NL1021415C2

NL1021415C2 - Vastestof-inrichting, werkwijze voor het produceren ervan, vastestof-beeldvormingseenheid en werkwijze voor het produceren ervan, en beeldvormingsapparaat.

Info

Publication number: NL1021415C2
Application number: NL1021415A
Authority: NL
Inventors: Keishi Miyazaki; Yasuhito Kudo; Kimihide Sasaki
Original assignee: Sharp Kk
Priority date: 2001-09-11
Filing date: 2002-09-09
Publication date: 2006-07-20
Also published as: US20030057426A1; CN1314126C; NL1021415A1; JP4033439B2; KR20030022742A; TWI233300B; KR100556198B1; JP2003086779A; US6933584B2; CN1405893A

Description

l ► ^ Vastestof-inrichting, werkwijze voor het produceren ervan, vastestof-beeldvormingseenheid en werkwijze voor het produceren ervan, en beeldvormingsapparaat

ACHTERGROND VAN DE UITVINDING

5 1. Gebied van de uitvinding:

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een vastestof-beeldvormingsinrichting die bestaat uit een vaste-stof-beeldvormingselement dat is gemonteerd op een behui-zingssubstraat, een werkwijze voor het produceren ervan, een 10 vastestof-beeldvormingseenheid die een lensspiegel-cilinder-eenheid bevat die aan de vastestof-beeldvormingsinrichting is bevestigd, een werkwijze voor het produceren ervan, en een beeldvormingsinrichting waarin deze wordt gebruikt.

2. Beschrijving van de verwante techniek: 15 Gewoonlijk wordt een vastestof-beeldvormingselement dat CCD's bevat, toegepast in verschillende soorten beeldvor-mingsapparaten zoals digitale camera's en videocamera's.

Wanneer ze in deze beeldvormingsapparaten worden toegepast, wordt het vastestof-beeldvormingselement gecombineerd met 20 een lensspiegel-cilindereenheid die een optische lens bevat welke dient om licht, dat een beeld vertegenwoordigt, te focusseren op het vastestof-beeldvormingselement.

Figuur 4 toont een manier van het combineren van een vastestof-beeldvormingselement 100B en een lensspiegel-2 5 cilindereenheid. Een optische as L van een optische lens 100A van de lensspiegel-cilindereenheid, en een beeldvor-mingsvlak-middelpunt C van het vastestof-element 100B, moeten in positie met elkaar worden gealigneerd. De positie-alignering wordt gerealiseerd door een verstelling van de 30 kijkhoek op basis van de X-, Y- en θ-as. Daarbij moet een vlak dat loodrecht op de optische as L van de optische lens 100A staat, evenwijdig zijn aan een beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement 100B. Dit wordt gereali-

' ^ Λ Λ A £ Λ Γ" ' _I

2 seerd door een focussering-verstelling op basis van de Z-as en een verstelling van de helling op basis van de a- en faas. Het verstellen van de helling wordt verricht ter voorkoming van gedeeltelijke defocussering. (De verstelling voor 5 het voorkomen van gedeeltelijke defocussering zal—eenvoudig worden aangeduid als de "gedeeltelijke defocussering-ver-stelling".) De positieverstelling op basis van de bovengenoemde zes assen wordt nauwkeurig gerealiseerd in de orde van micrometers (μπι) .

10 Gewoonlijk wordt de positie-alignering en verstelling op basis van de drie assen verricht over een lange tijdsduur onder gebruikmaking van een dure positieverstelinrichting. De positie-alignering van de optische lens 100A en het vastestof-beeldvormingselement 100B wordt bijvoorbeeld als 15 volgt verricht.

Zoals weergegeven in figuur 5, wordt een behuizing 101 waarop het vastestof-beeldvormingselement 100B is gemonteerd, aan een metalen plaat 102 van bijvoorbeeld aluminium bevestigd door middel van een kleefmiddel of iets derge-20 lijks.

Dan wordt een lensspiegel-cilindereenheid 103 met de daarin ingebouwde optische lens 100A op een vaste positie bevestigd. Met betrekking tot de lensspiegel-cilindereenheid 103 wordt het vastestof-beeldvormingselement 100B langs en 25 om de assen bewogen waarbij de behuizing 101 op de metalen plaat 102 is verschaft, in eenheden van zeer fijne afstand en zeer fijne hoeken. Door die beweging de optische lens 100A en het vastestof-beeldvormingselement 100B gepositioneerd om een optimale positieverhouding te hebben, waardoor 30 een uitgangssignaal van het vastestof-beeldvormingselement 100B optimaal is. In deze positie houden de lensspiegel-cilindereenheid 103 en de metalen plaat 102 het vastestof-beeldvormingselement 100B op de behuizing 101 vast. Zo zijn het vastestof-beeldvormingselement 10 0B en de lensspiegel-35 cilindereenheid 103 integraal aan elkaar vastgezet door vastdraaiorganen zoals schroeven 104 of dergelijke.

| | 41 * ». · · --------- - 3

Teneinde de hierboven beschreven stap van positie-alignering van de lensspiegel-cilindereenheid 103 en het vastestof-beeldvormingselement 100B te vereenvoudigen, zijn reeds de volgende voorstellen gedaan.

5 Japanse Laid-Open Utility Mode Publication nr. 5-46046 gericht op een "Solid State Imaging Device" stelt de volgende techniek voor. Een vastestof-beeldvormingselement wordt gemonteerd op een gedeelte van een vlakke plaat met een oppervlak dat is gepolijst om een gladheid (oppervlak-ruw-10 heid) te hebben met een maximum van ongeveer 5 μπι. Een behuizing voor het bedekken van dit vastestof-beeldvormingselement wordt zodanig vastgezet dat de vlakke plaat gedeeltelijk blootgelegd hs. Het blootgelegde gedeelte van de ! vlakke plaat fungeert als een referentievlak, dat wil zeg-15 gen, een vlak waarop de lensspiegel-cilindereenheid moet worden bevestigd.

Volgens Japanse Laid-Open Publication nr. 2000-125212, gericht op een "Imaging Module", wordt een plat gedeelte van een keramische plaat met de optische lens 100A gebruikt 2 0 zowel als een referent ievlak van een halfgeleider chip als ook als een referentievlak van een lensspiegel-cilindereenheid.

Japanse Laid-Open Publication nr. 10-326886, gericht op een "Solid State Imaging Device and Method for Mounting 25 Solid State Imaging Device" en Japanse Laid-Open Publication nr. 2000-307092, gericht op een "Solid State Imaging Device,

Camera Using the Same, and Method for Producing the Same" stellen de volgende techniek voor. Een controlegedeelte dat naar buiten open is, wordt verschaft op een zijoppervlak van 3 0 een behuizing, en een geleidingsdeel dat naar buiten is, is verschaft op een zijoppervlak dat is gericht naar het zijoppervlak dat is voorzien van het controlegedeelte. Onder gebruikmaking van het controlegedeelte en het geleidingsge-deelte worden een vastestof-beeldvormingselement, een lens-35 spiegel-cilindereenheid en een schakelplaat met betrekking

- Λ λ k 4 C

* 4 tot elkaar gepositioneerd door een mal waar vanaf pins uitsteken.

