonder kan de koker 11, die opglijdt tegen de uitlijnplaten met zijn groef naar links toegekeerd (zoals te zien is in de figuur) getransporteerd worden naar de sorteersectie zonder van de kokerhouder 5 af te vallen als gevolg van het zwaartepunt van de in de koker aanwezige IC-chip 10.
Wanneer de koker ondersteund wordt door de kokerhouder met de groef naar de andere richtingen toegekeerd, zoals weergegeven in (a)-(c) van fig. 4, dan wordt echter de koker naar buiten geduwd tijdens het passeren van de uitlijnplaten en valt dus in de opslagbak 2 als gevolg van instabiliteit van het zwaartepunt van de met IC-chips gevulde koker. De in de opslagbak 2 gevallen kokers kunnen weer omhoog geheven worden door de kokerhouders 5 en alleen de op de juiste wijze geplaatste kokers kunnen getransporteerd worden naar de sorteersectie.
Met de transportband 4 en de vaste plaat 3 onder een hoek van ongeveer 10° met het verticale vlak, kan een effectievere werkprestatie verkregen worden. De inrichting van de uitlijnplaten in verscheidene paren is bedoeld om de hoeveelheid te transporteren kokers 11 te vergroten en de betrouwbaarheid van het uitlijnen van de kokers te verbeteren. De afstand (t) tussen het bovenoppervlak van de kokerhouder 5 en de bovenoppervlakken van de eerste en tweede uitlijnplaten 6, 7 kan bijvoorbeeld aangepast worden door het wijzigen van de platen met betrekking tot een grootte van de koker 11 en een vorm van de IC-chip 10.
In fig. 6 en 7 wordt de sorteersectie weergegeven voor het transporteren van de kokers 11 naar de IC-testinrichting 8 vanaf een laadsectie, en voor het daarna verplaatsen van de lege kokers naar een ejecteursectie. Een eerste transportblok 13 is gemonteerd bovenop een drager 12, welke horizontaal glijdt langs een paar van transportstaven 9. Het transportblok 13 is door middel van een trekveer 14 ingesteld ten opzichte van de drager 12 en kan over een bepaalde hoek draaien rond de drager 12. Een paar benen 15 met daarin gevormde inhaakgroeven 15a, 15b zijn integraal bevestigd aan een ondergedeelte van het eerste transportblok 13.
Een met een cilinder 16 verbonden zwenkarm 17 voor op en neerbeweging kan selectief in de in de benen 15 gevormde inhaakgroeven 15a, 15b gestoken worden. Een aangrijpuitsparing 13a voor het aangrijpen van de koker 11 is gevormd in het transportblok 13. Zoals weergegeven in fig. 10 en 11, is eveneens een langgerekte opening 13b, waarin een ejecteur 18 geplaatst is, gevormd in het onderste gedeelte van het transportblok 13. De ejecteur 18 neemt de lege kokers uit het trans-portblok en voert hen naar een afvoerseetie. Een afdekplaat 19 rust op en is bevestigd aan de bovenkant van het transportblok 13. Een soleno-ide klep 20 met aan zijn vooreinde een stuurpen 20a is gemonteerd op de afdekplaat 19. Bovendien is aan een vanaf één einde van de afdekplaat uitstekend verlengstuk een trilinrichting 21 bevestigd voor het waarborgen van een soepele iribrenging van de IC-chip 10 tijdens het in de testinrichting invoeren van de in de koker 11 opgenomen chips.
Zoals weergegeven in fig. 2 is een duwplaat 23 met een V-vormige dwarsdoorsnede en door middel van een cilinder 22 geactiveerd, via een steunarm 24 gemonteerd aan de zijkant van een frame 1 tegengesteld aan het eerste transportblok. De duwplaat 23 brengt de koker 11 in de aangrijpuitsparing 13a na activering door de cilinder 22, wanneer de koker getransporteerd is naar een inlaatopening van de aangrijpuitspa-ring 13a door middel van de transportband 4. In een normale (of begin) toestand blijft de voor het zwenken van het transportblok 13 dienende zwenkarm 17 omhooggeheven of uitgestoken. Wanneer de door middel van de transportband 4 in de voorafgaande laadsectie getransporteerde koker geplaatst is in de aangrijpuitsparing 13a en tegelijkertijd de transportband gestopt wordt door een van een sensor (niet-weergegeven) afkomstig signaal, dan wordt de in één 15a van de irihaakgroeven van de benen 15 gestoken zwenkarm 17 omlaaggebracht of teruggetrokken door werking van de cilinder 16, waardoor het eerste transportblok 13 neergelaten kan worden tegen de trekkracht van de veer 14 in en daarna horizontaal gehouden. In deze positie wordt de een V-vormige dwarsdoorsnede vertonende duwplaat 23 geactiveerd door de cilinder 22, om de koker 11 in de aangrijpuitsparing 13a te brengen. De V-vormige dwarsdoorsnede van de duwplaat 23 is van