KR970050282A - 자기기록매체와 그 제조방법 및 자기기록장치 - Google Patents

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Abstract

서보정보가 써넣어지는 자기 패턴과, 데이타가 써넣어지는 자기기록층을 가지는 자기기록매체는, 비자성기판과, 비자성기판상에 형성된 자기기록층과, 서보신호기록영역에 있어서, 자기기록층에 접촉한 경질자성층을 가지고, 다시금, 트랙길입방향의 막두께의 변화로서 형성된 서보패턴을 가지고 있다.

Description

자기기록매체와 그 제조방법 및 자기기록장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 제1실시형태에 관계되는 자기디스크를 갖는 자기디스크장치의 일예를 도시한 평면도,
제3도는 본 발명의 제2실시형태의 자기기록매체의 단면도,
제4도는 본 발명의 실시형태의 자기기록매체의 평면도.

Claims (36)

  1. 제1면과 제2면을 가지고, 또한 서보신호영역과 트랙을 가지는 자기기록층과, 상기 자기기록층의 상기 제1면이나 상기 제2의 한쪽에 직접 형성되고, 또한, 상기 트랙의 연장상에 있어 상기 서보 신호영역에 형성된 복수의 경질 자성 패턴과, 상기 자기기록층의 상기 제2면을 지지하는 비자성기판을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  2. 제1항에 있어서, 복수의 상기 경질자성 패턴은, 상기 자기기록층의 제2면상에 형성되고, 또한 상기 비자성기판은, 상기 자기기록층의 제2면을 지지하고 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  3. 제2항에 있어서, 비자성기판의 위에는, 요부가 형성되고, 더우기, 상기 기복수의 경질자성패턴은 그들의 요부내에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  4. 제2항에 있어서, 상기 자기기록층은 평탄한 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  5. 제2항에 있어서, 상기 자기기록층의 상기 제2면상에는 비자성층이 형성되고, 그 비자성층은 복수의 상기 경질자성 패턴의 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  6. 제1항에 있어서, 상기 복수의 경질자성 패턴은, 상기 자기기록층의 제1면상에 형성되고, 또한 상기 비자성기판은, 상기 자기기록층은 제2면을 지지하고 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  7. 제6항에 있어서, 자기기록층의 상기 제1면상에 비자성이 형성되고, 그 비자성층은 상기 경질자성 패턴의 사이에 형성되고, 더구나 그 비자성층과 상기 경질자성 패턴의 상면은 평탄한 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  8. 제1항에 있어서, 상기 결징자성 패턴의 두께는 상기 자기기록층의 두께의 2.5배 또는 그 이상인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  9. 제1항에 있어서, 상기 결징자성 패턴은 CoCr, CoCrPt, CoCrTa 또는 CoNiCr의 어느 하나로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  10. 내용 없음
  11. 제1항에 있어서, 상기 트랙은, 실질적으로 상기 기록층의 동심원상에 있고 상기 복수의 경질자성 패턴은 각각서로 이웃하는 트랙마다 위상이 다르게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  12. 제1면과 제2면을 가지고, 또한 서보 신호 영역과 트랙의 연장상에 있어서, 상기 기록층이 상기 제1면이나 상기 제2면의 한쪽에 직접 형성되고, 또한 상기 트랙의 연장상에 있어서, 상기 서보 신호영역에 형성된 복수의 경질자성 패턴과, 상기 자기기록층의 상기 제2면을 지지하는 비자성기판을 가지는 자기기록매체와, 상기 복수의 경질자성 패턴과 상기 자기기록층에서 생긴 자계를 트랙킹신호로서 검출하고, 또한 상기 자기기록층에 자기정보를 기록 또는 재생하기 위한 자기헤드를 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록재생장치.
  13. 비자성층 서보패턴 형성부분에 레지스트 마스크를 사용하여 요부를 형성하는 공정과, 상기 요부내와 상기 레지스트 마스크상에 경질자성재로서 되는 서보층을 형성하는 공정과, 상기 레지스트 마스크를 박리하여 상기 요부내에 상기 서보층을 남김으로써 그 요부내에 상기 서보층으로서 되는 서보패턴을 형성하는 공정과, 상기 서보패턴 및 상기 비자성층상에 경질자성재료서 되는 자기기록층을 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  14. 비자성층의 서보패턴 형성부분에 요부를 형성하는 공정과, 상기 비자성층상 및 상기 요부내에 경질자성재로서 되는 서보층을 형성하는 공정과, 상기 요부내와 상기 서보층의 상에 평탄화막을 도포하는 공정과, 상기 평탄화막과 상기 서보층을 연속적으로 에칭백 하여 상기 요부내에만 상기 서보층을 잔류시키는 공정과, 상기 요부내의 상기 서보층상과 상기 비자성층상에 경질자성재로서 되는 자기기록층을 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  15. 비자성층상에는 경질자성층을 형성하는 공정과, 상기 경질자성층중 서보패턴 형성부분을 마스크로 덮는 공정과, 상기 마스크에 덮혀있지 않은 영역의 상기 경질자성층을 에칭하여 박리화함으로써, 박충화한 부분을 자기기록층으로 함과 동시에, 상기 마스크의 아래의 두꺼운 상기 경질자성층을 서보패턴으로하는 공정과, 상기 마스크 상 및 상기 자기기록층상에 비자성층을 형성하는 공정과, 상기 마스크를 제거함으로써 상기 마스크상의 상기 비자성층을 박리하는 공정과, 상기 서보패턴을 연마 또는 에칭함으로써 그 상면을 평탄화하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  16. 비자성층상에는 경질자성재로서 되는 자기기록매체층을 형성하는 공정과, 상기 자기기록층의 위에 경질자성재로서 되는 서보층을 형성하는 공정과 상기 서보층중 서보패턴 형성부분을 마스크로 덮는 공정과, 상기 마스크에 덮히지 않는 영역의 상기 서보층에 비자성원소를 이온 주입하여 그 영역을 비자성층으로 바꾸는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  17. 기판과, 상기 기판상에 형성된 또한 복수의 트랙으로서 구분되는 자기기록층과, 복수의 상기 트랙을 경사지게 횡절하는 직선상 또는 곡선상의 트랙킹용 서보패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  18. 제18항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 기판상에 형성된 자성층의 막두께의 변화로서 나타내는 패턴인 것을 특징으로 하는 자기기록매체.
