JP5422399B2 - パターンドメディアおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、ヘッドとメディアの間のスペーシングを低減することができ、且つ耐食性に優れたパターンドメディア及びその製造方法を提供することである。
(比較例1)
本比較例のディスクリートトラックメディアは実施例1とほぼ同じベースメディアを用いて作製した。実施例1で用いたベースメディアとの唯一の相違点は、記録層におけるCoCrPtB合金膜の厚さを4nmとしたことである。
(比較例2)
本比較例のディスクリートトラックメディアは実施例1とほぼ同じベースメディアを用いて作製した。実施例1で用いたベースメディアとの唯一の相違点は記録層として厚さ12nmのCoCrPt−SiO2合金膜の上に厚さ2.8nmのCoTaZr非晶質合金膜を積層したことである。
(比較例3)
本比較例のビットパターンドメディアは実施例3とほぼ同じベースメディアを用いて作製した。実施例3で用いたベースメディアとの唯一の相違点はFePt合金膜の厚さを5nmとしたことである。
(比較例4)
本比較例のビットパターンドメディアは比較例3とほぼ同じベースメディアを用いて作製した。実施例3で用いたベースメディアとの唯一の相違点はFePt合金膜の上に厚さ1nmのFeTaZr合金磁性膜を形成したことである。FeTaZr合金は非晶質の軟磁性膜である。メディアの加工も比較例3と同じプロセスを用いた。
12…軟磁性下地層、
13…シード層、
100…パターンメディア、
101…配向制御下地膜
102…結晶質磁性膜(記録層)、
103…保護膜、
104…埋め戻し膜、
105…非晶質磁性膜、
106…レジストパターン、
121…サーボパターン領域、
122…ディスクリートトラック領域、
130…ヘッド、
131…ヘッドの浮上量、
132…ヘッドとメディア間のスペーシング。
Claims (10)
- 記録層が、1層あるいは複数層の結晶質の磁性膜と、前記結晶質の磁性膜の最表面上に位置する非晶質構造の磁性膜から構成され、前記非晶質構造の磁性膜の構成元素とその直下に位置する前記結晶質の磁性膜の構成元素が同じであることを特徴とするパターンドメディア。
- 基板と、
前記基板上の第1の領域に形成された記録層と、
前記記録層の周辺に形成された埋め戻し膜とを有し、
前記記録層は、結晶質磁性膜と、前記結晶質磁性膜の表面が前記結晶質磁性膜の構成元素と同じままで非晶質化された非晶質磁性膜とを有することを特徴とするパターンドメディア。 - 前記パターンドメディアは、ディスクリートトラックメディアであることを特徴とする請求項2記載のパターンドメディア。
- 前記パターンドメディアは、ビットパターンドメディアであることを特徴とする請求項2記載のパターンドメディア。
- 前記結晶質磁性膜は、複数の結晶質磁性膜が積層された多層膜であるであることを特徴とする請求項2記載のパターンドメディア。
- 前記基板と前記記録層との間には、基板側から軟磁性下地層、シード層、配向制御下地層が形成され、
前記記録層及び前記埋め戻し膜上には保護膜が形成されていることを特徴とする請求項2記載のパターンドメディア。 - 請求項1記載のパターンドメディアの製造方法であって、
前記結晶質の磁性膜の最表面にイオンを照射することにより、結晶質構造の磁性膜の表面を非晶質化することを特徴とするパターンドメディアの製造方法。 - 基板上に結晶質磁性膜、保護膜を順次形成する工程と、
前記保護膜上にレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンを前記結晶質磁性膜と前記保護膜に転写する工程と、
前記基板上に残っている前記レジストパターンと前記保護膜を除去する工程と、
前記レジストパターンが転写された前記結晶質磁性膜を覆うように埋め戻し膜を形成する工程と、
前記埋め戻し膜を除去して前記結晶質磁性膜の表面を前記結晶質磁性膜の構成元素と同じままで非晶質化して非晶質磁性膜を形成する工程とを有することを特徴とするパターンドメディアの製造方法。 - 前記結晶質磁性膜の表面の非晶質化はイオン照射により行うことを特徴とする請求項8記載のパターンドメディアの製造方法。
- 前記レジストパターンは、ナノインプリント法により形成することを特徴とする請求項8記載のパターンドメディアの製造方法。
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