voordeel in het belang van een correcte iribrenging van de koker in de aangrijpuitsparing. Daarna wordt, zodra de zwenkarm 17 omhoog geheven is door middel van de cilinder 16, het transportblok 13, waarin zoals hierboven vermeld de koker 11 ingébracht is, gedraaid en onder een bepaalde hoek geplaatst door middel van de trekkracht van de veer 14. Op dit punt worden de IC-chips 10 in de koker geblokkeerd door middel van de aan het einde van de solenoïde klep 20 aangébrachte stuurpen 20a, zoals weergegeven in fig. 7. Wanneer de zwenkarm 17 verwijderd is uit de inhaakgroeven 15a van de benen 15 door een van een sensor (niet-weergegeven) afkam- stig signaal, kan daarna het eerste transportblok langs de transport-staven 9 bewogen worden naar een lege inlaat van de testinrichting 8. Daarna wordt de stuurpen 20a door de werking van de solenoïde klep 20 omhoog geheven om de aangrijpuitsparing 13a te openen. De IC-chips 10 in de koker 11 treden door hun eigen gewicht in de testinrichting naar binnen. Als echter de IC-chips stevig in contact staan met een binnen-oppervlak van de koker, dan kunnen de chips niet in hun geheel toegevoerd worden aan de testinrichting. Voor het voorkomen van een dergelijke incomplete toevoer, wordt de aan het verlengingsstuk van de af-dekplaat 19 gemonteerde trilinrichting 21 voor het contactmaken met een bovenoppervlak van de koker 11 in werking gesteld voor het doen trillen van de koker. Daardoor kunnen alle in de koker aanwezige IC-chips soepel toegevoerd worden aan de testinrichting 8.
Nadat de in de koker aanwezige IC-chips toegevoerd zijn aan de testinrichting, wordt het de lege koker vasthoudende transportblok 13 langs de transportbalken 9 verplaatst in een tegengestelde richting naar een positie, waarin het been 15 met de inhaakgroef 15b gepositioneerd is aan de rechterzijde van de omhooggeheven zwenkarm 17, zoals weergegeven door middel van een streep-puntlijn in fig. 6. Daarna wordt de zwenkarm 17 omlaag gébracht door de werking van de cilinder 16 om het transportblok 13 naar zijn oorspronkelijke horizontale positie te doen terugkeren. Het transportblok 13 is nu geplaatst in de ej ecteursectie.
Fig. 8 is een aanzicht in perspectief, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van de ejecteursectie, fig. 9A en 9B tonen de werking van de ej ecteursectie en fig. 10 en 11 tonen een onder het eerste transportblok geplaatste ejecteur. Een geleidingsstijl 27 met een daaraan bevestigde geleidingsplaat 26 is gemonteerd op een zij gedeelte van een bovenoppervlak van een stationaire plaat 25. Een rollenondersteunings-tafel 29 met een daarboven op roteerbaar gemonteerd paar rollen 28 is geplaatst aan één zijde van de geleidingsstijl 27. De tafel 29 kan heen en weer bewogen worden door de werking van een cilinder 30 in tegengestelde richtingen, zoals aangeduid met de pijl in fig. 8. Verder is een nokplaat 31, met een hellend vlak bovenop de rollenonder-steuningstafel 29 gemonteerd tegenover de geleidingsplaat 26. Aan de onderzijde van de nokplaat 31 is een trekveer 32 gemonteerd, die het hellende vlak van de nokplaat constant tegen één van de rollen 28 aandrukt. Wanneer de rollenondersteuningstafel 29 heen en weer bewogen wordt door middel van de cilinder 30 wordt daardoor de nokplaat 31 verplaatst in een richting loodrecht op de bewegingsrichting van de tafel 29 door middel van de tussen het hellende vlak van de nokplaat en de geleidingsplaat 26 aangebrachte rollen 28. In het bijzonder, aangezien het hellende vlak van de nokplaat 31 op een dusdanige wijze gevormd is, dat een afstand tussen de nokplaat en de geleidingsplaat kleiner wordt wanneer de tussen de stationaire geleidingsplaat 26 en de beweegbare nokplaat 31 aangebrachte rollen 28 bewogen worden door de beweging van de ondersteuningstafel 29, maken de rollen de hierboven vermelde afstand groter, waarbij de nokplaat 31 bewogen kan worden weg van de geleidingsplaat 26.
