JP2009117012A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に軟磁性層を形成する工程と;軟磁性層上に第1結晶配向制御層を形成する工程と:第1結晶配向制御層の少なくとも一部に凹部を設ける工程と;第1結晶配向制御層の上に、第2結晶配向制御層を形成する工程と;第2結晶配向制御層の上に、磁気記録層を形成する工程とを具えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【選択図】 図1
Description
表面が平滑な化学強化ガラス基板(例えば、HOYA社製N‐5ガラス基板)である基板10に対して、スパッタ法を用いてCoZrNbを積層して、膜厚200nmの軟磁性層20を得た。
第2結晶配向制御層32を形成しなかったことを除いて実施例1の手順を繰り返して、ディスクリートトラック媒体を得た。
レジスト層60を除去するためのO2アッシングにおけるソースパワーを100Wに変更したことを除いて比較例1の手順を繰り返して、ディスクリートトラック媒体を得た。
第1結晶配向制御層31の形成後、パターニングを行うことなしに、直ちに磁気記録層40、保護層および液体潤滑剤層を形成したことを除いて実施例1の手順を繰り返して、垂直磁気記録媒体を得た。本参考例は、結晶配向制御層のパターニングの影響を受けていない磁気記録層の特性を評価することを目的とする。
カー効果測定により、実施例1、比較例1および2、ならびに参考例1で得られた媒体の磁気記録層の磁気特性を評価した。結果を図2に示す。なお、図2において、磁場Hは参考例1の媒体の磁気記録層の保磁力Hcを1とした相対値で示し、磁化Mは参考例1の媒体の磁気記録層の残留磁化Msを1とした相対値で示した。
20 軟磁性層
30 結晶配向制御層
31 第1結晶配向制御層
32 第2結晶配向制御層
40 磁気記録層
41 グラニュラー構造部
42 非グラニュラー構造部
Claims (1)
- (a) 基板上に軟磁性層を形成する工程と、
(b) 軟磁性層上に第1結晶配向制御層を形成する工程と、
(c) 第1結晶配向制御層の少なくとも一部に凹部を設ける工程と、
(d) 第1結晶配向制御層の上に、第2結晶配向制御層を形成する工程と、
(e) 第2結晶配向制御層の上に、磁気記録層を形成する工程と
を具えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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