JP2007250059A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 非磁性基体1上に、少なくとも下地層3、磁気記録層4及び保護層5が順次積層されてなる磁気記録媒体において、下地層3は、Ru又はRuを主成分とする合金からなり、かつその表面に頭頂部が複数のライン状に所定間隔で形成されてなるライン状起伏構造を有しており、磁気記録層4は、少なくとも強磁性を有する結晶粒子と非磁性成分を含み、磁気記録層4中の粒径4nm以上の結晶粒子からなる磁性ドット4−1が頭頂部のラインに沿って下地層3の表面上に配列し、かつ磁性ドット4−1の各々は非磁性成分4−2で隔てられている。
【選択図】 図1
Description
(実施例1)
非磁性基体1として、表面粗さRa=0.5nmの表面が平滑な円盤状のSi基板を用い、これを洗浄後、EB装置に導入し、基板表面にラインの加工を行った。加工は、電子ビームの位置は固定し、基板を回転させながら半径方向に水平に移動することにより、同心円状のラインとした。ラインの頭頂部間の間隔を25nm、頭頂部と底部の高低差が10nmとなるように制御した。引き続いてこれを、スパッタリング装置内に導入し、Co92Zr5Ta3ターゲットを用いてArガス圧5mTorr下で非晶質のCoZrTaからなる軟磁性裏打ち層2を膜厚100nmで形成した後、Ruターゲットを用いArガス圧3mTorr下でRu下地層3を膜厚5nmで成膜する。その後、(Co80Pt20)90(SiO2)10ターゲットを用いて、CoPt−SiO2磁気記録層4を形成した。磁気記録層4の成膜時のArガス圧は60mTorr、膜厚は8nmとした。その後、400℃で真空加熱処理を行った。冷却チャンバーにて100℃まで冷却後、CVD法によりカーボンからなる保護層5を4nm成膜後、真空装置から取り出した。その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑剤層2nmをディップ法により形成し、磁気記録媒体とした。なお、各層の成膜は全てDCマグネトロンスパッタリング法により行い、EB装置とスパッタリング装置間の基板搬送は真空中で行った。
(実施例2)
非磁性基体1として実施例1と同様な基板を用い、これを洗浄後、スパッタリング装置内に導入し、実施例1と同様にしてCoZrTa軟磁性裏打ち層2を膜厚100nmで形成した。これを、EB装置に導入し、軟磁性裏打ち層2の表面にラインの加工を行った。加工は、実施例1と同様な方法で、同心円状のラインとした。なお、ラインの頭頂部間の間隔は25nm、頭頂部と底部の高低差が3nmとなるように制御した。その後、実施例1と全く同様にして、Ru下地層3、CoPt−SiO2磁気記録層4、カーボン保護層5、液体潤滑剤層を順次形成して磁気記録媒体とした。
(実施例3)
非磁性基体1として実施例1と同様な基板を用い、これを洗浄後、スパッタリング装置内に導入し、実施例1と同様にして、CoZrTa軟磁性裏打ち層2を膜厚100nmで、Ru下地層3を膜厚5nmで形成した。これを、EB装置に導入し、Ru下地層3の表面にラインの加工を行った。加工は、実施例1と同様な方法で、同心円状のラインとした。なお、ラインの頭頂部間の間隔は25nm、頭頂部と底部の高低差が3nmとなるように制御した。その後、実施例1と全く同様にして、磁気記録層4、保護層5、液体潤滑剤層を順次形成して磁気記録媒体とした。
(比較例1)
EB装置によるラインの加工を行わず、それ以外は全て実施例1と同様にして磁気記録媒体とした。
(比較例2)
下地層3を形成する際、Tiターゲットを用いArガス圧5mTorr下でTi下地層3を膜厚5nmで成膜すること以外は、全て実施例1と同様にして磁気記録媒体とした。
(評価)
以下に、上述の実施例及び比較例の垂直媒体の性能評価結果について述べる。
2 軟磁性裏打ち層
3 下地層
4 磁気記録層
5 保護層
4−1 磁性ドット
4−2 非磁性成分
4−3 超常磁性粒子
Claims (10)
- 非磁性基体上に、少なくとも下地層、磁気記録層及び保護層が順次積層されてなる磁気記録媒体において、前記下地層は、Ru又はRuを主成分とする合金からなり、かつその表面に頭頂部が複数のライン状に所定間隔で形成されてなるライン状起伏構造を有しており、前記磁気記録層は、少なくとも強磁性を有する結晶粒子と非磁性成分を含み、当該磁気記録層中の粒径4nm以上の前記結晶粒子からなる磁性ドットが前記頭頂部のラインに沿って前記下地層の表面上に配列し、かつ当該磁性ドットの各々は前記非磁性成分で隔てられていることを特徴とする磁気記録媒体。
- 前記下地層は、単結晶又は結晶粒界幅が0.5nm以下の多結晶構造からなることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記下地層表面のライン状起伏構造として、前記頭頂部のラインと直交する方向の断面において、凸部の頂点と凹部の底点を結んだ線と基体面のなす角度が10〜60度の範囲内にあることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気記録媒体。
- 前記頭頂部のラインの間隔が5〜50nmの範囲内にあることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層中に超常磁性化した超常磁性粒子を含み、その超常磁性粒子は前記下地層表面の凹部に存在していることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性基体が円盤状の基板からなり、その基板の両面にそれぞれ前記下地層、磁気記録層及び保護層が形成され、各下地層の表面に頭頂部が同心円状に所定間隔で形成されてなる前記ライン状起伏構造が形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性基体と下地層の間に軟磁性裏打ち層を設けたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の磁気記録媒体。
- 前記軟磁性裏打ち層の表面を物理的に加工し、その表面形状を反映させることにより、前記下地層の表面に前記ライン状起伏構造を形成することを特徴とする請求項7に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記非磁性基体の表面を物理的に加工し、その表面形状を反映させることにより、前記下地層の表面に前記ライン状起伏構造を形成することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記下地層の表面を物理的に加工することにより、当該下地層の表面に前記ライン状起伏構造を形成することを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
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