Een verbindingsplaat 34 met een daaraan bevestigd paar onder-steuningsbalken 33 is bevestigd aan één zijde van de nokplaat 31 en kan heen en weer bewogen worden tussen een paar geleidingsrails 35, zodat de ondersteuningsbalken 33 de door het eerste transportblok 13 vrijgegeven lege koker kunnen opnemen. De geleidingsrails 35 zijn aangebracht in de neerlaatsectie. Een andere geleidingslijst 37 is bevestigd aan de andere zijde van de stationaire plaat 25. Een paar gelei-dingsstaven 36 zijn bevestigd aan de geleidingslijst 37 en gaan door een glijblok 38. Het glijblok 38 is verbonden met de rollenondersteu-ningstafel 29 door middel van een verbindingsplaat 39 en kan daardoor bewogen worden langs de geleidingsstaven 36 door de beweging van de rollenondersteuningstafel. De in de langgerekte opening 13b van het eerste transportblok 13 beweegbare ejecteur 18 is verbonden met het glijblok 38 via verbindingsdelen 40. Wanneer het transportblok 13 verplaatst wordt naar een positie waarin het van de inhaakgroef 15b voorziene been 15 geplaatst is aan de rechterzijde van de zwerikarm 17, zoals weergegeven in een streep-puntlijn in fig. 6, en daarna horizontaal gehouden wordt door de zwerikarm 17, wordt de lege koker 11 gepositioneerd tussen de in de neerlaatsectie aangebrachte geleidingsrails 35, zoals in fig. 8 weergegeven is.
Wanneer het over de geleidingsrails 36 glijbare glijblok 38 verplaatst wordt vanaf de in fig. 9A weergegeven positie naar de in fig. 9B weergegeven positie door de werking van de cilinder 30 voor het verwijderen van de lege koker uit het eerste transportblok 13, wordt daarna de in de langgerekte opening 13B van het transportblok geplaatste ejecteur 18 tezamen met het glijblok bewogen om tegen één einde van de lege koker te duwen. De lege koker wordt daarna uit de aangrijpuitsparing 13a van het transportblok 13 verwijderd en valt tussen de qeleidingsrails 35. Tegelijkertijd wordt de met het glijblok 38 via de verbindingsplaat 39 verbonden rollenondersteuningstafel 29 ook in dezelfde richting als de bewegingsrichting van het glijblok bewogen. Daardoor worden de bovenop de rollenondersteuningstafel roteerbaar gemonteerde rollen bewogen onder geleiding van de geleidings-plaat 26, waarbij zij tegen het hellende vlak van de nokplaat 31 duwen. De nokplaat wordt daardoor bewogen in een richting loodrecht op de rollenondersteuningstafel 29, waardoor de uit de aangrijpuitsparing 13a van het transportblok 13 verwijderde lege koker op de ondersteuningsbalken 33 geplaatst kan worden. Na terugtrekking van de staaf van de cilinder 30 zet de rollenondersteuningstafel 29 zich terug in omgekeerde volgorde, keert de nokplaat 31 terug naar zijn oorspronkelijke positie door middel van de aan de onderzijde van de nokplaat gemonteerde trekveer 32. Op dit punt kan de tussen de geleidingsrails 35 vastgehouden lege koker 11 niet met de ondersteuningsbalken 33 mee bewogen worden en valt na verwijdering van de ondersteuningsbalken 33 door zijn eigen gewicht in de daaropvolgende neerlaatsectie.
Fig. 12 is een vlakaanzicht van de neerlaatsectie, fig. 13 is een zijaanzicht daarvan en fig. 14 is een aanzicht in perspectief van een aan de onderste delen van de geleidingsrails van de neerlaatsectie aangetoracht aangrijpelement. Aan de binnenzijde van een aan een zijwand van het frame 1 bevestigde stationaire plaat 41 is een paar eerste cilinders 42 gemonteerd. Aan een voorste einde van de eerste cilinder 42 is een duwplaat 44 met een daaraan bevestigde siliciumplaat 43 bevestigd, die door de werking van de cilinder 42 in staat is vooruit te bewegen en terug te trekken. De siliciumplaat 43 op de duwplaat 44 voorkomt dat de koker 11 gedeformeerd wordt door de duwplaat, wanneer de duwplaat de koker ondersteunt door werking van de eerste cilinder 42. Aan de buitenzijde van de eerste cilinders 42 is een paar tweede cilinders 46 gemonteerd, die elk aan hun voorwaartse einde een aangrijpstaaf 45 hebben. De aangrijpstaaf 45 kan zich uitstrekken en terugtrekken door werking van de tweede cilinder 46 en de laagste koker ondersteunen in zijn uitgestrekte positie. Verder is aan de zijde van het frame 1 tegenover het eerste transportblok 13 een stopper 47 gemonteerd, dat wil zeggen de zijde grenzend aan één van de geleidingsrails 35, die de kokers geleiden wanneer zij opgestapeld worden in de neerlaatsectie, terwijl zij constant op afstand van de stationaire plaat 41 gehouden worden. Een aangrijpelement 48, met een op een gegeven plaat gevormd hellend vlak, zoals weergegeven is in fig. 14, is bevestigd aan de onderste delen van de geleidingsrails 35 door mid del van schroeven 49, waardoor ervoor gezorgd wordt dat de in de neer-laatsectie opgestapelde laagste koker 11 gemakkelijker in de daaropvolgende ontladingssectie gevoed kan worden.