De hierboven beschreven conventionele technieken hebben de volgende problemen.

5 Volgens de technieken die zijn beschreven in Japanse

Laid-Open Publication nr. 2000-125212, kunnen het vlak verticaal ten opzichte van de optische as van de optische lens en het beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvor-mingselement worden versteld om met een hoge mate van nauw-10 keurigheid evenwijdig aan elkaar te liggen, om de volgende reden. Aangezien het vlak waarop het vastestof-beeldvor-mingselement is aangebracht en het vlak waarop de lensspie-gel-cilindereenheid is aangebracht beide vlak zijn, wordt de verstelling op basis van de Z-as (figuur 5) (die wordt 15 verschaft voor focussering-verstelling) en op basis van de a- en b-as (die zijn verschaft voor de verstelling van de helling voor de gedeeltelijk defocusseren-verstelling) met grote nauwkeurigheid verricht. De optische as van de lens-spiegel-cilindereenheid en het beeldvormingsvlak-middelpunt 20 van het vastestof-beeldvormingselement kunnen echter niet met grote precisie worden gealigneerd. De reden hiervoor is dat er geen referentiepositie of referentievlak is voor de X-, Y- en θ-as, die evenwijdig lopen aan het vlak waarop het vastestof-beeldvormingselement is gemonteerd.

25 Volgens de techniek die is beschreven in Japanse Laid-

Open Publication nr. 10-326886 en Japanse Laid-Open Publication nr. 2000-307092, kan de positie-alignering van de optische as van de lensspiegel-cilindereenheid en het beeldvormingsvlak-middelpunt van het vastestof-beeldvormingsele-30 ment, dat wil zeggen, de verstelling op basis van de X-, Y-en θ-as, met grote nauwkeurigheid worden verricht, door gebruik te maken van het controlegedeelte, het geleidingsge-deelte en de mal waar vanaf pins uitsteken. Het vlak dat verticaal op de optische as van de optische lens en het 35 beeldvormingsvlak van het beeldvormingselement staat, kunnen niet met grote precisie worden versteld zodat ze evenwijdig λ n r\ -f λ j·. t- 5 aan elkaar lopen. De reden hiervoor is dat er geen referen-tiepositie of -vlak is voor de Z-as is (evenwijdig aan het controlegedeelte en het geleidingsdeel) die is verschaft voor focussering-verstelling en de a- en b-as die zijn 5 verschaft voor de verstelling van de helling voor de gedeeltelijk defocusseren-verstelling. Zelfs voor de positie-ver-stelling op basis van de X-, Y- en θ-as heeft deze techniek de ongemakken van de vereiste van een positie-verstellings-mal met pins die daar vanaf uitsteken en ook de vereiste van 10 een aanvullende stap van alignering onder gebruikmaking van de positieverstellingsmal.

SAMENVATTING VAN DE UITVINDING Volgens een aspect van de onderhavige uitvinding bevat een vastestof-beeldvormingsinrichting een behuizingssub-15 straat en een op het behuizingssubstraat gemonteerd vastestof -beeldvormingselement . Het behuizingssubstraat heeft een bevestigingsvlak waarop het vastestof-beeldvormingselement is aangebracht. Het behuizingssubstraat heeft twee referen-tievlakken met dezelfde hoogte als het aanbrengingsvlak, 20 waarbij de referentievlakken vanaf het aanbrengingsvlak in twee tegengestelde richtingen uitsteken. De referentievlakken hebben respectievelijk ten minste een paar positione-ring-referentiegaten die daarin zijn gevormd, zodanig dat de middelpunten van het paar gaten op dezelfde afstand liggen 25 van het middelpunt van het midden van een beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement.

Bij een uitvoeringsvorm van de uitvinding is het ten minste een paar positionering-referentiegaten dat in het referentievlak is gevormd taps verlopend zodat ze in rich-30 ting van de zijkant van het beeldvormingsvlak van het vastestof -beeldvormingselement groter worden.

Bij een uitvoeringsvorm van de uitvinding bezit het behuizingssubstraat een ingelaten gedeelte dat het bevestigingsvlak in een benedenliggend gedeelte ervan bezit. In het 35 ingelaten gedeelte ondergebrachte interne leidingen zijn op * 6 elektroden van het vastestof-beeldvorraingselement aangesloten via dunne metalen lijnen, en zijn ook aangesloten op externe leidingen. Een transparant kaporgaan is gemonteerd om het ingelaten gedeelte te bedekken.

5 Volgens een ander aspect van de onderhavige uitvinding wordt voorzien in een werkwijze voor het produceren van de hierboven beschreven vaste stof-beeldvormingsinrichting. Om het vastestof-beeldvormingselement te monteren op het beves-tigingsvlak van het behuizingssubstraat, wordt het midden 10 van het beeldvormingsvlak aangepast aan het midden van een denkbeeldige lijn die de middelpunten van het ten minste een paar referentiegaten met elkaar verbinden, en zo wordt vastestof-beeldvormingselement vastgezet op de bevestigings-plaat. Volgens nog een ander aspect van de onderhavige 15 uitvinding bevat een vastestof-beeldvormingseenheid de hierboven beschreven vastestof-beeldvormingsinrichting, en een lensspiegel-cilindereenheid. De lensspiegel-cilindereen-heid bevat pinorganen die respectievelijk in aangrijping kunnen worden gebracht met het ten minste een paar positio-20 nering-referentiegaten, een positionering-referentievlak dat correspondeert met de referentievlakken van de vastestof-beeldvormingsinrichting, en een optische lens die is zodanig is verschaft dat een optische as ervan door het midden van een denkbeeldige lijn loopt die de middelpunten van de 25 pinorganen met elkaar verbindt. De pinorganen worden in aangrijping gebracht met de positionering-referentiegaten teneinde het vastestof-beeldvormingselement en de optische lens ten opzichte van elkaar te positioneren, en daardoor de lensspiegel-cilindereenheid te bevestigen aan het behui-30 zingssubstraat.

In een uitvoeringsvorm van de uitvinding zijn de pinorganen taps verlopend om in diameter te worden gereduceerd in de richting van de uiteinden ervan. De taps verlopende pinorganen en de taps verlopende positionering-referentiega-35 ten zijn met elkaar in aangrijping, zodat het positionering-referentievlak van de lensspiegel-cilindereenheid evenwijdig

1 Π f> 1 A 1 R

* 7 loopt aan de referentievlakken van de vastestof-beeldvor-mingsinrichting.

In een uitvoeringsvorm van de uitvinding, hebben de referentievlakken van de vastestof-beeldvormingsinrichting 5 elk twee positionering-referentiegaten, waardoor een denkbeeldige driehoek wordt gevormd. Het behuizingssubstraat wordt vastgehouden en bevestigd tussen de lensspiegel-cilin-dereenheid en een schakelplaat, via twee positionering-referentiegaten die zijn verschaft in een van twee denkbeeldige 10 diagonale lijnen van de denkbeeldige driehoek.

