JP5276337B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
(1)記録層の上に金属薄膜を設けレジスト塗布する。
(2)リソグラフィ技術によりレジストに微細パターンを与える。
(3)レジストパターン凹部の金属薄膜をドライプロセスによりエッチングし、記録層を露出させる。
(4)露出した記録層をドライプロセスによりエッチングし記録トラック分離部(グルーブ)を形成する。
(5)記録トラック(ランド)の残存レジスト及び金属薄膜を除去する。
(6)グルーブ部分を非磁性材料で埋め戻し平坦化する。
(7)保護層と潤滑層を付与する。
2…密着層
3…軟磁性層
3a…下部軟磁性層
3b…反強磁性結合層
3c…上部軟磁性層
4…シード層
5…中間層
6…Co系合金グラニュラー磁性層(記録層1)
7…Co系合金磁性層(記録層2)
8…Taマスク層前駆体
82…Taマスク層
9…メタクリル酸メチル樹脂(PMMA)層
Claims (6)
- 基体上に磁気記録層が設けられ、前記磁気記録層には強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分と低い部分とが面内方向に周期的に存在しており、前記強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分の基板面からの平均高さが前記強磁性材料の元素比率が低い部分の基板面からの平均高さよりも高い磁気記録媒体の製造方法であって、
基板上に磁気記録層を形成する工程と、
前記磁気記録層に、前記強磁性材料の元素比率が相対的に少ない部分を非磁性材料のイオン注入により形成する工程と
を有し、
前記強磁性材料の元素比が高い部分の基板面からの平均高さが前記強磁性材料の元素比率が低い部分の物理的高さよりも0.1nm以上3nm以下高いことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記磁気記録層の前記強磁性材料の元素比率が相対的に少ない部分に対応する領域の基板面からの平均高さを、前記磁気記録層の前記強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分に対応する領域の基板面からの平均高さよりも低くする工程を有し、当該工程の後に、前記強磁性材料の元素比率が相対的に少ない部分に対応する前記磁気記録層の領域に前記非磁性材料をイオン注入することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記イオン注入がプラズマベースイオン注入法によることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記イオン注入がイオンビーム法によることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法において、前記イオン注入時に前記磁気記録層の前記強磁性材料の元素比率が高い部分に対応する領域に微細マスクを施すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 請求項5記載の磁気記録媒体の製造方法において、イオン注入後にマスクを除去する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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