Zoals te zien is in fig. 13, blijft de eerste cilinder 42 teruggetrokken in de toestand, waarin de vanaf de voorgaande ejecteur gevoede kokers opgestapeld zijn tussen de geleidingsrails 35, terwijl de tweede cilinder 46 uitgestrékt blijft voor het ondersteunen van de laagste koker door de aangrijpstaaf 45. Wanneer de laagste koker 11 in de ontlaadsectie gevoerd dient te worden, wordt daarna de eerste cilinder 42 eerst uitgestrékt, zodat de aan de duwplaat 44 bevestigde siliciumplaat 43 de bovenste kokers zacht aangrijpt met uitzondering van de laagste koker, zoals in fig. 13 weergegeven door middel van een streep-puntlijn. Daarna wordt de uitgestrekte aangrijpstaaf 45 van de tweede cilinder 46 teruggetrokken om de ondersteunde laagste koker 11 vrij te maken, waardoor de koker vrij kan vallen in het daaropvolgende proces. Op dit punt valt de koker in een hellende toestand als gevolg van het hellende vlak van het in fig. 14 weergegeven aangrijpelement 48.
Fig. 15 is een aanzicht in perspectief, gedeeltelijk in dwarsdoorsnede, van de ontlaadsectie, fig. 16 en 17 zijn respectievelijk een zijaanzicht en een vlakaanzicht van de ontlaadsectie met delen gedeeltelijk weggébroken, fig. 18 is een dwarsdoorsnede-aanzicht volgens lijn D-D van fig. 17 en fig. 19 laat zien, dat de lege koker verplaatst wordt door een tweede transportblok van de ontlaadsectie voor het opnemen van de door de testinrichting gesorteerde IC-chips. Een door middel van een paar geleidingsstaven 52 met een cilinder 51 verbonden kokerhouder is gemonteerd bovenop het tweede transportblok 50, die geleidingsvlakken 50a heeft en de koker 11 aangrijpt. Een sensor-pen 54, die contact kan maken met de koker 11, is gemonteerd in een gat van de kokerhouder 53 en gewoonlijk door middel van een veer 55 naar beneden ingesteld en steeds naar beneden toe door een aan de onderzijde van de kokerhouder 53 gevormde uitsparing 53a. Bovenop de kokerhouder zijn bovendien een sensor 56 voor het detecteren van het inbrengen van de koker 11 via het stijgen van de sensorpen 54 en een aangrijpblok 57 met een V-vormige groef 57a voor het geleiden van de in een hellende toestand vallende koker door het aan de geleidingsrails 35 bevestigd aangrijpelement 48, gemonteerd.
Zoals weergegeven wordt in fig. 16 is aan de onderzijde van het tweede transportblok 50 een drager 58 bevestigd, die glijdend verbon den is met een paar transportstaven 59, waardoor het tweede transport-blok 50 heen en weer bewogen kan worden langs de transportstaven. Een onder een hoek van ongeveer 30°-40° ten opzichte van een horizontaal vlak hellende plaat 60 is gemonteerd aan één zijde van het transport-blok 50. Aan het ten opzichte van het tweede transportblok 50 andere einde van de hellende plaat 60 is ook een met een cilinder 62 verbonden V-vormige duwplaat 61 bevestigd. Dichtbij het binnenoppervlak van de duwplaat 61 is een statioiaire plaat 64, met een daaraan bevestigde sensor 63, gemonteerd. De geleidingsvlakken 50a zijn gevormd aan één zijde van het tweede transportblok 50 voor het bewerkstelligen van een nauwkeurige ihbrenging van de koker 11 in het tweede transportblok tijdens het voeden van de koker aan het transportblok door middel van de duwplaat 61. De sensor 63 is gemonteerd aan de stationaire plaat 64 dichtbij de duwplaat 61 voor het detecteren van de in de koker achterblijvende IC-chip 10 zonder dat zij aan de testinrichting 8 toegevoerd zijn, wanneer de lege koker naar de ontlaadsectie gezonden wordt. Bovendien kunnen, met de hellende plaat 60 aangebracht onder een hoek van 30°-40° ten opzichte van een horizontaal vlak, de IC-chips gemakkelijk in de lege koker 11 binnentreden als gevolg van de hellende toestand van de door het tweede transportblok 50 getransporteerde lege koker en daarna gevuld worden met de door de testinrichting 8 gesorteerde chips.
De laagste door middel van de neerlaatsectie vrijvallende lege koker wordt geplaatst op de hellende plaat 60 onder geleiding van de V-vormige groef 57a van het aan het tweede transportblok 50 bevestigde aangrijpblok 57 en wordt aan zijn ene einde aangegrepen door de duwplaat 61. Op dit punt wordt de kokerhouder 53 in de omhoog geheven positie gehouden, waarin de staaf van de cilinder 51 via de gelei-dingsstaven 52 uitgestrekt is voor het losmaken van de kokerhouder 53 van het bovenoppervlak van het tweede transportblok 50.