Volgens nog een ander aspect van de uitvinding wordt voorzien in een werkwijze voor het produceren van de hierboven beschreven vaste stof-beeldvormingseenheid. De pinorganen worden respectievelijk in aangrijping gebracht met de 15 positionering-referentiegaten teneinde het vastestof-beeld-vormingselement en de optische lens te positioneren en ook om de lensspiegel-cilindereenheid te bevestigen aan het behuizingssubstraat.

Bij een uitvoeringsvorm van de uitvinding heeft de 20 schakelplaat vier inbrenggaten die in positie corresponderen met de vier positionering-referentiegaten. De lensspiegel-cilindereenheid bezit twee borgtapgaten voor borgschroeven in aanvulling op het paar taps lopende pinorganen, waarbij de borgtaporganen en de taps verlopende pinorganen corres-25 ponderen met de vier positionering-referentiegaten. Het paar taps verlopende pinorganen worden sequentieel in aangrijping gebracht met twee van de positionering-referentiegaten en twee van de inbrenggaten van de schakelplaat. Schroeven worden sequentieel in aangrijping gebracht met de resterende 30 twee inbrenggaten, met de resterende twee positionering-referentiegaten, en daarna de borgtapgaten, waardoor de schakelplaat, de vastestof-beeldvormingsinrichting en de lensspiegel-cilindereenheid worden vastgedraaid.

Volgens nog een ander aspect van de uitvinding wordt 35 voorzien in een beeldvormingsinrichting die gebruik maakt van de hierboven beschreven vastestof-beeldvormingsinrich- 1 n o 1 a 1 ς 8 ting of de hierboven beschreven vastestof-beeldvormingseen-heid.

Nu zal de werking van de onderhavige uitvinding worden beschreven.

5 Gewoonlijk worden een vastestof-beeldvormingselement en een optische lens in afzonderlijke stappen met een voorgeschreven nauwkeurigheid geproduceerd. Twee verbindingen moeten met grote nauwkeurigheid ten opzichte van elkaar worden gepositioneerd. In het geval van een vastestof-beeld-10 vormingselement met éen gangbare opbouw, wordt na de beeldvormingselement -chip is gemonteerd, de optische lens ten opzichte van de beeldvormingselement-chip gepositioneerd. Bij deze stap is een totaal van zes assen nodig, met inbegrip van assen voor het instellen van de helling, teneinde 15 te voorzien in een absolute precisie van het positioneren van de optische lens en de beeldvormingselement-chip.

In het geval van een verpakking van een vastestof-beeldvormingselement met een gangbare structuur wordt de behuizing aangebracht op een substraat dat werkt als een 20 referentie en daarna wordt een lensspiegel-cilindereenheid aangebracht op de referentie. Daardoor worden de dispersie-factoren geaccumuleerd. Verder zijn zoals hierboven beschreven in totaal zes assen nodig voor het. positioneren van het vastestof-beeldvormingselement en de optische lens (met 25 betrekking tot optische as-middelpunt, horizontale en verticale vlakken, helling, rotatie, enz.).

Volgens de onderhavige uitvinding bezit het behuizing-substraat zelf van de vastestof-beeldvormingsinrichting referentiegaten om het vastestof-beeldvormingselement te 30 positioneren ten opzichte van het bevestigingsvlak. De referentiegaten worden ook gebruikt om het vastestof-beeldvormingselement en de lensspiegel-cilindereenheid te positioneren als volgt. Door de pinorganen in de referentiegaten van de vastestof-beeldvormingsinrichting te steken, kunnen 35 het vastestof-beeldvormingselement en de optische lens ten opzichte van elkaar worden gepositioneerd en ook kan de 9 lensspiegel-cilindereenheid worden bevestigd aan het behuizing- substraat. Bijgevolg kunnen (i) positie-alignering van de optische as van de optische lens en het beeldvormings-vlak-middelpunt van het vastestof-beeldvormingselement en 5 (ii) de verstelling van het vlak verticaal ten opzichte van optische as van de optische lens zodanig dat het evenwijdig ligt aan het beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement , beide worden verricht met een grote nauwkeurigheid en met een klein aantal stappen.

10 Bijgevolg biedt de hierin beschreven uitvinding de voordelen van het verschaffen van een vastestof-beeldvor-mingsinrichting voor het realiseren van positie-alignering van de optische as van de optische lens en het beeldvor-mingsvlak-middelpunt van een vastestof-beeldvormingselement, 15 en ook het realiseren dat een vlak verticaal ten opzichte van de optische as van de optische lens evenwijdig komt te liggen aan het beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement , zowel met een grote precisie als met een kleiner aantal stappen, zonder gebruik te maken van een 20 positie-instelmal, en een werkwijze om deze te produceren; een vastestof-beeldvormingseenheid die de vastestof-beeld-vormingsinrichting bevat, en een werkwijze om deze te produceren; en een beeldvormingsinrichting die deze gebruikt.

Deze en andere voordelen van de onderhavige uitvinding 25 zullen de deskundigen in de techniek duidelijk worden bij het lezen en begrijpen van de volgende uitvoerige beschrijving onder verwijzing naar de bijbehorende figuren.

KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGEN

Figuur 1 is een isometrisch aanzicht met uiteengeno-30 men delen dat de samenstelling van een vastestof-beeldvormingseenheid volgens een voorbeeld van de onderhavige uitvinding laat zien; figuur 2A is een bovenaanzicht van een vastestof-beeldvormingsinrichting volgens een voorbeeld van de onder-35 havige uitvinding; 10 figuur 2B is een aanzicht van een doorsnede langs lijn A-A' in figuur 2A; figuur 3A toont een manier van het positioneren van de vastestof-beeldvormingsinrichting en een lensspiegel-cilin-5 dereenheid volgens de onderhavige uitvinding, wanneer de afstand tussen twee pinorganen korter is dan de afstand tussen twee positionering-referentiegaten; figuur 3B toont een manier van het positioneren van de vastestof-beeldvormingsinrichting en een lensspiegel-cilin-10 dereenheid volgens de onderhavige uitvinding, wanneer de afstand tussen twee pinorganen langer is dan de afstand tussen twee positionering-referentiegaten; figuur 4 schematisch een principe toont van het positioneren van een vastestof-beeldvormingselement en een 15 optische lens; en figuur 5 een isometrisch aanzicht met uiteengenomen delen is van een gangbare positie-instelling en samenstelling van een vastestof-beeldvormingselement en een lensspiegel -cilindereenheid.

20 BESCHRIJVING VAN DE VOORKEURUITVOERINGSVORMEN

Hierna zal een vastestof-beeldvormingseenheid volgens de onderhavige uitvinding bij wijze van illustratief voorbeeld worden beschreven onder verwijzing naar de aangehechte tekeningen.

