JP2010015690A - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第1の保護層を有するサーボ部と、基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第2の保護層を有する記録トラック部とを具備し、前記サーボ部と前記記録トラック部は、前記基板の表面に沿って互いに異なる領域上に形成されており、前記サーボ部の記録層の上部に形成される第1の保護層の膜厚が前記記録トラック部の記録層の上部に形成される第2の保護層の膜厚よりも厚くなっていることを特徴とする磁気記録媒体。
【選択図】図1
Description
図1はDTR媒体のサーボ部およびトラック部のパターンの一例を示す断面図である。
次に、本発明の磁気記録媒体の製造方法を図2乃至図8によって説明する。
上述した磁気記録媒体は、以下に説明する磁気記録再生装置に搭載することができる。
トラック部とサーボ部の凹凸を揃えるため、バイアススパッタ法を用いて埋め込み平坦化を行った以外、実施例1と同様の方法でサーボ部、トラック部ともに保護層が薄いDTR媒体を作製した。保護層にはSiO2を用い、埋め込み平坦化後のRmaxは、トラック部、サーボ部ともに4nmであった(表1)。
埋め込み後のCVD保護層が10nm厚い(表1)以外、比較例1と同様の方法でサーボ部、トラック部ともに保護層が厚いDTR媒体を作製した。
図2乃至図8に示した方法でサーボ部のみ保護層が20nm 厚いDTR媒体を作製した。保護層としてSiO2を用いた。記録層上部保護層と非記録層上部保護層との膜厚差を得るため、スパッタ法による50nm成膜と30nmエッチバックの繰り返し回数を1回とすることで、20nmの凹凸差を得た(表1)。得られた媒体において、高温高湿化での腐食試験と、AEセンサを用いた浮上安定評価、およびスピンスタンドによるサーボ部の信号強度比較を行った(表3)。
2、43 … 強磁性層
3、81 … 保護層
42 … 軟磁性層
45 … レジスト
46 … スタンパ
150 … 磁気記録再生装置
152 … スピンドル
153 … ヘッドスライダ
154 … サスペンション
155 … アクチュエータアーム
156 … ボイスコイルモータ
Claims (4)
- 基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第1の保護層を有するサーボ部と、
基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第2の保護層を有する記録トラック部とを具備し、
前記サーボ部と前記記録トラック部は、前記基板の表面に沿って互いに異なる領域上に形成されており、
前記サーボ部の記録層の上部に形成される第1の保護層の膜厚が前記記録トラック部の記録層の上部に形成される第2の保護層の膜厚よりも厚くなっていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第1の保護層を有するサーボ部と、
基板上に形成される記録層の有無で構成される凹凸パターンからなり、凹凸パターンの表面に形成される第2の保護層を有する記録トラック部とを具備し、
前記サーボ部と前記記録トラック部は、前記基板の表面に沿って互いに異なる領域上に形成されており、
前記サーボ部の記録層の上部に形成される第1の保護層の膜厚が前記記録トラック部の記録層の上部に形成される第2の保護層の膜厚よりも1nm以上10nm以下の範囲で厚くなっていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記保護層は、Ni、Nb、Cu、Hf、Zr、Cr、Ru、Pt、Pd、Ti、Ta、Mo、Wから選ばれる金属材料の合金からなることを特徴とする請求項1または2記載の磁気記録媒体。
- 請求項1または2記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体上を浮上する磁気ヘッドと
を具備することを特徴とする磁気記録再生装置。
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JP2009243593A JP2010015690A (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
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JP2012022766A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 媒体を製造するためのシステムおよび方法 |
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- 2009-10-22 JP JP2009243593A patent/JP2010015690A/ja active Pending
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