In de toestand waarin de koker 11 op de hellende plaat 60 rust en aan zijn ene einde aangegrepen wordt door de duwplaat 61, kunnen de IC-chips 10, welke naar alle waarschijnlijkheid in de koker achterblijven zonder in de testinrichting 8 binnen te treden door middel van de sorteersectie verplaatst worden naar het lagere einde van de door de hellende plaat 60 hellende koker. Zodra de dichtbij de duwplaat 61 qp de stationaire plaat 64 bevestigde sensor de IC-chip detecteert, stopt bovendien de sensor de werking van de cilinder en geeft de be-dieningspersoon het feit van het achterblijven van de chip te kennen, bijvoorbeeld door middel van een zoemer of elk ander geschikt signaal.
Wanneer er geen IC-cihip in de koker aanwezig is, doet de cilinder 62 de duwplaat 61 bewegen in de richting van de in fig. 16 weergegeven pijl, waardoor de koker in het tweede transportblok 50 ingébracht wordt onder geleiding van de in het tweede transportblok gevormde geleidingsvlakken 50a. Op het moment dat de koker in het tweede transportblok 50 ingébracht is, wordt de kokerhouder 53 door middel van de cilinder 51 omlaag bewogen om de koker aan te grijpen en tegelijkertijd beweegt de in de kokerhouder 53 gemonteerde sensorpen 54 naar de koker 11 toe. In het geval dat de koker geplaatst is met zijn groef omhoog gekeerd, zoals weergegeven in fig. 15, dan wordt de binnen de gegeven limieten neerdalende sensorpen 54 gepositioneerd in de groef van de koker, waardoor de pen geen contact maakt met de koker en de sensor 56 niet activeert, waardoor de daarop volgende trap uitgevoerd kan worden. Wanneer echter de koker 11 geplaatst is onder de sensorpen 54 met zijn groef naar beneden of naar opzij gekeerd, zoals weergegeven in (a), (b) en (c) van fig. 15, maakt de sensorpen contact met het bovenoppervlak van de koker en stijgt tegen de instelling van de veer 55 in en activeert de bovenop de kokerhouder 53 gemonteerde sensor 56. Zodra de sensor een foutplaatsing van de koker detecteert voert het een signaal uit can de ontlaadsectie stop te zetten en de bedieningspersoon van een dergelijke foutplaatsing op de hoogte te brengen, bijvoorbeeld door middel van de met de sensor verbonden zoemer of lamp.
Zodra de koker 11 op normale wijze ingébracht is in het tweede transportblok 50 en aangegrepen is door de kokerhouder 53, zoals weergegeven in fig. 19, kan de aan het tweede transportblok 50 bevestigde drager 58 langs de transportstaven 59 verplaatst worden naar de uit-laatopeningen van de testinrichting 8, zodat de koker de door de tes-tinrichting gesorteerde IC-chips 10 kan opnemen. Het naar de uitlaat-openingen van de testinrichting verplaatste tweede transportblok 50 wordt stopgezet bij de uitlaatcpening, die geselecteerd is met betrekking tot het detecteren van de hoeveelheid van gesorteerde IC-chips, dat wil zeggen de uitlaatopening, welke de geteste IC-chips bevat tot een hoeveelheid, die in één koker opgenomen kan worden. Daarna treedt een boven de uitlaatopening van de testinrichting verschafte solenoïde klep 65 in werking om de geteste chips in de koker te brengen door middel van luchtdruk. Nadat de chips volledig opgenomen zijn in de koker, wordt het tweede transportblok 50 verplaatst naar de onder de transportstaven 59 aangebrachte opslagbak 66, die scheidingswanden 66a heeft, welke ervoor zorgen dat de IC-chips geklassificeerd en opgeslagen kunnen worden volgens hun karakteristieken. Zodra het tweede transportblok stopgezet is bij de transportbak, wordt de kokerhouder 53 omhoog geheven door werking van de cilinder 51 om de vastgehouden koker vrij te geven, waardoor de opnieuw gevulde koker door zijn eigen gewicht in de opslagbak 66 kan vallen en daarin opgeslagen wordt.
De voorgaande beschrijving beschrijft éen werkingscyclus, bevattende de stappen van het automatisch voeden van de in de koker 11 op-genomen IC-chips 10, welke koker willekeurig in de opslagbak 2 geplaatst is, aan de testinrichting 8 via de laad- en sorteersecties, het verzenden van de lege koker naar de ontlaadsectie via de ejecteur en neerlaatsecties, het hervullen van de lege koker met de door de testinrichting gesorteerde IC-chips en het opslaan van de opnieuw gevulde koker in de opslagbak.
Hoewel de uitvinding in het bijzonder weergegeven en beschreven is met verwijzing naar de voorkeursuitvoeringsvorm daarvan, zal het duidelijk zijn dat verschillende veranderingen en modificaties in vorm en detail aangebracht kunnen worden zonder buiten de gedachte en omvang van de uitvinding te treden.