25 Figuur 1 is een isometrisch aanzicht met uiteengenomen delen van een dat de samenstelling van een vastestof-beeldvormingseenheid 1 volgens een voorbeeld van de onderhavige uitvinding laat zien.

Zoals weergegeven in figuur 1, bevat de vastestof-30 beeldvormingseenheid 1 een vastestof-beeldvormingsinrichting 2 die een daarin gemonteerd vastestof-beeldvormingselement 21 bevat (hieronder beschreven onder verwijzing naar figuur 2) , een lensspiegel-cilindereenheid 3 die een lens 31 bevat om licht, dat een genomen beeld vertegenwoordigt, te focus-35 seren op het vastestof-beeldvormingselement 21, en een “9 fl λ λ .__ 11 schakelplaat 4 om een uitgangssignaal van het vastestof-beeldvormingselement 21 over te brengen naar een externe inrichting. Deze elementen worden zodanig geordend en samengesteld dat ze een optimaal positieverhouding met elkaar 5 hebben.

Zoals weergegeven in de figuren 2A en 2B bevat de vastestof-beeldvormingsinrichting 2 het vastestof-beeldvor-mingselement 21, een dubbele in-line behuizing (DIP; hierna aangeduid als de "behuizing") 22 die werkt als een behui-10 zingssubstraat waarop het vastestof-beeldvormingselement 21 moet worden aangebracht, een transparante kap 23 om het vastestof-beeldvormingselement 21 af te dekken, en een aantal externe leidingen 24 om een uitgangssignaal voor beeldvorming vanuit het vastestof-beeldvormingselement 21 15 over te brengen naar een externe inrichting.

Het vastestof-beeldvormingselement 21 bevat een aantal in een matrix geordende CCD's. Elke CCD zet licht, dat een beeld vertegenwoordigt, om in een elektrisch signaal op een pixel-voor-pixel basis.

20 De behuizing 22 bezit een ingelaten gedeelte 221 in een centraal deel van het bovenoppervlak ervan. Het ingelaten gedeelte 221 is van bovenaf gezien vierkant. Een onderstuk van het ingelaten gedeelte 221 bevat een plat bevestigings-vlak 222 waarop het vastestof-beeldvormingselement 21 wordt 25 aangebracht. Van twee tegenover elkaar gelegen zijden van het ingelaten gedeelte 221 steken boordvormige randen naar buiten uit. Op de boordvormige randen zijn respectievelijk referentievlakken 223a en 223b (uitstekende gebieden) ver- | schaft. De referentievlakken 223a en 223b zijn plat en j 30 liggen op hetzelfde niveau als het bevestigingsvlak 222. Positionering-referentiegaten 22a en 22b zijn zo gevormd dat ze vanaf het referentievlak 223a door de boordvormige rand heen lopen, en positionering-referentiegaten 22c en 22d zijn zodanig gevormd dat ze vanaf het referentievlak 223b door de 35 boordvormige rand heen lopen. De vastestof-beeldvormingsinrichting 2 is van bovenaf gezien gewoonlijk rechthoekig, en 12 de vier positionering-referentiegaten 22a tot en met 22d zijn zodanig gesitueerd dat ze een denkbeeldige rechthoek vormen, waarbij de referentiegaten 22a tot en met 22d op de vier hoeken van de denkbeeldige rechthoek liggen. De positi-5 onering-referentiegaten 22a tot en met 22d worden gebruikt voor het positioneren van het vastestof-beeldvormingselement 21 en de lensspiegel-cilindereenheid 3.

Van de vier positionering-referentiegaten 22a tot en met 22d zijn twee op een denkbeeldige diagonale lijn ver-10 schafte gaten, bijvoorbeeld de positionering-referentiegaten 22a en 22c, zodanig taps verlopend, dat het doorsnedegebied ervan nabij het boveneinde (aan de zijde van het vastestof-beeldvormingselement 21) groter is dan het doorsnedegebied ervan nabij het ondereinde.

15 Het vastestof-beeldvormingselement 21 wordt op de bevestigingsplaat 222 op de behuizing 22 aangebracht als volgt. Er wordt een denkbeeldige rechte lijn getrokken die de middelpunten van twee cirkelvormige positionering-referentiegaten die zijn verschaft op een denkbeeldige diagonale 20 lijn (bijvoorbeeld de positionering-referentiegaten 22a en 22c), met elkaar verbindt. Het midden van het vastestof-beeldvormingselement 21 (midden van beeldvormingsvlak) wordt gealigneerd met het midden van de denkbeeldige rechte lijn. In deze toestand wordt het vastestof-beeldvormingselement 25 21 op de bevestigingsplaat 222 gefixeerd met een kleefmiddel of iets dergelijks. Het midden van het vastestof-beeldvormingselement 21 wordt met het midden van de denkbeeldige lijn gealigneerd als volgt. De posities in de behuizing 22 die als referenties fungeren (middelpunten van de cirkelvor-30 mige positionering-referentiegaten) worden optisch herkend door een optische inrichting, en het vastestof-beeldvormingselement 21 wordt gefixeerd op een voorgeschreven positie in een voorgeschreven richting vanaf de referentieposi-ties (dat wil zeggen, het midden van de denkbeeldige diago-35 nale lijn die de middelpunten van de twee positionering-referentiegaten met elkaar verbindt). Deze techniek wordt in 13 het algemeen gebruikt. De positionering-referentiegaten 22b en 22d kunnen worden gebruikt in plaats van de positionering-referentiegaten 22a en 22c.

De transparante kap 23 is een rechthoekige plaat en 5 wordt zodanig verbonden dat hij de binnenkant van het ingelaten gedeelte 221 afdekt. Het inwendige van het ingelaten gedeelte 221 is dus afgesloten met de ruimte boven het vastestof-beeldvormingselement 21 die hol is.

Het aantal externe leidingen 24 hangt naar beneden 10 vanaf twee tegenover elkaar gelegen zijden van de rechthoek van de vastestof-beeldvormingsinrichting 2. Terwijl de boordvormige randen uitsteken vanaf de kortere zijden van de rechthoek, hangen de externe leidingen 24 aan een middendeel van elke langere zijde van de rechthoek. Interne leidingen 15 (niet weergegeven) die in het ingelaten gedeelte 221 op de behuizing 22 zijn verschaft worden verbonden met elektroden (niet weergegeven) in het vastestof-beeldvormingselement 21 via dunne metalen lijnen (niet weergegeven) gemaakt van aluminium of een ander metaal. De interne leidingen zijn 20 respectievelijk verbonden met de externe leidingen 24. De elektroden van het vastestof-beeldvormingselement 21 worden dus respectievelijk naar de externe leidingen 24 gevoerd. De behuizing 22 is niet beperkt tot een behuizing van het type met pin-inbrenging zoals bijvoorbeeld de dubbele in-line 25 behuizing, en kan ook een behuizing van het vlakke bevesti-gings-type zijn waarbij de externe leidingen 24b zich zijdelings uitstrekken of een andere behuizing van het vlakke bevestigings-type zonder externe leidingen.