  19. 제18항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 자기기록층이 부분적으로 분해되어서 되는 패턴인 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  20. 제18항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 자기기록층이 부분적으로 형성한 요철의 변화로서 나타나는 패턴인 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  21. 제18항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 트랙에서의 트랙폭 방향의 위치의 상위에 의하여 트랙 신호의 위상이 변화 하도록 복수배치되어 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  22. 제22항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 기판상에 형성된 자성층의 막 두께의 변화로서 나타나는 패턴인 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  23. 제22항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 자기기록층이 부분적으로 분해 되어 있는 패턴인 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  24. 제22항에 있어서, 상기 트랙킹용 서보패턴은, 상기 자기기록층이 부분적으로 형성한 요철의 변화로서 나타나는 패턴인 것을 특징으로 하는 자기기록매체
  25. 비자성의 기판상에 형성되고 또한 복수의 트랙의 구분되는 자기기록층과, 복수의 트랙을 경사지게 횡절하는 직선상 또는 곡선상의 트랙킹용 서보패턴을 가지는 자기기록매체와, 상기 자기기록매체를 구동하는 구동수단과, 상기 자기기록매체의 상에 배치되는 자기헤드와 상기 제기헤드를 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 이동하는 이동수단을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록장치.
  26. 기판 또는 그 기판상의 비자성층에 레지스트를 도포 하는 공정과, 복수의 트랙을 배치하는 영역을 경사지게 횡절하는 직선 또는 곡선상의 서보패턴 잠상을 상기 레지스트에 노광에 의하여 형성하는 공정과, 상기 레지스트를 현상하여 상기 서보패턴 잠상이 형성된 부분 또는 상기 서보패턴 잠상의 주위에 개구부를 형성하는 공정과, 상기 개구부를 통하여 상기 기판 또는 상기 비자성층을 에칭하여 홈을 형성하여, 이에 의하여 소보패턴의 형상을 상기 기판 또는 상기 비자성층에 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  27. 제27항에 있어서, 상기 레지스트의 상기 노광은, 복수회로 나누어서 상기 기판을 스텝회전 또는 연속회전 시키면서 행해지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  28. 제28항에 있어서, 상기 노광은, 상기 기판의 상기 스텝 회전의 정지시에 노광 마스크를 사용하여 되는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  29. 제29항에 있어서, 상기 노광은 마스크의 위치 맞추기는 상기 스텝 회전 사이의 정지시마다 행해지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  30. 제27항에 있어서, 상기 노광은, 레이져빔을 레지스트상에 주사시키면서 행해지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  31. 복수의 트랙영역을 가지는 기판상의 자성층표면에 레지스트를 도포하는 공정과, 노광으로서 상기 복수의 트랙영역을 경사지게 횡절하는 직선상 또는 곡선상의 서보패턴 잠상을 상기 레지스트에 형성하는 공정과, 상기 레지스트를 현상하여, 상기 패턴 잠상을 둘러싸는 상기 개구부를 형성하는 공정과, 상기 개구부를 통하여 상기 자성층을 에칭하여 홈을 형성함으로써, 그 홈에 둘러싸여진 상기 자성층을 서보패턴으로서 사용하는 공정을 가지즌 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  32. 제32항에 있어서, 상기 레지스트의 상기 노광은, 복수회로 나누어서 상기 기판을 스텝 회전 또는 연속회전 시키면서 행해지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  33. 제33항에 있어서, 상기 기 노광은, 상기 기판의 상기 스텝 회전의 정지시에 노광 마스크를 사용하여 되는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  34. 제34항에 있어서, 상기 노광은 마스크의 위치 맞추기는 상기 스텝 회전 사이의 정지시마다 행해지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  35. 제32항에 있어서, 상기 노광은, 레이져빔을 상기 레이져상에 주사시키면서 행해지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
  36. 기판상에 자성층을 형성하는 공정과, 레이져빔을 조사함으로써 상기 자성층을 에칭하여, 복수의 트랙에서 구획되는 영역을 경사지게 횡절하는 직선 또는 곡선상의 서보패턴을 형성하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 자기기록매체의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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