Claims (10)

1. Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een IC-testinrichting, bevattende een beladersectie met een tussen een op-slagkist (2) en een draagsteun (67) verschafte transportband (4), beiden bevestigd aan een frame (1), equidistant op de transportband (4) gemonteerde en de kokers (11) transporterende kokefhouders (5), en eerste en tweede aan een vaste plaat (3) bevestigde uitlijnplaten (6, 7); een sorteersectie met een eerste transportblok (13), welke van vasthaakgroeven (15a, 15b) voorziene benen (15) heeft, waarbij het transportblok ook een vasthouduitsparing (13a) heeft voor het vasthouden van de koker, transportbalken (9) voor het geleiden van een heen en weer beweging van het eerste transportblok (13), een langs de transportbalken beweegbare drager (12), een aan het eerste transportblok bevestigde solenoïde klep (20), een zwerikarm (17) voor het omhoog en omlaag bewegen van het eerste transportblok (13), en een duwplaat (23) voor het plaatsen van de koker in de vasthouduitsparing; een in-jecteursectie bevattende een rolondersteuningstafel (29) met een paar rollen en gemonteerd op een stationaire plaat (25), een door de rollen (28) beweegbare nokplaat (31), met de nokplaat door middel van een verbindingsplaat (34) verbonden ondersteuningsbalken, een met de rolondersteuningstafel door middel van een verbindingsplaat (39) verbonden glijblok (38), en een met het glijblok via verbindingsdelen (40) gekoppelde ejecteur; een neerlaatsectie bevattende een paar gelei-dingsrails (35), een paar van op een stationaire plaat (41) gemonteerde cilinders (42) en elk met een siliciumplaat (43), en een duwplaat (44), en een ander paar van tweede buiten de eerste cilinders aangebrachte cilinders (46) en elk met een koppelstang (45); en een ontla-dingssectie bevattende een tweede transportblok (50) voor het vasthouden en het transporteren van een lege koker, een met de door het tweede transportblok gaande geleidingsstaven (52) verbonden kokerhouder (53), een in de kokerhouder (53) aangebrachte en gewoonlijk neerwaarts door een veer (55) voorgespannen sensorpin (54), een sensor (56) voor het detecteren van een iribrenging van de koker door de sensorpin, en een duwplaat (61) voor het inbrengen van de koker in het tweede transportblok (50); waarbij, wanneer de met de IC-chips gevulde kokers (11) in de opslagkist (2) geplaatst zijn, de kokers via de laadsectie aan de sorteersectie toegevoerd worden, daardoor de IC-chips (10) aan de testinrichting (8) toevoerend en de lege kokers, welke in een gegeven positie van de sorteersectie arriveren, worden getransporteerd naar de afvoersectie door middel van de ejecteursectie, en daarna, wanneer de IC-chips gesorteerd zijn door de testinrichting (8), nemen de lege kokers de geteste IC-chips op en worden daarna geklassificeerd en opgeslagen in opslagkisten (66) in de ontlaadsectie.
2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat een hoogte van elk van de kokerhouders (5) op de transportband (4) van de laad-sectie een afstand (t) groter is dan de hoogte van de eerste en tweede uitlijnplaten (6, 7), waardoor, wanneer de koker niet ondersteund wordt door de kokerhouder in een gegeven toestand, de koker door zijn eigen gewicht in de opneembak (2) kan vallen.
3. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de duwplaat (23) tegenovergesteld aan het eerste transportblok (13) aangebracht is en V-vormig in dwarsdoorsnede is voor het in de aangrij puitsparing (13a) van het eerste transportblok inbrengen van de door middel van de transportband (4) toegevoerde koker (11).
4. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de bovenop het eerste transportblok (13) van de sorteersectie gemonteerde soleno-ide klep (20) aan zijn ondereinde een stuurpen (20a) heeft, waarbij de stuurpen kan worden uitgestrekt in en teruggetrokken uit de aangrijp-uitsparing (13a) om de toevoer van de IC-chips (10) in de koker (11) aan de testinrichtng (8) te besturen.
5. Inrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat de sorteersectie verder een aan één zijde van een afdeJqplaat (19) gemonteerde trilinrichting (21) bevat, waarbij de trilinrichting in werking treedt na het verloop van een bepaalde tijd vanaf een terugtrekking van de stuurpen (20a) van de solenoïde klep (20).
6. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de zwenkarm (17) selectief gestoken wordt in de inhaakgroeven (15a, 15b) van de aan het onderste gedeelte van het eerste transportblok (13) bevestigde benen (15) voor het omhoogheffen of neerlaten van het eerste transportblok.
7. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de sorteersectie verder een tussen het eerste transportblok (13) en de drager (12) aangebrachte veer (14) bevat, waardoor het eerste transportblok steeds in een omhoog geheven positie gehouden kan worden.
8. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de gelei-dingsrails (35) van de neerlaatsectie staven bevatten, die elk de vorm van een speer hebben.
9. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de neer- laatsectie verder een aangrijpelement (48) bevat, met een hellend vlak en bevestigd aan de onderste delen van de geleidingsrails (35), en de ontlaadsectie verder een boven de sensor (56) aangebrachte aangrijp-blok (57) bevat, die aan zijn voorste einde een onder een hoek gevormde V-vormige groef (57a) heeft caa ervoor te zorgen dat de door zijn eigen gewicht vallende koker (11) hellend naar de ontlaadsectie glijdt.
10. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de ontlaadsectie verder bevat een hellende plaat (60), een evenwijdig aan de hellende plaat (60) en dichtbij de duwplaat (61) aangebrachte stationaire plaat (64), en een aan de stationaire plaat (64) bevestigde sensor (63) voor het detecteren van de aanwezigheid van de IC-chips in de lege koker.
NL9001820A 1989-08-31 1990-08-14 Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen. NL195037C (nl)