Als we weer terugkeren naar figuur 1, bevat de lens-30 spiegel-cilindereenheid 3 een rechthoekige plaat en een lenshouder 32 die zijn verschaft op een middengebied van een bovenoppervlak van de rechthoekige plaat. De lenshouder 32 bevat een lens 31 die is in gebed in de lenshouder 32. De lens 31 wordt ingebed terwijl hij roteert. De lensspiegel-35 cilindereenheid 3 bevat ook positioneringspins 33a en 33c (pinorganen) die vanaf een onderoppervlak van de rechthoeki- «* 14 ge plaat naar beneden wijzen. De positioneringpins 33a en 33c komen in positie overeen met respectievelijk de positio-nering-referentiegaten 22a en 22c, die zijn verschaft op een denkbeeldige lijn, en kunnen in aangrijping worden gebracht 5 met de positionering-referentiegaten 22a en 22c. De rechthoekige plaat van de lensspiegel-cilindereenheid 3 bezit ook draadgaten (niet weergegeven) voor schroeven in het onderop-pervlak ervan, die in positie overeenkomen met de positionering-referentiegaten 22b en 22d van de behuizing 22. Het 10 onderoppervlak van de rechthoekige plaat van de lensspiegel-cilindereenheid 3 werkt als een positionering-referentievlak dat naar de referentievlakken 223a en 223b gekeerd is.

De positioneringspins 33a en 33c zijn zodanig taps verlopend, dat ze in diameter kleiner worden in de richting 15 van de punten ervan. De positioneringspins 33a en 33c lopen taps onder een gelijke hoek met de positionering-referentiegaten 22a en 22c, zodanig dat de positionering-referentiegaten 22a en 22c respectievelijk worden gevuld met de positioneringspins 33a en 33c. Op deze manier wordt de lensspie-20 gel-cilindereenheid 3 gepositioneerd en bevestigd aan de behuizing 22 waarin het vastestof-beeldvormingselement 21 is aangebracht.

Zoals te begrijpen is, worden de positionering-referentiegaten 22a en 22c, die worden gebruikt om het vastestof-25 beeldvormingselement 21 met betrekking tot de behuizing 22 te positioneren, ook gebruikt om de vastestof-beeldvormings-inrichting 2 te positioneren ten opzichte van de lensspiegel -cilindereenheid 3. De positioneringspins 33a en 33c, die zo worden verschaft dat ze in positie corresponderen met de 30 positionering-referentiegaten 22a en 22c, worden eenvoudig in aangrijping gebracht met de positionering-referentiegaten 22a en 22c. Zo'n eenvoudige handeling realiseert de instelling die is getoond in fig. 4; dat wil zeggen, zowel (i) positie-alignering van de optische as L van de lens (figuur 35 4) en het beeldvormingsvlak C van het vastestof beeldvor mingselement; als ook (ii) een instelling van een vlak, #» /ά β A fr*-' 15 verticaal ten opzichte van de optische as L van de lens, die evenwijdig loopt aan het beeldvormingsvlak van het vaste-stof-beeldvormingselement. Zo'n eenvoudige handeling realiseert namelijk positie-instellingen op basis van zes hoeken, 5 waaronder een focusseer-instelling op basis van de Z-as, ; instelling van de kijkhoek op basis van de X-, Y- en θ-as, en het instellen van de helling voor gedeeltelijke defocu-seer-instelling op basis van de a- en b-as.

De schakelplaat 4 is een rechthoekige plaat. De scha-10 kelplaat 4 heeft vier cirkelvormige gaten 41a tot en met 41d die in positie corresponderen met respectievelijk de positi-onering-referentiegaten 22a tot en met 22d van de behuizing 22. De schakelplaat 4 heeft ook een aantal cirkelvormige gaten 42 die in positie overeenkomen met de externe leidin-15 gen 24 die aan de behuizing 22 hangen. De cirkelvormige gaten 41a en 41c, die fungeren als positioneringsgaten, nemen respectievelijk de van bovenaf ingebrachte positione-ringspins 33a en 33c op. De cirkelvormige gaten 41b en 41d, die fungeren als bevestigingsgaten, nemen respectievelijk 20 borgschroevén 43 op die van onderaf worden ingebracht. De borgschroeven 43 worden ingebracht door de cirkelvormige gaten 41b en 41d en de positionering-referentiegaten 22b en 22d, en worden in de draadgaten gedraaid die zijn gevormd in het onderoppervlak van de rechthoekige plaat van de lens-25 spiegel-cilindereenheid 3. De schakelplaat 4 kan een glas epoxyplaat of een flexibele plaat zijn. De positioneringsgaten 41a en 4lc en de bevestigingsgaten 41b en 41d hoeven niet zeer nauwkeurig in afmeting te zijn en kunnen met enige speling worden gevormd.

30 Onder verwijzing naar de figuren 3A en 3B, zal een als voorbeeld dienende manier om de vastestof-beeldvormingsin-richting 2 te bevestigen aan de lensspiegel-cilindereenheid 3 worden beschreven.

De figuren 3A en 3B laten schematisch zien hoe de in 35 figuur 4 getoonde instelling wordt gerealiseerd; dat wil zeggen, (i) positie-alignering van de optische as L van de — ^ · Alt 1 16 lens en het beeldvormingsvlak-midden C van het vaste stof-beeldvormingselement; en (ii) instelling van een vlak, verticaal ten opzichte van de optische as van de lens, zodanig dat het evenwijdig ligt aan het beeldvormingsvlak 5 van het vastestof-beeldvormingselement. De figuren 3A en 3B laten zien hoe positie-instellingen kunnen worden gerealiseerd op basis van zes assen, waaronder focusseerinstelling op basis van de Z-as, instelling van de kijkhoek op basis van de X-, Y- en θ-as, en instelling van de helling voor 10 gedeeltijke focussering-instelling op basis van de a- en faas .

Eerst worden de positioneringspins 33a en 33c van de lensspiegel-cilindereenheid 3 in de positionering-referen-tiegaten 22a en 22c van de vastestof-beeldvormingsinrichting 15 2 gestoken. De positioneringpins 33a en 33c zijn langer dan de dikte van de referentievlakken 223a en 223b waarin de positionering-referentiegaten 22a en 22c zijn gevormd, en worden dus via de positionering-referentiegaten 22a en 22c in de positioneringsgaten 41a en 41c gestoken. Bijgevolg 20 kunnen de lensspiegel-cilindereenheid 3, de vastestof-beeldvormingsinrichting 2 en de schakelplaat 4 ten opzichte van elkaar worden gepositioneerd.

Daarna worden de borgschroeven 43 in de bevestigingsga-ten 42b en 42d gebracht van onder de schakelplaat 4. De 25 borgschroeven 43 bereiken de rechthoekige plaat van de lensspiegel-cilindereenheid 3 via de bevestigingsgaten 42b en 42d, de positionering-referentiegaten 22b en 22d, en de in de rechthoekige plaat gevormde draadgaten. De borgschroeven 43 worden aan de rechthoekige plaat van de lensspiegel-30 cilindereenheid 3 bevestigd met dezelfde torsiekracht. Zo worden de lensspieggel-cilindereenheid 3, de vastestof-beeldvormingsinrichting 2 en de schakelplaat 4 ten opzichte van elkaar vastgezet.

