JP5712241B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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(1)記録層の上に金属薄膜を設けレジスト塗布する。
(2)リソグラフィ技術によりレジストに微細パターンを与える。
(3)レジストパターン凹部の金属薄膜をドライプロセスによりエッチングし、記録層を露出させる。
(4)露出した記録層をドライプロセスによりエッチングし記録トラック分離部(グルーブ)を形成する。
(5)記録トラック(ランド)の残存レジスト及び金属薄膜を除去する。
(6)グルーブ部分を非磁性材料で埋め戻し平坦化する。
(7)保護層と潤滑層を付与する。
2…密着層
3…軟磁性層
3a…下部軟磁性層
3b…反強磁性結合層
3c…上部軟磁性層
4…シード層
5…中間層
6…Co系合金グラニュラー磁性層(記録層1)
7…Co系合金磁性層(記録層2)
8…Taマスク層前駆体
82…Taマスク層
9…メタクリル酸メチル樹脂(PMMA)層
Claims (3)
- 基体上に磁気記録層を形成した磁気記録媒体において、
前記磁気記録層は強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分と低い部分が面内方向に周期的に存在しており、
前記強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分の基板面からの平均高さが前記強磁性材料の元素比率が低い部分の基板面からの平均高さよりも0.1nm以上3nm以下高く、
前記強磁性材料の元素比率が相対的に低い部分には非磁性元素がイオン注入されており、
前記非磁性元素は、前記磁気記録層の1番上の層を通過して延びて、前記磁気記録層の前記1番上の層の下にある磁気記録層まで部分的に延びていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1記載の磁気記録媒体において、前記強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分と低い部分が円周方向に連続的且つ半径方向に周期性を有するディスクリートトラック型であることを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1記載の磁気記録媒体において、前記強磁性材料の元素比率が相対的に高い部分がアイランド状に存在するビットパターン型であることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013056298A JP5712241B2 (ja) | 2013-03-19 | 2013-03-19 | 磁気記録媒体 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008042021A Division JP5276337B2 (ja) | 2008-02-22 | 2008-02-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013118044A JP2013118044A (ja) | 2013-06-13 |
JP5712241B2 true JP5712241B2 (ja) | 2015-05-07 |
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JP2013056298A Expired - Fee Related JP5712241B2 (ja) | 2013-03-19 | 2013-03-19 | 磁気記録媒体 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5712241B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3886802B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2007-02-28 | 株式会社東芝 | 磁性体のパターニング方法、磁気記録媒体、磁気ランダムアクセスメモリ |
JP2005276275A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
JP4469774B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2010-05-26 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体および磁気記録装置 |
JP2007273067A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-10-18 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体、その製造方法、及び磁気記録再生装置 |
JP2008010102A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
JP4357570B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-11-04 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2013118044A (ja) | 2013-06-13 |
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