JP4164110B2 - 磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
チャンバ内圧力:0.3Pa
バイアスパワー(被加工体に供給された電力):290W
チャンバ内圧力:0.3Pa
バイアスパワー(被加工体に供給された電力):0W
ビーム電圧:800V
ビーム電流:1100mA
サプレッサー電圧:520V
上記実施例に対し、平坦化工程(S114)のエッチング条件を下記のように設定した。他の条件は実施例と同じにして磁気記録媒体を作製した。
ビーム電圧:700V
ビーム電流:1100mA
サプレッサー電圧:520V
12、60、70、80、90、100、110、120…磁気記録媒体
14…磁気ヘッド
16…チャック
18…アーム
20…ベース
22…基板
24…記録層
26…記録要素
26A、28A…上面
28…凹部
30…充填材
32…表面
34…保護層
36…潤滑層
38…軟磁性層
40…配向層
50…被加工体
Ar…記録領域
Ai…内側領域
Am…中間領域
Ao…外側領域
S102…被加工体の出発体準備工程
S104…樹脂層加工工程
S106…第2のマスク層加工工程
S108…第1のマスク層加工工程
S110…記録層加工工程
S112…充填材成膜工程
S114…平坦化工程
S116…保護層成膜工程
S118…潤滑層成膜工程
Claims (11)
- 基板の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層の凸部として形成された記録要素を含み、前記記録要素の間の凹部の上の部分が前記記録要素の上の部分よりも前記基板側に凹む形態の表面の段差が記録領域の径方向の最も内側の部分を含む内側領域に形成され、前記記録領域が、前記内側領域に隣接する環状の他の領域と、前記表面の段差が前記他の領域におけるよりも大きい前記内側領域と、に区分可能であるように前記表面の段差が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1において、
前記記録領域が、前記内側領域と、該内側領域の前記径方向の幅と等しい前記径方向の幅を有する前記環状の他の領域と、に区分可能であるように前記表面の段差が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1において、
前記記録領域が、前記内側領域と、前記環状の他の領域と、に前記径方向に二等分して区分可能であるように前記表面の段差が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記凹部に充填された充填材を更に含み、少なくとも前記内側領域において前記充填材の上面が前記記録要素の上面よりも前記基板側に凹み、前記充填材の上面と前記記録要素の上面との段差が前記表面の段差に反映されたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記表面の段差が、前記径方向の外側から内側に向かって増大していることを特徴とする磁気記録媒体。 - 基板の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層の凸部として形成された記録要素を含み、前記記録要素の間の凹部の上の部分が前記記録要素の上の部分よりも前記基板側に凹む形態の表面の段差が記録領域の径方向の最も内側の部分を含む内側領域及び前記記録領域の前記径方向の最も外側の部分を含む外側領域に形成され、前記記録領域が、前記内側領域及び外側領域の間に前記内側領域に隣接して配置された環状の中間領域と、前記表面の段差が前記中間領域におけるよりも大きい前記内側領域と、前記表面の段差が前記中間領域におけるよりも大きい前記外側領域と、に区分可能であるように前記表面の段差が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項6において、
前記記録領域が、前記内側領域と、該内側領域の前記径方向の幅と等しい前記径方向の幅を有する前記中間領域と、前記内側領域の前記径方向の幅と等しい前記径方向の幅を有する前記外側領域と、に区分可能であるように前記表面の段差が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 請求項6又は7において、
前記凹部に充填された充填材を更に含み、少なくとも前記内側領域及び前記外側領域において前記充填材の上面が前記記録要素の上面よりも前記基板側に凹み、前記充填材の上面と前記記録要素の上面との段差が前記表面の段差に反映されたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 基板の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層の凸部として形成された記録要素を含み、記録領域の中に、前記記録要素の間の凹部の上の部分が前記記録要素の上の部分よりも前記基板側に凹む形態の表面の段差が形成され、該表面の段差が前記径方向の外側から内側に向かって増大している、少なくとも前記記録領域の径方向の最も内側の部分を含む領域が存在するように前記表面の段差が形成されたことを特徴とする磁気記録媒体。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に対してデータの記録/再生を行うために該磁気記録媒体の表面に対して浮上可能であるように設置された浮上式の磁気ヘッドと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
- 連続した記録層の上にマスク層が所定の凹凸パターンで形成された円板形状の被加工体にイオンビームの発散状態を制御可能であるイオンビームエッチング及び前記被加工体に印加するバイアス電圧を制御可能である反応性イオンエッチングのいずれかによりエッチングレートが記録領域の径方向の最も内側の部分を含む内側領域において該内側領域に隣接する他の領域におけるよりも大きくなるように加工用ガスを照射して前記記録層を前記凹凸パターンに相当する凹凸パターンに加工し記録要素を凸部として形成する記録層加工工程、
基板の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層の凸部として形成された記録要素を含む被加工体に該被加工体に印加するバイアス電圧を制御可能であるバイアススパッタリングにより成膜レートが記録領域の径方向の最も内側の部分を含む内側領域において該内側領域に隣接する他の領域におけるよりも小さくなるよう充填材を成膜する充填材成膜工程、及び
基板の上に所定の凹凸パターンで形成された記録層の凸部として形成された記録要素及び該記録要素の上に成膜された充填材を含み前記記録要素の間の凹部が前記充填材で充填された被加工体にイオンビームの発散状態を制御可能であるイオンビームエッチング及び前記被加工体に印加するバイアス電圧を制御可能である反応性イオンエッチングのいずれかによりエッチングレートが記録領域の径方向の最も内側の部分を含む内側領域において該内側領域に隣接する他の領域におけるよりも大きくなるように加工用ガスを照射して前記充填材のうち前記記録要素の上の余剰の充填材を除去する平坦化工程の少なくとも一の工程を含み、
前記記録要素の間の凹部の上の部分が前記記録要素の上の部分よりも前記基板側に凹む形態の表面の段差が前記内側領域に形成され、前記記録領域が、前記内側領域に隣接する環状の他の領域と、前記表面の段差が前記他の領域におけるよりも大きい前記内側領域と、に区分可能であるように前記表面の段差が形成された磁気記録媒体を製造することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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