Onder verwijzing naar de figuren 3A en 3B zal het met 35 grote nauwkeurigheid positioneren van de vaste stof-beeld-

Λ jOH

17 vormingsinrichting 2 en de lensspiegel-cilindereenheid 3 worden beschreven.

De figuren 3A en 3B zijn elk een doorsnede-aanzicht van de samenstelling van vastestof-beeldvormingsinrichting 2 en 5 de lensspiegel-cilindereenheid 3, gezien langs de denkbeeldige diagonale lijn die de middelpunten van de positione-ring-referentiegaten 22a en 22c met elkaar verbindt. In de figuren 3A en 3B vertegenwoordigt Dpc het midden van de denkbeeldige diagonale lijn, dat gelijk is aan het midden C 10 van het beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormings-element 21. Dpi is de lengte tussen het midden Dpc en het midden van het positionering-referentiegat 22a, en Dp2 is de lengte tussen het midden Dpc en het midden van het positionering-referentiegat 22c. Dhc is het midden van de rechthoe-15 kige plaat van de lensspiegel-ciilndereenheid 3 dat overeenkomt met het midden Dpc. Dhl is de lengte tussen het midden Dhc en het midden van de positioneringspin 33a, en Dh2 is de lengte tussen het midden Dhc en het midden van de positioneringspin 33c.

20 In figuur 3A is (Dhl + Dh2) korter dan (Dpi + Dp2) . In dit geval worden de vastestof-beeldvormingsinrichting 2 en de lensspiegel-cilindereenheid 3 ten opzichte van elkaar gepositioneerd langs het binnengedeelte van de taps lopende wand van elk van de positionering-ref erentiegaten 22a èn 25 22c.

In figuur 3B is (Dhl + Dh2) langer dan (Dpi + Dp2) . In dit geval zijn de vastestof beeldvormingsinrichting 2 en de lensspiegel-cilindereenheid 3 ten opzichte van elkaar gepositioneerd langs het buitengedeelte van de taps lopende wand 30 van elk van de positionering-referentiegaten 22a en 22c.

In elk geval stemmen het midden Dpc en het midden Dhc met elkaar overeen. In dit voorbeeld wordt de diagonale lijn die de middelpunten van de positionering-referentiegaten 22a en 22c met elkaar verbindt, gebruikt voor het positioneren, 35 maar de onderhavige uitvinding is hiertoe niet beperkt.

. Λ Λ Ji A A f? 18

Op deze manier worden het vastestof-beeldvormingsele-ment 21 en de optische lens 31 in positie gealigneerd voor wat betreft de middelpunten ervan, en worden ook zo ingesteld dat ze evenwijdig aan elkaar lopen, met grote nauwkeu-5 righeid. Namelijk, positie-instellingen op basis van vijf assen, te weten instelling van de hoek op basis van de X-, Y- en θ-as, en instelling van de helling voor het instellen van gedeeltelijk defocusseren op basis van de a- en b-as worden met grote nauwkeurigheid gerealiseerd.

10 De positioneringSpins 33a en 33c worden langs de tapse wanden van respectievelijk de positionering-referentiegaten 22a en 22c geleid, zodat de positioneringspins 33a en 33c elk tot hetzelfde niveau in de positionering-referentiegaten 22a en 22c worden gebracht. Dit zal nog uitvoeriger worden 15 beschreven. In de figuren 3A en 3B staat verwijzingsgetal 34 voor een referentievlak 34 (onderoppervlak van de rechthoekige plaat van de lensspiegel-cilindereenheid 3) waarop de positioneringspins 33a en 33c zijn gevormd. Zoals hierboven beschreven is, strekt het positionering-referentiegat 22a 20 zich uit vanaf het ref erentievlak 223a, en strekt het posi-tionering-referentievlak 22c zich uit vanaf het referentie-vlak 223b. Een gaping CL tussen het referentievlak 223a en het referentievlak 34 is gelijk aan een gaping CR tussen het referentievlak 223b en het referentievlak 34. In figuur 3A, 25 CL1 = CRI. In figuur 3B, CL2 = CR2. Daardoor lopen de refe-rentievlakken 223a en 223b evenwijdig aan het referentievlak 34. Bijgevolg wordt een focusseerinstelling verricht op de basis van de Z-as.

In plaats van de positionering-referentiegaten 22a en 30 22c kunnen ook de positionering-referentiegaten 22b en 22d worden gebruikt. In dit geval worden de positionering-referentiegaten 22b en 22d ook gebruikt om het vastestof-beeld-vormingselement 21 in het ingelaten gedeelte 221 van de behuizing 22 te positioneren. De lensspiegel-cilindereenheid ! 35 3 bezit positioneringspins 33b en 33d die in positie-over- eenstemming zijn met de positionering-referentiegaten 22b en 19 22d, in plaats van de positioneringspins 33a en 33c. De draadgaten (niet weergegeven) in het onderoppervlak van de rechthoekige plaat van de lensspiegel-cilindereenheid 3 zijn ook gevormd in positie-overeenstemming met de positionering-5 referentiegaten 22a en 22c, in plaats van de positionering-referentiegaten 22b en 22d.

In deze toestand heeft de focusseer-instelling op basis van de Z-as echter geen hoge mate van precisie. Nadat de hierboven beschreven stap van het samenstellen is voltooid, 10 wordt de optische lens 31 in de lenshouder 32 verdraaid om een optimaal uitgangssignaal te krijgen. Daardoor krijgt de focusseer-instelling op basis van de Z-as een hoge mate van precisie.

Zoals hierboven beschreven, kunnen de vastestof-beeld-15 vormingsinrichting 2 en de lensspiegel-cilindereenheid 3 met een hoge mate van precisie ten opzichte van elkaar worden gepositioneerd terwijl ze worden samengesteld, door het principe dat is afgebeeld in de figuren 3A en 3B.

Bij de stand der techniek de chip van het vastestof-20 beeldvormingselement 21 en de behuizing 22 met een voldoende hoge mate van precisie ten opzichte van elkaar gepositioneerd, en worden de lensspiegel-cilindereenheid 3 met de taps verlopende pinorganen 33a en 33c en de optische lens 31 ook met een voldoende hoge mate van precisie ten opzichte 25 van elkaar gepositioneerd.

Samengevat lost de onderhavige uitvinding de hierboven beschreven problemen als volgt op.