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR890012565 1989-08-31
KR1019890012565A KR910005377A (ko) 1989-08-31 1989-08-31 슬리브의 분리, 수평유지, 낙하의 자동화 장치
KR2019890015506U KR930008125Y1 (ko) 1989-10-25 1989-10-25 슬리브 방향 검출장치
KR890015372 1989-10-25
KR890015506 1989-10-25
KR1019890015372A KR960015559B1 (ko) 1989-10-25 1989-10-25 아이시(ic)테스트기의 슬리브 로딩 장치
KR890017069 1989-11-18
KR890017068 1989-11-18
KR2019890017068U KR940000547Y1 (ko) 1989-11-18 1989-11-18 슬리이브의 낙하장치
KR2019890017069U KR940001273Y1 (ko) 1989-11-18 1989-11-18 슬리이브속의 ic유무 검출장치
KR900003834 1990-03-31
KR2019900003834U KR950006931Y1 (ko) 1990-03-31 1990-03-31 Ic 테스트 슬리브의 솟터 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL9001820A true NL9001820A (nl) 1991-03-18
NL195037C NL195037C (nl) 2003-06-25

Family

ID=37735089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL9001820A NL195037C (nl) 1989-08-31 1990-08-14 Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een testinrichitng voor halfgeleiderschakelingen.

