JP4421403B2 - 磁気記録媒体、磁気記録装置、および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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図1(A)に示すように、ガラス基板11上に、約120nmの軟磁性層(図示せず)、約20nmのRu配向制御層(図示せず)、約20nmの垂直磁気記録層12、約4nmの第1カーボン保護層13を順次成膜した。垂直磁気記録層12としてはCoCrPtに微量のSiO2を添加し、保磁力を4kOe程度に調整したものを用いた。
図2図示の構造を有する、直径3.5、2.5、1.8、1.0、0.85インチのディスクリートトラック型パターンド媒体を試作した。上述したように図2の構造を有するDTR媒体は図1(G)の工程で10分間エッチバックしたものであり、垂直磁気記録層12上のカーボン保護層の厚みがSOG膜15上のカーボン保護層の厚みよりも厚い。各DTR媒体について、AE(Acoustic Emission)センサーを取り付けたグライドヘッドを用いてAEセンサー出力を測定した。AEセンサー出力が100mVを超えた回数を異常突起個数とした。その結果を図8に示す。図8に示されるように、3.5インチのDTR媒体では異常突起数が100個以上であったが、1.0インチ以下のDTR媒体では異常突起数が10個以下であった。これは、図2のような構造では、カーボン保護膜に歪がたまり、ひび割れが生じて異常突起になるため、径が大きいほど異常突起が多くなると推測される。
Claims (5)
- 直径が1.8インチ以下の非磁性体基板上に形成された、記録トラックに相当する凸部をなす磁性層パターンおよび記録トラックを分離する溝を埋め込む非磁性層と、前記磁性層パターンおよび非磁性層上に形成されたカーボン保護膜とを有し、前記溝に埋め込まれた非磁性層の厚さが前記磁性層パターンの厚さよりも薄く、前記磁性層パターン上のカーボン保護膜はフッ素を5%以下含む第1カーボン保護膜とフッ素を含まない第2カーボン保護膜とからなり、前記非磁性層上のカーボン保護膜は前記第2カーボン保護膜からなり厚さが2nm以上であり、前記磁性層パターン上のカーボン保護膜の厚さは前記非磁性層上のカーボン保護膜の厚さよりも厚いことを特徴とする磁気記録媒体。
- 直径が1インチ以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 請求項1または2に記載の磁気記録媒体と、磁気ヘッドとを具備したことを特徴とする磁気記録装置。
- 直径が1.8インチ以下の非磁性体基板上に磁性層および第1カーボン保護膜を成膜し、その上にスピンオングラス膜を塗布し、
前記スピンオングラス膜に、記録トラックに相当する磁性層パターンに対応する凹凸が形成されたスタンパをインプリントしてパターン転写し、
フッ素系ガスを用いた反応性イオンエッチングにより前記スピンオングラス膜の凹部に残るインプリント残渣を除去し、かつ前記第1カーボン保護膜に5%以下のフッ素を含ませ、
前記スピンオングラス膜のパターンをマスクとしてイオンミリングにより前記第1カーボン保護膜および磁性層をエッチングして磁性層パターンを形成し、
スピンオングラス膜を塗布して、前記エッチングにより形成された凹部にスピンオングラス膜を埋め込み、
前記スピンオングラス膜をエッチバックし、前記磁性層上の第1カーボン保護膜を露出させ、かつ前記凹部に埋め込まれたスピンオングラス膜からなる非磁性層の厚さを前記磁性層パターンの厚さよりも薄くし、
表面に第2カーボン保護膜を形成することにより、前記磁性層パターン上にフッ素を5%以下含む第1カーボン保護膜とフッ素を含まない第2カーボン保護膜とからなるカーボン保護膜を形成し、前記非磁性層上に前記第2カーボン保護膜からなる厚さが2nm以上のカーボン保護膜を形成して、前記磁性層パターン上のカーボン保護膜の厚さを前記非磁性層上のカーボン保護膜の厚さよりも厚くする
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - フッ素系ガスを用いた反応性イオンエッチングにより前記スピンオングラス膜をエッチバックすることを特徴とする請求項4に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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