Het vastestof-beeldvormingselement 21 wordt gefixeerd op het bevestigingsvlak 222 in het ingelaten gedeelte 221 30 dat op het bovenoppervlak van de behuizing 22 is aangebracht met een kleefmiddel of iets dergelijks. De interne leidingen (niet weergegeven) in het ingelaten gedeelte 221 van de behuizing 22 en de elektroden (aansluitpunten) van het vastestof-beeldvormingselement 21 worden respectievelijk 35 verbonden door dunne metalen lijnen van aluminium of een ander metaal, en de interne leidingen worden naar de externe ^ i ^ ƒ in i /Φ λ · ** t 20 leidingen 24 gevoerd. De transparante kap 23 wordt aan de behuizing 22 gelijmd, zodat het ingelaten gedeelte 221 wordt afgedicht terwijl dit het vastestof-beeldvormingselement 21 opneemt. De ruimte in het ingelaten gedeelte 221 boven 5 het vastestof-beeldvormingselement 21 is hol.

De boordvormige randen steken uit vanaf twee tegenover elkaar liggende zijden van de behuizing 22. De boordvormige randen hebben respectievelijk de referentievlakken 223a en 223b (uitstekende gebieden), die op dezelfde hoogte liggen 10 als het bevestigingsvlak 222 waarop het vastestof-beeldvormingselement 21 is aangebracht. De vier positionering-refe-rentiegaten 22a tot en met 22d zijn gevormd in de boordvormige randen. De positionering-referentiegaten 22a en 22b lopen bijvoorbeeld vanaf het referentievlak 223a naar bene-15 den, en de positionering-referentiegaten 22c en 22d lopen vanaf het referentievlak 223b naar beneden. De positionering-referentiegaten 22a tot en met 22d zijn taps verlopend om te worden gebruikt voor het positioneren van de vastestof -beeldvormingsinrichting 2 en de lensspiegel-cilinder-20 eenheid 3.

Van de vier positionering-referentiegaten 22a tot en met 22d worden de twee op een denkbeeldige diagonale lijn verschafte positionering-referentiegaten (bijvoorbeeld 22a en 22c) gebruikt als een referentie voor het aanbrengen van 25 het vastestof-beeldvormingselement 21.

Het paar taps verlopende pins 33a en 33c van de lens-spiegel-cilindereenheid 3 wordt in aangrijping gebracht met de referentie-positioneringsgaten 22a en 22c. Bijgevolg worden de vastestof-beeldvormingsinrichting 2 en de lens-30 spiegel-cilindereenheid 3 ten opzichte van elkaar gepositioneerd. Daarna worden de borgschroeven 43 in aangrijping gebracht met de bevestigingsgaten 41b en 4ld die corresponderen met de tapse gaten van de lensspiegel-cilindereenheid 3. De borgschroeven 43 worden dan door de positionering-35 referentiegaten 22b en 22d heen in de tapse gaten gebracht.

| -Λ Λ 21

Bijgevolg zijn de schakelplaat 4, de behuizing 22 en de lensspiegel-cilindereenheid 3 aan elkaar vastgedraaid.

Zoals hierboven is beschreven, is volgens de onderhavige uitvinding de behuizing met het erin aangebrachte vaste-5 stof-beeldvormingselement 21 voorzien van uitstekende gebieden (referentievlakken 223a en 223b) op dezelfde hoogte als het bevestigingsvlak 222 waarop het vastestof-beeldvormingselement is aangebracht. De uitstekende gebieden strekken zich vanaf het bevestigingsvlak in twee tegengestelde rich-10 tingen uit. Verder zijn de positionering-referentiegaten 22a tot en met 22d zo gevormd dat ze zich vanaf respectievelijk de referentievlakken 223a en 223b naar beneden uitstrekken. Door een zodanige opbouw worden de behuizing 22 waarin het vaste stof-beeldvormingselement 21 is aangebracht en de 15 lensspiegel-cilindereenheid 3 met een grote nauwkeurigheid ten opzichte van elkaar gepositioneerd zonder dat enige speciale instellingsstap nodig is. Deze positionering correspondeert met zowel (i) positie-alignering van de optische as L van de lens en het beeldvormingsvlak-midden C van het 20 vastestof-beeldvormingselement, en (ii) verstelling van een vlak verticaal op de optische as van de lens zodat het evenwijdig loopt aan het beeldvormingsvlak van het vastestof -beeldvormingselement . Met andere woorden, positie-instellingen op basis van zes assen, te weten focusseer-25 instelling op basis van de Z-as, verstelling op basis van de X-, Y- en θ-as, en instelling van de helling voor de partieel defocusseren-instelling op basis van de a- en b-as, worden in een korte tijd, gemakkelijk en met een hoge mate van precisie verricht. Daardoor zijn de speciale positie-30 instelinrichting, mal en dergelijke, die gewoonlijk worden gebruikt, niet nodig. De handeling van het positie instellen wordt aanzienlijk vereenvoudigd.

In het hierboven beschreven voorbeeld de positioneer-pins 33a en 33b niet getrapt. Als alternatief kunnen de 35 positioneerpins 33a en 33c een getrapte structuur hebben. In dat geval fungeren de getrapte gedeelten (boordvormige i O O i A Λ n 22 gedeelten als aanslagen voor de referentievlakken 223a en 223b. Zo wordt gegarandeerd dat de positioneerpins 33a en 33c worden ingesteld om tot dezelfde diepte in de positione-ring-referentiegaten 22a en 22c te worden gebracht.

5 Zoals tot dusver is beschreven, worden volgens de onderhavige uitvinding nadat het vastestof-beeldvormingsele-ment is gepositioneerd ten opzichte van het bevestigings-vlak, de optische as van de lensspiegel-cilindereenheid en het beeldvormingsvlak-midden van het vastestof-beeldvor-10 mingselement ten opzichte van elkaar gepositioneerd, onder gebruikmaking van de referentievlakken die op dezelfde hoogte liggen als het bevestigingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement en ook onder gebruikmaking van de taps verlopende positionering-referentiegaten die zijn aange-15 bracht in de referentievlakken. Met andere woorden, (i) positie-alignering van de optische as van de lens en het beeldvormingsvlak-midden van het vastestof-beeldvormingsele-ment (dat wil zeggen, instelling op basis van X-, Y- en Θ-as) , en (ii) verstelling van een vlak verticaal op de opti-2 0 sche as van de lens zodanig dat het evenwijdig ligt aan het beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement (dat wil zeggen, focusseer-instelling op basis van de Z-as, en instelling van de helling voor de gedeeltelijk focusse-ren-instelling op basis van de a- en b-as) worden uitge-25 voerd. Zulke instellingen op basis van de zes assen worden uitgevoerd in de orde van micrometers (μπ\) , in een korte tijd, gemakkelijk en met hoge nauwkeurigheid, zonder gebruik van enige speciale positie-instelinrichting, mal en dergelijke, zoals gewoonlijk vereist zijn.

30 Verschillende andere wijzigingen zullen de deskundigen duidelijk zijn en kunnen gemakkelijk door hen worden aangebracht zonder dat daarbij van de gebied en gedachte van deze uitvinding wordt afgeweken. Bijgevolg is het niet de bedoeling dat het gebied van de hierbij gevoegde conclusies wordt 35 beperkt tot de beschrijving zoals hierin is uiteengezet, 1 n o i a 4 c 23 maar in plaats daarvan dat de conclusies ruim moeten worden opgevat.