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPH0645406B2 (nl)
DE (1) DE4023772A1 (nl)
FR (1) FR2651330B1 (nl)
GB (1) GB2235581B (nl)
NL (1) NL195037C (nl)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950001245Y1 (ko) * 1991-09-13 1995-02-24 금성일렉트론 주식회사 핸들러의 디바이스 자동 송출장치
DE4430846C2 (de) * 1994-08-31 1997-04-10 Jenoptik Jena Gmbh Einrichtung zur Umsetzung eines Transportobjektes zwischen zwei Endlagen
DE4430844C1 (de) * 1994-08-31 1996-02-22 Jenoptik Technologie Gmbh Beschickungseinrichtung für Halbleiterbearbeitungsanlagen
DE4443061A1 (de) * 1994-12-03 1996-06-05 Elmako Damm Gmbh Chip-Handling System
JP3063602B2 (ja) * 1995-12-22 2000-07-12 日立電子エンジニアリング株式会社 Icデバイスの移載装置
TW371347B (en) * 1995-12-27 1999-10-01 Advantest Corp Structure of rotary arm and device chuck part of a device handler
KR100481298B1 (ko) * 1997-08-04 2006-05-22 삼성전자주식회사 반도체디바이스이/삽입시스템및이를통한반도체디바이스이/삽입방법
DE19733937C1 (de) * 1997-08-06 1999-03-04 Multitest Elektronische Syst Führungsbahn für mikroelektronische Bauelemente
DE19813684C2 (de) 1998-03-27 2001-08-16 Brooks Automation Gmbh Einrichtung zur Aufnahme von Transportbehältern an einer Be- und Entladestation
CN108152778B (zh) * 2018-01-29 2024-01-30 苏州立讯技术有限公司 滤波器自动互调测试设备
CN115432423B (zh) * 2022-08-29 2023-08-18 深圳市博辉特科技有限公司 一种简便的物料分类机构
CN115870228B (zh) * 2022-12-21 2023-10-20 江苏晟銮电子科技有限公司 一种肖特基芯片检测系统和芯片检测方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0166448A2 (en) * 1984-06-29 1986-01-02 Advantest Corporation IC test equipment
EP0227968A2 (en) * 1986-01-03 1987-07-08 Motorola, Inc. High speed integrated circuit handler
GB2191121A (en) * 1986-06-06 1987-12-09 Emhart Enterprises Combined electrical component inserter and sequencer machine

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4775279A (en) * 1985-12-11 1988-10-04 American Tech Manufacturing, Inc. Method and apparatus for loading/unloading dip devices
US4850785A (en) * 1987-03-13 1989-07-25 Quality Automation, Inc. Eprom feed apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0166448A2 (en) * 1984-06-29 1986-01-02 Advantest Corporation IC test equipment
EP0227968A2 (en) * 1986-01-03 1987-07-08 Motorola, Inc. High speed integrated circuit handler
GB2191121A (en) * 1986-06-06 1987-12-09 Emhart Enterprises Combined electrical component inserter and sequencer machine

Also Published As

Publication number Publication date
FR2651330A1 (fr) 1991-03-01
NL195037C (nl) 2003-06-25
GB2235581A (en) 1991-03-06
GB9017541D0 (en) 1990-09-26
JPH03238233A (ja) 1991-10-24
JPH0645406B2 (ja) 1994-06-15
GB2235581B (en) 1993-06-09
FR2651330B1 (fr) 1994-10-28
DE4023772C2 (nl) 1992-07-16
DE4023772A1 (de) 1991-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL9001820A (nl) Inrichting voor het beladen en ontladen van kokers voor een ic-testinrichting.
EP2301850A2 (en) An automatic blister pack pill dispenser
JP6774227B2 (ja) 実験室自動化システムにおいて使い捨てピペットチップのラックを取り扱うための装置および方法ならびに実験室自動化システム
US4761106A (en) Part feeder
KR870005451A (ko) Ic 시이트 절단 프레스 및 이를 이용한 ic 시이트 가공장치
US5244330A (en) Bottler loader and method
JP2004184182A (ja) 分注チップ自動供給装置
US1926848A (en) Vending machine
US4914784A (en) Shirred casing article loader/unloader
US5054363A (en) Multi-channel apparatus for visually inspecting and packaging loose ammunition cartridges
NL8701795A (nl) Inrichting voor het verzamelen van een rij nauwkeurig gepositioneerde gevulde zakjes.
US4933074A (en) Article singulating system and method
NL8202323A (nl) Machine voor het aanbrengen van elektronische componenten op circuitplaten.
US2094765A (en) Display and dispensing rack
US4114707A (en) Weighing and transporting system
US5217120A (en) Apparatus for loading and unloading sleeves for integrated circuit ester
US4169342A (en) Article separating device for case loading machine
US3920152A (en) Receptacle unstacking and transporting device
EP0956766B1 (en) Method and apparatus for unloading crates from a container onto a transfer conveyor
US4185734A (en) Article counting machine
US3520105A (en) Machine for feeding objects to be packed onto plates,trays or thelike
NL1000966C1 (nl) Werkwijze en inrichting voor het beladen van een houder.
KR102132562B1 (ko) 몰딩용 타블렛 공급장치
US4108321A (en) Automatic packing
BE1030399B1 (nl) Inrichting en werkwijze voor het persen van sap uit vruchten

Legal Events

Date Code Title Description
A1A A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
SNR Assignments of patents or rights arising from examined patent applications

Owner name: HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.

TNT Modifications of names of proprietors of patents or applicants of examined patent applications

Owner name: HYNIX SEMICONDUCTOR INC.

Owner name: LG SEMICON CO., LTD.

Owner name: HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.

SNR Assignments of patents or rights arising from examined patent applications

Owner name: MAGNACHIP SEMICONDUCTOR LTD.

Effective date: 20050715

V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20070301