- conclusies - I Λ Λ Δ Λ

Claims

1. Vastestof-beeldvormingsinrichting, die bestaat uit: een behuizingsubstraat; en een op het behuizingsubstraat aangebracht vastestof-5 beeldvormingselement; waarbij: het behuizingsubstraat een bevestigingsvlak heeft waarop het vastestof-beeldvormingselement is aangebracht; het behuizingsubstraat twee referentievlakken met 10 dezelfde hoogte als het bevestigingsvlak heeft, welke refe-rentievlakken vanaf het bevestigingsvlak in twee tegengestelde richtingen uitsteken; en in de referentievlakken respectievelijk ten minste een paar positionering-referentiegaten is gevormd, zodanig dat 15 de middelpunten van het paar gaten op een gelijke afstand tot het midden van een beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement liggen.

2. Vastestof-beeldvormingsinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het in het referentievlak gevormde 20 ten minste een paar positionering-referentiegaten taps verloopt om breder te worden in de richting van de zijde van het beeldvormingsvlak van het vastestof-beeldvormingselement .

3. Vastestof-beeldvormingsinrichting volgens conclusie 25 2, met het kenmerk, dat het behuizingsubstraat een ingelaten gedeelte bezit met het bevestigingsvlak in een benedengedeelte ervan; het vastestof-beeldvormingselement is aangebracht op het bevestigingsvlak; 30 in het ingelaten gedeelte ondergebrachte interne lei dingen met elektroden van het vastestof-beeldvormingselement zijn verbonden via dunne metalen lijnen, en ook zijn verbonden met externe leidingen; en *ftl /**Λ /1 f. r·—· s een transparant kaporgaan zodanig is aangebracht dat dit het ingelaten gedeelte bedekt.

4. Vastestof-beeldvormingsinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, 5 dat het behuizingsubstraat een ingelaten gedeelte bezit met het bevestigingsvlak in een benedengedeelte ervan; het vastestof-beeldvormingselement is bevestigd op het bevestigingsvlak; in het ingelaten gedeelte ondergebrachte interne lei-10 dingen met elektroden van het vastestof-beeldvormingselement zijn verbonden via dunne metalen lijnen, en ook zijn verbonden met externe leidingen; en een transparant kaporgaan zodanig is aangebracht dat dit het ingelaten gedeelte bedekt.

5. Werkwijze voor het produceren van een vastestof- beeldvormingsinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat teneinde het vastestof-beeldvormingselement aan te brengen op het bevestigingsvlak van het behuizingsubstraat, het midden van het beeldvormingsvlak overeenstemt met het 20 midden van een denkbeeldige lijn die de middelpunten van het ten minste een paar referentiegaten met elkaar verbindt, en daardoor het vastestof-beeldvormingselement op het bevestigingsvlak wordt gefixeerd.

6. Vastestof-beeldvormingseenheid, die bestaat uit: 25 een vastestof-beeldvormingsinrichting volgens conclusie 1; en een lensspiegel-cilindereenheid; waarbij: de lensspiegel-cilindereenheid pinorganen bevat die 30 respectievelijk in aangrijping kunnen worden gebracht met het ten minste een paar positionering-referentiegaten, een positionering-referentievlak dat correspondeert met de referentievlakken van de vastestof-beeldvormingsinrichting, ! 11noiΛig o en een optische lens die zodanig is verschaft dat een optische as ervan door het midden van een denkbeeldige lijn loopt die de middelpunten van de pinorganen met elkaar verbindt; en 5 de pinorganen in aangrijping worden gebracht met de positionering-referentiegaten om het vastestof-beeldvor-mingselement en de optische lens ten opzichte van elkaar te positioneren, en zo de lensspiegel-cilindereenheid te bevestigen aan het behuizingsubstraat.

7. Vastestof-beeldvormingseenheid volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat de pinorganen taps verlopen zodanig dat ze in diameter kleiner worden in de richting van de uiteinden ervan; en de taps verlopende pinorganen en de taps verlopende 15 positionering-referentiegaten met elkaar in aangrijping zijn, zodanig dat het positionering-referentievlak van de lensspiegel-cilindereenheid evenwijdig loopt aan de referen-tievlakken van de vastestof-beeldvormingsinrichting.

8. Vastestof-beeldvormingseenheid volgens conclusie 7, 20 met het kenmerk, dat de referentievlakken van de vastestof-beeldvormingsinrichting elk twee -positie-referentiegaten hebben, en zo een denkbeeldige rechthoek vormen; en het behuizingsubstraat vastgehouden en bevestigd wordt 25 tussen de lensspiegel-cilindereenheid en een schakelplaat, via twee positionering-referentiegaten die zijn verschaft op een van twee denkbeeldige diagonale lijnen van de denkbeeldige rechthoek.

9. Vastestof-beeldvormingseenheid volgens conclusie 6, 30 met het kenmerk, dat de referentievlakken van de vastestof-beeldvormingsinrichting elk twee positie-referentiegaten hebben, en zo een denkbeeldige rechthoek vormen; en .41 ' Λ Jl C r m het behuizingsubstraat vastgehouden en bevestigd wordt tussen de lensspiegel-cilindereenheid en een schakelplaat, via tee positionering-gaten die zijn verschaft op een van twee denkbeeldige diagonale lijnen van de denkbeeldige 5 rechthoek.

10. Werkwijze voor het produceren van een vastestof-beeldvormingseenheid volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat de pinorganen respectievelijk in aangrijping worden gebracht met de positionering-referentiegaten om het vaste- 10 stof beeldvormingselement en de optische lens te positioneren en ook om de lensspiegel-cilinder te bevestigen aan het behuizingsubstraat.

11. Werkwijze volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat 15 de schakelplaat vier inbrenggaten bezit die in positie overeenstemmen met de vier positionering-referentiegaten; de lensspiegel-cilindereenheid twee borg-draadgaten heeft voor borgschroeveh in aanvulling op het paar taps verlopende pinorganen, welke borg-draadgaten en de taps 20 verlopende pinorganen in positie overeenstemmen met de vier positionering-referentiegaten; het paar taps verlopende pinorganen sequentieel in aangrijping worden gebracht met twee van de positie-referen-tiegaten en twee van de inbrenggaten van de schakelplaat; en 25 schroeven sequentieel in aangrijping worden gebracht met de resterende twee inbrenggaten, de resterende twee positie-referentiegaten, en daarna de borg-draadgaten, waardoor de schakelplaat, de vastestof-beeldvormingsinrich-ting en de lensspiegel-cilindereenheid aan elkaar vastge-30 draaid zijn.

12. Beeldvormingsapparaat dat gebruik maakt van een vastestof-beeldvormingsinrichting volgens conclusie 1 of een vastestof-beeldvormingseenheid volgens conclusie 6. t n? 1 i 1 s_______